组分梯度（Ba,Sr）TiO3薄膜的制备工艺研究

组分梯度（Ba,Sr）TiO3薄膜的制备工艺研究
王军;章天金;向军淮
【期刊名称】《功能材料》
【年(卷),期】2007(038)A02
【摘要】采用改进的溶胶．凝胶（sol-gel）法在si衬底上制备了组分梯度Ba1-xSrxTiO3（x=0，0．1，0．2，0．3，0．4）（简称BST）薄膜。

探讨了不同退火温度对组分梯度BST薄膜晶化的影响，应用X射线衍射（XRD）及原子力显微镜（AFM）分析了薄膜的微观结构。

结果表明组分梯度薄膜的最佳制备工艺为600℃预烧5min，700℃退火1．5h，此时薄膜具有完整的钙钛矿相，薄膜表面平整、无裂纹、无孔洞。

比较了单组分和组分梯度BST薄膜的微观结构。

XRD测试结果显示，组分梯度BST薄膜的衍射峰峰位介于底层和硕层单组分BST薄膜之间，且衍射峰明显宽化；AFM测试结果表明，组分梯度BST薄膜的晶粒明显大于单组分BST薄膜，表面均方根粗糙度（RMS）也大于单组分BST薄膜，这可能是由于组分梯度薄膜较高的预烧温度促进晶粒生长造成的。

【总页数】3页(P818-820)
【作者】王军;章天金;向军淮
【作者单位】江西科技师范学院江西省材料表面工程重点实验室,江西南昌330013;湖北大学材料科学与工程学院,湖北武汉430062
【正文语种】中文
【中图分类】TN304
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