基底特性对铝膜表面形貌的影响
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基底特性对铝膜表面形貌的影响
夏阿根;金进生;陶向明;叶高翔
【期刊名称】《真空科学与技术》
【年(卷),期】2000(20)6
【摘要】用扫描电子显微镜对沉积在硅油表面的金属铝膜上、下表面的形貌进行了研究 ,证实了液体基底特性对金属铝膜表面形貌的重要影响。
【总页数】3页(P447-449)
【关键词】液体基底;锲形膜;表面形貌;硅油;铝膜;SEM
【作者】夏阿根;金进生;陶向明;叶高翔
【作者单位】浙江大学物理系
【正文语种】中文
【中图分类】O484.1
【相关文献】
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