MEMS振荡器调研报告
硅MEMS振荡器的稳定和可靠性
MEMS硅晶振的稳定性和可靠性目录1．介绍2．MEMS硅晶振的优势3．环境压力3.1电源噪声3.2外部EMI噪声3.3震动和振动4．可靠性5．摘要6．参考文献1介绍历史上，振荡器是由连接到模拟的石英晶体谐振器制成的驱动谐振器的维持电路以特定频率振动。
现在有一个替代- 硅MEMS振荡器- 这些器件在其中优于石英振荡器嘈杂的环境向更高速度的信和移动应用场合的转变对时钟源的要求更高。
此外，更复杂的电子和更高的时钟频率使得时钟设备在嘈杂的环境中继续表现良好。
本文显示了在石英上进行的比较实验的结果硅MEMS振荡器。
数据表明，硅MEMS振荡器的性能优于石英现实的环境条件。
振荡器供应商提供每个产品的数据表，说明性能参数作为频率稳定性，抖动和相位噪声。
虽然数据表是一个很好的指标选择定时设备，用户还必须评估这些设备在现实生活中的表现环境条件。
在模拟真实操作中看到的条件下进行测试环境提供有关真实组件性能的有价值的信息。
该受到环境影响因素（如电磁）的振荡器的性能将会影响电源或其他系统组件的干扰（EMI），振动和噪音与理想条件下的振荡器性能相对降低。
最终，环境压力可能降低设备的可靠性和寿命。
考虑表现很重要的振荡器在现实，嘈杂，苛刻的条件下选择定时装置。
2．硅MEMS振荡器的优势硅MEMS振荡器比允许它们的石英振荡器具有一些固有的优点在各种环境中可靠地执行。
SiTime开发了MEMSFirstTM工艺这些谐振器被完全封装在硅中并封闭在微型真空室内[1]。
谐振器的质量非常小，其刚性的硅晶体结构的组合使其耐用，并且极大地抵抗诸如冲击和振动的外部应力。
此外，振荡器中最佳设计的模拟电路可提供高性能电噪声条件。
图1中的MEMS振荡器架构示意图显示了关键部件有助于性能和可靠性，包括微调硅MEMS谐振器，振荡器维持电路，高精度分数N锁相环（PLL）和驱动器全差分电路。
大多数石英振荡器厂商是制造谐振器的专家，但不一定在电路设计。
他们通常外包模拟电路，必须购买死机旨在使用各种晶体，而不是针对具体的优化谐振器。
MEMS可行性研究报告范文模板 (二)
MEMS可行性研究报告范文模板 (二)
1. 研究背景
- MEMS，即微机电系统，是一种集成微型机械、电子、光学和生物技
术的多学科交叉领域，具有广泛的应用前景。
- 随着科技的不断发展，MEMS技术已经在各个领域得到了广泛应用，
如汽车、医疗、航空航天等领域。
2. 技术原理
- MEMS技术是通过微加工技术将微型机械结构、电路和传感器等集成
在一起，实现微型化、集成化、智能化的功能。
- MEMS技术的核心是微加工技术，包括光刻、薄膜沉积、离子注入、
蚀刻等技术。
3. 应用领域
- 汽车领域：MEMS传感器可以用于汽车的安全控制系统、发动机控制
系统、气囊控制系统等。
- 医疗领域：MEMS技术可以用于医疗器械的微型化和智能化，如血糖仪、心电图仪等。
- 航空航天领域：MEMS传感器可以用于飞机的姿态控制、气动力测量等。
4. 可行性分析
- MEMS技术已经成熟，应用领域广泛，具有较高的可行性。
- MEMS技术的应用可以提高产品的性能、降低成本、提高生产效率等，具有很高的经济效益。
- MEMS技术也可以促进产业升级和创新发展，具有很高的社会效益。
5. 建议和展望
- 加强MEMS技术的研究和开发，推动其在更多领域的应用。
- 建立MEMS技术的标准和规范，提高其产品质量和安全性。
- 加强MEMS技术人才的培养和引进，推动其产业化和国际化发展。
- 展望未来，MEMS技术将会在更多领域得到广泛应用，成为推动科技进步和社会发展的重要力量。
RFMEMS技术调研报告报告
2010~2012年MEMS发展报告RF MEMS第一章绪论RF MEMS是指利用MEMS技术加工出来的尺寸在微米到毫米量级的射频器件，能够对射频信号进行控制。
和传统的射频器件相比，RF MEMS器件不仅尺寸更小，更加容易与单片电路集成，性能上也有了大的提高（例如低插损、线性、宽带、低功耗），可替代传统的PIN 二极管和同类铁氧体产品。
）按照RF MEMS研究层面的不同，可以将其分为三类：基本器件：微机械开关，可变电容，电感，谐振器。
组件层面：移相器，滤波器，压控振荡器。
系统层面：接收机，变波束雷达，相控阵天线。
RF MEMS器件的工作频率如下：（1）RF MEMS开关、变容器和电感器，可工作在DC~120GHz范围。
（2）微加工传输线、高Q 谐振器、滤波器和天线，适合于12~200 GHz范围。
（3）FBAR（薄膜体声谐振器）和滤波器，直到3GHz都表现出优异的性能和高Q 值（>2000 ）。
（4）RF微机械谐振器和滤波器，在0.01 ～200MHz 性能较好并有高Q 值（>8000 ）。
图1 给出了RF MEMS器件工作频率范围。
图1 RF MEMS 器件工作频率范围图2 给出了RF MEMS技术的应用领域和范围；图3 给出了RF MEMS开关的应用领域。
图2 RF MEMS 的应用领域与应用范围图3 RF MEMS开关的应用领域第二章技术发展2.1国外RF MEMS技术发展现状2.1.1 国外RF MEMS 开关的研究1990～1991年，在DARPA（美国国防预先研究计划署）资助下，位于加州Malibu 的Hughes（休斯实验室）研制出微波控制的第一个MEMS开关（和变容器）。
它证实了直到50GHz 范围内MEMS 开关的优异性能，比用GaAs器件实现的任何开关性能都要好得多。
到1995年，Rockwell （罗克韦尔）科学中心和TI （德州仪器）公司均研制出性能优异的RF MEMS开关。
2024年MEMS振荡器市场环境分析
2024年MEMS振荡器市场环境分析简介MEMS（微电子机械系统）振荡器是一种微型数字时钟，其广泛应用于计算机、移动通信和消费电子等领域。
本文将对MEMS振荡器的市场环境进行分析，并探讨市场趋势、竞争对手、驱动因素等关键因素。
市场趋势1. 市场规模不断扩大随着计算机和移动通信行业的迅速发展，MEMS振荡器市场规模不断扩大。
与传统晶体振荡器相比，MEMS振荡器具有更小的体积、更高的性能和更低的功耗，因此受到了广泛的关注和应用。
2. 高集成度和多功能化需求增加随着移动设备越来越小型化和功能化，对MEMS振荡器的集成度和功能要求也越来越高。
市场上的需求不再仅仅局限于时钟频率的稳定性，而是更注重其在系统中的综合性能和功耗。
3. 新兴应用领域的增长MEMS振荡器的应用不仅局限于传统的计算机和移动通信领域，还涉及物联网、汽车电子、医疗设备等新兴领域。
随着这些领域的快速发展，MEMS振荡器的市场需求将进一步扩大。
竞争对手分析目前，MEMS振荡器市场存在着多个主要竞争对手，主要包括以下几家公司：1. 美光科技（Micron Technology）美光科技是全球领先的半导体公司，其在MEMS振荡器领域具有较强的研发能力和市场份额。
该公司的MEMS振荡器产品广泛应用于计算机和消费电子等领域。
2. 立锜科技（IQE）立锜科技是一家专注于半导体产品封装的公司，在MEMS振荡器领域具备一定的技术实力和市场份额。
该公司的产品在移动通信领域得到广泛应用。
3. 翰阳科技（Hankook Technology）翰阳科技是一家韩国公司，专注于MEMS振荡器的研发和制造。
其产品具有稳定性好、功耗低的特点，在市场上受到了一定的认可。
驱动因素分析1. 技术进步与创新MEMS振荡器市场的发展受到技术进步和创新的推动。
随着微纳加工技术的不断提升，MEMS振荡器的集成度和性能得到了极大地提高，进一步推动了市场的发展。
2. 电子设备需求增加随着电子设备市场的不断扩大，对MEMS振荡器的需求也随之增加。
振荡器实验报告
振荡器实验报告振荡器实验报告引言：振荡器是一种能够产生连续振荡信号的电子设备，广泛应用于通信、无线电、雷达等领域。
本文将介绍一次振荡器实验的设计、实施和结果分析。
实验目的：通过设计和搭建一个简单的振荡器电路，了解振荡器的基本原理和工作方式，并通过实验验证理论知识。
实验装置：1. 电源：提供所需的电能；2. 电容器：存储电荷；3. 电感器：储存电能；4. 晶体管：用于放大和控制电流；5. 电阻器：限制电流；6. 示波器：用于观察振荡器输出的波形。
实验步骤：1. 连接电路：根据设计图纸，将电容器、电感器、晶体管和电阻器依次连接起来，形成一个闭合电路；2. 接通电源：将电源接入电路，确保电路正常工作；3. 调节电阻：通过调节电阻器的阻值，控制电路的稳定性；4. 观察输出波形：将示波器的探头接入电路的输出端，观察并记录振荡器输出的波形。
实验结果：经过实验，我们成功地搭建了一个振荡器电路，并观察到了输出的振荡波形。
通过示波器的显示，我们可以清晰地看到周期性的正弦波信号。
随着电阻值的变化，我们发现波形的频率也会相应改变，验证了振荡器的频率可调性。
结果分析：振荡器的实验结果与理论预期相符。
振荡器的工作原理是通过正反馈回路来实现信号的持续振荡。
在电路中，晶体管扮演着放大和控制信号的角色，电容器和电感器则通过储存和释放电能来维持振荡的连续性。
而电阻器则起到限制电流的作用，保证电路的稳定性。
实验中，我们发现调节电阻器的阻值可以改变振荡器的频率。
这是因为电阻器的阻值决定了电路的时间常数，从而影响振荡器的周期。
当电阻值增大时，时间常数增大，振荡器的频率相应减小；反之，电阻值减小时，振荡器的频率增大。
这一发现与理论知识相符。
结论：通过本次振荡器实验，我们深入了解了振荡器的基本原理和工作方式。
实验结果验证了理论知识的正确性，并通过观察输出波形的变化，进一步了解了振荡器的频率可调性。
振荡器作为一种重要的电子设备，在通信和无线电领域发挥着重要的作用，对于我们深入学习和理解电子学知识具有重要意义。
振荡器实验报告
振荡器实验报告振荡器实验报告引言：振荡器是电子学中常见的一种电路，它能够产生稳定的交流信号。
在本次实验中，我们将探索振荡器的工作原理，并通过实验验证其性能。
一、实验目的本实验的主要目的有两个方面：1. 了解振荡器的基本原理和工作方式；2. 通过实验验证振荡器的性能，如频率稳定性、幅度稳定性等。
二、实验原理振荡器是一种能够自激励产生振荡信号的电路。
它由放大器和反馈网络组成。
放大器将输入信号放大后送回反馈网络，反馈网络再将信号输入放大器，形成一个闭环。
在适当的条件下，这个闭环系统能够产生稳定的振荡信号。
三、实验装置本次实验所需的装置有：1. 函数发生器：用于提供输入信号；2. 振荡器电路：由放大器和反馈网络组成；3. 示波器：用于观测振荡器输出信号的波形。
四、实验步骤1. 搭建振荡器电路：根据实验指导书提供的电路图，连接放大器和反馈网络；2. 设置函数发生器：将函数发生器的输出与振荡器电路的输入相连，设置适当的频率和幅度；3. 观测输出信号：将示波器的探头连接到振荡器电路的输出端，调整示波器的参数，观察输出信号的波形和频率；4. 记录实验数据：记录函数发生器的频率和幅度，以及示波器观测到的振荡器输出信号的波形和频率。
五、实验结果与分析根据实验数据和观测结果，我们可以得出以下结论：1. 振荡器能够产生稳定的振荡信号，其频率和幅度基本保持不变；2. 振荡器的输出信号呈现正弦波形，频率与函数发生器设置的频率相近。
六、实验误差与改进在实验过程中，可能会存在一些误差，影响实验结果的准确性。
可能的误差来源包括：1. 实验装置的精度限制：函数发生器和示波器的精度可能会对实验结果产生一定的影响；2. 电路元件的参数漂移：电路元件的参数可能会随时间变化，导致振荡器的频率和幅度发生变化。
为了减小误差，我们可以采取以下改进措施：1. 使用更高精度的实验装置：选择精度更高的函数发生器和示波器，以提高实验结果的准确性；2. 定期校准电路元件：定期检查和校准电路元件的参数，以确保振荡器的频率和幅度稳定。
MEMS振荡器产业化报告20140310
15
MEMS硅振荡器的设计
• MEMS硅振荡器设计原理 • 频率信号对于所有电子产品就像是心跳对所有动物的生命一般重要，所有电子电路的动作都以此重复性且稳定的 频率信号作为参考信号源。 • MEMS硅振荡器内部框图，含温度补偿功能，
•
备注：晶体谐振器是单只晶体本身，晶体本身就是一种谐振器，晶体硅振荡器是由晶体谐振器和震荡电路共同组成！他 16 们的组合电路称为晶体硅振荡器！
2018 $36.46 48,000 100% 48,000 $588 $254 $36.46 $6.61 82% $46.76 $5.68
$42.37 ($42.16)
$97.28 ($92.30)
$153.32 ($136.22)
$215.28 ($173.26) 19
MEMS硅振荡器的设计
• MEMS硅谐振器产品销售价格 • 8“的晶圆生产MEMS硅谐振器，每个晶圆上的合格率为60%，转产后合格率是80%，每个晶圆的成本为$293
3
MEMS硅振荡器概述
一场革命性的洗礼和升级 未来，MEMS硅振荡器将完全替代晶体硅振荡器。
代替
4
MEMS硅振荡器简介
• • MEMS硅振荡器: 通过微机电系统制作出的一种可编程的硅振荡器，属于我们通常所说的有源晶振。 MEMS硅振荡器透视图, 以SiTime的MEMS硅振荡器为例，其是由两个芯片堆栈起来，下方是CMOS PLL 驱动芯片，上方则是MEMS谐振器，以标准QFN IC封装方式完成.
6
MEMS硅振荡器简介
• MEMS 相关技术开发历程 • MEMS技术的首次开发应用，并市场化历时36年； • MEMS 技术应用在振荡器中，开发到市场化历时16年； • 新技术出现，替代和应用，人们给予研究人员的研发间在不停地缩短，同时要求研发人员开发降成本 产品；
基于MEMS技术的谐振器研究
１．２ ＭＥＭＳ谐振器………………………………………………………………………２
１．２．１ ＭＥＭＳ谐振器的发展现状……………………………………………………２
●
１．２．２ ＭＥＭＳ谐振船研究的目的与意义…………………………………………６
１．３本论文主要研究工作……………………………………………………………．．７
ｐａｒａｍｅｔｅｒｓ ａｒｅ ｓｙｓｔｅｍａｔｉｃ ｓｔｕｄｉｅｄ ｈｅｒｅ．ＡＤＳ ｒａｄｉｏ ｆｉ＇ｅｑｕｅｎｃｙ ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ ｓｏｆｔｗａｒｅ ｉｓ
ｕｓｅｄ ｆｏｒ ａｎａｌｙｓｉｓ ｏｆ ｔｈｅ ｅｌｅｅｌｒｉｃａｌ ｐｒｏｐｅｒｔｉｏｓ．ｎｅｙ ａｒｅ ａｌｌ ｆｏｒｍｉｎｇ ｔｈｅ ｆｏｕｎｄａｔｉｏｎ ｆｏｒ ｔｈｅ
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Ａｂｓｔｒａｃｔ
ＭＥＭＳ ｒｅｓｏｎａｔｏｒｓ，ｗｉｔｈ ｔｈｅｉｒ ｓｍａｌｌ ｖｏｌｕｍｅ，ｌｏｗ ｃｏｓｔ ａｎｄ ｃｏｍｐａｔｉｂｌｅ ｆｅａｓｉｂｉｌｉｔｙ ｏｆ
第1章绪论表13si8002与dsc8001系列振荡器对比tablel3comp盯edsi8002withdsc8001seriesoscillatordsc8001si8002频率范围1m时z150婀z1mhz200m时z相位噪声抖动80ps000mhz4ps75mhz36ps125mhz频率公差20ppm410ppm0?70c25ppm士12ppm20702i50ppm15ppm4085c15ns输出上升下降时间13ns占空比55551125m时z60125200z30ua待机电流15ua老化率lppmlppm表14市场常用mems振荡器规格table14specificationsofmarketcommonlyusedmemsoscillators美信凌力尔特1khz20mzt意法半导体10mhz12mhz16mhzsiliconlab频率范围600khz106mhz133mz09mhz200mhzmhz相位噪声抖动160ps150ps35ps150ps09ps频率公差325nnm05400ppm15100pp输出上升下降时间5ns14ns19ns5ns3ms占空比5050555555工作电流5ma042ma3ma开启时间100lis400ps20us3ms应用白色家电手持产品便携式设备pda消费计算和存储应电机控制数码相机摄像机打家电楼宇控制设备显示器驱动汽车便携式设备消蜂窝电话充电泵驱动用常见串行有线接印机个人计算机外费类产品微控制器系器开关电源时钟基准定时开口sata电路高级设液晶显示存储装置工业控pceusb充电器和低和usb30
2024年MEMS振荡器市场需求分析
MEMS振荡器市场需求分析简介MEMS振荡器（Microelectromechanical Systems Oscillator）是一种微电子机械系统振荡器，以其小巧、低功耗和高性能等特点，被广泛应用于移动设备、通信系统、工业自动化等领域。
本文将对MEMS振荡器市场需求进行分析。
市场现状目前，MEMS振荡器市场呈现快速增长的趋势。
随着电子设备的迅猛发展，对振荡器的需求日益增加。
传统的石英晶体振荡器虽然具有稳定性好的优点，但其体积较大、功耗高，难以满足小型化、低功耗的要求。
相比之下，MEMS振荡器具有体积小、功耗低、抗冲击能力强等优势，受到市场的青睐。
市场驱动因素MEMS振荡器市场需求分析需要考虑的关键驱动因素如下：1. 移动设备市场的增长随着智能手机、平板电脑等移动设备的普及，对于小型化、低功耗的MEMS振荡器的需求也在不断增加。
这些设备需要稳定的时钟信号来保障其正常运行，而MEMS 振荡器可以满足这一需求。
2. 无线通信技术的发展随着5G通信技术的快速发展，对振荡器的要求更高，需要更高频率的时钟信号来支持高速数据传输。
MEMS振荡器具备较高的频率稳定性，能够满足5G通信系统对时钟信号的需求。
3. 工业自动化的需求增加工业自动化领域对振荡器的需求也在增加。
工业自动化设备需要稳定可靠的时钟信号来进行时间同步和数据传输，而MEMS振荡器具有较高的稳定性和可靠性，能够满足这一需求。
4. 消费电子产品的多样化需求随着消费电子产品的不断更新换代，对振荡器的需求也不断变化。
消费电子产品需要在体积小、功耗低的前提下，提供稳定的时钟信号，以支持各种功能和应用。
MEMS振荡器的小型化和低功耗特点使其适用于各种消费电子产品。
市场前景MEMS振荡器市场有着广阔的前景。
随着新兴技术的不断涌现，对MEMS振荡器性能的要求越来越高，市场竞争也越来越激烈。
未来，随着MEMS制造工艺的进一步改进和技术创新，预计MEMS振荡器的市场规模将继续扩大。
2024年MEMS振荡器市场规模分析
2024年MEMS振荡器市场规模分析概览MEMS振荡器是将微机电系统（MEMS）技术与振荡器技术相结合，实现高度集成化的振荡器芯片。
在现代电子设备中，振荡器是一种重要的元器件，用于提供稳定的时钟信号和频率参考。
MEMS振荡器由于其小尺寸、低功耗、高可靠性等优势，正逐渐替代传统的石英振荡器，并在移动通信、消费电子、汽车电子等领域得到广泛应用。
本文将针对MEMS振荡器市场规模进行分析。
市场规模根据Market Research Future的报告，2019年MEMS振荡器市场规模约为50亿美元。
预计到2025年，这一市场规模有望增长至100亿美元，年复合增长率约为10%。
市场驱动因素市场驱动因素是影响MEMS振荡器市场规模增长的关键因素。
以下是几个主要的市场驱动因素：1.移动通信的快速发展：随着移动通信技术的不断进步，对更高性能和更小尺寸的振荡器需求不断增加。
MEMS振荡器由于其小尺寸和高性能的特点，在移动通信设备中得到广泛应用。
2.消费电子产品的普及：智能手机、平板电脑、可穿戴设备等消费电子产品对振荡器的需求量非常大。
随着这些产品的不断普及，MEMS振荡器市场也将迎来良好的增长机遇。
3.汽车电子行业的发展：现代汽车装备了大量的电子设备，需要稳定的时钟信号和频率参考。
MEMS振荡器由于其抗冲击、高可靠性的特点，在汽车电子领域有广泛应用。
4.芯片集成化的趋势：随着芯片集成度的不断提高，对集成振荡器的需求也在不断增加。
MEMS振荡器由于其结构紧凑、易于集成的特点，成为芯片集成化的理想选择。
市场前景MEMS振荡器市场在未来几年有着广阔的发展前景。
以下是市场前景的几个关键点：1.新兴应用领域的增长：随着物联网、无线传感器网络等新兴应用领域的发展，对小尺寸、低功耗、高可靠性的MEMS振荡器的需求将不断增加。
2.5G技术的推动：5G技术需要更高频率的时钟信号，这将进一步推动MEMS振荡器市场的发展。
3.技术创新的推动：目前，MEMS振荡器的技术仍在不断创新与改进，以满足市场对更高性能、更低功耗的需求。
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Category Total People Related Expenses Total Material & Supplies Expenses
Unit: $ 4,018,065 32,760
Total Outside Services & Supporting Expenses
Total Capital Expenditure Total
175,000,000 179,050,825
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MEMS硅振荡器的设计
• MEMS硅谐振器产品财务总结 For Year Ending December 31 2015 2016 2017 Market TAM (in millions) （营业收入） Total Units Sold（销售数量） GCICT Target Share(市场份额） GCICT Total Units（销售数量） Unit Details GCICT ASP（销售单价） Unit Product Cost（产品成本） Income Statement Revenue (in millions)（营业收入） COGS (in millions)(销货成本) Gross Margin %(毛利率) EBITDA (in millions)(息税折旧及摊销前利润) Net Income (Loss) (in millions)(净收益) Business Analysis Cumulative Investment (in millions) (累计投资额) NPV(净现值) $0.00 0 0.0% 0 $0.44 750 100% 750 $588 $276 $0.00 $0.00 $6.23 ($0.37) $0.44 $0.01 97% $17.52 ($0.36) $8.70 14,800 100% 14,800 $588 $265 $8.70 $0.40 95% $29.06 $0.09
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MEMS硅振荡器的设计
• MEMS硅振荡器设计原理 • 频率信号对于所有电子产品就像是心跳对所有动物的生命一般重要，所有电子电路的动作都以此重复性且稳定的 频率信号作为参考信号源。 • MEMS硅振荡器内部框图，含温度补偿功能，
•
备注：晶体谐振器是单只晶体本身，晶体本身就是一种谐振器，晶体硅振荡器是由晶体谐振器和震荡电路共同组成！他 16 们的组合电路称为晶体硅振荡器！
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MEMS硅振荡器简介
• MEMS 相关技术开发历程 • MEMS技术的首次开发应用，并市场化历时36年； • MEMS 技术应用在振荡器中，开发到市场化历时16年； • 新技术出现，替代和应用，人们给予研究人员的研发间在不停地缩短，同时要求研发人员开发降成本 产品；
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MEMS硅振荡器简介
• MEMS 相关技术开发历程 • 部分公司开发时间和交付时间，获得收益最快的是SiTime公司和Discera公司
# BOM DL MOH OS Total
$ 117 88 88 0 293
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MEMS硅振荡器的设计
•
#
MEMS硅谐振器产品销售价格路线图 • 项目在启动时直到量产，这个过程中始终考虑并推动降成本问题，启动时产品成本是$293,量产后产品成本是 $179； • 假设产品售价不变，GM%会2016年的从58%升到2017年的70%。
11
MEMS硅振荡器简介
• MEMS硅振荡器应用 • 网络通讯 • 存储电脑 • 消费类 • 工业类
12
MEMS硅振荡器的设计
• SiTime MEMS硅振荡器器件规格
13
MEMS硅振荡器的设计
• SiTime MEMS硅振荡器规格系列化，
14
MEMS硅振荡器的设计
• SiTime MEMS硅振荡器类型，
开发时间和交付时间
18 16 14 12 10 8 6 4 2 0 年
汽车 加速 器
手机 RFFBAR 16 5
麦克 分 15 4
MEM 2轴陀 S振荡 螺仪 器 3 2 2 4
自动 对焦 3 4
轮胎 压力 探测 5 7
开发时间 交付3百万个
8 13
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MEMS硅振荡器简介
• MEMS硅振荡器经历了3个阶段，2003年提出到今天 • 纳米技术MEMS振荡器： 不良的抖动和相位噪音；价格高 • 传统硅振荡器：不良的抖动和相位噪音；支持较窄的频率范围，如25 -30MHz、50-75 MHz • 全硅MEMS振荡器：解决了以上3个问题
Q2'14 Q3'14 Q4'14 Q1'15 Q2'15 Q3'15 Q4'15 0 117.00 88.00 88.00 293.00 0 117.00 88.00 88.00 293.00 0 113.49 85.36 85.36 284.21 0 110.09 82.80 82.80 275.68 0 106.78 80.32 80.32 267.41 0 103.58 77.91 77.91 259.39 0 100.47 75.57 75.57 251.61
阶段1 项目技术转移资料 可行性评估
立项
阶段2 采购 样品试作 验证评估 小批量试作 阶段3 食品安全测试 验证评估 阶段4 阶段5 批量 验证评估 批量 验证评估 17 2800 400 100 200 50
MEMS硅振荡器的设计
• MEMS硅谐振器投资成本 • 2012年，罕王微机电高科技产业园介绍 罕王微机电高科技产业园总投资30亿元,占地面积1200亩，与产能4000个； • 2002年，中芯国际投资12亿美元 ，在北京建8英寸晶圆厂，月产转产后月产能达到2万个； • 如果我们在内地投资30亩地，1万平米的厂房生产MEMS硅谐振器，开发为期3年，转产后月产能达到4000个，需要 总投资1.79亿美金；
MEMS硅振荡器的设计
• MEMS硅谐振器项目规划 • 3年完成MEMS硅谐振器项目，2015年1月启动，2017年12月份结束； • 整个项目完成分5个阶段完成，从阶段1到阶段5.； 2015 Q1 Q2 Q3 Q4 Q1 Q2 2016 Q3 Q4 Q1 2017 Q2 Q3 Q4
阶段
主题 技术转移
MEMS硅振荡器重点企业调查 --------------------------------------------------------------------------------------- 56 • • 国外SiTime公司调查 国内中芯国际公司调查
• • • •
MEMS专利技术 ------------------------------------------------------------------------ --------------------------- 66 MEMS的国家政策 ------------------------------------------------------------------------------------------------67
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MEMS硅振荡器简介
• MEMS硅振荡器经历了3个阶段，2003年提出到今天
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MEMS硅振荡器简介
• • • 封装在8寸标准晶圆片上的MEMS谐振器(晶圆级封装)和模拟IC(包括PLL，VCO)整合封装而成，并且采 用了低成本可高量产的塑料封装技术； 双晶片MEMS硅振荡器虽然采用了更加标准的封装技术，但仍然依赖主流批量CMOS工厂之外的专业 MEMS工厂。此外，它对MEMS谐振器特性更加敏感，因此从系统性能和成本的角度来看不是最佳选择; 得益于Silicon Labs设计团队在混合信号3D设计方面积累的丰富经验，Silicon Labs专利的CMEMS技术在 单晶片上集成了MEMS谐振器和CMOS硅振荡器电路，使硅振荡器具有更小尺寸、更高可靠性、更佳抗 老化性以及更高集成度。
MEMS硅振荡器市场分析 ------------------------------------------------------------------------------------------ - 35 • • MEMS硅振荡器产业链分析 MEMS国内上游产业链
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MEMS谐振器和振荡器国外生产厂家调查
2018 $36.46 48,000 100% 48,000 $588 $254 $36.46 $6.61 82% $46.76 $5.68
$42.37 ($42.16)
$97.28 ($92.30)
$153.32 ($136.22)
$215.28 ($173.26) 19
MEMS硅振荡器的设计
• MEMS硅谐振器产品销售价格 • 8“的晶圆生产MEMS硅谐振器，每个晶圆上的合格率为60%，转产后合格率是80%，每个晶圆的成本为$293
公司 Freescale Avago Technologies Knowles Acoustics Sitime, Discera Invensense Siimple, Varioptic Infineon, GE,Sensing 产品 汽车加速器 手机RF-FBAR 麦克分 MEMS振荡器 2轴陀螺仪 自动对焦 轮胎压力探测 开发时间 8 16 15 3 2 3 5 交付3百万个 13 5 4 2 4 4 7 3百万是销售额（$ Million) 1000 210 150述
一场革命性的洗礼和升级 未来，MEMS硅振荡器将完全替代晶体硅振荡器。
代替
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MEMS硅振荡器简介
• • MEMS硅振荡器: 通过微机电系统制作出的一种可编程的硅振荡器，属于我们通常所说的有源晶振。 MEMS硅振荡器透视图, 以SiTime的MEMS硅振荡器为例，其是由两个芯片堆栈起来，下方是CMOS PLL 驱动芯片，上方则是MEMS谐振器，以标准QFN IC封装方式完成.