合肥晶合集成电路有限公司

合肥晶合集成电路有限公司 12 吋集成电路晶圆制造技术改造项目
工程分析专项
中国电子工程设计院 二〇一八年十一月
1. 现有工程概况及工程分析
合肥晶合集成电路有限公司成立于 2015 年，投资 128.10 亿元建设“12 吋晶圆制造 基地项目”，位于合肥新站综合开发实验区站北新区综合保税区，项目占地 211105.14m2， 产品为 12 英寸集成电路晶圆，设计产能为 4 万片/月（48 万片/年），主要用于电脑、平 板电视、手机、摄像机、车用电子等产品面板显示器部件中。
不在本次验收范围内
供气
由市政天然气管网供给，经调压计量后进入厂区
4
工程 类别 生活
及 其他
环保 工程
单项工程名 称
供水
由市政供水管网供给
工程内容及规模
门卫
门卫 1：位于厂区南部，主出入口附近
门卫
门卫 2：位于厂区西部，次出入口附近
门卫
门卫 3：位于厂区北部，次出入口附近
办公区 位于生产厂房内设置办公区
在废水处理站设置污泥暂存区
共设置 10 个废液收集罐，其中生产厂房一层设置 8 个废液收集罐，包括 硫酸废液收集罐（外运罐 1 个）、磷酸废液收集罐（外运罐 1 个）、氢氟 酸废液收集罐（外运罐 1 个）、废异丙醇收集罐（缓冲罐 2 个）、废光阻 液收集罐（缓冲罐 2 个）以及废去光阻液（含稀释剂）收集罐（外运罐 1 个）；化学品供应间设置 2 个废液收集罐，包括废异丙醇收集罐（外运罐 1 个）、废光阻液收集罐（外运罐 1 个）。 化学品库、仓库、化学品供应间地面全部进行防渗处理，化学品库设置 经过防渗处理的地沟、围堰 设置人员防护设备，如：自备式呼吸器、面罩、防护服等，并设有安全 淋浴和洗眼器 特气供应间、仓库、化学品库内气体抽风装置，气体输送采用双层套 管。
1.1.1. 现有工程建设规模
现有工程主要建筑指标见表 1.1-1；
序号
表1.1-1 现有厂区主要建筑指标一览表
名称
单位
数量
1
全厂用地面积
m2
2
本项目用地面积
m2
3
建筑占地面积
m2
4
建筑面积
m2
5Байду номын сангаас
计容建筑面积
m2
211105.14 117222.31 60232.51 222940.83 216841.22
该公司“12 吋晶圆制造基地项目”经合肥新站综合开发实验区经贸发展局合综试经 [2015]196 号文备案，于 2016 年 3 月 14 日获得合肥市环境保护局“关于合肥晶合集成电 路有限公司 12 吋晶圆制造基地项目环境影响报告书的审批意见”（环建审[2016]18 号）。 2017 年 10 月，项目建成试运行，于 2018 年 2 月 9 日召开了阶段性竣工环境保护验收会 （阶段产能为 3000 片/月，3.6 万片/年），通过阶段性竣工环保验收，于 2018 年 4 月 24 日取得合肥市环境保护局《关于合肥晶合集成电路有限公司 12 寸晶圆制造基地项目阶 段性竣工工程固体废物和噪声污染防治设施验收合格的函》（合环验[2018]15 号）。
3
工程 类别
贮运 工程
辅助 工程
公用 工程
单项工程名 称
化学品库 1 化学品库 2
仓库 地下柴油罐
综合动力站
大宗气体供 应
特气供应间 硅烷供应间 化学品供应
间 供电
工程内容及规模
供应系统供应等； 3F：主要为洁净生产车间，内设薄膜区（PVD、CVD 工序）、速升温 区、黄光区（曝光、显影工序）、干法刻蚀区、离子注入区、扩散区、化 学机械抛光区等； 4F：主要为 3F 洁净室的空调系统 MAU 机组区，洁净室控制室等。 8 号栋仓库建筑面积 620m2（1F，4.3m）：主要存放二氯硅烷、磷化氢、 硅烷、磷化氢/氩、磷化氢/氩气。 9 号栋仓库建筑面积 356m2（1F，4.3m）：主要存放氯气、一氧化碳、二 氟甲烷、氟气/氮气、三氟化氯、一氧化二氮、砷化氢、三氟化硼、氨 气、丙烯、三氟化氮、六氟丁二烯、硝酸、磷酸、二氯乙烯、一氧化 氮、乙烯/氦气、氧气/氦气、氧气/氩气、三甲基硅烷、四氢化锗/氢气、 甲烷/氩气、碳化硅、四氧乙基硅(TEOS)。 建筑面积 5796m2（1F，8.3m）主要存放靶材、三氯化硼、四氟化碳、八 氟环丁烷、三氟甲烷、溴化氢、六氟化硫、八氟环戊烯、六氟化钨、二 氧化碳、光阻、去光阻液 EKC、洗净液、盐酸、刻蚀缓冲液 BOE、混 酸、氢气/氮气、氯化氢、氟/氩/氖、氟/氪/氖、三氯化硼/氦气、氪/氦、 四氟化硅、氟化氢、四甲基氢氧化铵/水及研磨液。 地下柴油罐占地面积 196m2：3 个容积 50 m3 的地下轻柴油罐，位于 8 号 栋仓库东北侧。 纯水制备系统：1 套，包括超纯水系统和初纯水系统，制备能力 350 m3/h。 常温循环冷却水系统：设置循环冷却水泵及冷却塔，其中循环冷却水泵 11 台（10 备 1 用）（3 台 219.8 L/s，8 台 313.1L/s），冷却塔 6 台（5 用 1 备）（单台 604L/s） 工艺设备循环冷却水系统：循环冷却水水量 34000m3/h。供水温度 20±2℃；回水温度 25±2℃。供水压力不低于 0.4MPa。 工艺清洗水回收系统：1 套，采用“混床树脂塔+去阴离子塔+活性炭塔” 处理工艺，废水处理量 250m3/h。 冷冻站：由低温冷冻水系统及中温冷冻水系统组成，设置水冷离心式冷 冻机组 11 台，冷量总计为 16100USRT。 空压站：设置 4 套 3192Nm3/h 的无油螺杆，1 套 4014 Nm3/h 的空压机， 压缩空气总供应能力 15000Nm3/h。 锅炉房：设置 3 台燃气热水锅炉，其中 2 台 4000 kW（1 用 1 备），1 台 2000kW（1 用 0 备）。 应急发电机房：内设置 2500 KVA 的应急柴油发电机 6 台（5 用 1 备）， 总容量 15000KVA。
含氟废水处理系统：采用“CaCl2 混凝沉淀法”处理工艺，废水处理量 100 m3/h。 研磨废水处理系统：1 套，采用“混凝沉淀法”处理工艺，废水处理量 40m3/h。 有机废水处理系统：1 套，采用“厌氧+好氧”处理工艺，废水处理量 20 m3/h。
事故应急池(兼顾生产废水事故应急池及消防废水收集池)：总有效容积为 2720m3。 一般废气排风系统：设置 6 套风机（5 用 1 备），单套风量 72000 m3/h， 系统总风量 360000m3/h，设置排气筒 6 根（5 用 1 备）。
为本项目配建，由专业公司负责运营。
建筑面积 605m2（1F，6.1 m），主要负责氨气、一氧化二氮、三氟化氮的 供应，氨气、一氧化二氮、三氟化氮钢瓶经人工用叉车运至特气供应间 中相应气体柜后，上述气体经管路供应到生产车间机台使用点 建筑面积 254m2（1F，6.1 m），主要负责硅烷的供应，硅烷钢瓶经人工用 叉车运至硅烷供应间气体柜后，经管路供应到生产车间机台使用点。 建筑面积 547m2（1F，8.1 m）主要存放：过氧化氢、异丙醇、光阻液 PGMEA。
主体设施及
本项目为新建 12 英寸
路有限公司 12 吋晶 工环保验收会，2018 年 4 月 24
环保设施已
1
12 吋晶圆制造 晶圆代工生产线，主要 从事集成电路晶圆的生
圆制造基地项目环境 日取得《关于合肥晶合集成电
全部建成投
合肥市环境
2016.4~2017.6 影响报告书的审批意 路有限公司 12 寸晶圆制造基地
含氨废水处理系统废气治理系统：设置两级酸液吸收喷淋后，经 19m 排 气筒排放。
污水站废气收集治理系统：设置一级水喷淋塔后，经 19m 排气筒排放。
废气系统
无有机废气产生，故未建有机废气治理系统
化学品供应间 10#废气治理系统：设置活性炭吸附装置处理后，经 15m 排气筒排放。
5
工程 类别
单项工程名 称
酸性废气处理系统：设置 6 套碱液喷淋吸收塔（5 用 1 备），碱液喷淋装 置单套风量 78000 m3/h，系统总风量 468000 m3/h，GVD 气体喷淋装置 30000m3/h，设置 44m 排气筒 6 根（5 用 1 备）。 碱性废气处理系统：设置 3 套酸液喷淋吸收塔（2 用 1 备），单套风量 27000m3/h，系统总风量 54000 m3/h，设置 44m 排气筒 3 根（2 用 1 备）。
含砷工艺尾气（离子注入工序工艺尾气）处理系统：设置 24 套（20 用 4 备）POU 净化装置+1 套含砷废气吸附装置+1 根 39m 排气筒。 锅炉烟气排风系统：设置 3 套，其中 2 套（1 用 1 备）单台风量 6000 m3/h，1 套单台风量 3000 m3/h，设置 35m 排气筒 3 根（2 用 1 备）。
食堂
位于办公区内，可共 400 人同时用餐
绿化 废水处理站
废气系统
绿地率 9.5%，厂区绿化面积 11136m2
酸碱废水处理系统：1 套，采用二次中和处理工艺，废水处理量 300m3/h。 含氨废水处理系统：1 套，采用“ 吹脱+硫酸吸收液吸收法”处理工艺，废 水处理量 30m3/h；含氨废水经处理后排入中和调节系统
目前该项目所有主体设施及环保设施均已建设完成，产能仍在逐步提升。 合肥晶合集成电路有限公司历史项目情况见下表。
1
表 1-1 合肥晶合集成电路有限公司历史项目情况一览表
序 项目名称
号
建设内容
建设时间
环评批复及时间
验收批复及时间
审批机关 当前现状
关于合肥晶合集成电 2018 年 2 月 9 日通过阶段性竣
综合动力站：对各种动力设施进行隔声、消声、减振等措施
位于仓库内，建筑 400m2。用于收集废油、废离子交换树脂、抹布/手套 等（沾化学物质清洗杂物、砷等）、废过滤芯、废化学品容器、废铅酸电 池、镉电池（厂务设施中 UPS 系统换下尚可回收使用的电池）及废灯管 等危险废物。危险废物暂存库建设过程中，应严格按照《危险废物储存 污染控制标准》的要求进行设计和建设，设置地沟，并做好防雨、防腐 和防渗“三防”措施。 位于仓库中，建筑 140m2。用于废芯片、废靶材、水处理废活性炭及废 包装材料等一般废物进行分类堆放。一般固体废物暂存库建设过程中， 应做好防风、防雨、防渗措施。
噪声治理
危险废物暂 存库
一般废物暂 存库
污泥暂存区 废液收集罐
风险应急设 施
工程内容及规模
特气供应站 6#废气处理系统：设置两套废气处理设施（酸、碱两套抽风 装置），酸性排气风机风量为 4920 m3/h，设置排气筒一个。碱性气体风 机风量为 2520 m3/h，设置排气筒一个。 生产厂房：对主要产噪设备进行隔声、吸声、减振，对废气治理系统进 行消声、减振等措施
6
建筑系数
%
51.38
7
容积率
1.85
8
绿化率
%
9
办公面积
m2
10
办公建筑面积
m2
9.5 6803.61 22132.45
11
占地比
%
5.8
12
建筑比
%
9.93
13
小汽车车位
个
178
14
自行车位
个
298
1.1.2. 现有工程建设内容
本项目现有厂区包括生产厂房、仓库、废水处理站、综合动力站、特气供应间、硅
有机废气处理系统：设置 3 套沸石浓缩转轮焚烧系统（包括石浓缩转轮 及焚烧炉）（2 用 1 备），单套风量 44000 m3/h，系统总风量 132000 m3/h，设置 44m 排气筒 4 根（3 用 1 备）。
非含砷工艺尾气（其他工序工艺尾气）处理系统：设置 32（5 用 27 备） 套 POU 净化装置，单套风量 40m3/h，系统排气并入酸性废气处理系统进 行处理，并依托酸性废气排气筒进行排放。
烷供应间、化学品库 1、化学品库 2、化学品供应间、地下柴油罐、110KV 变电站、门
卫室 1、门卫室 2、门卫室 3 等。项目组成见表 1.1-2。
工程 类别
主体 工程
单项工程名 称
生产厂房
表1.1-2 现有工程组成一览表
工程内容及规模
生产线：设计生产能力为 4 万片/月，当前产能为 3000 片/月。 位于厂区中部（4F 部分，建筑面积 175187m2），其中： 1F：为生产支持区，主要设置其他集中供应室、化学品集中供应室、酸 类废液收集罐区、芯片仓库等； 2F：为生产支持区，主要设置变配电室、POU 设备间、部分化学品本地
产，目前产
基地项目
保护局
产，项目设计能力 4 万
见，环建审[2016]18 项目阶段性竣工工程固体废物
能 3000 片/
片/月（48 万片/年）
号，2016 年 3 月 14 和噪声污染防治设施验收合格
月，3.6 万
日
的函》（合环验[2018]15 号
片/年
2
1.1. 现有工程建设规模及内容
本工程污染物达标排放按已投产的工程实际检测情况进行分析，因已建工程尚未 达产，因此污染物排放总量核算依据《12 吋晶圆制造基地项目环境影响报告书》及批复 内容进行核算。