危化品安全教育PPT
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---气瓶柜的操作人员需专业培训，使用时应 配备专业的安全保护装备
40
高纯特种气体输送—气瓶柜
--防爆柜体 --工艺面板（提供气体吹扫
，抽真空，减压，置换等 功能） --PLC控制系统（高压，高流 量，气源监测，毒气报警 ，温度监测，中央控制等 ） --安全储存和输送特种气体 --必须专人按照特定步骤进 行操作和维护
危险化学品安全培训
九类危险品
腐蚀品
CORROSIVE
8
氧化剂
OXIDIZING AGENT
5.1
有机过氧化物
ORGANIC PEROXIDE
5.2
爆炸品 EXPLOSIVE
1
有毒气体
TOXIC GAS
2
不燃气体
NON-FLAMMABLE GAS
2
遇湿易燃物品
DANGEROUS WHEN WET
4
易燃气体
进缺氧区域.
7
压力
8
危险分类
可燃性 ❖ 例如
H2 SiH4 DCS NH3
可燃气体
❖ 与不可燃气体相同的危险性
压力 窒息
❖ 可燃性 ❖ 爆炸可能性 ❖ 例如
H2,SiH4
10
燃烧过后的不锈钢气瓶
11
危险防护
❖ 可燃性气体的危险防护
保证空气的流动，配备排风 正确的钢瓶操作流程 使用防爆设备 避免任何火化产生的可能
38
pptpres7 46
特气的工艺流程
工艺流程： 由钢瓶
气柜 VDB
VMB
机台
钢瓶
气柜
VDB
VMB
Tools
高纯特种气体输送—气瓶柜
---易燃易爆毒性气体使用气瓶柜装置进行减 压和钢瓶储存更换 如：SiH4， CH4，GECH4，TMBetc.
---使用气柜的目的在于安全操作和保证气体 使用的纯度
烧速度极快
❖ 含氧过高的衣服是极为危险的
与引燃点隔离 用新鲜空气吹扫30分钟 更换衣服
17
过高含氧量
18
过高含氧量
19
危险ห้องสมุดไป่ตู้类
有毒气体
❖ 例如
COCl2(光气,俗 称芥子气)
PH3
有毒气体
❖ 毒性：对身体有害 ❖ 中毒途径
吸入
❖通常途径
吸收
❖通过皮肤
吞食
❖不常见
注射
❖通过伤口
❖ 专业术语
21
气瓶操作
气瓶操作设备 ❖单(双)瓶运输车
气瓶操作设备
❖多瓶运输车
不正确的操作方式
❖绝对不要通过 旋转来移动气 瓶
本项目使用气体
本项目使用的气体分类
---易燃易爆气体 SiH4(自燃性），H2，CH4，GECH4，TMB
---毒性气体 PH3，TMB ， GECH4
------惰性气体 N2，Ar，CO2 etc.
液氩
(-186 oC)
液氮
(-196 oC)
液氢
(-253 oC)
液氦
(-269 oC)
低温液体
❖ 低温液体危险 性
低温 蒸气扩散
❖ 低温液体能引 起冻伤(不可逆 转的组织坏死)
低温气体的其他危险
低温可能会引起周围物品的损伤危 险
危险包括
❖ 过冷 ❖ 过大的体积膨胀 ❖雾
31
低温引起的破裂
低温引起的破裂
41
高纯特种气体输送—气瓶架
---一般性气体可使用气瓶架(即面板)装置进 行减压和更换操作 如：N2,CF4,SF6,Ar,etc.
---使用气瓶架目的在于方便气体的更换和 置换
42
高纯特种气体输送—VMB
---危险性气体阀门 和控制装置均应 安装在密闭单独 抽风的装置内
---VMB(Valve Manifold Boxes) 含义是气体阀门 分配箱
到有底毒有多气毒体??
Time Weighted Average (TWA) – 工人每天8 小时，每周40小时，无任何防护措施的情 况下允许的最高接触浓度.
Threshold Limit Value (TLV)- ACGIH（美国 政府工业卫生学家会议） 建议的最高接触 浓度
Permissible Exposure Limit (PEL) – OSHA （职业安全与健康标准）建议的最高接触 浓度
危险防护
❖ 有毒气体危险防护
提供排风系统 正确操作气瓶 毒气监测系统 适当的个人装备 培训
危险分类
腐蚀性
❖ 低腐蚀性
HF NH3
❖ 高腐蚀性
HCl DCS(SiH2CL2)
腐蚀性
❖ 摧毁人的生理组织(DCS) ❖ 腐蚀设备(DCS HCL NH3)
25
腐蚀性气体
❖ 被腐蚀的瓶口阀
个人防护设备
❖ 操作腐蚀性气体 所应配备的个人 防护设备
橡胶防护服 橡胶手套 面具(防毒) SCBA(自呼吸面罩)
危险防护
❖ 腐蚀性危险的防护
提供排风系统 正确操作气瓶 采用相容的原材料 降低含水量 适当的个人防护设备
低温气体
❖ 低温液体
在常压下沸点低于-240oF(-151oC)
❖ 例如
液氧
(-183 oC)
---VMB需要单独的 抽风系统
43
高纯特种气体输送—管道系统
---输送系统所有管道管件阀门等部件均 应采用高纯度SS316L EP 电抛光系统
FLAMMABL GEAS
2
危 险分 类
不可燃
❖ Good Examples:
N2 Ar He
❖ Bad Examples:
HCl NF3
不可燃气体危险性
❖ 窒息性—— 取代肺中 的氧气.
❖ 压强—— 单位面积所 承受的压力
❖ 能量—— 气体在状态 转变过程中产生的能 量
氧气缺乏
氧气被其他气提所取代:
失判断能力，嘴唇发紫
❖8-10% 无意识，呕吐 ❖6-8% 8 分钟死亡率100%，6分钟死亡
率50%，4-5分钟尚可恢复
❖4% 40秒钟内昏迷，抽搐，停止呼吸，
直至死亡
6
氧气缺乏的急救措施
“我可以尽量摒住呼吸，冲进缺氧区 域，把伤员救出来．
错误: 不可以 !!!!!!!
❖ 50%这样做的人因此而丧命. ❖ 绝对不要不带呼吸器(SCBA)就冲
❖ 21% 大气中的氧气浓度 ❖ 19.5% 人类正常生活所需要的最低氧气浓
度极限 (OSHA)
❖ 15-19.5% 工作能力下降，冠状动脉，肺
部和循环系统出现先期症状
❖ 12-14% 呼吸，脉搏加快，无任何先兆
的失去知觉，并失去自我救护 的能力.
5
氧气缺乏
❖10-12% 呼吸，脉搏进一步加快，丧
危险分类
氧化性 ❖ 例如:
O2 NOx(如N2O)
危险性
❖ 氧化危险性
助燃
高反应性
过高含氧量
燃烧三角形
燃料
氧化
引燃物 15
氧化物
❖ 引燃点
冲击 静电 高速冲撞 其他引燃物
过高含氧量
❖ 含氧量等于或高于23.5% ❖ 燃烧特性发生改变
可燃范围增大 自燃温度下降
❖通常不会燃烧的物质在高氧环境会燃烧 ❖通常会燃烧的物质在高氧环境会极易燃烧，且燃
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高纯特种气体输送—气瓶柜
--防爆柜体 --工艺面板（提供气体吹扫
，抽真空，减压，置换等 功能） --PLC控制系统（高压，高流 量，气源监测，毒气报警 ，温度监测，中央控制等 ） --安全储存和输送特种气体 --必须专人按照特定步骤进 行操作和维护
危险化学品安全培训
九类危险品
腐蚀品
CORROSIVE
8
氧化剂
OXIDIZING AGENT
5.1
有机过氧化物
ORGANIC PEROXIDE
5.2
爆炸品 EXPLOSIVE
1
有毒气体
TOXIC GAS
2
不燃气体
NON-FLAMMABLE GAS
2
遇湿易燃物品
DANGEROUS WHEN WET
4
易燃气体
进缺氧区域.
7
压力
8
危险分类
可燃性 ❖ 例如
H2 SiH4 DCS NH3
可燃气体
❖ 与不可燃气体相同的危险性
压力 窒息
❖ 可燃性 ❖ 爆炸可能性 ❖ 例如
H2,SiH4
10
燃烧过后的不锈钢气瓶
11
危险防护
❖ 可燃性气体的危险防护
保证空气的流动，配备排风 正确的钢瓶操作流程 使用防爆设备 避免任何火化产生的可能
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特气的工艺流程
工艺流程： 由钢瓶
气柜 VDB
VMB
机台
钢瓶
气柜
VDB
VMB
Tools
高纯特种气体输送—气瓶柜
---易燃易爆毒性气体使用气瓶柜装置进行减 压和钢瓶储存更换 如：SiH4， CH4，GECH4，TMBetc.
---使用气柜的目的在于安全操作和保证气体 使用的纯度
烧速度极快
❖ 含氧过高的衣服是极为危险的
与引燃点隔离 用新鲜空气吹扫30分钟 更换衣服
17
过高含氧量
18
过高含氧量
19
危险ห้องสมุดไป่ตู้类
有毒气体
❖ 例如
COCl2(光气,俗 称芥子气)
PH3
有毒气体
❖ 毒性：对身体有害 ❖ 中毒途径
吸入
❖通常途径
吸收
❖通过皮肤
吞食
❖不常见
注射
❖通过伤口
❖ 专业术语
21
气瓶操作
气瓶操作设备 ❖单(双)瓶运输车
气瓶操作设备
❖多瓶运输车
不正确的操作方式
❖绝对不要通过 旋转来移动气 瓶
本项目使用气体
本项目使用的气体分类
---易燃易爆气体 SiH4(自燃性），H2，CH4，GECH4，TMB
---毒性气体 PH3，TMB ， GECH4
------惰性气体 N2，Ar，CO2 etc.
液氩
(-186 oC)
液氮
(-196 oC)
液氢
(-253 oC)
液氦
(-269 oC)
低温液体
❖ 低温液体危险 性
低温 蒸气扩散
❖ 低温液体能引 起冻伤(不可逆 转的组织坏死)
低温气体的其他危险
低温可能会引起周围物品的损伤危 险
危险包括
❖ 过冷 ❖ 过大的体积膨胀 ❖雾
31
低温引起的破裂
低温引起的破裂
41
高纯特种气体输送—气瓶架
---一般性气体可使用气瓶架(即面板)装置进 行减压和更换操作 如：N2,CF4,SF6,Ar,etc.
---使用气瓶架目的在于方便气体的更换和 置换
42
高纯特种气体输送—VMB
---危险性气体阀门 和控制装置均应 安装在密闭单独 抽风的装置内
---VMB(Valve Manifold Boxes) 含义是气体阀门 分配箱
到有底毒有多气毒体??
Time Weighted Average (TWA) – 工人每天8 小时，每周40小时，无任何防护措施的情 况下允许的最高接触浓度.
Threshold Limit Value (TLV)- ACGIH（美国 政府工业卫生学家会议） 建议的最高接触 浓度
Permissible Exposure Limit (PEL) – OSHA （职业安全与健康标准）建议的最高接触 浓度
危险防护
❖ 有毒气体危险防护
提供排风系统 正确操作气瓶 毒气监测系统 适当的个人装备 培训
危险分类
腐蚀性
❖ 低腐蚀性
HF NH3
❖ 高腐蚀性
HCl DCS(SiH2CL2)
腐蚀性
❖ 摧毁人的生理组织(DCS) ❖ 腐蚀设备(DCS HCL NH3)
25
腐蚀性气体
❖ 被腐蚀的瓶口阀
个人防护设备
❖ 操作腐蚀性气体 所应配备的个人 防护设备
橡胶防护服 橡胶手套 面具(防毒) SCBA(自呼吸面罩)
危险防护
❖ 腐蚀性危险的防护
提供排风系统 正确操作气瓶 采用相容的原材料 降低含水量 适当的个人防护设备
低温气体
❖ 低温液体
在常压下沸点低于-240oF(-151oC)
❖ 例如
液氧
(-183 oC)
---VMB需要单独的 抽风系统
43
高纯特种气体输送—管道系统
---输送系统所有管道管件阀门等部件均 应采用高纯度SS316L EP 电抛光系统
FLAMMABL GEAS
2
危 险分 类
不可燃
❖ Good Examples:
N2 Ar He
❖ Bad Examples:
HCl NF3
不可燃气体危险性
❖ 窒息性—— 取代肺中 的氧气.
❖ 压强—— 单位面积所 承受的压力
❖ 能量—— 气体在状态 转变过程中产生的能 量
氧气缺乏
氧气被其他气提所取代:
失判断能力，嘴唇发紫
❖8-10% 无意识，呕吐 ❖6-8% 8 分钟死亡率100%，6分钟死亡
率50%，4-5分钟尚可恢复
❖4% 40秒钟内昏迷，抽搐，停止呼吸，
直至死亡
6
氧气缺乏的急救措施
“我可以尽量摒住呼吸，冲进缺氧区 域，把伤员救出来．
错误: 不可以 !!!!!!!
❖ 50%这样做的人因此而丧命. ❖ 绝对不要不带呼吸器(SCBA)就冲
❖ 21% 大气中的氧气浓度 ❖ 19.5% 人类正常生活所需要的最低氧气浓
度极限 (OSHA)
❖ 15-19.5% 工作能力下降，冠状动脉，肺
部和循环系统出现先期症状
❖ 12-14% 呼吸，脉搏加快，无任何先兆
的失去知觉，并失去自我救护 的能力.
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氧气缺乏
❖10-12% 呼吸，脉搏进一步加快，丧
危险分类
氧化性 ❖ 例如:
O2 NOx(如N2O)
危险性
❖ 氧化危险性
助燃
高反应性
过高含氧量
燃烧三角形
燃料
氧化
引燃物 15
氧化物
❖ 引燃点
冲击 静电 高速冲撞 其他引燃物
过高含氧量
❖ 含氧量等于或高于23.5% ❖ 燃烧特性发生改变
可燃范围增大 自燃温度下降
❖通常不会燃烧的物质在高氧环境会燃烧 ❖通常会燃烧的物质在高氧环境会极易燃烧，且燃