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EE Weekly Report-W1724 (06/11~06/17)
Prepared by EE Jun. 16th .2017
W1724 Fab8 EE Weekly Report
Highlight / lowlight NA
Weekly Department KPI summary and review Y1-EIS 98.68%（Target 99.1%），DIFF漏晶点位异常导致漏晶，DIFF当站Impact 0.05%，ISO影响 0.09%，CVD影响0.05%，PRT影响0.02%，DIFF 漏晶Total Impact 约 0.21% 本周重工较多，wafer厚度为160-170（正常200），各站点均影响，Hold Wafer重工Impact 约0.16%
FAC2鍾鎔華
Back up Material
W1724 Y1 状况
➢EIS 98.68%，较上周98.47%↑0.23%，6/16已经改善至98.96%
DIFF 0.181%， DIFF 03/08 上下料点位优化，截至6/15，当站BK改善明显（当站漏晶Impact 约0.05%）
ISO 0.277%，DIFF来料漏晶改善，整体BK改善，较上周Improve 0.129%（前站点漏晶Impact 约0.09%）
6/11 0.005 0.048 0.214 0.366 0.246 0.274 0.136 0.142
6/12 0.017 0.018 0.178 0.254 0.360 0.205 0.142 0.133
6/13 0.007 0.044 0.240 0.428 0.315 0.221 0.267 0.157
99.04 98.80 98.96 99.19 99.11 99.14 99.17 98.82 99.02 98.47 98.70 98.68 98.68 98.66 98.32 98.73 98.89 98.96
99.00 98.00 97.00
0.100
96.00
源自文库
0.000
95.00
RENA 0.11 DIFF 0.03 ISO 0.11 CVD 0.23 PRT 0.13 FS 0.13 FVI(FS) 0.15 EIS 99.10 INSP 0.01
EIS 99.10 99.04 98.80 98.96 99.19 99.11 99.14 99.17 98.82 99.02 98.47 98.70 98.68 98.68 98.66 98.32 98.73 98.89 98.96
0.500 0.400 0.300 0.200
Y1 Stage BK
Project status update 60%设备拆装机进度——ISO03&DIFF11 PE验机进行中 60%设备验收状况：Total 24 item,完成15项: 63%，进行中4项，待送件5项 ISO03验机状况：端午节后复机，目前待换酸后 PE对其测试 CVD设备附属设备——清洗机&烤箱装机进度：5/25吊装定位完成，厂务预计6/18送电 设备异常处理SOP,新人训练资料,编排整理及列表，持续进行，网印所属设备完成55%，蚀刻完成100%， 沉积完成100% 教育训练实施状况——针对设备发生的重大异常，会将异常报告在部门内倡导，并让同仁签名确认并放 在现场供同仁随时参考学习。另外收集2/3厂历年工安事故，各组平行展开预防对策。
MFG Cost analysis 修缮维护费本周总费用37,306RMB（领用石墨舟1套，18,991RMB，厂务空调箱改造13,000RMB ）， 0.31C/W，On Target
人力状况 目前EE总人力20人（本周離職1位资深工程師）
Plan to do < 2 > NMSParPcrhop2r5i,eE2ta0Er2y0AR处理进度
受重工Wafer影响（厚度160-170，正常200），Impact 约0.16%（DIFF-0.04%，ISO -0.04%，CVD-0.04%，PRT-0.04%）
Stage INSP RENA DIFF ISO CVD PRT
FS FVI(FS)
Tgt W1714 W1715 W1716 W1717 W1718 W1719 W1720 W1721 W1722 W1723 W1724 0.01 0.012 0.004 0.008 0.003 0.004 0.004 0.006 0.004 0.008 0.010 0.008 0.11 0.005 0.003 0.002 0.002 0.004 0.006 0.003 0.000 0.018 0.020 0.006 0.03 0.032 0.054 0.044 0.055 0.030 0.043 0.071 0.201 0.134 0.197 0.173 0.11 0.148 0.207 0.169 0.137 0.141 0.122 0.149 0.271 0.112 0.406 0.272 0.23 0.251 0.351 0.298 0.196 0.186 0.155 0.162 0.190 0.278 0.288 0.277 0.13 0.406 0.226 0.183 0.148 0.191 0.192 0.153 0.210 0.220 0.190 0.240 0.13 0.251 0.165 0.158 0.118 0.158 0.157 0.133 0.136 0.151 0.293 0.174 0.15 0.241 0.133 0.125 0.139 0.182 0.176 0.148 0.137 0.089 0.138 0.132
6/14 0.007 0.001 0.191 0.206 0.352 0.227 0.150 0.119
6/15 0.012 0.010 0.118 0.207 0.223 0.253 0.177 0.116
6/16 0.004 0.014 0.107 0.188 0.202 0.274 0.162 0.127
Prepared by EE Jun. 16th .2017
W1724 Fab8 EE Weekly Report
Highlight / lowlight NA
Weekly Department KPI summary and review Y1-EIS 98.68%（Target 99.1%），DIFF漏晶点位异常导致漏晶，DIFF当站Impact 0.05%，ISO影响 0.09%，CVD影响0.05%，PRT影响0.02%，DIFF 漏晶Total Impact 约 0.21% 本周重工较多，wafer厚度为160-170（正常200），各站点均影响，Hold Wafer重工Impact 约0.16%
FAC2鍾鎔華
Back up Material
W1724 Y1 状况
➢EIS 98.68%，较上周98.47%↑0.23%，6/16已经改善至98.96%
DIFF 0.181%， DIFF 03/08 上下料点位优化，截至6/15，当站BK改善明显（当站漏晶Impact 约0.05%）
ISO 0.277%，DIFF来料漏晶改善，整体BK改善，较上周Improve 0.129%（前站点漏晶Impact 约0.09%）
6/11 0.005 0.048 0.214 0.366 0.246 0.274 0.136 0.142
6/12 0.017 0.018 0.178 0.254 0.360 0.205 0.142 0.133
6/13 0.007 0.044 0.240 0.428 0.315 0.221 0.267 0.157
99.04 98.80 98.96 99.19 99.11 99.14 99.17 98.82 99.02 98.47 98.70 98.68 98.68 98.66 98.32 98.73 98.89 98.96
99.00 98.00 97.00
0.100
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源自文库
0.000
95.00
RENA 0.11 DIFF 0.03 ISO 0.11 CVD 0.23 PRT 0.13 FS 0.13 FVI(FS) 0.15 EIS 99.10 INSP 0.01
EIS 99.10 99.04 98.80 98.96 99.19 99.11 99.14 99.17 98.82 99.02 98.47 98.70 98.68 98.68 98.66 98.32 98.73 98.89 98.96
0.500 0.400 0.300 0.200
Y1 Stage BK
Project status update 60%设备拆装机进度——ISO03&DIFF11 PE验机进行中 60%设备验收状况：Total 24 item,完成15项: 63%，进行中4项，待送件5项 ISO03验机状况：端午节后复机，目前待换酸后 PE对其测试 CVD设备附属设备——清洗机&烤箱装机进度：5/25吊装定位完成，厂务预计6/18送电 设备异常处理SOP,新人训练资料,编排整理及列表，持续进行，网印所属设备完成55%，蚀刻完成100%， 沉积完成100% 教育训练实施状况——针对设备发生的重大异常，会将异常报告在部门内倡导，并让同仁签名确认并放 在现场供同仁随时参考学习。另外收集2/3厂历年工安事故，各组平行展开预防对策。
MFG Cost analysis 修缮维护费本周总费用37,306RMB（领用石墨舟1套，18,991RMB，厂务空调箱改造13,000RMB ）， 0.31C/W，On Target
人力状况 目前EE总人力20人（本周離職1位资深工程師）
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受重工Wafer影响（厚度160-170，正常200），Impact 约0.16%（DIFF-0.04%，ISO -0.04%，CVD-0.04%，PRT-0.04%）
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6/16 0.004 0.014 0.107 0.188 0.202 0.274 0.162 0.127