烧结炉

DO12.500-300-FF-HTO-N2/Air-CANtrol

目录

1. 安全

2. 炉体结构

3. 功能

4. 操作

5. 故障处理

6. 维护

7. 零件更换

1.危险的三个级别

注意（Attention）潜在危险环境有可能导致轻微人身伤害。同时指示相关于财产损伤的警告。

警告（Warning）潜在危险环境有可能导致严重的潜在人身伤亡

危险（Danger）瞬时危险有可能导致严重人身伤亡。

2. 炉体结构

烧结炉结构

炉体参数

干燥区的长度5900mm，最高设定温度为500℃。

烧结区的长度2150mm，1 – 4区最高设定温度650℃，

5、6 两区最高设定温度1000℃.

冷却区的长度3500mm。

最大带速为6000mm /min.

HTO加热区

HTO加热装置HTO加热区

烧结区 FF 烧结区 FF 冷却区冷却区空气加热区 4

加热区 3 加热区 2 加热区 1

废气抽气装置

驱动系统

驱动马达

CAN 控制系统

3 烧结炉的功能

干燥区功能:干燥最后应用的浆料,燃尽浆料内有机组分。

烧结区功能:通过高温烧结将浆料渗透入硅片表面，形成电极。 冷却区功能:冷却传送带和硅片,保证测试温度符合要求。

4. 操 作

辅助介质 :

(1) 打开冷却水阀 (2)打开压缩空气阀 (3)打开总电源开关 设备开机操作

(1)开启设备PC 电源，CT Visual 软件自动运行 。(2)点击“Login ”按钮。

(3)选择用户并输入密码

(4)在导航条上，点击“Load recipe ”按钮

(5)选择相应配方并按“OK ” 确定。升温时按三步升温步骤升温。

(6)手动操作面板上，设置钥匙开关“Drive OFF/ON ”、“Heating FF

OFF/ON ” 以及“Heating HTO OFF/ON ”至位置“I ”。

(7)点击“Alarms”标签上“Only show alarms”区域表格只列出未确认的警报，查看警报信息。

(8)点击“Drive/heating reset”标签上的“Reset”、“Confirm/horn”标签上的“Confirm disturbance”按钮和“Horn OFF”按钮。来确认警报讯息

(9)退出用户操作

参数保存

1、点击“ Save recipe”按钮。

2、输入要保存的文件名及对文件名的描叙，点击“OK”按钮

工艺参数及设备参数的设置

菜单

1. 用户登入 10. 信号灯

2. 用户退出 11. 设备状态

3. Windows 主菜单 12. 选项菜单

4. 用户名称 13. 温度曲线菜单

5. 参数保存菜单 14. 警报菜单

6. 参数下载菜单 15. 参数设定菜单

7. 工艺名称 16. 冷却系统菜单

8. 工艺描叙 17. 气体供应菜单

9. 打印菜单 18. 加热设定菜单

干燥区工艺参数设定

烧结区工艺参数设定

设备参数设定

干燥区加热管功率输出设置

烧结区加热管功率输出设置

传送带速度设定

热空气风扇速度设定

烧结炉开机升温

为了延长烧结炉加热管寿命，升温按三步升温原则，不可直接运行工艺温度。

第一步运行 lingyang100-300-3000 升温工艺

第二步运行 lingyang200-600-3000 升温工艺

第三步运行生产工艺

烧结炉降温

1. 长时间不生产时，应该降低炉温，降温的步骤是上述的第二步，第一步。

2. 烧结炉关机降温应该运行 lingyang-01 降温工艺。

3. 烧结炉出现故障（冷却水温高，瞬间断电、断气等）时应该立即运行lingyang-01降温工艺，以防止烧结炉受到不必要的损伤

烧结炉参数更改

1. 变更烧结炉温度参数时，温差范围不可一次超过50℃，否则机器会发生报警。调节温差范围较大时可以分步进行。

2. 非设备负责人指定人员不可以变更设备内部设备参数，以免损伤设备

3. 烧结炉外部的冷却水流量，出水报警温度，压缩空气压力和流量不可以变更，以免烧结炉受到不必要的损伤。

注意

烧结炉冷却水温度在15℃—25℃（与PECVD对应）。当PECVD因为冷却水过高而停机时，禁止向烧结炉内部流片（避免因冷却水温过高而停机烧坏炉子内的硅片），等烧结炉内部片子流完后立即下载lingyang-01降温工艺。

5 故障处理

冷却水故障

⑴烧结炉正常工作时冷却水温度控制在15℃和25℃范围内，当冷却水温度超过25℃度但小于30℃时，出水温度也会随之升高，为了保证硅片出炉温度不超过40℃，此时必须增大冷却水的流量。当温度超过30℃以上时必须立即通知前道工序，停止硅片流入烧结炉里。如果有必要采取降温措施，下载冷却工艺（视当时情况而定）。

⑵烧结炉正常工作时突然无冷却水，设备会自动停止运转，同时警报被触发。此时应取下进口和出口传送带上的硅片，在设备PC上下载冷却工艺。待有冷却水时开启设备，取出炉子里的硅片，再按正常升温步骤升温即可恢复生产。

⑶烧结炉正常工作时突然出现冷却水流量低下，设备会自动停止运转，同时警报被触发。此时先取下进口和出口的传送带上硅片，在设备PC上下载冷却工艺。可能原因是冷却水过滤器被堵塞；流量计故障；进口的冷却水流量偏低。处理方法是清洁冷却水过滤器；更换流量计通知工程部设施相关人员增大冷却水的压力。当故障解除后开启设备，取出炉子里的硅片，再按正常升温步骤升温即可恢复生产。

停电故障

烧结炉正常工作时突然出现现停电故障，应立即打开电源控制柜确认是外部停电故障，还是设备内部电源故障。如果是外部停电故障应立即关闭总电源开关，并取下进口和出口传送带上的硅片，来电时在设备PC 上下载冷却工艺，开启设备，取出炉子里的硅片，再按正常开机升温步骤升温即可恢复生产；如果是设备内部总电源故障，请通知工程部该设