半导体物理学-(第七版)-习题答案
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
半导体物理学-(第七版)-习题答案
3-7.(P 81)①在室温下,锗的有效状态密度Nc =1.05×1019cm -3,Nv =5.7×1018cm -3
,试求锗的载流子有效质量m n *和m p *。
计算77k 时的Nc 和Nv 。
已知300k 时,Eg =0.67eV 。
77k 时Eg =0.76eV 。
求这两个温度时锗的本征载流子浓度。
②77k ,锗的电子浓度为1017
cm -3
,假定浓度为零,而Ec -E D =0.01eV,求锗中施主浓度N D 为多少?
[解] ①室温下,T=300k (27℃),k 0=1.380×10-23J/K ,h=6.625×10-34
J·S,
对于锗:Nc =1.05×1019cm -3,Nv=5.7×1018cm -3
:﹟求300k 时的Nc 和Nv :根据(3-18)式:
Kg T k Nc h m h T k m Nc n n 3123
32
19
234032
2*32
3
0*
100968.5300
1038.114.32)21005.1()10625.6(2)2()2(2---?==?=??=ππ根据(3-23)式:
Kg T k Nv h m h T k m Nv p p 3123
3
2
18
234032
2
*32
3
0*1039173.3300
1038.114.32)2107.5()10625.6(2)2()2(2---?==?=??=ππ﹟求77k 时的Nc 和Nv :
191923
23'233
2
30*
3
2
30*'10365.11005.1)30077()'(;)'()2(2)
'2(2?=??===??=c c n n c c N T T N T T h T k m h T k m N N ππ 同理:
17182
3
23
'
1041.7107.5)300
77()'(?=??==v v
N T T N
﹟求300k 时的n i :
13181902
11096.1)052
.067
.0exp()107.51005.1()2exp()(?=-=-
=T k Eg NcNv n i 求77k 时的n i :
723
1918
1902
110094.1)77
1038.12106.176.0exp()107.51005.1()2exp()(---?=-???=-=T k Eg NcNv n i ②77k 时,由(3-46)式得到:
Ec -E D =0.01eV =0.01×1.6×10-19;T =77k ;k 0=1.38×10-23;n 0=1017;Nc =1.365×1019cm -3
;
;==-1619
2231917200106.610
365.12)]771038.12106.101.0ex p(10[2)]2ex p([-=-Nc T k E Ec n N D D [毕] 3-8.(P 82)利用题7所给的Nc 和Nv 数值及Eg =0.67eV ,求温度为300k 和500k 时,含施主浓度N D =5×1015cm -3,受主浓度N A =2×109cm -3的锗中电子及空穴浓度为多少? [解]1) T =300k 时,对于锗:N D =5×1015cm -3,N A =2×109cm -3:
31302
11096.1)2exp()(-?=-
=cm T
k Eg
NcNv n i ;159150105102105?≈?-?=-=A D N N n ;
i n n >>0;
1015
2
13020107.710
5)1096.1(?≈??==n n p i ; 2)T =300k 时:
eV T T Eg Eg 58132.0235
50050010774.47437.0)0()500(2
42≈+??-=+?-=-βα;
查图3-7(P 61)可得:16
102.2?≈i n ,属于过渡区,
162122
010464.22
]
4)[()(?=+-+-=
i
A D A D n N N N N n ;
160
2
010964.1p ?==n n i 。
(此题中,也可以用另外的方法得到n i :
)2exp()(500300
)(500300
)(02
1232
3300'2
32
3300'T
k Eg
NcNv n Nv N Nc N i k v
k c
-
=?=
=
;;求得n i )[毕] 3-11.(P 82)若锗中杂质电离能△E D =0.01eV ,施主杂质浓度分别为N D =1014
cm -3
及1017
cm -3
,计算(1)99%电离,(2)90%电离,(3)50%电离时温度各为多少?
[解]未电离杂质占的百分比为:
D
D D D N Nc
D T k
E T k E Nc N D 2_ln ex p 2_00==
;求得:
116106.110
38.101.01923
0==?--T k E D ; )/(102)2(2323
15
3
2
30*cm T h
k m Nc n ?==π
∴)_10ln()2102_ln(2_ln 11623
152
3
15
T D N N T D N Nc D T D
D D ===
(1) N D =1014
cm -3
,99%电离,即D_=1-99%=0.01
3.2ln 2
3
)10ln(11623
1-==-T T T
即:
3.2ln 2
3
116-=T T 将N D =1017cm -3,D_=0.01代入得:10ln 4ln 2
3
10ln 11623
4-==T T T 即:
2.9ln 2
3
116-=T T (2) 90%时,D_=0.1
31410-=cm N D
D
D N Nc
T k E 21.0ln
0=? 2
3
1423
1510ln 21021.0ln 116T N T N T D
D =??= 即:
T T ln 2
3
116= N D =1017cm -3得:10ln 3ln 2
3
116-=T T
即:9.6ln 2
3116-=T T ;
(3) 50%电离不能再用上式∵2
D
D D N n n =
=+
即:
)exp(21)exp(21
100T
k E E N T k E E N F D D
F D D --+=
-+ ∴)ex p(4)ex p(
00T
k E E T k E E F
D F D --=- T
k E E T k E E F
D F D 004ln --=-
即:2ln 0T k E E D F -=
2
)ex p(00D F c N
T k E E Nc n =--
= 取对数后得:
Nc
N
T k T k E E D D C 2ln 2ln 00=+-- 整理得下式:
Nc N T k E D D 2ln 2ln 0=-?-
∴ Nc
N
T k E D D ln 0=?- 即:
D
D N Nc
T k E ln
0=? 当N D =1014
cm -3
时,
20ln ln 2
3
)20ln(10102ln 1162
314
2
3
15
+=
=??=T T T T 得
3ln 2
3
116+=T T 当N D =1017cm -3
时9.3ln 2
3116-=T T
此对数方程可用图解法或迭代法解出。
[毕]
3-14.(P 82)计算含有施主杂质浓度N D =9×1015cm -3及受主杂质浓度为1.1×1016cm -3的硅在300k 时的电子和空穴浓度以及费米能级的位置。
[解]对于硅材料:N D =9×1015cm -3;N A =1.1×1016cm -3;T =300k 时n i =1.5×1010cm -3:
3150102-?=-=cm N N p D A ;
35316
2
100010125.1cm 10
2.0)105.1(--?=??==cm p n n i ∵D A N N p -=0且)(
ex p Nv 00T
K E E p F
V -?=
∴
)ex p(0T
k E E Nv N N F V D
A -=-
∴eV Ev eV Ev Nv N N T k Ev E D A F 224.0)(101.1102.0ln 026.0ln
19
16
0-=??-=--= [毕] 3-18.(P 82)掺磷的n 型硅,已知磷的电离能为0.04eV ,求室温下杂质一般电离时费米能级的位置和磷的浓度。
[解]n 型硅,△E D =0.044eV ,依题意得:
D D N n n 5.00==+
∴
D F
D D
N T
k E E N 5.0)
exp(210=--+
∴2
1
)ex p(2)ex p(2100=--?=--
+T k E E T k E E F D F D ∴2ln 2ln 2
1
ln
000T k E E E E T k T k E E F C C D F D =-+-?=-=-
∵044.0=-=?D C D E E E
∴eV T k E E T k E E C F C F 062.0044.02ln 044.02ln 00=--=-?--=
)(1016.5)026
.0062
.0ex p(108.22)ex p(2318190-?≈-??=--
=cm T k E E N N F C C D [毕] 3-19.(P 82)求室温下掺锑的n 型硅,使E F =(E C +E D )/2时的锑的浓度。
已知锑的电离能为
0.039eV 。
[解]由2
D
C F E E E +=
可知,E F >E D ,∵EF 标志电子的填充水平,故ED 上几乎全被电子占据,又∵在室温下,故此n 型Si 应为高掺杂,而且已经简并了。
∵eV E E E D C D 039.0=-=?
T k E E E E E D
C C F C 02052.00195.02
=<=+-
=- 即200<-<
T
k E E F
C ;故此n 型Si 应为弱简并情况。
∴)
exp(21)exp(21000T k E N T k E E N n n D
D
D F D D ?+=
-+=
=+
∴
)(106.6)026.00195
.0()]026.00195.0exp(
21[108.22)
026.00195
.0()]026.0039.0exp()026.00195.0exp(21[2)()]exp()exp(
21[2)()]exp(
21[23192
119
2
102
10002
10-?≈-?+??=
-?-+=-??-+=
-?-+=cm F F Nc
T k E E F T k E
T k E E Nc
T k E E F T k E E Nc
N C F D c F C F D
F D π
ππ
π
其中4.0)75.0(2
1=-F [毕]
3-20.(P 82)制造晶体管一般是在高杂质浓度的n 型衬底上外延一层n 型的外延层,再在外延层中扩散硼、
磷而成。
①设n 型硅单晶衬底是掺锑的,锑的电离能为0.039eV ,300k 时的E F 位于导带底下面0.026eV 处,计算锑的浓度和导带中电子浓度。
[解] ①根据第19题讨论,此时Ti 为高掺杂,未完全电离:
T k E E F C 02052.0026.00=<=-<,即此时为弱简并
∵)
exp(2100T
k E E N n n D
F D
D -+=
≈+
)(013.0026.0039.0)()(eV E E E E E E F C D C D F =-=---=-
)
(1007.4)1()]026.0039
.0exp(
)1exp(21[108.22)()]exp()exp(
21[23192
119
02
100-?≈-?-+??=
-??-+=cm F T k E E F T k E
T k Ec E Nc
N C F D F D π
π
其中3.0)1(2
1=-F
)(105.9)026.0026
.0(10198.22)0(
2
3192
12
10-?≈-??=-=cm F T k E E F Nc
n C F ππ
[毕]
4-1.(P 113)300K 时,Ge 的本征电阻率为47Ω·cm ,如电子和空穴迁移率分别为3900cm 2/V ·S 和
1900cm 2/V ·S ,试求本征Ge 的载流子浓度。
[解]T=300K ,ρ=47Ω·cm ,μn =3900cm 2/V ·S ,μp =1900 cm 2/V ·S
313191029.2)
19003900(10602.1471
)
(1
)
(1--?=+??=
+=
+=
cm q n q n p n i p n i μμρμμρ[毕]
4-2.(P 113)试计算本征Si 在室温时的电导率,设电子和空穴迁移率分别为1350cm 2/V ·S 和500cm 2/V ·S 。
当掺入百万分之一的As 后,设杂质全部电离,试计算其电导率。
比本征Si 的电导率增大了多少倍? [解]T=300K,,μn =1350cm 2/V ·S ,μp =500 cm 2/V ·S
cm s q n p n i /1045.4)5001350(10602.1105.1)(61910--?=+=+=μμσ
掺入As 浓度为N D =5.00×1022×10-6=5.00×1016cm -3
杂质全部电离,2
i D n N >>,查P 89页,图4-14可查此时μn =900cm 2/V ·S
cm nq n /S 2.7900106.110519162=-==μσ
6621062.110
45.42
.7?=?=-σσ [毕] 4-13.(P 114)掺有1.1×1016 cm -3硼原子和9×1015 cm -3磷原子的Si 样品,试计算室温时多数载流子和少数载流子浓度及样品的电阻率。
[解]N A =1.1×1016 cm -3,N D =9×1015 cm -3
3150102-?=-=cm N N p D A
3
515
10020cm 10125.110
2105.1-===p n n i
可查图4-15得到7=ρΩ·cm
(根据3
16
cm 102-?=+D A N N ,查图4-14得ρ,然后计算可得。
)[毕] 4-15.(P 114)施主浓度分别为1013和1017cm -3的两个Si
样品,设杂质全部电离,分别计算:①室温时的电导率。
[解]n 1=1013 cm -3,T =300K ,
cm s cm s q n n /1016.2/1350106.1103191311--?===μσn 2=1017cm -3时,查图可得cm n ?Ω=800μ
cm s cm s q n n /8.12/800106.110191311===-μσ [毕]
5-5.(P 144)n 型硅中,掺杂浓度N D =1016cm -3,光注入的非平衡载流子浓度Δn =Δp =1014
cm -3。
计算无光照和有光照时的电导率。
[解]
n-Si ,N D =1016cm -3,Δn =Δp =1014cm -3
,查表4-14得到:400,1200=≈p n μμ:
无光照:)/(92.1120010602.11019
16cm S q N nq n D n ≈===-μμσ
Δn =Δp<<="" ,为小注入:="">
)
/(945.110602.1]400101200)1010[()()('19
141416c m S q p p q n n p n ≈+?+=?++?+=-μμσ[毕]
5-7.(P 144)掺施主杂质的N D =1015cm -3n 型硅,由于光的照射产生了非平衡载流子Δn =Δp =1014
cm -3。
试计算这种情况下准费米能级的位置,并和原来的费米能级做比较。
[解]
n-Si ,N D =1015cm -3,Δn =Δp =1014cm -3
,
eV Ec eV Ec Nc n T k Ec E T
k E E N n F F
C C 266.010
8.210ln 026.0ln
)exp(1915
0000-=?+=+=?--
=
光照后的半导体处于非平衡状态:
eV Ec eV Ec Nc n n T k Ec E T k E E N n n n n
F n
F
C C 264.0108.210
10ln 026.0ln
)
exp(19
14
150000-=?++=?++=∴--=?+=
eV E E F n
F 002.0=-
eV Ev eV Ev Nv p T k Ev E T k E Ev N p p p
F p
F
V 302.0101.110
ln 026.0ln
)
exp(19
14
00+=?-=?-=∴-=?≈
室温下,Eg Si =1.12eV ;
eV Ev eV Ev eV eV Ev Eg eV Ec E F 854.0266.012.1266.0266.0+=-+=-+=-=
eV E E p
F F 552.0=-
比较:
由于光照的影响,非平衡多子的准费米能级n
F E 与原来的费米能级F E 相比较偏离不多,而非平衡少子的费米
能级p
F E 与原来的费米能级F E 相比较偏离很大。
[毕]
5-16.(P 145)一块电阻率为3Ω·cm 的n 型硅样品,空穴寿命s p μτ5=,再其平面形的表面处有稳定的
空穴注入,过剩空穴浓度3
13010)(-=?cm p ,计算从这个表面扩散进入半导体内部的空穴电流密度,以及
在离表面多远处过剩空穴浓度等于1012cm -3?
[解] cm ?Ω=3ρ;s p μτ5=,3
13010)(-=?cm p :
由cm ?Ω=3ρ查图4-15可得:3
151075.1-?≈cm N D ,又查图4-14可得:S V cm p ?≈/5002μ 由爱因斯坦关系式可得:S cm S cm q T k D p p /5.12/50040 1
220=?==
μ 所求)exp()()()(0p
p p p p D x
p D D q x p Lp Dp q Jp ττ-?=?=扩而cm D Lp p p 36109057.7cm 1055.12-?≈??==
-τ
2
32
3
1319/)5.126ex p(1053.2/)109057.7ex p(109057.75.12106.1)(cm A x cm
A x Jp -??≈?-
∴---=扩 )5.126ex p()()(0-?=?p x p
cm cm cm p x p x 0182.0)3.2(5
.1261
1010ln 5.1261)()(ln 5.126113120=-?-≈-=??-=∴[毕]。