紫外激光器研究进展及其关键技术讲解
紫外线灯的研究与开发
紫外线灯的研究与开发随着人们对健康生活的日益重视，对紫外线灯的研究和开发也越来越受到关注。
随着科技的不断发展，紫外线灯在医学、科研、生活等多个领域都有着广泛的应用。
在本文中，我们将会对紫外线灯的研究和开发进行深入探讨。
一、紫外线灯的基本原理紫外线灯是一种以紫外线光辐射为主的光源。
由于其波长比可见光更短，故其辐射的能量比可见光更高。
在紫外线灯中，常用的有三种紫外线波长：UVA波长为315-400nm，UVB波长为280-315nm，UVC波长为200-280nm。
其中，UVA波长辐射最弱，UVB波长次之，UVC波长的辐射最强。
紫外线灯的基本原理就是利用紫外线光的辐射作用，在不同的领域中有着不同的应用。
在生活中，紫外线灯可用于消毒、杀菌、除臭等方面。
在医学领域中，紫外线灯可用于治疗皮肤病、白癜风等疾病。
在科研中，紫外线灯可用于实验室中的光化学反应、光伏材料研究等领域。
二、紫外线灯在实际应用中的发展随着科技的发展，紫外线灯的应用也越来越广泛。
在实际应用中，紫外线灯已经被应用于许多领域。
1. 医学领域在医学领域中，紫外线灯可用于治疗皮肤病、白癜风等疾病。
紫外线灯在治疗皮肤病的过程中，主要是通过UVA、UVB和UVC三种波长的紫外线辐射，来杀死细菌和病毒，达到治疗的效果。
2. 科研领域在科研领域中，紫外线灯可用于实验室中的光化学反应、光伏材料研究等领域。
紫外线灯的辐射能够加速化学反应的进行，从而更好地理解反应的本质以及发挥反应的作用。
此外，紫外线灯在光伏材料研究方面也有着广泛的应用。
3. 生活领域在生活领域中，紫外线灯可用于消毒、杀菌、除臭等方面。
在新冠疫情期间，紫外线灯已被广泛应用于医院的消毒工作中。
此外，紫外线灯还可用于家庭中的除臭、空气净化等方面。
三、紫外线灯的发展趋势随着人们对健康生活的日益重视，紫外线灯的应用也越来越广泛。
未来，预计紫外线灯将会有更广泛的应用场景。
例如，在地铁站、公交车站等公共场所中，紫外线灯可用于进行空气净化、除臭等方面的应用。
紫外激光加工原理
紫外激光加工原理
紫外激光加工是一种利用紫外激光对物体进行加工和处理的技术。
其原理主要涉及光的吸收、电荷转移、能量转化和热影响等过程。
首先，紫外激光通过光的吸收作用，将光能转换为物质的电荷能量。
当紫外激光与物体表面相互作用时，激光能量被材料表面吸收，引起表面电子的跃迁，从而形成带电粒子。
其次，通过电荷转移作用，紫外激光的能量被传递给物体内部的分子和原子。
在光与材料表面交互作用的过程中，带电粒子会在材料内部迁移，并将能量传递给相邻的分子或原子。
接着，能量转化是紫外激光加工中的关键过程。
经过电荷转移后，能量会被转化为物体内部的热能。
这是因为带电粒子的运动会导致物质分子和原子的振动，从而使能量转化为热能。
最后，热影响是紫外激光加工的结果之一。
由于紫外激光加工时产生的热能，会对物体的结构和性质造成影响。
如加工过程中产生的高温可能导致物体的熔化、烧蚀或变质等。
综上所述，紫外激光加工主要通过光的吸收、电荷转移、能量转化和热影响等原理来对物体进行加工和处理。
它在微加工、光刻、材料改性等领域具有广泛的应用前景。
实用化266nm紫外激光器的研究
Ｋｅ ｒ ｓ ２ ６ ｎ ｕｔａ ｉｌ ｔ ｓ ｃ ｎ ａ ｍｏ ｉ ｇ ｎ ｒ ｔ ｎ；ｏ ｒ ａ ｏ ｉ ｇ ｎ ｒ ｔ ｎ ｙ ｗｏ ｄ ： ６ ｍ ｌ ｖ ｏｅ ；ｅ ｏ ｄ ｈ ｒ ｎ ｃ ｅ ｅ ａｉ ｆ ｕ ｔ ｈ ｒ ｎ ｃ ｅ ｅ ａｉ ｒ ｏ ｈ ｍ ｏ
中图分类 号 ：Ｎ ４ ． Ｔ ２８１ 文献标 识码 ： Ａ Ｄ ：０ ３ ６ ／．ｓｎ １０ —０ ８ ２ １ ．８ ０ ９ ＯＩ １ ． ９ ９ ｊｉ ． ０ １５ ７ ． ０ ２ ０ ． ０ ｓ
Ｓ ｕ ｙ ｏ ａ ｔｃ ｌ２ ６ ａ ｔ ａ ｉ ｌ ｔｌ ｓ ｒ ｔ ｄ ｎ ａ ｐｒ ｃ ｉａ ６ ｍ ｕｌｒ ｖ ｏ ｅ ａ ｅ
ＺＨＡＯ ｈ ｙ ｎ， ＡＯ ｅ， ＡＮＧ Ｓ ｕ— ｕ ＸＩ Ｌｉ Ｗ Ｘｕ ， ＺＨＡＮＧ ｉ ＬＩ Ｌｅ Ｃｈ ， Ｕ ｉ
（ｃｅｃ ｎ ｅｈ ｏ ｇ ｎＳ ｌ — ａ ａｅ ａｏａ ｒ ，ｅ ｉｇ１０ １ ，ｈｎ ） Ｓｉ ｅａｄＴ ｃｎ ｌ ｙｏ ｏｄｓ ｔ Ｌ ｓｒ ｂｒｔ ｙ Ｂ ｉｎ ０ ０ ５ Ｃ ｉａ ｎ ｏ ｉ ｔｅ Ｌ ｏ ｊ
第４ ２卷 第 ８期
２１ ０ ２年 ８月
激 光 与 红 外
Ｌ ＡＳＥＲ ＆ Ｉ ＮＦＲＡＲＥＤ
Ｖｏ ． １４２， ． Ｎｏ ８ Ａｕｇ ｓ ， ０１ ｕｔ２ ２
文 章 编 号 ：０ １５ ７ （ ０ ２ ０ －８３０ １０ — ８ ２ １ ） ８０ ８ －４ ０
波长短于250纳米的algan基深紫外led、紫外激光材料与器件关键技术
波长短于250纳米的algan基深紫外led、紫外激光材料与器件关键技术AlGaN基深紫外LED（Light Emitting Diode）以及紫外激光器材料与器件的关键技术一直是研究领域中的热点问题之一。
这些技术对于发展光电子器件、生物医学、材料科学等领域具有重要作用。
在本篇文章中，我们将探讨AlGaN基深紫外LED以及紫外激光器材料与器件关键技术的研究和应用。
AlGaN基深紫外LED的制备方法是关键技术之一。
AlGaN材料具有较大的禁带宽度和高的能隙，适合作为深紫外光发射材料。
目前，常用的方法包括金属有机化学气相沉积（MOCVD）和分子束外延（MBE）技术。
其中，MOCVD工艺相对简单，可实现大面积的均匀性生长，但存在材料质量和晶格匹配等问题，导致AlGaN材料中存在较高的缺陷密度。
而MBE技术具有较好的材料质量和晶格匹配性能，但设备成本较高，制备过程相对复杂。
提高AlGaN基深紫外LED的光电转换效率是关键技术之一。
目前，提高深紫外LED的发光效率主要通过改善材料质量和结构设计进行。
一方面，可以通过优化外延生长工艺、封控设备等手段来改善材料质量，减少晶格缺陷。
另一方面，通过引入新的结构设计，如引入光子晶体、晶格衬底等，可以改善光萃取效率和发光效率，进一步提高LED 的发光效率。
提高AlGaN基深紫外LED的长时间稳定性是关键技术之一。
AlGaN材料在深紫外光区域具有较高的反应性，容易发生电离退火、导致材料中的氢相位转变等问题。
这些问题会导致材料性能的退化或高密度缺陷的形成，影响LED的长时间稳定性。
因此，研究如何改善AlGaN材料的长时间稳定性，对于提高LED的使用寿命具有重要意义。
紫外激光器是一种重要的光电子器件，应用于光通信、光刻、生物医学等领域。
然而，由于紫外光的波长较短，制备高质量材料和设计高效的器件是制约紫外激光器发展的关键技术。
高质量AlGaN材料的制备是紫外激光器研究的关键技术之一。
紫外激光器的设计与制造研究
紫外激光器的设计与制造研究近年来，紫外激光技术的快速发展，使得其在生产制造、医疗、科研等领域中得到广泛应用。
而作为紫外激光器的核心部件，其设计和制造技术也日益成熟。
一、紫外激光器的设计紫外激光器的设计是基于激光的发射原理和器件的物理特性展开的。
其关键技术包括晶体的选择、光学元件的设计和能量分辨率的提高。
首先，在选择晶体时，需要考虑到它的特性参数和性能指标。
目前，常用的晶体包括氧化物晶体、氟化物晶体和硅化物晶体等。
其中，氧化物晶体的激光光谱相对较广，适用于多种应用场景，但其热导率相对较低；氟化物晶体的热导率较高，能够有效降低晶体温度，但板块性较差；硅化物晶体在紫外光谱范围内的性能表现突出，但相对较难生长。
因此，在实际应用中，需要根据具体的需求选择晶体。
其次，在光学元件的设计方面，主要涉及到腔体结构和反射膜的设计。
腔体结构是紫外激光器中最关键的组成部分之一，包括输出耦合式、自脉冲式、开放式等多个形式。
不同的腔体结构会对激光输出的稳定性、功率密度及波长稳定性产生影响。
而反射膜则是激光产生和放大的关键部分，其光学性能对激光器输出波长和能量有重要的影响。
最后，在能量分辨率的提高方面，需要采用特殊的措施对输出光束进行整形和矫正，以达到优化能量分辨率的目标。
此外，红外激光器的热源控制、噪音抑制、腔体温度控制等方面的技术也需要进行持续的研究和优化。
二、紫外激光器的制造紫外激光器的制造主要包括晶体材料的生长、光学元件的制备和激光器系统的组装等环节。
首先，在晶体材料的生长方面，主要采用熔融法和气相沉积法。
熔融法通常适用于硬晶体和半导体晶体的生长，包括Czochralski法、布里松法和液相外延法等，其优点在于晶体质量好，可拓晶度高。
气相沉积法则特别适用于薄膜的生长，包括物理气相沉积法和化学气相沉积法等，其优点在于能够生长非常薄的膜层，从而实现对激光器性能的精细调控。
其次，在光学元件的制备方面，主要包括透镜、反射镜和衍射光栅等光学元件的制造。
激光医疗技术的关键技术与研究进展报告
激光医疗技术的关键技术与研究进展报告声明：本文内容信息来源于公开渠道，对文中内容的准确性、完整性、及时性或可靠性不作任何保证。
本文内容仅供参考与学习交流使用，不构成相关领域的建议和依据。
一、激光设备的研发与创新激光医疗技术是一种利用激光器产生的高能量激光光束对人体进行治疗或手术的方法。
激光医疗技术具有精确性、无创伤和可控性等优势，已经在多个医学领域得到广泛应用。
而激光设备的研发与创新是推动激光医疗技术发展的重要因素。
目前，研究人员正在探索如何通过创新的技术手段实现对激光器功率和频率的精确调控，以满足不同治疗需求。
2、激光器的稳定性技术：激光器的稳定性对于激光医疗的安全性和效果至关重要。
通过研发新型材料、优化光学设计和控制技术等手段，可以提高激光器的稳定性，减少能量波动和频率漂移，从而提高治疗效果。
3、激光器的小型化和便携化技术：随着激光医疗技术的广泛应用，对激光器设备的便携化需求越来越高。
研究人员正在努力将激光器设备尺寸缩小，并提高其便携性，以方便在不同临床环境下进行激光治疗。
（一）激光光导技术的创新1、光纤激光器的研发：光纤激光器具有激光束输出稳定、光束质量好、易于集成等优点，被广泛应用于激光医疗领域。
目前，研究人员正致力于开发更高功率、更高效率的光纤激光器，以满足激光医疗的需求。
2、光纤光导技术的改进：光纤光导技术是将激光束通过光纤传输到患者体内进行治疗的关键技术。
研究人员正在改进光纤的材料和结构，提高光纤的传输效率和耐热性，以实现更精确的激光治疗。
3、光纤探针的设计与应用：光纤探针是将激光器输出的激光束引导到患者体内的装置。
研究人员正在设计新型的光纤探针，以适应不同部位和治疗目标的需求，并优化光纤探针的结构和材料，提高其稳定性和治疗效果。
（二）激光治疗参数的优化1、激光治疗参数的个体化：每个患者的情况各不相同，因此激光治疗参数的个体化非常重要。
研究人员正在开展临床研究，探索如何根据患者的病情和生理特征，优化激光治疗的功率、频率、持续时间等参数，以提高治疗效果。
科技成果——全固态纳秒级紫外激光器
科技成果——全固态纳秒级紫外激光器项目成熟阶段成熟期项目来源自筹成果简介紫外激光器在激光加工方面体现其独特的优势：紫外激光器的波长短，聚焦小，能实现精细加工；紫外激光器进行激光加工时直接破坏材料的化学键，是“冷”处理过程，热影响区小：大多数材料能有效地吸收紫外光，可加工许多红外和可见光激光器加工不了的材料。
全固态紫外激光器具有体积小、效率高、重复频率高，无需更换气体、无需掩模、易维护等优点。
因此它在生物工程、材料制备、全光光学器件制作，特别是集成电路板及半导体工业等激光加工领域获得了广泛的应用。
全固态纳秒级紫外激光器目前紫外激光器的发展非常迅速，瓦级功率以上高重频全固态激光器不断应用于加工，国内外研究机构和公司不断向更高功率（数十瓦级）、更高重频（几十甚至几百kHz）方向发展。
目前我们已经研制成功了5W、50kHz的紫外355nm激光器，脉宽25ns。
已经做成样机，性能稳定，用于LED蓝宝石晶圆裂片划线，划线深度达到200μm，线宽小于10μm，划痕光滑均匀，几乎无热影响区。
技术特点通过高效率端面泵浦结构方式得到基模红外1064nm激光，再经过多级放大结构，得到高功率的红外高光束质量基频光，再通过高效率变频技术，最后得到5W、50kHz、25ns脉冲紫外355nm激光。
光束质量因子M2<1.3，功率长期稳定性<±2%。
内部光学结构采用紫外胶光固化粘接，结构小巧牢靠，对环境适应程度高。
通过紫外显微物镜的聚焦，聚焦光斑直径在μm级别，加工尺寸小于10μm。
通过紫外激光器的开发，相应的也取得了更高功率的红外和绿光高光束质量激光技术。
专利情况目前国内外并无相关的专利限制，主要是在工艺实现难度比较高。
目前我们已取得专利8项。
市场分析紫外355nm激光器目前国际市场价格约为2万美元/W，中大功率全固态紫外激光器市场均被国外厂商占据。
据行业协会统计，2010年我国全固态紫外激光器市场销售额达到5亿元人民币，比2009年增长了25%。
紫外激光器研究进展及其关键技术
紫外激光器研究进展及其关键技术黄川 2120160620摘要：本文详细介绍了利用LD泵浦的紫外激光器产生紫外激光的非线性原理，并在此基础上介绍了在全固态紫外激光器中用到的倍频晶体的种类和各自的应用场景；介绍了近年来高功率固体紫外激光器研制的国内外进展情况，最后展望了高功率全固体紫外激光器研制的未来。
关键词：紫外激光；非线性光学；相位匹配1、引言因为紫外激光具有的短波长和高光子的能量特点，所以紫外激光在工业领域内具有非常广泛的应用。
在工业微加工领域内，相较于红外激光的热熔过程，紫外激光加工时的“冷蚀效应”可以使加工的尺寸更小，达到提高加工精度的目的。
另外，紫外激光器在生物技术，医疗设备加工，大气探测等领域也有广泛的应用。
一般而言，可以将紫外激光器划分为三类：固体紫外激光器，气体紫外激光器，半导体紫外激光器。
其中固体紫外激光器应用最为广泛的是激光二极管泵浦全固态激光器。
而利用激光二极管抽运的固体UV激光器相较于其他类型的紫外激光器而言，具有效率高，性能可靠，硬件结构简单的特点，因此应用最为广泛，基于LD抽运的全固态UV激光器也得到了迅猛的发展。
在实际的应用当中，实现紫外连续激光输出的方法一般是利用晶体材料的非线性效应实现变频的方法来产生。
产生全固态紫外激光的方法一般有两种：一是直接对全固体激光器进行3倍频或4倍频来得到紫外激光；另一种方法是先利用倍频技术得到二次谐波，然后再利用和频技术得到紫外激光。
相较于前一种方法，后者利用的是二次非线性极化率，其转换效率要高很多。
最常见的是通过三倍频和四倍频技术产生355nm和266nm的紫外激光。
下文将简单介绍紫外激光产生的非线性原理。
2、非线性频率转换原理2.1 介质的非线性极化激光作用在非线性介质上会引起介质的非线性极化，这是激光频率变换的非线性基础。
在单色的电磁波作用下，介质的内部原子，离子等不会发生本征能级的跃迁，但是这些离子的电荷分布以及运动状态都会发生一些变化，引起光感应的电偶极矩，这个电偶极矩作为新的辐射源辐射电磁波。
大功率全固态355nm紫外激光器研究
大功率全固态355nm紫外激光器研究一、本文概述随着科学技术的飞速发展，紫外激光器在科研、工业、医疗等领域的应用日益广泛，其中355nm波长的紫外激光器因其独特的物理特性在诸多领域表现出显著的优势。
特别是在高精度材料加工、生物医学研究、光电子器件制造等领域，大功率全固态355nm紫外激光器的需求日益迫切。
因此，开展大功率全固态355nm紫外激光器的研究，不仅具有重要的理论意义，也具有巨大的实际应用价值。
本文旨在深入研究大功率全固态355nm紫外激光器的设计、制造、性能测试等关键技术，并探讨其在实际应用中的可能性和挑战。
我们将首先回顾紫外激光器的发展历程，分析当前国内外在该领域的研究现状，并指出存在的问题和面临的挑战。
然后，我们将详细介绍大功率全固态355nm紫外激光器的设计原理和制造工艺，包括激光介质的选择、谐振腔的设计、泵浦方式的选择、热管理策略等关键技术。
在此基础上，我们将通过实验验证和优化激光器的性能，包括输出功率、光束质量、稳定性等关键指标。
我们将探讨大功率全固态355nm紫外激光器在各个领域的应用前景，以及未来研究方向和可能的技术突破。
本文的研究结果将为大功率全固态355nm紫外激光器的设计、制造和应用提供重要的理论支撑和实践指导，有望推动紫外激光器技术的发展和应用领域的拓展。
二、全固态355nm紫外激光器的基本原理与结构全固态355nm紫外激光器是一种基于固体增益介质和非线性光学晶体的高功率激光源。
其基本原理和结构涉及多个关键组成部分，包括泵浦源、增益介质、非线性光学晶体和谐振腔等。
泵浦源是全固态紫外激光器的能量来源，通常采用高功率的半导体激光器或光纤激光器。
泵浦光通过特定的光学系统被引入增益介质，以激发介质中的粒子跃迁至高能级，为后续的激光产生提供能量。
增益介质是激光器的核心部分，通常采用掺有稀土离子的晶体或玻璃材料。
在泵浦光的激发下，增益介质中的稀土离子发生受激辐射，产生与泵浦光波长不同的激光。
紫外激光器用途
紫外激光器用途概述紫外激光器是一种能够产生紫外光的激光器。
由于紫外光具有较短的波长和高能量，因此紫外激光器在许多领域都有广泛的应用。
本文将详细介绍紫外激光器的用途，并对其在不同领域中的应用进行深入探讨。
生物医学领域光谱分析紫外激光器在生物医学领域中广泛应用于光谱分析。
通过对样品进行紫外激光照射，可以得到样品吸收或发射的特定波长的光谱信息。
这种技术可以用于药物分析、蛋白质结构研究等方面。
免疫荧光检测紫外激光器还可以与荧光染料结合，实现生物标记和细胞成像。
通过将荧光标记分子与特定生物分子（如抗体）结合，可以通过观察其发射的特定波长的荧光来检测和定位特定细胞或分子。
这种技术被广泛应用于免疫组织化学、细胞生物学等领域。
激光手术紫外激光器在激光手术中也有重要的应用。
由于其较短的波长和高能量，紫外激光器可以用于切割和凝固组织，实现精确和无创的手术操作。
它可以用于角膜屈光手术、皮肤整形手术等。
工业制造领域光刻技术在集成电路制造中，紫外激光器被广泛应用于光刻技术。
通过使用紫外激光照射特定的光刻胶，可以在硅片上形成微小的图案和结构。
这种技术在芯片制造中起到至关重要的作用。
材料加工紫外激光器还可以用于材料加工。
由于其高能量和较短的波长，紫外激光器可以实现对材料的高精度切割、打孔和微细加工。
这种技术在电子元器件制造、精密仪器制造等领域有广泛的应用。
激光打印紫外激光器也可以应用于激光打印技术。
通过使用紫外激光束在感光材料上进行扫描，可以实现高分辨率和高速度的图像打印。
这种技术在印刷、制版等领域被广泛采用。
科学研究领域光谱分析紫外激光器在科学研究领域中的应用非常广泛。
通过对样品进行紫外激光照射，可以获得样品的吸收或发射的特定波长的光谱信息。
这种技术在化学、物理、生物学等研究中起到重要作用。
光电子显微镜紫外激光器还可以与电子显微镜结合，实现高分辨率和高对比度的图像获取。
通过将紫外激光束聚焦到样品表面，可以激发样品发射出特定波长的荧光或二次电子，从而获得更详细的表面形貌和组成信息。
无机紫外非线性光学晶体材料的研究进展
无机紫外非线性光学晶体材料的研究进展摘要：紫外（ＵＶ）（λ＜４００ｎｍ）非线性光学（ＮＬＯ）晶体材料，是全固态紫外激光器的核心部件，在许多新兴科学技术应用中具有独一无二的作用，广泛应用于光刻、光电谱图、激光光谱、生物物理以及激光药学等领域，被誉为光电行业的“芯片”．因此，亟需发展新的高性能ＵＶＮＬＯ材料来突破目前的性能壁垒．本文对无机紫外非线性光学晶体材料的研究进展进行分析，以供参考。
关键词：紫外非线性光学材料；功能基团；硼酸盐引言非线性光学材料,特别是无机紫外(λ<200纳米)领域,一直是材料科学的热点。
研究新材料的理论计算方法可以减少传统材料合成的不确定性,缩短实验周期,降低实验成本。
随着计算机、工作站和服务器性能的提高,基于计算机数值模拟的材料设计研究正在成为加速新材料开发过程的更有效方法。
基于先前对一系列非线性光学晶体结构特性的研究,人工养蜂算法首次预测了四种双折射率约为0.085的NaBeBO3结构。
其性能的初步评价原理表明,P63/m的切削侧比商用α-BaB2O4晶体低20nm;P-6相频率的增加与KH2PO4相当,而其结构显示出优异的生长特性;NaBeBO3可以用作无机紫外光学材料的替代品,具有潜在的应用。
1无机紫外NLO晶体的发展历程同位素具有丰富的化学结构,B原子可作为BO3和BO4两种编码方式使用,并进一步聚合成一维链、二维层和三维网,使同位素具有丰富的晶体结构。
因此,同位素是设计合成新型无机紫外线晶体材料NLO的首选系统。
基于阴离子群理论,BO3平面元件具有不对称的电子云分布,具有较大的微极化系数。
BO3平面元件的平行布置有利于获得较大的频率延伸效果和双折射率,这两个参数直接决定了材料激光转换效率和波长范围对应用频率的直接延伸。
在此基础上,陈尚田提出以BO3为主要结构单元,通过引入BeO3F四极元素来消除“悬挂式钥匙”,探索NLO无机紫外线晶体的新途径。
随后发现了RbBe2BO3F2(RBBF)和CsBe2BO3F2(CBBF)晶体。
紫外激光器工作原理
紫外激光器工作原理嘿，你晓得不？紫外激光器那可真是个神奇的家伙！它就像一个超级厉害的小魔法师，在各种领域大显身手。
咱先说说这紫外激光器到底是咋工作的呢。
简单来讲，它就像是一个精准的射手，发射出特定波长的紫外光。
这紫外光可不得了，能量超强，能在各种材料上雕刻出精细的图案，或者进行高精度的切割。
你想想看，普通的激光器就像是一把大斧头，虽然也能砍东西，但比较粗糙。
而紫外激光器呢，就像是一把小巧玲珑的手术刀，能够精准地切割和雕刻，一点都不马虎。
紫外激光器里面有很多神秘的部件呢。
有激光晶体，就像一颗闪闪发光的宝石，它能产生激光的种子。
还有泵浦源，就像是一个大力士，给激光晶体提供能量。
这些部件相互配合，就像一个默契的团队，共同创造出强大的紫外激光。
那紫外激光是怎么产生的呢？这可就有点复杂啦。
首先，泵浦源发出强光，照射到激光晶体上。
激光晶体就像一个兴奋的孩子，吸收了这些能量，然后开始发出微弱的激光。
接着，这些微弱的激光在激光器的谐振腔里来回反射，不断增强。
就像一群人在一个大房间里唱歌，声音越来越大。
最后，强大的紫外激光就从激光器的输出口射出来啦。
你可能会问，这紫外激光有啥用呢？用处可多啦！在电子行业，它可以用来加工手机屏幕、电路板等精密部件。
就像一个细心的工匠，把这些部件打造得完美无缺。
在医疗领域，它可以进行微创手术，对人体的伤害非常小。
就像一个温柔的医生，轻轻地为病人治疗疾病。
在工业领域，它可以切割各种坚硬的材料，比如金属、陶瓷等。
就像一个勇敢的战士，攻克一个又一个难题。
而且啊，紫外激光器的精度非常高。
它可以在头发丝那么细的地方进行雕刻，简直让人惊叹不已。
这就像一个超级画家，能够画出最细腻的线条。
你再想想看，如果没有紫外激光器，我们的生活会变成啥样呢？很多高科技产品可能就无法制造出来啦。
手机屏幕可能就没有那么清晰，电路板可能就没有那么精密。
医疗手术可能就没有那么安全，工业生产可能就没有那么高效。
总之，紫外激光器是一个非常神奇和重要的工具。
紫外激光器的发展及应用讲解
紫外激光器的发展及应用作者姓名:陈跃汉 081011136完成时间:2010年05月摘要:录了随着光电子技术的发展中紫外激光器的革命过程以及最新激光仪器,不同的激光仪器各有千秋,避免了上代仪器的缺点,以高重复率激光器和高功率激光器为例,分别代表了两种不同的脉冲激光器产品。
多年来紫外激光由气体激光器到固体激光器产生了一大飞跃,目前人们广泛使用的对宽禁带半导体进行打标的高重复率紫外激光器对半导体工业市场产生了巨大的影响。
未来科学家将努力把纳米技术运用到微型光电器件的组成中。
关键词:紫外激光器高重复率激光器高功率激光器宽禁带半导体紫外激光器的产生源于光电子技术的产生以及发展,首先从它的原理来说,紫外光波之所以优于红外光波以及可见光波主要是由于紫外激光可以直接破坏连接物质原子组分的化学键加工物质而不会破坏周围环境。
而以准分子激光器和离子激光器为代表的气体激光器是很多年来运用广泛对工业技术具有很大影响的紫外激光。
近十年中用激光二极管抽运的固体激光器技术不仅提高了功率,优化了模式质量而且使方向稳定性更加长期。
在一些工业中符合高重复率的紫外激光器要数对宽禁带半导体进行打标的紫外激光器,它避免了对晶片的微创。
当然激光二极管抽运的固体激光器还有体积小易操作等多种优点。
而科学家们更想在性能和体积上优化电子设备,所以纳米技术无疑成为了最好了选择。
本文主要介绍紫外激光器的原理以及常用的激光器,紫外激光器的优良性能,激光器的发展以及最新的激光器产品。
1 紫外激光器的原理除自由电子激光器外,各种激光器的基本工作原理均相同,产生激光的必不可少的条件就是离子数反转或者增益大于损耗,所以装置中必不可少的组成部分有激励(或抽运源、具有亚稳态能级的工作介质两个部分。
激励是工作介质吸收外来能量后激发到激发态,为实现并维持粒子数反转创造条件。
激励方式有光学激励、电激励、化学激励和核能激励等。
激光工作物质是指用来实现粒子数反转并产生光的受激辐射放大作用的物质体系,有时也称为激光增益媒质,它们可以是固体(晶体、玻璃、气体(原子气体、离子气体、分子气体、半导体和液体等媒质。
影响紫外光通信系统发展的关键技术
影响紫外光通信系统发展的关键技术影响紫外光通信系统的发展的关键技术主要包括发射接受器件的研究、信道模型的的研究以及调制解调、编码解码、检测等方法的研究。
在紫外光通信系统中，由于大气中臭氧的强烈吸收作用，所以需要具有性能好、功率高、调制性能好的发射光源。
光学通信系统一般可采用的紫外光源一般可分为紫外线灯和紫外线激光器两大类。
紫外线灯常见的有：高、低压充气汞灯，紫外线卤化物灯等。
此类光源具有价格便宜、功率大(可以达到数十瓦和上万瓦)等特点。
由于紫外气体灯存在易碎、寿命短的缺点，人们开始将日光转向固体发光光源。
处于绝对日盲区的紫外激光器主要有准分子KrF (248nm)激光器和Nd：YAG四倍频激光器(266nm)。
激光器相对气体光源而言，具有坚固耐用的显著优点。
但它并不适用于低成本、低损耗、低功耗的应用场合。
并且这种激光器还有转换效率低、价格昂贵、使用寿命短、脉冲重复周期对温度敏感以及不易低压高速驱动等缺点。
此外，功率较大的紫外激光器不仅十分昂贵，体积较大，而且技术尚不成熟。
如果希望进行非视距、非定向自由空间通信，尚不能满足要求。
由于需要具有性能好、功率高、调制性能好的发射光源，半导体紫外光源计划应运而生。
美国国防高级研究计划局(DARPA)启动了研制可变波长(包括日盲光谱)的晶体管紫外光发射器的项目，其目标是研制用于隐秘非视距紫外光通信的紫外收发器。
目前，SUVOS计划已经成功研制波长为340nm及以上波段的紫外发光二极管。
紫外探测器是接收机最为重要的器件，其主要功能是完成紫外光信号到电信号的转换。
对于非视距的紫外光通信，理想的探测器应该有较大的探测面积、较高的增益和带宽、高的透过率、极低的暗电流密度和“日盲”功能。
日盲型紫外光电倍增管由于具有大的探测面积、较高的增益、低的暗电流并且功率消耗约1OOmW ，因此得到了广泛的应用。
然而即使当前最高新技术的PMT 体积也比半导体探测器大很多，而且价格也是它的上千倍。
紫外激光器研究进展及其关键技术讲解
紫外激光器研究进展及其关键技术黄川摘要：本文详细简介了运用LD泵浦旳紫外激光器产生紫外激光旳非线性原理，并在此基础上简介了在全固态紫外激光器中用到旳倍频晶体旳种类和各自旳应用场景；简介了近年来高功率固体紫外激光器研制旳国内外进展状况，最终展望了高功率全固体紫外激光器研制旳未来。
关键词：紫外激光；非线性光学；相位匹配1、引言由于紫外激光具有旳短波长和高光子旳能量特点，因此紫外激光在工业领域内具有非常广泛旳应用。
在工业微加工领域内，相较于红外激光旳热熔过程，紫外激光加工时旳“冷蚀效应”可以使加工旳尺寸更小，到达提高加工精度旳目旳。
此外，紫外激光器在生物技术，医疗设备加工，大气探测等领域也有广泛旳应用。
一般而言，可以将紫外激光器划分为三类：固体紫外激光器，气体紫外激光器，半导体紫外激光器。
其中固体紫外激光器应用最为广泛旳是激光二极管泵浦全固态激光器。
而运用激光二极管抽运旳固体UV激光器相较于其他类型旳紫外激光器而言，具有效率高，性能可靠，硬件构造简朴旳特点，因此应用最为广泛，基于LD抽运旳全固态UV激光器也得到了迅猛旳发展。
在实际旳应用当中，实现紫外持续激光输出旳措施一般是运用晶体材料旳非线性效应实现变频旳措施来产生。
产生全固态紫外激光旳措施一般有两种：一是直接对全固体激光器进行3倍频或4倍频来得到紫外激光；另一种措施是先运用倍频技术得到二次谐波，然后再运用和频技术得到紫外激光。
相较于前一种措施，后者运用旳是二次非线性极化率，其转换效率要高诸多。
最常见旳是通过三倍频和四倍频技术产生355nm和266nm旳紫外激光。
下文将简朴简介紫外激光产生旳非线性原理。
2、非线性频率转换原理2.1 介质旳非线性极化激光作用在非线性介质上会引起介质旳非线性极化，这是激光频率变换旳非线性基础。
在单色旳电磁波作用下，介质旳内部原子，离子等不会发生本征能级旳跃迁，不过这些离子旳电荷分布以及运动状态都会发生某些变化，引起光感应旳电偶极矩，这个电偶极矩作为新旳辐射源辐射电磁波。
第三代半导体固态紫外光源材料及器件关键技术
第三代半导体固态紫外光源材料及器件关键技术随着新能源、新材料和电子信息技术的发展，紫外光源材料和器件的应用越来越广泛。
新一代的半导体固态紫外光源材料及器件具有低成本、低能耗、高性能和高可靠性等显著优势，已成为紫外光源领域的新领袖。
本文旨在介绍第三代半导体固态紫外光源材料及器件的关键技术。
1.紫外光源材料紫外光源材料是外光发射器件的最重要组成部分。
第三代半导体固态紫外光源材料主要有二维材料、量子点和金属氧化物，它们具有调节发射光谱宽度、外观和提高发光效率等优势。
二维材料就是类似于二维面，使用不同结构的半导体材料，具有良好的可操作性和量子效率。
例如，石墨烯是一种两维材料，可以制备多种用于发射紫外光的石墨烯复合材料，用于紫外光发射器件。
量子点结构主要有锌镓硫磷(ZnGa2S4)和铝镓硫磷(AlGa2S4)两种形式。
它们具有良好的紫外发光效率，可操作性和宽的发射光谱宽度，能生成强大的紫外光。
金属氧化物也可以用作紫外光源材料，其代表材料有氧化铝铝(Al2O3)、氧化镁锰(MgO)和氧化铌酸锰(MnO2)等。
金属氧化物具有高紫外光发射效率、可操作性等优点，可以实现高亮度的紫外光发射。
2.紫外光源器件紫外光源器件是一种将能量转换为紫外光的器件，它有多种形式，如紫外发射二极管、光电晶体管、量子点器件和金属氧化物器件等。
紫外发射二极管是紫外光源器件的主要类型，它们可以将电能转换为紫外光，并具有低功耗、高效率、稳定性好等优点，可广泛应用于电子行业和光学领域。
光电晶体管是一种可以将电能转换为紫外光的二极管，由于它可以实现紫外和可见光的同步发射，因此具有很好的可操作性和可靠性。
量子点器件是一种用于发射紫外光的新型器件，它能有效地将电能转换为紫外光，并具有极高的紫外发射效率，可操作性好，比传统的紫外发射器件更加可靠，有利于实现紫外光发射节能减排。
金属氧化物器件是一种用于发射紫外光的新型器件，它具有高可操作性、高紫外发射效率、低能耗的优点。
索双光束紫外可见分光光度计的新技术和创新
索双光束紫外可见分光光度计的新技术和创新索双光束紫外可见分光光度计是目前化学分析领域中的一种先
进仪器。
它通过分析样品在紫外和可见光区域吸收光线的程度，从而确定样品中的化学成分。
在最近的几年中，这种仪器得到了广泛的应用，并且不断有新的技术和创新出现。
新技术之一是采用了更高的灯源功率。
这种新的灯源可以产生更强的光线，从而使分析结果更加准确。
同时，这种灯源可以降低仪器的噪声水平，提高其信噪比，使得在低浓度的样品中仍然可以获得可靠的分析结果。
另一个新技术是使用了更高的分辨率检测器。
这种检测器可以分辨出更细微的光谱变化，从而提高了分析的精度和准确性。
这种新技术的应用可以在样品的谱图中看到更多的细节，从而更好地了解样品的组成和结构。
此外，还有一些创新的应用，如自动化的样品制备和分析过程、在线数据处理和分析、以及与其他仪器的无缝集成等。
这些创新应用可以使索双光束紫外可见分光光度计在化学分析领域中扮演更加重
要的角色。
综上所述，索双光束紫外可见分光光度计的新技术和创新不断涌现，使得这种先进仪器在化学分析领域中的应用变得更加广泛和重要。
这些技术和应用的发展，将为化学分析提供更加精确和可靠的工具，为科学研究和工业生产带来更多的福利。
- 1 -。
索双光束紫外可见分光光度计的新技术和创新
索双光束紫外可见分光光度计的新技术和创新新技术和创新在科学领域中起着至关重要的作用，索双光束紫外可见分光光度计也不例外。
这种仪器通过独特的设计和创新，为科学研究和实验提供了更高效、准确的方法。
本文将探讨索双光束紫外可见分光光度计的新技术和创新。
索双光束紫外可见分光光度计的新技术在光路设计方面进行了重大突破。
传统的紫外可见分光光度计使用单光束设计，即将样品和参比溶液分别放置在两个光路中进行测量。
然而，这种设计存在一个问题，即样品和参比溶液可能在光路中经过不同的路径，导致测量结果的不准确性。
为了解决这个问题，索双光束紫外可见分光光度计采用了双光束设计，即样品和参比溶液同时通过同一光路进行测量。
这种设计确保了样品和参比溶液在相同的光路条件下进行测量，避免了路径差异对测量结果的影响，提高了测量的准确性。
索双光束紫外可见分光光度计的新技术在光源方面进行了创新。
传统的紫外可见分光光度计使用氘灯作为紫外光源，而使用钨灯作为可见光源。
然而，氘灯对紫外光的发射强度较低，而钨灯对可见光的发射强度较低，这限制了传统光度计的灵敏度和测量范围。
为了克服这个问题，索双光束紫外可见分光光度计采用了新型的光源，如氙灯或LED。
这些新型光源具有更高的发射强度和更广泛的波长范围，使得光度计能够测量更低浓度的样品和更广泛的波长范围。
索双光束紫外可见分光光度计的新技术还包括样品室的创新设计。
传统的光度计样品室通常采用光学玻璃或石英材料制成，但这种材料对紫外光的透射率较低，限制了紫外光的测量范围。
为了解决这个问题，索双光束紫外可见分光光度计采用了新型的样品室材料，如镀膜石英或镀膜硅。
这些材料具有更高的紫外光透射率，扩展了紫外光的测量范围。
索双光束紫外可见分光光度计的新技术还包括数据处理方面的创新。
传统的光度计通常使用电压信号来表示光强度，而索双光束紫外可见分光光度计采用了数字信号处理技术，将光强度转换为数字信号进行处理。
这种数字信号处理技术不仅提高了数据的精确度和稳定性，还使得数据的处理和分析更加方便和快捷。
紫外激光器原理
紫外激光器原理
目前工业用的固体紫外激光器一般是指纳秒级的输出紫外光的激光器，二极管泵
浦的全固态紫外激光器具有效率高、重频高、性能可靠、体积小、光束质量较好及功率稳定等特点。
由于紫外光子能量大，难以通过外激励源激励产生一定高功率的连续紫外激光，故实现紫外连续波激光一般是应用晶体材料非线性效应变频方法产生。
紫外激光器是利用倍频技术得到二次谐波然后再利用和频技术得到紫外激光谱线。
晶体倍频可实现连续紫外激光，其光束形状为高斯型，所以光斑呈圆形，能量从中心到边缘逐渐下降。
由于波长短和光束质量限制，光束可以聚焦在10微
毫米量级范围。
紫外激光器是由核心808nm波长模块通过一倍频晶体变成1064nm波长，通过二倍频晶体波长改变成532nm绿光，通过三倍频晶体波长改变为355nm紫外。
紫外激光器原理
紫外激光器原理引言：紫外激光器是一种利用紫外光作为工作波长的激光器。
它具有波长短、束斑小、能量密度高等优点，被广泛应用于科学研究、光谱分析、材料加工等领域。
本文将对紫外激光器的原理进行详细介绍。
一、激光的基本原理激光是指具有高度相干性、高亮度、高直线度和高单色性的光束。
激光的产生需要具备三个基本条件：激活物质、泵浦源和光腔。
1. 激活物质激活物质是激光器中产生激光的介质。
对于紫外激光器来说，常用的激活物质有氩气、氙气、铜蒸汽等。
这些物质在受到能量激发后，会产生受激辐射，从而发射出具有特定波长的光。
2. 泵浦源泵浦源是提供能量给激活物质的装置。
通常采用光电池、氙灯等作为泵浦源，将能量输入到激活物质中，使其处于激发态。
3. 光腔光腔是激光器中光放大的空间。
光腔中有两个镜子，一个是透明的输出镜，另一个是高反射镜，它们构成了一个光学谐振腔。
当激活物质处于激发态时，光在光腔中来回反射，逐渐增强，最终形成激光。
二、紫外激光器的原理紫外激光器与其他激光器的原理基本相同，主要区别在于激活物质和波长。
1. 激活物质紫外激光器常用的激活物质有氩气和氙气。
当氩气或氙气受到泵浦源的能量激发后，原子或分子处于激发态，随后会通过受激辐射的方式发射出紫外光。
2. 波长紫外光的波长范围一般为10纳米至400纳米，属于电磁波谱中波长最短的部分。
紫外光的波长比可见光和红外光更短，因此具有更高的能量密度和更小的束斑。
3. 工作方式紫外激光器的工作方式可以分为连续波和脉冲波两种。
连续波紫外激光器可以持续产生紫外光，适用于需要连续工作的应用；脉冲波紫外激光器则以脉冲的形式输出紫外光，适用于需要高能量瞬时作用的应用。
4. 应用领域紫外激光器在科学研究、光谱分析和材料加工等领域都有广泛应用。
在科学研究中，紫外激光器常用于光谱探测、原子分析等实验中；在光谱分析中，紫外激光器可以用于药物检测、环境监测等领域；在材料加工中，紫外激光器可以用于微纳加工、激光打标等工艺。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
紫外激光器研究进展及其关键技术黄川 2120160620摘要：本文详细介绍了利用LD泵浦的紫外激光器产生紫外激光的非线性原理，并在此基础上介绍了在全固态紫外激光器中用到的倍频晶体的种类和各自的应用场景；介绍了近年来高功率固体紫外激光器研制的国内外进展情况，最后展望了高功率全固体紫外激光器研制的未来。
关键词：紫外激光；非线性光学；相位匹配1、引言因为紫外激光具有的短波长和高光子的能量特点，所以紫外激光在工业领域内具有非常广泛的应用。
在工业微加工领域内，相较于红外激光的热熔过程，紫外激光加工时的“冷蚀效应”可以使加工的尺寸更小，达到提高加工精度的目的。
另外，紫外激光器在生物技术，医疗设备加工，大气探测等领域也有广泛的应用。
一般而言，可以将紫外激光器划分为三类：固体紫外激光器，气体紫外激光器，半导体紫外激光器。
其中固体紫外激光器应用最为广泛的是激光二极管泵浦全固态激光器。
而利用激光二极管抽运的固体UV激光器相较于其他类型的紫外激光器而言，具有效率高，性能可靠，硬件结构简单的特点，因此应用最为广泛，基于LD抽运的全固态UV激光器也得到了迅猛的发展。
在实际的应用当中，实现紫外连续激光输出的方法一般是利用晶体材料的非线性效应实现变频的方法来产生。
产生全固态紫外激光的方法一般有两种：一是直接对全固体激光器进行3倍频或4倍频来得到紫外激光；另一种方法是先利用倍频技术得到二次谐波，然后再利用和频技术得到紫外激光。
相较于前一种方法，后者利用的是二次非线性极化率，其转换效率要高很多。
最常见的是通过三倍频和四倍频技术产生355nm和266nm的紫外激光。
下文将简单介绍紫外激光产生的非线性原理。
2、非线性频率转换原理2.1 介质的非线性极化激光作用在非线性介质上会引起介质的非线性极化，这是激光频率变换的非线性基础。
在单色的电磁波作用下，介质的内部原子，离子等不会发生本征能级的跃迁，但是这些离子的电荷分布以及运动状态都会发生一些变化，引起光感应的电偶极矩，这个电偶极矩作为新的辐射源辐射电磁波。
一般来说，我们用介质的电极化矢量P描述介质的极化，在入射光较弱的情况下，P与入射光场E成线性关系：（2-1）其中，E为电场强度，χ(1为线性极化系数，ε0为真空中的介电常数。
如果入射光强很大时，电极化矢量P与电场强度E不再成简单的线性关系，而是呈现出一种非线性关系：（2-2）上式中，χ(2，χ(3分别为为二阶非线性极化率和三级非线性极化率。
非线性极化项的引入会导致广播的频率发生改变。
在这里假设有两书入射光，光波方程如下所示：当两束光入射到介质上，会引起介质的非线性极化，产生的极化强度为：由于电场强度具有二次项，因此会引入很多新的频率成分。
从上式可以看出，上述的频率成分中包括倍频，和频，差频等。
因此当不同频率的两束光波入射到非线性介质上时，极化产生的光波中不仅包括基频光，还存在倍频，和频以及差频的成分。
下面简述了光倍频和和频，差频的原理。
2.2 非线性晶体选择非线性是实现激光非线性频率变换的物质基础，满足实际应用场景的非线性晶体应该具备几个条件：透明波段宽，有效非线性光学习书大，最佳相位匹配角恰当，性能稳定，大的接收角度以及大带宽，生长工艺简单，价格较低。
基于这些条件下，非线性晶体也得到了广泛的研究。
下面介绍几种常用的高功率紫外激光非线性晶体。
2.2.1 LBO晶体LBO(L i B3O5晶体是由中科院研制的一种新型非线性光学晶体。
属于正交晶系，负双轴晶体。
这种晶体具有不易潮解，透明波段范围宽的特点，其光学均匀性高，接受角度宽，离散角小，激光损伤阈值高，可以实现非临界相位匹配，因此被广泛应用于和频和差频等领域。
2.2.2 BBO晶体BBO（B aB2O4）晶体是中科院研发的一种激光晶体。
该晶体具有大的双折射效率以及较低的色散，具有较高的激光损伤阈值，相位匹配范围宽，温度稳定性好，接收角较小，而相对的离散角大，因其轻微的潮解特性通常需要镀膜保护。
同样广泛应用于紫外激光倍频，三倍频以及四倍频等。
2.2.3 CLBO晶体CLBO（CsLiB6O10）晶体是由日本大阪大学研制的一种优良的紫外激光非线性晶体。
该晶体属四方晶系，负单轴晶体，相对于LBO和BBO晶体而言，CLBO警惕的生长较为容易，但是同样具有易潮解的特点，因此需要长期保存在温度高的干燥环境下或者是密封使用，因此在商业领域中还没有得到应用。
2.2.4 CBO晶体CBO(CsB3O5晶体是中科院研制的一种紫外激光非线性晶体。
这种晶体具有激光损伤高阈值的特点，并且较高的透过率，其非线性光学系数相较于其他类型的晶体而言较大同时离散角较小，满足紫外激光频率变换的基本条件，但是目前还没有在商业领域内广泛投入使用。
2.2.5 KBBF晶体KBBF（KBe2BO3F2）晶体是中科院研制的一种性能优异的非线性晶体，负单轴晶体。
其紫外透光范围宽，可以输出六倍频深紫外激光，在实现深紫外激光输出的领域中具有非常重要的应用前景、2.3 非线性频率变换方式倍频有两种方式：腔内倍频以及腔外倍频。
腔内倍频是顾名思义是晶体置于腔内的倍频方式，腔内倍频的方式相对而言可以获得较高的转换效率。
腔内倍频的方式对非线性晶体具有一定的要求，倍频晶体需要具有好的光学均匀性，较高的透过率以及良好的导热性，同时要求采用适当的方式来进行温控。
另一种倍频方式腔外倍频是将晶体放在谐振腔外进行倍频的方式。
在这种倍频方式中，可以通过调Q来提高倍频转换效率。
当激光脉冲的长度越短，其产生的峰值功率密度越高，因此采用小的光脉冲宽度会提高倍频转换效率。
3、全固态紫外激光器的研究进展产生全固态紫外激光的方法一般有两种：一是直接对全固体激光器进行3倍频或4倍频来得到紫外激光；另一种方法是先利用倍频技术得到二次谐波，然后再利用和频技术得到紫外激光。
相较于前一种方法，后者利用的是二次非线性极化率，其转换效率要高很多。
而目前市场研发的全固态紫外激光器主要才用的是后一种方式，产生355nm和266nm的激光，下文中将重点介绍这两种紫外激光器的发展现状。
3.1 355nm全固态紫外激光器2001年，美国Spectra-physics公司采用LD双端面抽运，腔内倍频的方式，采用Nd：YVO4双棒串接作为基频源，采样I类和II类相位匹配的LBO作为三倍频以及和频晶体，在104W的功率条件下，获得了功率为12W，脉宽为17-75ns 的355nm紫外激光输出。
2005年，中科院理化研究所和物理研究合作研发了一套紫外激光器。
才用的是外腔倍频的方式，利用LBO作为倍频晶体，CBO作为三倍频晶体，其中CBO晶体才用的是II类相位匹配，通过140W，70ns的基频光波和频，获得了最高输出位17W的355nm的紫外激光输出，比同尺寸的LBO晶体拥有更好的性能，但是其转换效率略低，约为12% 。
2006年，Coherent公司采用同样端面抽运Nd：YVO4的结构，波长为1064nm 的基频激光通过放大后输出，利用I类相位匹配LBO倍频产生532nm的倍频激光，该倍频光经过II类相位匹配LBO和频得到355nm的三倍频光输出。
最后获得了3最高输出功率为36W，脉宽为31ns的355nm激光，并且具有很高的转换效率，达到了44%。
2008 年，日本大阪大学研发了大于100W的最高输出功率的355nm紫外激光输出。
通过利用MOPA结构的Nd：YAG激光器，得到了300W的基频光，。
在此基础上，通过I类相位匹配的LBO背叛，II类相位匹配的CBO和频，最后得到了输出功率为103W，脉宽为58ns的355nm紫外激光输出，其转换效率约为34.9%。
2009年，Coherent公司研发了一款平均功率为160W的355nm的紫外激光输出。
该激光器为内腔倍频结构，腔内还有两组侧面抽运的Nd：YAG双棒串接，同时腔内插入两个Q开关实现调Q。
采用I类非临界相位匹配LBO进行倍频，之后采用II类相位匹配LBO进行和频得到三倍频激光。
在2..7KW抽运下，得到了160W平均功率的355nm紫外激光输出。
2010年，山东大学晶体材料国家重点实验室采用LD端面泵浦YAG晶体并通过声光调Q腔内三倍频获得高功率准连续355nm激光输出。
在泵浦功率180W时，获得平均功率7.8W的355nm激光输出，其光一光转化效率为4.3%。
同年，清华大学精密仪器系摩擦学国家重点实验室光子与电子技术研究中心柳强、闰兴鹏等报道了平均功率为43 W，脉冲宽度为10.7 ns，峰值功率和单脉冲能量高达67kW和0.716mJ，激光光束质量MZ<1.5的355nmUV激光。
2012年，华北光电技术研究所采用大功率LD端面泵浦Nd:YV04晶体，声光调Q及腔外和频方式获得稳定的355 nm紫外激光。
在泵浦功率为32.3W时，得到15.9 W 1064 nm连续基频激光输出，光一光转化效率49%。
在20 kHz调制频率下，得到1.45W 355 nm紫外激光。
3.2 266nm全固态紫外激光器2000年，日本三菱公司和大阪大学合作研发了输出功率为20W的266nm的紫外激光器。
该激光器采用532nm激光器作为基频光，在100W输出功率，80ns脉宽下，通过I类相位匹配CLBO晶体进行倍频得到266nm紫外激光输出。
105.8W功率的532绿光倍频得到了输出功率为20.5W的266nm的紫外激光输出，其转换效率为19.4%。
2003年，同样是该小组利用同样的结构将输出功率提升到了23W。
2007年，该小组利用CLBO晶体作为倍频晶体，得到了27.9W输出功率的266nm紫外激光。
2006年，中科院物理研究所研发了输出功率为28.4W的266nm紫外激光输出。
采用功率为120W，脉宽为80ns的532nm绿光激光作为基频光，采用I类相位匹配CLBO晶体倍频，最后得到了输出功率为28.4W的266nm紫外激光输出，转换效率达到了24.7%。
4、总结与展望随着工业市场对高功率的全固态紫外激光器的性能的需求不断加深，作为其中关键技术部分的新型非线性材料不断涌现，性能也是日新月异，就目前而言，其最高输出功率已经达到了100W的量级，而这个数字同时在不断的刷新。
在输出功率不断提高的同时，带来的一些问题也就亟待解决：非线性光学晶体的抗损伤问题，紫外激光的转换效率，光束质量以及光学晶体的寿命等问题。
想要进一步提高高功率的全固态紫外激光器的性能，这些问题都是未来的研究工作中必须要解决的。
4、参考文献[1]杜秀兰，吴峰.固体激光器的灯泵浦和二极管泵浦方式比较.应用光学.2004,25(3 : 37-40[2]王路威.固体激光器[J].成都大学学报.2002, 21(3: 4043[3]高兰兰，檀慧明.LD泵浦全固态355nm紫外脉冲激光器.半导体光电.2003, 24 (2:94-96[4」周城.半导体激光器泵浦266nm紫外固体激光器的实验研究:[硕士学位论文].长春:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，2003[5]李林，李正佳，何艳艳.全固态紫外激光器研究进展.激光杂志.2005,26(6[6〕王杨，符史干，薛峰等.紫外激光特性参数与医用生物学软组织消融应用.现代测量与实验室管理.2007, 5:5-9[7]唐娟，廖健宏，蒙红云等.紫外激光器及其在激光加工中的应用.激光与光电子学进展.2007, 44 (8 : 52-56[8〕俞君，曾智江，朱三根等.紫外激光在微细加工技术中的优势研究.红外.2008, 29 (6:9-13[9]柳强，闰兴鹏，陈海龙等.高功率全固态紫外激光器研究新进展.中国激光.2010, 37(9: 2289-2298。