应用材料HCT公司及产品介绍(中文)
合集下载
相关主题
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
我们的线锯将为您带来超越尖端技术的优势
12 External Use
主要产品
线锯
特点
符合人体工程学 4 x 500mm硅锭长度(2000mm) 4x 100x100,125x125,150x150,160x160, or 2x 210x210mm 机械精度高 太阳能级 可以方便地接近所有零件，维修方便 温度稳定性高 占地面积小 环境友好 薄的超薄的晶片 正常运行时间高 生产能力高 装载量大
4
External Use
精密晶圆系统 （前HCT Shaping Systems）
太阳能产业全球领先的切片系统制造商 经市场检验拥有生产超薄切片的技术能力 节省大量硅材料 高产能
5 External Use
25年领先的线锯技术
第一台线锯设备生产于1984年 第一台用于生产300mm硅片的线锯 第一家为硅锭切方设计线锯的制造商 第一台用于硅锭修整的线锯 第一台用于切割多个硅锭的线锯 第一台可量产切割120 µm硅片的线锯 通过对硅片制造技术持续不断的创新 降低电池片每瓦的制造成本
应用材料PWS到2011年可将成本降低至每瓦0.18美元
9 External Use
线锯切割业的挑战
挑战
更低的运营成本
解决方案
更高的设备产出
单次切割 需要更大的硅载料
切割线技术创新， 更高切割速度
资本投入压力
同样的产量使用更少的 设备
减少切口的损失； 必须使硅片更薄
不稳定的硅材料价格
需要更高生产效率的设备来降低成本
主要产品
研磨液回收恢复系统
优点
显著减少耗材消耗量
17
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
线锯工作原理
切割原理
细金属线（典型的尺寸 140µm 或160µm）卷绕在 一组导线滚筒上形成线网。 导线滚筒旋转驱动线网， 线网上布满研磨液。当推 动硅锭向下通过线网，硅 锭就被切成一片一片很薄 的晶片。
Applied Materials Confidential
主要耗材
金属线
线锯：推荐使用φ120 – 180μm直线 切方机、修剪机：推荐使用φ250μm 结构线。
32
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
Main Menu
33
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
为了使机器部件在切割的过程中保持恒定的温度，设备配有冷却系统。
25
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
线锯介绍
电气柜
电气柜控制所有的电器机器部件。包括总开关，接线端字，保险丝，断路器，电 池，电源控制，放大器和PC等。
26
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
1967年成立
纳米制造设备和服务
全球员工 约14,800人
全球分布
2 External Use
2
应用材料公司太阳能业务成果
进入 太阳能 市场
销售额 >1.6亿美元
全球最大 的太阳能光伏 设备制造商*
薄膜和晶体硅 业务 继续成长
销售额 >8亿美元
*-VLSI Research
非凡的能力服务于晶体硅和薄膜市场
Introducing 介绍
Applied HCT Wire Saw 应用材料HCT线锯产品
精密切割系统事业部 应用材料公司
Beyond the Cutting Edge in Wire Saw Productivity
1 External Use
关于应用材料公司
2008年销售额 81亿美元
2008年研发投入 约11亿美元
18
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
E500SD-B/5（应用于光伏产业的代表产品）
E500SD-B/5
E500SD-B/5 是专为光伏电池领域设计的产品，它可以处理的典型尺寸从 100x100到150x150一直到4x500mm长，或者210x210mm 一直到 2x500mm长。 可切削材料 易碎材料包括： • 硅 (单晶或多晶) •锗 • III-V族化合物 (砷化镓, 磷化铟, 磷化镓) • 兰宝石 • 石英 • 玻璃 • 碳化硅 • 陶瓷 • Etc.
28
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
wk.baidu.com要耗材
研磨液
PWS 产品通常使用: 研磨剂 F360 研磨剂 F360 推荐用于切方机/修剪机 研磨剂 F500 / F600 现在研磨剂 F500 / F600 普遍用于线锯设备，包括半导体和太阳能产业。
29
SBG CHINA
4
最先进的设备
Thin Wafer Production 薄硅片生产 Highest Productivity 最高生产效率 Improved Efficiency 提高稳定性
最佳的研发中心
Alzenau, 德国 西安，中国 Santa Clara, 美国加州 Cheseaux, 瑞士 Treviso, 意大利
主要耗材
研磨剂和金属线
27
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
主要耗材
研磨液
是一种固态的研磨剂粉末和载液混合产生的混合物 “切割液”一般称为“研磨 液”。 这种载液通常是矿物油或者一种聚乙二醇（PEG）。研磨剂是一种 比所切割的材料更坚硬的材料金刚砂（SiC）或者碳化硼（B4C），其它的 坚硬的材料像兰宝石（AI2O3）或金刚石。
3 External Use
独特的定位确保晶体硅客户的成功
2008年晶体硅设备 [切片和电池制造]市场领先的制造商 定位于满足未来的市场需求
全球服务系统与供应链
~2200 Field Engineers ~2200 客户服务工程师 >80 Service Centers >80 客户服务中心 50 Parts Depots 50个备件仓库
15
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
主要产品
切方机
特点
对于大部分尺寸的硅锭利用交叉的金属线网 将单晶或多晶硅锭切成方的硅锭 和线锯类似
优点
切割损失小、节约硅材料 低耗材成本 生产能力高 装载量大
16
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
当前的市场条件
4.50 4.00
Source: Deutsche Bank, Applied Materials
Forecast 预测
平均销售价格和每瓦生产成本 （美元/瓦）
3.50 3.00 2.50 2.00 1.50 1.00 0.50 0
c-Si module ASP 晶体硅组件的平均价格
10 External Use
线锯切割：简单的概念，具有挑战性的实施
具体实施需要精确平衡以下条件：
装载长度 硅片厚度 切割线直径 切割线速度 切割线张力 工作台速度 耗材用量
以上所有条件都将影响单次切割的生产效率 (m2/hr)
11 11 External Use
引入Applied HCT Wire Saw
23
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
线锯介绍
切割室
切割室内容纳了和切割操作相关的所有器件（框架，滑动导轨，导线器，线网， 水压钳，硅锭夹持装置，研磨液喷嘴）。
24
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
线锯介绍
冷却系统
6 6 External Use
精密切割系统（PWS）的战略规划
高科技太阳能硅片切割设备的生产 基地 晶体硅技术的研发中心 应用材料瑞士中心用于加速太阳能 电池板技术研发 与主要的技术院校和研究所建立紧 密的合作关系
2012年PWS的园区规划
致力于长期的技术领先地位
7 External Use
13
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
主要产品
线锯
14
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
主要产品
截断机
特点
可以切削单晶、多晶硅锭 切割损失小、节约硅材料 9 x Ø 225mm x 2000mm 低耗材成本 9 x 210mm x 2000mm 品质稳定，无损伤 生产能力高 操作环境和切方机、线锯相似 可以方便地接近所有零件，维修方便
c-Si module costs 晶体硅组件的成本
2007
2008
2009F
2010F
2011F
2012F
致力于降低生产成本
8 External Use
更薄的硅片和更细的切割线降低成本
$0.52 / Wp $0.46 / Wp $0.42 / Wp $0.34 / Wp
切口损失 硅片厚度
假设硅成本控制在每公斤55美元并且转换效率保持不变
Applied Materials Confidential
主要耗材
研磨液 PWS切割液 HS20
30
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
主要耗材
金属线
金属线通常是一种镀黄铜的钢线。 线的选择和切割参数设定应依据消耗量，磨损和切口损失。
31
SBG CHINA
19
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
线锯介绍
主要构成
• 操控盘 • 金属线管理系统 • 研磨液供给系统 • 切割室 • 冷却系统 • 电气柜
20
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
线锯介绍
操控盘
操控盘是触摸屏界面。它通过一个可以旋转的支撑臂附着在机器的前部，方 便操作人员操作。
21
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
线锯介绍
金属线管理系统
金属线管理区域包括供给新线装置和切割后的线重新缠绕装置。
22
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
线锯介绍
研磨液供给系统
研磨液供给系统可以控制和调整研磨液参数，比如：流量，密度 ，温度和粘度 （可选）。
12 External Use
主要产品
线锯
特点
符合人体工程学 4 x 500mm硅锭长度(2000mm) 4x 100x100,125x125,150x150,160x160, or 2x 210x210mm 机械精度高 太阳能级 可以方便地接近所有零件，维修方便 温度稳定性高 占地面积小 环境友好 薄的超薄的晶片 正常运行时间高 生产能力高 装载量大
4
External Use
精密晶圆系统 （前HCT Shaping Systems）
太阳能产业全球领先的切片系统制造商 经市场检验拥有生产超薄切片的技术能力 节省大量硅材料 高产能
5 External Use
25年领先的线锯技术
第一台线锯设备生产于1984年 第一台用于生产300mm硅片的线锯 第一家为硅锭切方设计线锯的制造商 第一台用于硅锭修整的线锯 第一台用于切割多个硅锭的线锯 第一台可量产切割120 µm硅片的线锯 通过对硅片制造技术持续不断的创新 降低电池片每瓦的制造成本
应用材料PWS到2011年可将成本降低至每瓦0.18美元
9 External Use
线锯切割业的挑战
挑战
更低的运营成本
解决方案
更高的设备产出
单次切割 需要更大的硅载料
切割线技术创新， 更高切割速度
资本投入压力
同样的产量使用更少的 设备
减少切口的损失； 必须使硅片更薄
不稳定的硅材料价格
需要更高生产效率的设备来降低成本
主要产品
研磨液回收恢复系统
优点
显著减少耗材消耗量
17
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
线锯工作原理
切割原理
细金属线（典型的尺寸 140µm 或160µm）卷绕在 一组导线滚筒上形成线网。 导线滚筒旋转驱动线网， 线网上布满研磨液。当推 动硅锭向下通过线网，硅 锭就被切成一片一片很薄 的晶片。
Applied Materials Confidential
主要耗材
金属线
线锯：推荐使用φ120 – 180μm直线 切方机、修剪机：推荐使用φ250μm 结构线。
32
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
Main Menu
33
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
为了使机器部件在切割的过程中保持恒定的温度，设备配有冷却系统。
25
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
线锯介绍
电气柜
电气柜控制所有的电器机器部件。包括总开关，接线端字，保险丝，断路器，电 池，电源控制，放大器和PC等。
26
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
1967年成立
纳米制造设备和服务
全球员工 约14,800人
全球分布
2 External Use
2
应用材料公司太阳能业务成果
进入 太阳能 市场
销售额 >1.6亿美元
全球最大 的太阳能光伏 设备制造商*
薄膜和晶体硅 业务 继续成长
销售额 >8亿美元
*-VLSI Research
非凡的能力服务于晶体硅和薄膜市场
Introducing 介绍
Applied HCT Wire Saw 应用材料HCT线锯产品
精密切割系统事业部 应用材料公司
Beyond the Cutting Edge in Wire Saw Productivity
1 External Use
关于应用材料公司
2008年销售额 81亿美元
2008年研发投入 约11亿美元
18
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
E500SD-B/5（应用于光伏产业的代表产品）
E500SD-B/5
E500SD-B/5 是专为光伏电池领域设计的产品，它可以处理的典型尺寸从 100x100到150x150一直到4x500mm长，或者210x210mm 一直到 2x500mm长。 可切削材料 易碎材料包括： • 硅 (单晶或多晶) •锗 • III-V族化合物 (砷化镓, 磷化铟, 磷化镓) • 兰宝石 • 石英 • 玻璃 • 碳化硅 • 陶瓷 • Etc.
28
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
wk.baidu.com要耗材
研磨液
PWS 产品通常使用: 研磨剂 F360 研磨剂 F360 推荐用于切方机/修剪机 研磨剂 F500 / F600 现在研磨剂 F500 / F600 普遍用于线锯设备，包括半导体和太阳能产业。
29
SBG CHINA
4
最先进的设备
Thin Wafer Production 薄硅片生产 Highest Productivity 最高生产效率 Improved Efficiency 提高稳定性
最佳的研发中心
Alzenau, 德国 西安，中国 Santa Clara, 美国加州 Cheseaux, 瑞士 Treviso, 意大利
主要耗材
研磨剂和金属线
27
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
主要耗材
研磨液
是一种固态的研磨剂粉末和载液混合产生的混合物 “切割液”一般称为“研磨 液”。 这种载液通常是矿物油或者一种聚乙二醇（PEG）。研磨剂是一种 比所切割的材料更坚硬的材料金刚砂（SiC）或者碳化硼（B4C），其它的 坚硬的材料像兰宝石（AI2O3）或金刚石。
3 External Use
独特的定位确保晶体硅客户的成功
2008年晶体硅设备 [切片和电池制造]市场领先的制造商 定位于满足未来的市场需求
全球服务系统与供应链
~2200 Field Engineers ~2200 客户服务工程师 >80 Service Centers >80 客户服务中心 50 Parts Depots 50个备件仓库
15
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
主要产品
切方机
特点
对于大部分尺寸的硅锭利用交叉的金属线网 将单晶或多晶硅锭切成方的硅锭 和线锯类似
优点
切割损失小、节约硅材料 低耗材成本 生产能力高 装载量大
16
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
当前的市场条件
4.50 4.00
Source: Deutsche Bank, Applied Materials
Forecast 预测
平均销售价格和每瓦生产成本 （美元/瓦）
3.50 3.00 2.50 2.00 1.50 1.00 0.50 0
c-Si module ASP 晶体硅组件的平均价格
10 External Use
线锯切割：简单的概念，具有挑战性的实施
具体实施需要精确平衡以下条件：
装载长度 硅片厚度 切割线直径 切割线速度 切割线张力 工作台速度 耗材用量
以上所有条件都将影响单次切割的生产效率 (m2/hr)
11 11 External Use
引入Applied HCT Wire Saw
23
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
线锯介绍
切割室
切割室内容纳了和切割操作相关的所有器件（框架，滑动导轨，导线器，线网， 水压钳，硅锭夹持装置，研磨液喷嘴）。
24
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
线锯介绍
冷却系统
6 6 External Use
精密切割系统（PWS）的战略规划
高科技太阳能硅片切割设备的生产 基地 晶体硅技术的研发中心 应用材料瑞士中心用于加速太阳能 电池板技术研发 与主要的技术院校和研究所建立紧 密的合作关系
2012年PWS的园区规划
致力于长期的技术领先地位
7 External Use
13
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
主要产品
线锯
14
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
主要产品
截断机
特点
可以切削单晶、多晶硅锭 切割损失小、节约硅材料 9 x Ø 225mm x 2000mm 低耗材成本 9 x 210mm x 2000mm 品质稳定，无损伤 生产能力高 操作环境和切方机、线锯相似 可以方便地接近所有零件，维修方便
c-Si module costs 晶体硅组件的成本
2007
2008
2009F
2010F
2011F
2012F
致力于降低生产成本
8 External Use
更薄的硅片和更细的切割线降低成本
$0.52 / Wp $0.46 / Wp $0.42 / Wp $0.34 / Wp
切口损失 硅片厚度
假设硅成本控制在每公斤55美元并且转换效率保持不变
Applied Materials Confidential
主要耗材
研磨液 PWS切割液 HS20
30
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
主要耗材
金属线
金属线通常是一种镀黄铜的钢线。 线的选择和切割参数设定应依据消耗量，磨损和切口损失。
31
SBG CHINA
19
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
线锯介绍
主要构成
• 操控盘 • 金属线管理系统 • 研磨液供给系统 • 切割室 • 冷却系统 • 电气柜
20
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
线锯介绍
操控盘
操控盘是触摸屏界面。它通过一个可以旋转的支撑臂附着在机器的前部，方 便操作人员操作。
21
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
线锯介绍
金属线管理系统
金属线管理区域包括供给新线装置和切割后的线重新缠绕装置。
22
SBG CHINA
Applied Materials Confidential
线锯介绍
研磨液供给系统
研磨液供给系统可以控制和调整研磨液参数，比如：流量，密度 ，温度和粘度 （可选）。