白光扫描粗糙度轮廓仪应用(PPT课件)
合集下载
表面粗糙度轮廓及检测ppt
其它表面处理； • c处标出取样长度（mm）； • d标出加工纹理方向符号； • e处标出加工余量（mm）； • f处标出间距参数值（mm）
或轮廓支承长度率。
表面粗糙度的标注
• 标注时将其标注在可见轮廓线、尺寸界线、引出线或它们的延长 线上，符号的尖端必须从材料外指向被注表面。
• 高度参数：当选用Ra时，只需在代号中标出其参数值，“Ra”本身 可以省略；
工方法或其它因素形成，必要时才规定。常见加工纹理方向符号 见P116表5-10。
标注举例
表面度的测量
• 比较法：将被测表面和表面粗糙度样板直接进行比较， 多用于车间，评定表面粗糙度值较大的工件。
• 光切法：利用光切原理，用双管显微镜测量。 常用于 测量Rz为0.5～60μm。
0下载券文档一键搜索 VIP用户可在搜索时使用专有高级功能：一键搜索0下载券文档，下载券不够用不再有压力！
内容特 无限次复制特权 权 文档格式转换
VIP有效期内可以无限次复制文档内容，不用下载即可获取文档内容 VIP有效期内可以将PDF文档转换成word或ppt
连续包月VIP
VIP专享文档下载特权
享受60次VIP专享文档下载特权，一 次发放，全年内有效。
VIP专享文档下载特权自VIP生效起每月发放一次， 每次发放的特权有效期为1个月，发放数量由您购买 的VIP类型决定。
每月专享9次VIP专享文档下载特权， 自VIP生效起每月发放一次，持续有 效不清零。自动续费，前往我的账号 -我的设置随时取消。
其他特 VIP专享精彩活动
权
VIP专属身份标识
开通VIP后可以享受不定期的VIP随时随地彰显尊贵身份。
专属客服
VIP专属客服，第一时间解决你的问题。专属客服Q全部权益：1.海量精选书免费读2.热门好书抢先看3.独家精品资源4.VIP专属身份标识5.全站去广告6.名
或轮廓支承长度率。
表面粗糙度的标注
• 标注时将其标注在可见轮廓线、尺寸界线、引出线或它们的延长 线上，符号的尖端必须从材料外指向被注表面。
• 高度参数：当选用Ra时，只需在代号中标出其参数值，“Ra”本身 可以省略；
工方法或其它因素形成，必要时才规定。常见加工纹理方向符号 见P116表5-10。
标注举例
表面度的测量
• 比较法：将被测表面和表面粗糙度样板直接进行比较， 多用于车间，评定表面粗糙度值较大的工件。
• 光切法：利用光切原理，用双管显微镜测量。 常用于 测量Rz为0.5～60μm。
0下载券文档一键搜索 VIP用户可在搜索时使用专有高级功能：一键搜索0下载券文档，下载券不够用不再有压力！
内容特 无限次复制特权 权 文档格式转换
VIP有效期内可以无限次复制文档内容，不用下载即可获取文档内容 VIP有效期内可以将PDF文档转换成word或ppt
连续包月VIP
VIP专享文档下载特权
享受60次VIP专享文档下载特权，一 次发放，全年内有效。
VIP专享文档下载特权自VIP生效起每月发放一次， 每次发放的特权有效期为1个月，发放数量由您购买 的VIP类型决定。
每月专享9次VIP专享文档下载特权， 自VIP生效起每月发放一次，持续有 效不清零。自动续费，前往我的账号 -我的设置随时取消。
其他特 VIP专享精彩活动
权
VIP专属身份标识
开通VIP后可以享受不定期的VIP随时随地彰显尊贵身份。
专属客服
VIP专属客服，第一时间解决你的问题。专属客服Q全部权益：1.海量精选书免费读2.热门好书抢先看3.独家精品资源4.VIP专属身份标识5.全站去广告6.名
ppt课件-第五章-表面粗糙度精选全文完整版
三 在图样和其他技术产品文件中的注法
按照国家标准的规定，表面结构的注写和读取方向与尺 寸的注写和读取方向一致，可以标注在轮廓线上，其符号 应从材料外指向并接触表面。必要时，表面粗糙度符号也 可以用带箭头或黑点的指引线因出标注，如教材图5－17、 5－18所示。
在不致引起误解时，表面结构要求可以标注在给定 的尺寸线上，见图5－19；也可以标注在形位公差框格 的上方，见图5－20。
0.020
0.20
2.0
0.002
0.025
0.25
2.5
0.003
0.032
0.32
3.2
0.004
0.040
0.40
4.0
0.005
0.050
0.50
5.0
0.006
0.063
0.63
6.3
0.008
0.080
0.80
8.0
0.010
0.100
1.00
10.0
注：与表5-1注相同。
第三节 表面粗糙度标注
均偏差Ra]
(2) 在取样长度内，轮廓的纵坐标值y（x）绝对值
的
(3) 算术R平a 均1l 值0l y。(x)dx
Ra
1 n
n i1
yi
（2）微观不平度十点高度Rz[新国标：无]
在取样长度内五个最大的轮廓峰高的平均值与五
个最大轮廓谷深的平均值之和 。
式中
Rz 15(i51ypii51yvi)
800
0.100
1.00
10.0
100
1000
注：与表5-1注相同
表5－3 轮廓微观不平度的平均间距Sm和轮廓的单峰平均间距S的数值 mm
粗糙度仪培训讲义课件
取样长度舍弃
粗糙度仪培训讲义
50
常用参数及其定义
Ra Rz Ry Rq Rp Rm Rt Rmax R3z Sm S Sk tp
粗糙度仪培训讲义
51
参数用途的简要说明
幅值参数（垂直参数）： Ra Rz Ry Rq Rp Rm Rt Rmax R3z
间距参数（水平参数）： Sm S
粗糙度仪培训讲义
粗糙度仪培训讲义
58
Rz（ISO）
粗糙度仪培训讲义
59
轮廓最大高度Ry（ISO ）
在取样长度内轮廓峰顶线和轮廓谷底线之间的距离。
Y
Rp
Ry
0
l
X Rm
粗糙度仪培训讲义
60
轮廓峰谷总高度Rt
在评定长度内轮廓峰顶线和轮廓谷底线之间的距 离。
粗糙度仪培训讲义
61
轮廓最大峰高Rp
在取样长度内从轮廓峰顶线至中线的距 离。
轮廓最大谷深Rm
在取样长度内从轮廓谷底线至中线的距离。
粗糙度仪培训讲义
62
轮廓微观不平度的平均间距Sm
在取样长度内轮廓微观不平度的间距的平均
值。
Sm
1
i n
Si
n i1
S1
Si
Sn
l
粗糙度仪培训讲义
63
Sm
粗糙度仪培训讲义
64
轮廓的单峰平均间距S
在取样长度内轮廓的单峰间距的平均
值。
S
1 n
粗糙度仪培训讲义
2
在表面上需要的特性
当润滑非常重要时，表面上需有足够 多的谷用于存储油
表面上足够的的峰用于吸附油漆和粘 结剂
表面分布充足的谷可提高工件的可锻 (塑)性
粗糙度仪培训讲义
50
常用参数及其定义
Ra Rz Ry Rq Rp Rm Rt Rmax R3z Sm S Sk tp
粗糙度仪培训讲义
51
参数用途的简要说明
幅值参数（垂直参数）： Ra Rz Ry Rq Rp Rm Rt Rmax R3z
间距参数（水平参数）： Sm S
粗糙度仪培训讲义
粗糙度仪培训讲义
58
Rz（ISO）
粗糙度仪培训讲义
59
轮廓最大高度Ry（ISO ）
在取样长度内轮廓峰顶线和轮廓谷底线之间的距离。
Y
Rp
Ry
0
l
X Rm
粗糙度仪培训讲义
60
轮廓峰谷总高度Rt
在评定长度内轮廓峰顶线和轮廓谷底线之间的距 离。
粗糙度仪培训讲义
61
轮廓最大峰高Rp
在取样长度内从轮廓峰顶线至中线的距 离。
轮廓最大谷深Rm
在取样长度内从轮廓谷底线至中线的距离。
粗糙度仪培训讲义
62
轮廓微观不平度的平均间距Sm
在取样长度内轮廓微观不平度的间距的平均
值。
Sm
1
i n
Si
n i1
S1
Si
Sn
l
粗糙度仪培训讲义
63
Sm
粗糙度仪培训讲义
64
轮廓的单峰平均间距S
在取样长度内轮廓的单峰间距的平均
值。
S
1 n
粗糙度仪培训讲义
2
在表面上需要的特性
当润滑非常重要时，表面上需有足够 多的谷用于存储油
表面上足够的的峰用于吸附油漆和粘 结剂
表面分布充足的谷可提高工件的可锻 (塑)性
表面粗糙度及检测ppt课件
完整图形符号，当要求标注表面结构特征的补充信息时，在允许 任何工艺图形符号的长边上加一横线。在文本中用文字APA表示
完整图形符号, 当要求标注表面结构特征的补充信息时，在去除 材料图形符号的长边上加一横线。在文本中用文字MRR表示
完整图形符号, 当要求标注表面结构特征的补充信息时，在不去 除材料图形符号的长边上加一横线。在文本中用文字NMR表示
n
y（x）2 min
i 1
7.取样长度lr——取样长度是用于判别和测量表面粗糙度时所规定
的一段基准线长度，它在轮廓总的走向上量取。 目的：规定和选取这段长度是为了限制和消弱表面波度对表面粗糙 度测量结果的影响。
表面越粗糙，取样长度越大，因为表面越粗糙，波距也越大，较 大的取样长度才能反映一定数量的微量高低不平的痕迹。
第四章 表面粗糙度
表面粗糙度—是指加工表面具有较小间隙和微小峰谷的一种微观几何
形状误差。旧称表面光洁度。
危害 ①影响配合件接触刚性，降低机器寿命和精度。 ②影响配合性质，工作精度，抗腐蚀性 ③影响手感、观感……。
★本章基本内容：掌握表面粗糙度的基本概念，表面粗糙 度的评定、选用、标注及测量。 ★重点内容：表面粗糙度的评定、选用及标注。 ★难点内容：表面粗糙度的评定、选用。 ★操作技能：表面粗糙度的测量。
在取样长度lr内，轮廓单元宽度Xs的平均值。
R sm
1 m
m i 1
X si
4、轮廓的支承长度率Sm 在给定水平位置c上，轮廓的实体材料长度与评定长度的比率。
Rmr ( c )
Ml(c) ln
100%
三.评定参数的数值
四.表面粗糙度的符号、代号及标注
根据GB/T131-2006规定 （1）表面结构的参数 国家标准规定，评定表面结构质量的主要轮廓参数
完整图形符号, 当要求标注表面结构特征的补充信息时，在去除 材料图形符号的长边上加一横线。在文本中用文字MRR表示
完整图形符号, 当要求标注表面结构特征的补充信息时，在不去 除材料图形符号的长边上加一横线。在文本中用文字NMR表示
n
y（x）2 min
i 1
7.取样长度lr——取样长度是用于判别和测量表面粗糙度时所规定
的一段基准线长度，它在轮廓总的走向上量取。 目的：规定和选取这段长度是为了限制和消弱表面波度对表面粗糙 度测量结果的影响。
表面越粗糙，取样长度越大，因为表面越粗糙，波距也越大，较 大的取样长度才能反映一定数量的微量高低不平的痕迹。
第四章 表面粗糙度
表面粗糙度—是指加工表面具有较小间隙和微小峰谷的一种微观几何
形状误差。旧称表面光洁度。
危害 ①影响配合件接触刚性，降低机器寿命和精度。 ②影响配合性质，工作精度，抗腐蚀性 ③影响手感、观感……。
★本章基本内容：掌握表面粗糙度的基本概念，表面粗糙 度的评定、选用、标注及测量。 ★重点内容：表面粗糙度的评定、选用及标注。 ★难点内容：表面粗糙度的评定、选用。 ★操作技能：表面粗糙度的测量。
在取样长度lr内，轮廓单元宽度Xs的平均值。
R sm
1 m
m i 1
X si
4、轮廓的支承长度率Sm 在给定水平位置c上，轮廓的实体材料长度与评定长度的比率。
Rmr ( c )
Ml(c) ln
100%
三.评定参数的数值
四.表面粗糙度的符号、代号及标注
根据GB/T131-2006规定 （1）表面结构的参数 国家标准规定，评定表面结构质量的主要轮廓参数
粗糙度培训课件
原子力显微镜(AFM)
总结词
通过检测探针与样品表面间的微弱作用力来表征表面形貌。
详细描述
原子力显微镜（AFM）是一种高分辨率的表面形貌测量设备，其工作原理是通过 检测探针与样品表面间的微弱作用力来表征表面形貌。AFM可以在纳米尺度上对 样品表面进行无损、无污染的测量，广泛应用于材料科学、生物学等领域。
触针式仪器的针头磨损问题
触针式仪器针头磨损是常见的仪器问题，它会影响测量结果 的准确性和可靠性。
由于长时间使用或频繁接触粗糙表面，触针式仪器的针头容 易磨损。磨损的针头会导致测量结果失真，因此需要定期检 查和更换针头。为减少针头磨损，可以调整触针的施加压力 、选择更耐磨的针头材料或优化触针的结构设计。
人工智能与机器学习在粗糙度检测中的应用
01
02
03
深度学习算法
利用深度学习算法对粗糙 度图像进行自动识别和分 类，提高检测精度和效率 。
数据驱动模型
基于大量数据建立粗糙度 检测模型，通过机器学习 算法实现自适应调整和优 化。
智能传感器技术
将人工智能技术与传感器 技术相结合，实现实时、 在线、自动的粗糙度检测 。
用环境，保持清洁并稳定环境条件。
数据处理与分析中的误差来源
数据处理与分析过程中可能引入多种误差，如信号噪声、数据处理算法的误差等。
在获取表面粗糙度数据后，需要进行数据处理与分析以提取表面特征。在此过程中，数据采集的噪声、算法的不完善或人为 操作失误都可能导致误差的产生。为减小误差，可以采用数字滤波技术去除噪声、优化数据处理算法并提高操作人员的技能 水平。此外，对同一表面进行多次测量并取平均值也是一种减小误差的方法。
光干涉式仪器对环境的要求问题
光干涉式仪器对环境的要求较高，温度、湿 度和尘埃等因素都可能影响其测量精度。
轮廓仪使用教程PPT课件
2.1 校 验 步 骤-------校准力
点击
1.点击确认
2.目视确认并点击 “√”， 测头进入空摆校验步骤
3.点击OK
4.将砝码放置在测臂上并点击OK
5.将砝码拿离测臂并点击OK
校准力完 毕
2021/3/9
8
二、轮廓仪的校验
2. 2校 验 步 骤-------校准测头弯曲
1.点击OK
校准弯曲 完成
大落以免损伤测头； 6.测量完成后调整HZ使测头处在安全位置。
2021/3/9
18
以上！谢谢！
2021/3/9
19
放映结束 感谢各位的批评指导！
谢 谢！
让我们共同进步
2021/3/9
20
（1）自动接触
（2）Y向调节
3. 退出测量站，点击测量按钮进入测量。
4. 测量完成后进入元素构建、评价界面。
2021/3/9
（3）找最高点
13
三、轮廓仪的测量使用
2. 自动测量（测量助手）
2. 1进入测量助手并设置相关参数 2. 2点击启动进入自动测量步骤
设置测头每次测量后移动的坐标（安 全轮位廓20置最21/）高3/，点9 测基头础每上次抬测升量并完回成撤后会在
175-M8mm
350X33mm
（2）扫描起始点在测针测量范围内； （3）测针约在Y向最高点上； （4）测针Z向位置合适，保证轮廓最高/最低点在Z向量程内。
Z向量程：175-M8mm：±13.02mm 350X33mm：±25.84mm
2021/3/9
12
三、轮廓仪的测量使用
1. 手动测量
2. 进入测量站，点击自动接触使测头接触零件表面后， 调节夹具上Y向调节旋钮找到工件Y向最高点
粗糙度培训课件
解决方案
采用先进的机械加工技术和表面处理方法 ，对产品表面进行优化处理。
06
粗糙度检测标准与规范解读
国家标准及行业标准介绍
国家标准定义
01
国家标准是由国家机构通过一定的程序制定的，用于规范行业
行为的准则。
行业标准定义
02
行业标准是由行业协会或组织制定的，用于指导行业内企业行
为的准则。
粗糙度检测的国家标准与行业标准
表面粗糙度测量仪
表面粗糙度测量仪是一种用于测量物体表面粗糙度的设备，通常由传感器、放大器 和记录器组成。
传感器用于接触物体表面并测量其粗糙度，放大器用于放大信号并记录测量结果。
表面粗糙度测量仪具有高精度、高稳定性和高可靠性，适用于各种材料和表面的粗 糙度测量。
轮廓仪
轮廓仪是一种用于测量物体表 面轮廓的设备，通常由传感器 、放大器和记录器组成。
零件，要求具有较高的表面粗糙度 。
效果评估
经过优化处理后，产品表面粗糙度得到显 著提高，满足使用要求。同时，生产效率 也得到了提高，降低了生产成本。
问题分析
原加工方法导致产品表面粗糙度不达标， 影响使用性能。
实施过程
选择合适的刀具、砂轮和抛光轮，调整切 削参数和磨削参数，进行多次试验和调整 。
用于记录测量结果。
光学轮廓仪具有非接触、高精度 和高分辨率等优点，适用于各种
材料和表面的轮廓测量。
04
粗糙度测量数据处理与分析
数据处理方法
平均法
拟合法
对一组数据取平均值，以消除随机误 差的影响。
将数据拟合为某种函数，以更好地描 述数据分布规律。
滤波法
通过设置滤波器，对数据进行平滑处 理，以减少随机误差。
表面粗糙度轮廓及检测共77页PPT
业余生活要有意义，不要越轨。——华盛顿 17、一个人即使已登上顶峰，也仍要自强不息。——罗素·贝克 18、最大的挑战和突破在于用人，而用人最大的突破在于信任人。——马云 19、自己活着，就是为了使别人过得更美好。——雷锋 20、要掌握书，莫被书掌握；要为生而读，莫为读而生。——布尔沃
表面粗糙度轮廓及检测
51、没有哪个社会可以制订一部永远 适用的 宪法， 甚至一 条永远 适用的 法律。 ——杰 斐逊 52、法律源于人的自卫本能。——英 格索尔
53、人们通常会发现，法律就是这样 一种的 网，触 犯法律 的人， 小的可 以穿网 而过， 大的可 以破网 而出， 只有中 等的才 会坠入 网中。 ——申 斯通 54、法律就是法律它是一座雄伟的大 夏，庇 护着我 们大家 ；它的 每一块 砖石都 垒在另 一块砖 石上。 ——高 尔斯华 绥 55、今天的法律未必明天仍是法律。 ——罗·伯顿
表面粗糙度轮廓及检测
51、没有哪个社会可以制订一部永远 适用的 宪法， 甚至一 条永远 适用的 法律。 ——杰 斐逊 52、法律源于人的自卫本能。——英 格索尔
53、人们通常会发现，法律就是这样 一种的 网，触 犯法律 的人， 小的可 以穿网 而过， 大的可 以破网 而出， 只有中 等的才 会坠入 网中。 ——申 斯通 54、法律就是法律它是一座雄伟的大 夏，庇 护着我 们大家 ；它的 每一块 砖石都 垒在另 一块砖 石上。 ——高 尔斯华 绥 55、今天的法律未必明天仍是法律。 ——罗·伯顿
白光扫描粗糙度轮廓仪应用
研发部门
Costa Mesa, 加州 Watsonville, 加州 Montreal, 加拿大
Middlefield, 美国康涅狄格州
3
Zygo 扫描白光干涉仪 SWLI
• • 高速，非接触测量，各种尺寸的样品都能提供高分辨率三维数据结果： 优势
– 在0.1nm到150微米的范围上使用一种测量方式，一种算法。
10
平面度测量
大尺寸拼接。
11
灵活选择的附件
ZYGO为工业应用提供广泛的物镜选择
标准工作距离
长工作距离
超长工作距离
2.75x
5x
5.5x
10x
20x
50x
100x
1x
(8mm)
2x
(20mm)
5x
(20mm)
10x
(18mm)
1x (40mm)
2.5x (40mm)
5x (40mm)
•
其他附件 – 4位塔台
– 可溯源台阶块
– 可溯源横向标准块 – 可溯源平面度标准块
12
谢谢
13
光强 信号包络
对物理高度的结果。 • 单波长激光干涉系统在测量粗糙样品时，就没 有这样的优点，移相法在处理每个像素的数据 时候会结合邻近像素相位结果，并且得到的原 始结果是基于相位的而不是物理距离。 • 这使在测量处理粗糙样品表面的数据时候，白 光干涉扫描具有很大优势，能测量粗糙或者有
条纹信号
-5
0 扫描距离 (microns) Nexview 典型的干涉条纹信号
4
白光干涉扫描轮廓仪的工作原理
• • 白光扫描干涉测量法是一种非接触的测 量方式，通过干涉条纹，来比较样品测 试表面跟理想参考面的偏差。 通过显微镜物镜的垂直扫描测试样品表 面，得到整个视场区域的测试结果----整幅的三维数据地图，而不是只有一条 剖面线的结果。
相关主题
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
成立于1970年.
在光学计量设备领域 有41年专业经验
1983成为上市公司
在世界范围内13个地区 有大约625个雇员.
2
Zygo 公司分支机构
Richmond, 美国加州
Fremont, 美国加州
Montreal, 加拿大
Middlefield, 美国康涅狄格州
Costa Mesa, 美国加州
Tucson, 美国
• SWLI 是一种被公认的非接触表面轮廓
测试计算方法，收录在基于3D数据地
图的全新国际粗糙度计量标准，
ISO/DIS 25178-604 Part D 里面
5
白光干涉扫描轮廓仪的工作原理
• 白光干涉扫描对于测量粗糙，不连续表面很有 帮助。因为白光扫描的测试结果是基于每个像 素点上的光强信号单独分析，其结果是基于绝 对物理高度的结果。
• 白光扫描干涉测量法是一种非接触的 测量方式，通过干涉条纹，来比较样 品测试表面跟理想参考面的偏差。
• 通过显微镜物镜的垂直扫描测试样品 表面，得到整个视场区域的测试结果----整幅的三维数据地图，而不是只有 一条剖面线的结果。
– SWLI 垂直方向的分辨率与放大倍率无 关，无论使用1倍镜头，或者50倍镜 头时，其视场范围每个像素点的纵向 分辨率都是0.1nm，而基于共聚焦方 式光学检测设备的纵向分辨率是基于 NA的。
ZYGO 白光扫描粗糙度轮廓仪应 用
Zygo 是怎样的一个公司?
• Zygo 具有完全自主设计，研发，制造的能力…
– 专业的测试方案：Zygo公司对于光学干涉测量具 有独一无二专业经验。能提供关于表面面形，粗 糙度，材料特性，薄膜厚度，平台精确定位等应 用专业的工艺控制解决方案。
– Zygo提供超高精度，具有高技术价值的光学系统 和光学部件。这些部件包括尺寸达到米级别的平 面镜，以及在医学和空间科学应用中，所需要的 光学部件。
研发部门
Costa Mesa, 加州 Watsonville, 加州 Montreal, 加拿大
3
Zygo 扫描白光干涉仪 SWLI
• 高速，非接触测量，各种尺寸的样品都能提供高分辨率三 维数据结果：
• 优势
– 在0.1nm到150微米的范围上使用一种测量方式，一种算法。 – 对于样品不同的表面结构，只用一种算法分析测量。 – 可以测试0.1nm的超光滑表面粗糙度 – 提供最长可达70mm工作距离，数值孔径最大0.85的镜头。-5
0
5
扫描距离 (microns)
Nexview 典型的干涉条纹信号
6
Nexview 白光干涉扫描轮廓仪的工作原理
•正如上图所示，每条信号线代表了每个像素在扫描过程中光强信号的变化。 •每条信号线包络的峰值即为这个像素的完美等光程点。 •每个像素点的物理绝对高度都是以这个等光程点为参考的。 •如图把等光程点连接起来就形成了样品表面的面形。
Darmstadt, 德国
中国上海
新加坡
Tokyo, 日本
中华台湾
总部 (销售，市场，制造，研发)
Middlefield, 美国康涅狄格州
销售及支持
Darmstadt, 德国 上海，中国 新加坡 Fremont, 美国加州 中华台湾 东京，日本
生产部门
上海，中国 Tucson, 亚利桑那 Richmond, 加州 Middlefield, 康涅狄格
孔径决定了最大可以测量的坡度） – 分析软件提供可视化2维或者3维结果。 – 结果符合ISO4287 和25178标准 – 可以通过自动平台实现拼接功能，测试更大的范围。 – 提供开放的脚本编程语言工具，使用者可自行设置让设备全自动
运行的程序，可以组合自己特殊的测量结果。 – 可选自动的4位塔台
4
白光干涉扫描轮廓仪的工作原理
7
超光滑样品粗糙度测量
• 可以测试0.1nm粗糙度 的超光滑样品。
• 同时以3D和2D的方式评 价粗糙度。符合 ISO4287 和25178标准 。
• 可以通过自动平台，实 现多点自动测量
8
平面度测量
• 单次测量即可测量 9.5mmX7mm范围内的 平面度
9
平面度测量
使用自动平台的拼接功能，能实现在大尺寸范围的平面度测量。
10
平面度测量
大尺寸拼接。
11
灵活选择的附件
• 其他附件
– 4位塔台 – 可溯源台阶块 – 可溯源横向标准块 – 可溯源平面度标准块
12
谢谢
13
放映结束 感谢各位的批评指导！
谢 谢！
让我们共同进步
14
• 单波长激光干涉系统在测量粗糙样品时，就没 有这样的优点，移相法在处理每个像素的数据 时候会结合邻近像素相位结果，并且得到的原 始结果是基于相位的而不是物理距离。
• 这使在测量处理粗糙样品表面的数据时候，白 光干涉扫描具有很大优势，能测量粗糙或者有 台阶跳跃结构的表面；而在测量光滑样品表面 时，单色光移相法则相对具有速度快的优势。
• 纳斯达克上市公司，名称：ZIGO • 作为业界的佼佼者，Zygo公司拥有广泛和多样化的客户基础。 • 历来在技术创新领域积极进取，成为新技术的领导者。>500 项已
经发布的专利技术，> 200 项正在申请的专利技术。 • 在世界范围内售出大约10,000套系统. • Zygo公司是世界级最专业的，扫描白光干涉仪制造商。SWLI