晶圆制造流程

合集下载
  1. 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
  2. 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
  3. 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。

矽晶圓製造流程

&

矽晶片裁切製程

Quartz Smelting Ingot Square/cutting Si-wafer PR-coating

PR-coating Stripping Etching Development Exposure(grain)Exposure(chip)

Ion implant Stripping Insulating Electroplating-Cu Cu layer finished Polishing

i7 core Mono-core Screening Slicing Testing Metal layer

矽晶片裁切製程

Monocrystalline silicon ingot

Monocrystal

silicon

Cutting for top and tail Squaring Silicon block Cropping

Silicon brick Chamfering OD grinding Wafering Wafers Monocrystal

silicon wafer

Multicrystal silicon ingot

Squaring Block Cropping Silicon block

Chamfering OD grinding Wafering Wafers Multicrystal

silicon

Monocrystal

silicon wafer

相关文档
最新文档