日本振兴半导体产业的新计划与措施
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场 的份额略有 回升。 日本 为了重新夺 回世界 半导体市场 的霸权 ， 雄心勃勃 ， 出了宏伟的 中长期大型计划， 提 并推 出具体 的若干措施 。
一
立， 占地约 ４万平方公里 ， 有几十家 Ｉ 制造工 厂， ｃ 分布 于 ６ 个县 ： 熊本 、宫崎 、大分、佐贺 、福 冈和鹿 儿岛， 它
在 （０ ）面水 平方 向上 平面 集成 （ １０ 不可布 线长
、
在 （ｌ） １１、（０ ）等面上超高层 １ｏ、（ １） １０ 超 高速工 作） 三维立体集成（ 以布线短 可 超 高 速 工 作）
、
生 产方式
一 次投资 型
阶段 投资 型
本大型公 司来熊本办厂，如新力熊本 、荏原 制作所 、三 井高科技 、东京 电子等公司纷纷来熊本投资建厂 。大学 和公立研究机构 也开始 向九州地 区集结 。 儿岛、 鹿 大分 、
佐贺县从九州整体 观念 出发 ， 提倡相关的运动理论 ， 以呼
城、 香港 、 新加坡等城市的中心位置 的优势， 从亚洲 Ｓ Ｃ Ｏ 设计研发 中心冲向全球 Ｓ Ｃ设计研发 中心。 Ｏ
四 、 日本 半 导 体 创 投 企 业 协 会 开始 运 作
，
高温 生 产过 程 （０ ０Ｃ 右 １０ 。左
布 线生 产过 程 晶体管 结构 Ｌ １ 构 的 １０７ ｎ Ｓ结 ０．０ｍ栅绝缘 膜 特征
集成 结构
低温 等离子 体生 产过 程 （０）面 ２ １０ 维平 面型 ＭＯＳ晶体管 高 介 电常数栅 绝缘 膜 （ 在基 础研 究 中） 正 三维 立体 结构 ＭＯ Ｓ晶 体管 由 Ｎ 原子 团生 产 ｓ （ Ｈ ｉ 膜 由设备工 Ｎ 艺过 程条 件决 定）
维普资讯
本 振 兴 半 导 体 产
新计划与措施
无锡 市 罗特 电子有 限公 司 翁寿松
１ ９ ６ 日本半导体产业占世界半导体市场 的份额首次 温生产过程 、 ８ 年 二维和三维 ＭＯ Ｓ晶体管制造工艺、１０ ｍ ０ｎ 上超过美 国， １８ ～ ９ ２年的 ７年时间内 日本在世界 在 ９ ６ １９ 半导体 市场 中称王称霸 ， 中最 高份额达 ５ ． 其 ３６ ％。想 当 年，日本 ＮＥ 、东芝 、日立三大公司稳 坐世 界十大 Ｉ Ｃ ｃ公 司的前三位 。然而好景不长， １９ 从 ９ ３年起美国半导体 产 业 占世 界半导体市场 的份额再 次超 过 日本，重新登上世 界半导体市场霸主的地位 。 １９ 到 ９ ９年 日本半导体产业 占 以下 的栅绝缘膜形 成和三维 集成等工艺 。 日本 四大计划 的最终 目标是要尽快地拿 出能批量生产的 Ｓ Ｃ产 品。 Ｏ
迷 你型生产线技术等 。表 ２给 出四大计划的具体研发课 子 、Ｎ Ｃ Ｅ 、凸版印刷等公 司都参与这项研 究， 作了详 并
题。 从表 ２可知， 日本将着重研究晶体管制造 的高温 、 低 细的分工 。为了推 动这项运动，熊本县大力开展 吸纳 日 表 １ 日本 四项大型的中长期计划
计 划名 称
Ａ ｕ ａ（ ｓ ｋ 飞鸟 ）
ｉ ：时 间 －￣ ＩＪ －
２ ０ －０ ５ ０ １ ０ ２
资金 投入 （ 日元 ） 亿
８Ｏ ４
主要技 术 目标
１ ０７ ｒ Ｓ Ｃ技术 ０ －０ ｍ Ｏ ｉ
ＭＩ Ａ ＲＩ
）
２ｏ ．ｏ７ ｏ １２ｏ ２ｏ ｏ１ ２ ０ ０３
．
２Ｏ ５
８ ０
微 电 子
复兴运动， 投资 ２ 亿 日元推 动地 区性研 发， ０ 总称 为熊本
工艺计划 。开发重 点是对应 １０ｍ 的半导体超精密级研 ｒ ０ｉ
发， １０ ｍ 超精 密测试技术开发 、超精密高速级开发 如 ０ｒ ｉ 和混合型计测器 开发 等 。 日本东芝 、三 菱 电机 、东京 电
是世 界上 主要 Ｉ ｃ基地之一 。这里 不仅气候好， 而且云集 了九 州大学 、长崎大 学 、九 州工业 大学 、熊本大学等著
、
振 兴 日本 半 导体 产 业 的 四 大计 划
名高等学府和众多科研机构 。日本为了振兴半导体 产业 ，
日本深知为 了夺 回世 界半导体市场 的霸权 ，必须重 重 新夺 回世界半导体 市场的霸权，推 出熊本半导 体文艺 新掌握半导体产业的技术主导权， 日本政府 的指导下 ， 在 提 出四项大型 的中长期计 划，它们由表 １所示 从表 １ 可知，日本开发半导体产业 的技术重 点是 １０ ｍ 以下的 ｒ ０ｉ Ｓ Ｃ技术 （ Ｏ 系统级芯片） Ｓ Ｃ设备相关技术和生产 Ｓ Ｃ 、Ｏ Ｏ
７－０ｍ 设备 相关 技术 ， ０５ａ 高介 电常 数栅 绝缘 膜技 术 高效 率 、 新— 代半导 体生 产 系统技术 ， 立 Ｓ Ｃ必备 的节 能 、 建 Ｏ 高效 迷 你型 生产 线技 术
、
Ｈ ＬＡ （ Ａ Ｃ 遥） ＤⅡ Ｎ
２ｏ － ｏ ｏ １２ ７ ｏ
１５ ２
建 立迷 你型 工厂 ，以超 短 出货 时间生 产数 码家 电用 Ｓ Ｃ Ｏ
二 、推 动 日本 硅 岛 熊 本 半 导体 文 艺 复 兴 运 动
众所周知， 美国硅谷集结 美国半导体产业 的 ６～ ０ ０ ７ ％， 台湾 新竹 科学园区集结 台湾半导体 产业 的 ９ ％，而 日本 ０
５ 世界半导体市场的份额跌 落至 ２ ％。２ ０ ～ ０ 年期 间， 硅 岛仅集结 日本半导体产业 的 ３％，与美 国、台湾相 比， ６ ０ ０ ２０ １ ９ ５年在 日本 九州建 在数码家 电的驱动下 ，日本半导体 产业 占世界半导体 市 其集结率明显偏低 。 日本硅 岛于 １６
一
７
⑨ 写 …
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０ —
０ｌ Ｉ
表 ２ 日本四大计划 的具体研发课题
Ａｕ ｓａ ｋ
晶体 管制 造
『
ＭＲ／ Ｉ Ａ
，
ＨＬＡ ＡＣ
分子 基础 反应）
东 大ＤＮ 北 Ｉ Ｉ
低温 高 密度等 离子 体生 产过 （０ 。 ５ ０Ｃ 以下 原子 团基 础反 应）
一
立， 占地约 ４万平方公里 ， 有几十家 Ｉ 制造工 厂， ｃ 分布 于 ６ 个县 ： 熊本 、宫崎 、大分、佐贺 、福 冈和鹿 儿岛， 它
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四 、 日本 半 导 体 创 投 企 业 协 会 开始 运 作
，
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布 线生 产过 程 晶体管 结构 Ｌ １ 构 的 １０７ ｎ Ｓ结 ０．０ｍ栅绝缘 膜 特征
集成 结构
低温 等离子 体生 产过 程 （０）面 ２ １０ 维平 面型 ＭＯＳ晶体管 高 介 电常数栅 绝缘 膜 （ 在基 础研 究 中） 正 三维 立体 结构 ＭＯ Ｓ晶 体管 由 Ｎ 原子 团生 产 ｓ （ Ｈ ｉ 膜 由设备工 Ｎ 艺过 程条 件决 定）
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本 振 兴 半 导 体 产
新计划与措施
无锡 市 罗特 电子有 限公 司 翁寿松
１ ９ ６ 日本半导体产业占世界半导体市场 的份额首次 温生产过程 、 ８ 年 二维和三维 ＭＯ Ｓ晶体管制造工艺、１０ ｍ ０ｎ 上超过美 国， １８ ～ ９ ２年的 ７年时间内 日本在世界 在 ９ ６ １９ 半导体 市场 中称王称霸 ， 中最 高份额达 ５ ． 其 ３６ ％。想 当 年，日本 ＮＥ 、东芝 、日立三大公司稳 坐世 界十大 Ｉ Ｃ ｃ公 司的前三位 。然而好景不长， １９ 从 ９ ３年起美国半导体 产 业 占世 界半导体市场 的份额再 次超 过 日本，重新登上世 界半导体市场霸主的地位 。 １９ 到 ９ ９年 日本半导体产业 占 以下 的栅绝缘膜形 成和三维 集成等工艺 。 日本 四大计划 的最终 目标是要尽快地拿 出能批量生产的 Ｓ Ｃ产 品。 Ｏ
迷 你型生产线技术等 。表 ２给 出四大计划的具体研发课 子 、Ｎ Ｃ Ｅ 、凸版印刷等公 司都参与这项研 究， 作了详 并
题。 从表 ２可知， 日本将着重研究晶体管制造 的高温 、 低 细的分工 。为了推 动这项运动，熊本县大力开展 吸纳 日 表 １ 日本 四项大型的中长期计划
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复兴运动， 投资 ２ 亿 日元推 动地 区性研 发， ０ 总称 为熊本
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是世 界上 主要 Ｉ ｃ基地之一 。这里 不仅气候好， 而且云集 了九 州大学 、长崎大 学 、九 州工业 大学 、熊本大学等著
、
振 兴 日本 半 导体 产 业 的 四 大计 划
名高等学府和众多科研机构 。日本为了振兴半导体 产业 ，
日本深知为 了夺 回世 界半导体市场 的霸权 ，必须重 重 新夺 回世界半导体 市场的霸权，推 出熊本半导 体文艺 新掌握半导体产业的技术主导权， 日本政府 的指导下 ， 在 提 出四项大型 的中长期计 划，它们由表 １所示 从表 １ 可知，日本开发半导体产业 的技术重 点是 １０ ｍ 以下的 ｒ ０ｉ Ｓ Ｃ技术 （ Ｏ 系统级芯片） Ｓ Ｃ设备相关技术和生产 Ｓ Ｃ 、Ｏ Ｏ
７－０ｍ 设备 相关 技术 ， ０５ａ 高介 电常 数栅 绝缘 膜技 术 高效 率 、 新— 代半导 体生 产 系统技术 ， 立 Ｓ Ｃ必备 的节 能 、 建 Ｏ 高效 迷 你型 生产 线技 术
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二 、推 动 日本 硅 岛 熊 本 半 导体 文 艺 复 兴 运 动
众所周知， 美国硅谷集结 美国半导体产业 的 ６～ ０ ０ ７ ％， 台湾 新竹 科学园区集结 台湾半导体 产业 的 ９ ％，而 日本 ０
５ 世界半导体市场的份额跌 落至 ２ ％。２ ０ ～ ０ 年期 间， 硅 岛仅集结 日本半导体产业 的 ３％，与美 国、台湾相 比， ６ ０ ０ ２０ １ ９ ５年在 日本 九州建 在数码家 电的驱动下 ，日本半导体 产业 占世界半导体 市 其集结率明显偏低 。 日本硅 岛于 １６
一
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表 ２ 日本四大计划 的具体研发课题
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