EBSD应用浅析

二、EBSD工作原理
1、背散射电子衍射技术原理 2、背散射电子衍射取向基本分析原理 3、背散射电子衍射取向成像原理（OIM） 4、背散射电子衍射相分析原理
EBSD如何工作？
菊池花样：除了正常的衍射斑点外，还有明、暗成对平行的 衍射衬度条纹。 菊池极：同一晶带的菊池线对的中心交于一点，构成一对称 中心。
欧拉角：用来唯一地确定定点转动明体位置的三个一组独立角参量。
三、EBSD应用
•晶体取向 •晶粒尺寸 •织构 •再结晶/变形分布 •亚结构分析 •应变分析 •晶界特性 •重合位置点阵（CSL）边界分布 •滑移系统分析 •相鉴定，分布及相变 •断裂分析...
（1）物相鉴定和区分
（2）表征晶体尺寸
（3）应变分布测定
Leabharlann Baidu
四、EBSD样品制备
河钢试验数据-C3测残奥
五、小结
谢谢！
EBSD应用浅析
承担部门：技术中心材料室 负 责 人：张 巍
汇报提纲 一、简介 二、EBSD工作原理 三、EBSD应用 四、EBSD样品制备 五、小结
一、简介
EBSD： Electron Backscattered Diffraction。 EBSP： Electron Backscattered Pattern。 电子背散射衍射（EBSD）是一种基于扫描电 子显微镜，对样品的微观组织进行分析、可视化和 定量的技术。 主要特点： 在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行 空间分辨率亚微米级的衍射（给出结晶学的数据）。 织构： 择优取向。多晶体取向分布状态明显偏离随机 分布的结构,称为织构。 目前，EBSD技术已经能够实现全自动采集微 区取向信息，样品制备较简单，数据采集速度快， 分辨率高，为快速高效的定量统计研究材料的微观 组织结构和织构奠定了基础，因此已成为材料研究 中一种有效的分析手段。