扫描电子显微镜的原理及应用

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扫描电子显微镜的原理及应用

一、实验目的与任务

1.了解扫描电镜的基本结构和原理。

2..掌握扫描电镜试样的制备方法。

3. 熟悉利用二次电子信号拍摄扫描电镜照片。

二、扫描电镜的基本结构和原理

扫描电镜由电子光学系统、扫描系统、信号收集处理显示系统、真空系统、供电控制系统和冷却系统等六部分组成。图1为其结构原理示意图。

图1 扫描电镜机构原理图

扫描电镜成像原理与闭路电视非常相似，显像管上图像的形成是靠信息的传送完成的。电子束在样品表面逐点逐行扫描，依次记录每个点的二次电子、背散射电子或X射线等信号强度，经放大后调制显像管上对应位置的光点亮度。扫描发生器所产生的同一信号又被用于驱动显像管电子束实现同步扫描，样品表面与显像管上图像保持逐点逐行一一对应的几何关系。因此，扫描电子图像所包含的信息能很好地反映样品的表面形貌。

三、实验内容：

1.介绍扫描电子显微镜的生产厂家型号构造和工作原理.

2.讲解并演示扫描电镜试样的制备方法

3.讲解什么是二次电子，演示利用二次电子信号拍摄扫描电镜照片。

四、实验数据及处理

1、简述扫描电子显微镜的基本组成和工作原理。

2. 什么是二次电子？如何利用二次电子信号拍摄扫描电镜照片？

3. 扫描电镜对试样有何要求？应如何制备？