扫描电镜的应用及发展
扫描电镜技术原理及应用
扫描电镜技术原理及应用摘要: 扫描电镜一种新型的多功能的，用途最为广泛的电子光学仪器。
数十年来，扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中，促进了各有关学科的发展。
关键词：扫描电镜;应用1938 年德国的阿登纳制成了第一台扫描电子显微镜，1965 年英国制造出第一台作为商品用的扫描电镜，使扫描电镜进入实用阶段。
近 20 年来，扫描电镜发展迅速，多功能的分析扫描电镜（即扫描电镜带上能谱仪、波谱仪、荧光仪等）既能做超微结构研究，又能做超微结构分析，既能做定性、定量分析、又能做定位分析,具有景深大，图像富有立体感，分辨率高，图像放大倍数高，显像直观，样品制备过程相对简单，可连接EDAX（X-射线能谱分析仪）进行微区成分分析等特点，被广泛应用于生物学、医学、古生物学、地质学、化学、物理、电子学及林业等学科和领域［1-2］。
1扫描电镜的工作原理与技术特点1.1 扫描电镜的工作原理扫描电镜( SEM) 的工作原理是由电子枪发射出来直径为50μm（微米）的电子束，在加速电压的作用下经过磁透镜系统会聚，形成直径为5nm（纳米）的电子束，聚焦在样品表面上，在第二聚光镜和物镜之间偏转线圈的作用下，电子束在样品上做光栅状扫描，同时同步探测入射电子和研究对象相互作用后从样品表面散射出来的电子和光子，获得相应材料的表面形貌和成分分析［3］。
从材料表面散射出来的二次电子的能量一般低于50 eV，其大多数的能量约在2 ～ 3 eV。
因为二次电子的能量较低，只有样品表面产生的二次电子才能跑出表面，逃逸深度只有几个纳米，这些信号电子经探测器收集并转换为光子，再通过电信号放大器加以放大处理，最终成像在显示系统上。
扫描电镜工作原理的特殊之处在于把来自二次电子的图像信号作为时像信号，将一点一点的画面“动态”地形成三维的图像。
1.2 扫描电镜的技术特点［4］扫描电子显微镜测试技术特点主要有:( 1) 聚焦景深大。
扫描电子显微镜的聚焦景深是实体显微镜聚焦景深的50倍，比偏反光显微镜则大500 倍，且不受样品大小与厚度的影响，观察样品时立体感强。
中国扫描电镜市场现状分析
中国扫描电镜市场现状分析目前，中国扫描电镜市场主要分为两大类产品，分别是透射电子显微镜（TEM）和扫描电子显微镜（SEM）。
这两种产品的应用领域不同，具有不同的特点和需求。
首先，透射电子显微镜（TEM）在生物医学领域具有广泛的应用。
随着医学技术的进步，越来越多的研究人员开始使用TEM观察和研究细胞、组织和病原体等微观结构。
透射电子显微镜能够提供高清晰度的图像和高分辨率的成像，对于研究细胞构造和病毒感染机制等有着重要作用。
其次，扫描电子显微镜（SEM）在材料科学领域得到广泛应用。
扫描电子显微镜能够提供三维表面图像和高分辨率的成像，对于研究材料的形貌、表面结构和组织等具有优势。
在材料科学领域，SEM被广泛应用于材料分析、纳米材料研究和材料缺陷分析等。
另外，随着科学技术的进步和应用领域的拓展，扫描电镜市场也出现了一些新的发展趋势。
例如，电子束制造技术的发展使得微纳加工技术得到快速发展，为扫描电镜的应用提供了新的机会；冷场发射电子显微镜的出现使得对生物样本的观察更加方便和准确；原位观察技术的应用使得对材料变化过程的研究更加方便和详细。
然而，中国扫描电镜市场也面临一些挑战和问题。
首先，高端扫描电镜设备的进口依赖程度较高，国内企业在技术和产品质量上仍然存在差距。
其次，扫描电镜市场竞争激烈，行业内企业数量庞大，各个企业之间的竞争较为激烈。
最后，扫描电镜市场的应用领域还不够广泛，需要进一步拓展应用领域，增加市场需求。
针对以上问题，中国扫描电镜市场可以采取一些措施来促进市场的发展。
首先，加强自主创新和研发能力，提升国产扫描电镜的技术水平和质量。
其次，加大对扫描电镜市场的政策支持和资金投入，鼓励企业加大研发力度和技术改造。
最后，拓展扫描电镜的应用领域，促进市场需求的增长。
综上所述，中国扫描电镜市场具有广阔的发展前景和潜力。
随着科学技术的不断进步和应用领域的拓展，扫描电镜在医学、材料科学等领域的应用将越来越广泛。
同时，中国扫描电镜市场也面临一些问题和挑战，需要采取一些措施来推动市场的发展。
扫描电镜在细胞生物学中的历史与应用
扫描电镜在细胞生物学中的历史与应用发布者：飞纳电镜第一张真核细胞的电子显微镜图像诞生于1945年，Ruska家族不仅开发了电子显微镜（EM），而且还在传染病源（如细菌和病毒）的成像领域开创了先河。
1949年，人们将细胞镶嵌在聚合物中，切成薄片，最终获得了细胞内部结构。
在早期的研究中，研究者们的焦点集中在细胞器上，其中线粒体和内质网被研究得非常透彻。
脑组织的细胞结构也开始使用透射电子显微镜（TEM）来观察。
在使用透射电子显微镜（TEM）来进行研究期间，扫描电子显微镜（SEM）才刚刚开始成为观察样品表面形貌的工具，直到20世纪60年代和70年代才被正式运用[1]。
这篇博客提供了一些最近在细胞生物学应用研究中涉及到扫描电镜（SEM）的案例。
图1：电子显微镜在细胞生物学研究中的应用史图2：飞纳电镜下的丝状伪足图3：飞纳电镜下的细胞如何使用扫描电镜（SEM）观察高尔基体基质蛋白对斑马鱼纤毛功能的影响Bergen等人[2]给出了一个很好的例子。
他们在研究中使用高尔基体基质蛋白，并使用扫描电镜观察其对斑马鱼纤毛功能的影响。
通过扫描电镜对嗅觉神经上皮细胞纤毛成像分析，可以证明它在两种形态下的不同。
为了能够用二次电子探测器对纤毛进行成像，他们必须将样品固定在多聚甲醛中，然后逐级脱水，再使用临界点干燥仪进行干燥，最后进行喷金处理。
从图像中可以看出在体内的再生表型和短干扰DNA的转染，会导致光滑的纤毛变成球状纤毛。
因此，它们可以显示出最大的高尔基体基质蛋白—巨蛋白，在纤毛生成和纤毛长度的控制中起着重要作用。
如何使用扫描电镜（SEM）观察经过碳纳米管处理后人类巨噬细胞的功能另一个案例延伸到人体的免疫机能。
Sweeney等人[3]观察了经过碳纳米管处理后人类巨噬细胞的功能变化。
肺泡巨噬细胞能够清除肺泡空间的外来物质（微生物或粒子），是免疫细胞防御的第一道防线。
在用扫描电镜观察巨噬细胞之前，先用乙醇对细胞脱水，然后，在喷金前使用专用的容器进行封存。
扫描电镜在材料中的应用
扫描电镜在材料中的应用扫描电镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）是一种广泛应用于材料科学领域的高分辨率显微镜。
它利用电子束与样品相互作用产生的信号来获取样品的形貌和成分信息，具有优越的分辨率和放大倍数，因此在材料研究中有着重要的应用。
在材料科学中，扫描电镜能够提供高分辨率的表面形貌观察。
与光学显微镜相比，扫描电镜具有更高的放大倍数和更好的分辨率，能够观察到更细微的表面细节。
对于材料的表面形貌分析，扫描电镜能够帮助科研人员更全面地了解材料的结构特征、表面纹理和形貌变化等。
例如，在金属材料研究中，通过扫描电镜观察到的晶粒大小、晶界分布和表面缺陷等信息，可以为材料的性能提供重要的参考。
扫描电镜在材料中的应用还包括成分分析。
通过能谱仪等附加设备的配合，扫描电镜可以获取样品的元素成分信息。
利用能谱仪的能量分析功能，可以准确地确定材料中各种元素的含量和分布情况。
这对于材料的组分分析、杂质检测和成分控制等方面都非常重要。
例如，在半导体材料研究中，扫描电镜能够提供有关材料中杂质元素的存在情况和分布特征，并为材料的纯度和质量评估提供可靠的依据。
扫描电镜还可以应用于材料的微观结构研究。
通过扫描电镜观察材料的断口面，可以获取材料的断裂形态和断口特征。
这对于研究材料的断裂机制、强度和韧性等性能具有重要意义。
例如，在材料的力学性能研究中，扫描电镜可以观察到材料的断裂面形貌，进而分析材料的断裂方式和断裂机制，为材料的强度和韧性提供深入理解。
扫描电镜还可以应用于材料的表面形貌工程。
通过在材料表面进行局部处理，如蚀刻、涂覆等，可以改变材料的表面形貌和结构，从而调控材料的性能。
通过扫描电镜观察处理后的材料表面，可以评估处理效果，并优化处理参数。
例如，在涂层材料研究中，扫描电镜可以观察到涂层的厚度、均匀性和结构特征，为涂层材料的性能优化提供依据。
扫描电镜在材料科学中有着广泛的应用。
它可以提供高分辨率的表面形貌观察、成分分析、微观结构研究和表面形貌工程等方面的信息，为材料的研究和应用提供了重要的支持。
扫描电镜在材料学中的应用
扫描电镜在材料学中的应用材料学是第二次工业革命重要的基础学科之一，它涉及到材料的制备、性能、结构和应用，而材料结构又是材料性能和应用的基础。
如何研究材料的结构成为材料学者关注的重点之一。
最近几十年，随着科学技术的发展，扫描电镜成为研究材料结构的有力工具之一。
一、扫描电镜原理扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种基于电子束和物质交互作用的高分辨率显微镜，可用于研究材料的表面形貌、元素组成及晶体结构等微观结构特征。
扫描电镜技术是用高能电子束照射样品，当电子束与样品的原子或分子相互作用时，会产生散射、透射、反射和吸收等过程，从而得到一系列的信号。
这些信号通过探测器收集和处理，可以反映样品的表面形貌、元素组成及其他微结构的像素信息。
二、扫描电镜在材料学中的应用扫描电镜在材料学的应用非常广泛。
以下将从以下几个方面介绍它在材料学中的应用。
1.材料的表面形貌观测扫描电镜可以清晰地观测材料表面的形貌特征，如晶体、孔洞、颗粒、尖峰、裂痕、纹理等，其分辨率可达到亚纳米量级。
例如，用SEM观测晶体的形貌，可以分辨出其晶体形态、晶面和晶缺陷等，有助于研究材料的生长机制和晶体的结构性质。
2.材料元素分布探测扫描电镜还可以探测材料各元素分布情况，Semi-Quantitative Analysis，如EDX（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy）能够快速获取样品在不同位置的元素组成，并可以建立元素含量的分布图。
通过这种方法可以鉴定材料的成分，判断晶体缺陷的构型和原子位置，并分析材料的迁移和相互作用等物理过程。
3.材料的电学性质研究扫描电镜成像技术可以用于分析材料的导电性和电荷转移特性，如SEM-EBSD组合技术可以分辨材料中不同晶向的晶界和晶体缺陷，通过视频测量、晶体学计算和模拟，可以获得材料的电学特性。
这对于新型芯片材料、电池材料和光催化材料等的设计、制备和改进至关重要。
扫描电镜在材料科学中的应用
扫描电镜在材料科学中的应用材料科学是研究物质组成、结构、性能和制备的学科，是现代化工、轻工、航天、军工等领域重要的基础科学。
扫描电镜是材料科学领域常用的一种研究手段，具有高分辨率、表面形貌优异、化学成分分析等特点。
本文将结合扫描电镜的原理、分类、特点以及应用，阐述其在材料科学中的意义和价值。
一、扫描电镜的原理扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种通过电磁透镜或电子光学技术将高能的电子聚焦到样品表面上，通过电子束和样品的相互作用产生信号，进而得到样品表面形貌和成分信息的一种显微镜。
回顾电子学发展的历史，SEM是由美国物理学家尤金·韦格纳于1931年创制的。
随着电子学技术和计算机技术的不断进步，SEM已经成为研究材料科学、生物学、纳米技术等领域实验室必备的工具。
二、扫描电镜的分类按照样品准备状态，扫描电镜可以分为常规扫描电镜和低温扫描电镜；按照电子源的类型，扫描电镜可以分为热阴极扫描电镜和场致发射扫描电镜；按照所用探针类型，扫描电镜可以分为电子束探针扫描电镜和离子束探针扫描电镜等多种类型。
不同类型的扫描电镜，各有其应用领域和研究重点。
三、扫描电镜的特点相比其他显微镜，SEM具有如下几点特点：1.高分辨率。
SEM透镜系统比传统光学显微镜的透镜系统负担更多的对样品形貌和成分信息的分辨力，可以实现nm量级的表面形貌显示。
2.大视场。
SEM的视场比传统显微镜大得多，在对大尺寸样品准备时更加有优势。
3.成分分析能力。
SEM可以与EDS（Energy Dispersive Spectroscopy）联用，实现对材料的成分分析。
4.3D高清显示。
SEM可以使用倾斜探针的方法来获得大角度信息，进而完成一些三维图像的重建。
四、1.材料学研究。
SEM的应用领域广泛，其中最重要的应用是通过SEM观察材料的微观结构，进而研究其性能、机制分析和加工工艺优化等方面。
例如，使用SEM可以对材料的疲劳、裂纹扩展、质量控制、晶体结构研究进行深入研究。
扫描电镜技术在催化剂研究中的应用
扫描电镜技术在催化剂研究中的应用
扫描电镜技术是一种用于研究催化剂的高精度分析技术，在最近几十年来已经被广泛应用于催化剂研究中。
扫描电镜技术可以用来准确地测量催化剂表面的特征，包括其尺寸、形状、布局、表面结构以及表面能。
这种技术可以解决催化剂的形成机理问题、催化剂的结构表征问题、催化剂的表面能量分布问题等。
此外，扫描电镜技术还可以用来研究催化剂的表面形貌，包括表面的凹凸结构，表面的毛细结构，以及表面的尖端形状等。
这些表面信息可以帮助我们了解催化剂的性质，以及表面上发生的化学反应等。
此外，扫描电镜技术还可以用来研究催化剂表面的吸附性能。
通过测量催化剂表面的吸附能力，我们可以了解催化剂的表面结构，以及催化剂表面上发生的化学反应的特性。
扫描电镜技术还可以用来分析催化剂表面的电子结构。
可以通过测量催化剂表面的电子层结构，更好地理解催化剂表面上发生的化学反应以及催化剂的性质。
综上所述，扫描电镜技术是一种高精度分析技术，可以用来研究催化剂的表面结构、表面能量分布以及表面的吸附性能等。
因此，扫描电镜技术可以为催化剂研究提供重要的科学依据，有助于深入理解催化剂的性质和表面上发生的化学反应。
扫描电镜技术在材料科学中的应用
扫描电镜技术在材料科学中的应用材料科学是一门应用学科，它研究各种物质的性质、结构、制备和应用等方面的科学问题。
在材料科学中，有很多研究方法和分析技术，其中扫描电镜技术是一种非常重要的方法。
本文将从扫描电镜技术的概念、优点以及在材料科学中的应用，探讨该技术在材料科学领域中的价值和发展前景。
一、扫描电镜技术的概念扫描电镜技术（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种常用的材料表征、分析、观察的技术。
该技术利用高能电子束照射样品，观察样品在电场作用下发生的不同电子过程，通过收集样品表面反射、吸收、透射等电子的各种信号，进而获得样品表面形态、表面元素分布、晶体结构等信息。
扫描电镜技术主要分为三个步骤，包括样品制备、电子显微镜成像和信号检测等。
首先，样品需要进行处理和制备，以便于观察和分析，比如需要进行切片、抛光等处理。
然后，采用电子显微镜照射样品，通过收集样品表面反射、背散射等电子信号，来获得样品的形貌和结构等信息。
最后，通过图像的处理和分析，以及各种数据的比对和分析，来进一步分析样品的性质和结构等。
二、扫描电镜技术的优点扫描电镜技术的优点主要包括以下几个方面：1.分辨率高：扫描电镜技术的分辨率非常高，能够观察到极小的表面形貌和微观结构，甚至能够研究到纳米级别的材料结构。
2.实时性好：扫描电镜技术能够实时进行样品观察和分析，并且可以通过调整各种参数来达到最佳的显影效果和分析结果，具有成像速度快、操作简便等特点。
3.多功能性强：扫描电镜技术可以观察样品的形貌、成分分布、晶体结构等多方面信息，而且可以进行高分辨率的成像、分析、比对等操作，多功能性非常强。
4.适用范围广：扫描电镜技术适用于多种材料和样品，比如金属材料、半导体材料、生物医学材料等，在材料科学、生物医学等多领域有着广泛应用。
三、扫描电镜技术在材料科学领域中的应用非常广泛，主要应用于材料结构、形貌、成分、性能、缺陷等方面的研究。
扫描电镜技术在材料科学中的应用前景展望
扫描电镜技术在材料科学中的应用前景展望材料科学是现代工程制造、能源开采、生命科学等众多领域不可或缺的学科，而材料科学的发展又和材料微结构的研究密切相关。
如何对材料进行微观结构的观测和分析，以便更好地了解材料性质和改善材料性能，是一项关键性的技术。
在这方面，扫描电镜技术被广泛应用于材料科学领域中。
一、扫描电镜技术的介绍扫描电镜是利用电子束和样品之间的相互作用，形成高分辨率图像的一种电子显微技术。
传统电子显微镜只能获得样品的透射像，对于观测表面形貌和表面成分分布起不了作用。
而扫描电镜的电子束在扫描样品表面时，形成反射电子和散射电子，并采集这些电子的信号形成图像。
通过调节不同的电子束参数，扫描电镜能够获得材料的表面形貌、内部结构、化学组成等详尽信息，对于材料微观结构的观测起着非常重要的作用。
扫描电镜技术的主要优势在于具有非常高的分辨率，可观测到极小尺寸的微观结构，并能够进行三维重建等进一步分析。
此外，扫描电镜技术还能够进行成分分析，并可通过扫描透射电镜、电子能谱等技术进一步深入研究。
二、应用于材料科学中的扫描电镜技术扫描电镜技术在材料科学领域中广泛应用于各种材料的表面形貌观测、微观结构分析和元素分析等。
以下列举几种常见的例子：1. 金属材料的微观结构金属材料的微观结构对于材料的力学性质和表面光学性质等起着至关重要的作用。
扫描电镜技术可以观测到金属材料表面的成分分布和晶体形貌，并可以在不同倍数下观察到晶界、孔隙和裂纹等缺陷。
此外，扫描透射电镜与电子能谱等技术，还可以进行深入的晶体结构、原位变形以及局部应力和形貌的研究。
2. 纳米材料和表面涂层的成分分析传统的成分分析技术很难对于表面和微纳米结构进行准确分析，而扫描电镜技术通过搭载电子能谱和X射线能谱等技术，能够准确获取纳米结构和表面涂层的成分分布，并在不同区域进行区分。
此外，扫描电镜技术还可以通过原位实验，研究纳米结构的形变及变化规律等。
3. 碳纤维等复合材料的表面形貌和组织结构复合材料的微观结构和成分分布直接影响材料的物理、力学和化学性质。
扫描电镜在材料科学中的应用
扫描电镜在材料科学中的应用材料科学作为一门重要的基础学科，在工业、制造、医学等领域都有重要的应用，而扫描电镜则是材料科学领域中的一种关键仪器。
其应用范围广泛，包括材料形貌分析、显微组织观察、纳米科学等。
下面将从应用领域、分析原理和技术发展角度探讨扫描电镜在材料科学中的应用。
应用领域扫描电镜的应用非常广泛，例如在金属材料、高分子材料、陶瓷材料、半导体材料、生物材料等领域，都有广泛的应用。
在金属材料领域，扫描电镜可用于表面形态特征的研究和材料的腐蚀破坏分析。
在高分子材料领域，扫描电镜可用于研究聚合物的性质、晶体结构，以及材料的来源和成分。
在陶瓷材料领域，扫描电镜可以用于表面质量控制、断口形貌分析、气孔形成和等离子体喷涂。
在半导体材料领域，扫描电镜可用于制备工艺研究和材料表面特征分析。
在生物材料领域，扫描电镜主要用于细胞和器官结构的观察、组织学分析以及病原体形态学研究等。
分析原理扫描电镜利用电子束扫描样品表面，并采集所反射、所散射和所发射的电子信号来获得材料表面的形貌图像，并可以进行成分分析。
扫描电镜的原理可以分为两种模式：二次电子显像和反射电子显像。
其中，二次电子显像是在材料表面上，由于电子束的能量和角度，会产生二次电子信号，然后通过搜集这些二次电子信号的图像来反映样品表面的微观形貌信息。
反射电子显像是在场发射电子显像下，利用电子束入射或反射在样品界面处的反射电子，获得高表面灵敏度的信号。
技术发展扫描电镜技术在过去几十年里得到了快速的发展。
在器件制造、材料科学、生物医学等多个领域都有广泛的应用。
虽然传统的扫描电镜技术对成像的要求很高，像分辨率固定、深度范围小、必须提前确定成像模式等问题相当严重。
但随着新技术的不断出现，这些限制也在不断减少。
现如今出现了更多的高分辨率扫描电镜技术，如扫描透射电子显微镜、高角度向侧扫描电子显微镜、扫描局部震荡透射电镜和精密离子束切割等技术，使得扫描电镜具有了更广泛和更精确的应用空间。
扫描电镜在地质上的应用
扫描电镜在地质上的应用
扫描电镜（SEM）在地质研究中有着广泛的应用。
其主要作用在于观察矿物的形态、结构和组成，以及研究岩石、土壤等地质样品的微观结构和成分。
首先，SEM可以用于研究矿物的形态和结构。
通过SEM观察矿物的表面形貌，可以发现矿物晶体的生长、成形机制，以及矿物之间的相互作用关系。
此外，SEM还可以对矿物的晶体形态、晶体缺陷、晶体纹理等进行详细的研究。
其次，SEM在地质样品的微观结构和成分分析中有着广泛的应用。
通过SEM的高分辨率观察，可以发现地质样品中微小的颗粒、孔隙、裂缝等细节结构，从而推断地质样品的成岩、变质、侵蚀等历史。
此外，利用SEM还可以进行微区元素分析，通过分析地质样品中的微小区域中元素的分布情况，可以获得地质样品的成分信息。
综上所述，SEM在地质研究中有着重要的应用，可以揭示地球内部物质的微观结构、成分和演变历史，为地质学的研究提供了重要的手段和方法。
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扫描电镜的原理与应用
扫描电镜的原理与应用1. 扫描电镜的原理扫描电镜（Scanning Electron Microscopy，SEM）是一种高分辨率、高放大倍数的显微镜，它利用电子束对样本进行扫描，通过收集样本产生的散射电子和二次电子来生成图像。
其原理主要包括以下几个步骤：1.电子发射：在扫描电子显微镜中，首先需要产生高能的电子束。
这通常通过热力发射或场致发射来实现。
对于热力发射，根据石鹢-德拜方程，利用电子枪通过加热金属丝或陶瓷发射体，使其发射出的电子能够获得足够的能量进入到显微镜的系统中。
2.电子透镜系统：扫描电子显微镜中的电子束需要通过一系列的电子透镜系统进行聚焦。
这些电子透镜包括磁透镜、电透镜和取向透镜等。
通过精确控制这些电子透镜，可以获得较小的电子束尺寸和良好的分辨率。
3.样本交互：样本位于电子束进入样品室的位置。
当电子束与样品相互作用时，会产生多种相互作用，包括透射、反射、散射等。
通过控制电子束的扫描方式，可以对不同相互作用的电子进行收集和分析。
4.信号检测和图像生成：通过探测电子束与样品相互作用产生的信号，可以获取样品表面上的丰富细节信息。
最常用的信号检测方法包括二次电子检测和散射电子检测。
通过收集这些信号，并进行信号处理和图像生成，可以获得样品的高分辨率图像。
2. 扫描电镜的应用扫描电镜在各个领域中都有广泛的应用，其高分辨率和高放大倍数的特点使其成为了研究和观察微观结构的重要工具。
以下列举了几个扫描电镜应用的领域：2.1 材料科学•纳米材料研究和观察：扫描电镜可以对纳米材料进行表面和内部结构的观察，有助于研究纳米材料的物理性质和化学反应过程。
•材料表面形貌观察：扫描电镜可以观察材料表面的形貌特征，如晶体结构、表面缺陷、孔洞分布等，有助于研究材料的结构与性能。
2.2 生物科学•细胞观察：扫描电镜可以观察细胞的形态和结构，包括细胞壁、细胞膜、细胞核、细胞器等，有助于研究细胞的功能和生理过程。
•组织结构研究：扫描电镜可以观察组织的微观结构，有助于研究组织的生物学特性和病理学变化。
扫描电镜的综述及发展
扫描电镜的综述及发展1 扫描电镜的原理扫描电镜（Scanning Electron Microscope,简写为SEM）是一个复杂的系统，浓缩了电子光学技术、真空技术、精细机械结构以及现代计算机控制技术。
成像是采用二次电子或背散射电子等工作方式，随着扫描电镜的发展和应用的拓展，相继发展了宏观断口学和显微断口学。
扫描电镜是在加速高压作用下将电子枪发射的电子经过多级电磁透镜汇集成细小（直径一般为1~5nm）的电子束（相应束流为10-11~10-12A）。
在末级透镜上方扫描线圈的作用下，使电子束在试样表面做光栅扫描（行扫+帧扫）。
入射电子与试样相互作用会产生二次电子、背散射电子、X射线等各种信息。
这些信息的二维强度分布随着试样表面的特征而变（这些特征有表面形貌、成分、晶体取向、电磁特性等等），将各种探测器收集到的信息按顺序、成比率地转换成视频信号，再传送到同步扫描的显像管并调制其亮度，就可以得到一个反应试样表面状况的扫描图像[1]。
如果将探测器接收到的信号进行数字化处理即转变成数字信号，就可以由计算机做进一步的处理和存储。
扫描电镜主要是针对具有高低差较大、粗糙不平的厚块试样进行观察，因而在设计上突出了景深效果，一般用来分析断口以及未经人工处理的自然表面。
机构组成扫描电子显微镜由三大部分组成：系统，电子束系统以及成像系统。
真空系统真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。
真空柱是一个密封的柱形容器。
真空泵用来在真空柱内产生真空。
有、以及三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨枪的SEM 的真空要求，但对于装置了场致发射枪或六硼化镧枪的SEM，则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。
成像系统和电子束系统均内置在真空柱中。
真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置。
之所以要用真空，主要基于以下两点原因：电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。
扫描电镜的工作原理与应用
扫描电镜的工作原理与应用扫描电镜是一种高分辨率、高清晰度的显微镜，主要用于观察各种微观物体的形态、结构和组成。
其工作原理相比传统的光学显微镜要复杂得多。
在本文中，我将详细介绍扫描电镜的工作原理和应用。
一、扫描电镜的基本原理扫描电镜（Scanning Electron Microscopy，SEM）采用电子束而非光束照射样品，因此它具有高于光学显微镜的空间分辨率和深度清晰度。
SEM 使用高能电子束扫描样品表面，并探测所产生的次级电子、后向散射电子或荧光X射线等信号信号。
通过对这些信号的分析和数字处理，可以产生像素级的扫描图像，并确定样品的组成和结构。
扫描电子显微镜采用的主要原理是：将样品表面上的电子自主子级电子转换为信号，再将此信号放大、处理和记录。
SEM 中大多数扫描电子必须通过所用的样品形成的电荷屏障，否则将被折回光子元件中。
样品的电子子级电子外激发过程产生的信号，即次级电子，是包含有样品表面信息的电流信号，探针数据采集设备可将其转换成像素级图像。
SEM 所存在的分解能力是电子束在样品表面的扩散、散射和返回时波长的比值决定的。
二、扫描电镜的应用1.生物学：扫描电镜可帮助生物学家观察细胞和细胞器在微观尺度上的结构以及病毒的形态和特征。
它是研究生物体的材料性质、微观形态和结构，解析其细节显微解剖形态以及结构的最佳选择，对于肿瘤、心血管疾病、神经退行性疾病等疾病的发病机理及防治研究都有重要的应用价值。
2.物理学：扫描电镜可以测量微观物体的形态和结构，被广泛应用于材料凝聚态物理、力学和地质学等领域。
在材料科学领域中，它用于研究新材料的结构和形态，以及材料性能的变化。
3.化学：因其高分辨率和高清晰度，扫描电镜是研究化学领域中的重要工具。
它可以用于观察表面结构和相互作用，包括材料的结构、质量分析和表面成像。
此外，扫描电镜也可以用于探测微细结构和纳米级结构。
4.电子学：扫描电镜可以被用于测试电子元件的性能和结构，以及电路板等电子产品的质量控制。
扫描电子显微镜
基本结构
结构示意图
1-镜筒；2-样品室；3-EDS探测器；4-监控器；5-EBSD探测器；6-计算机主机；7-开机/待机/关机按钮；8底座；9-WDS探测器。
基本原理
扫描电子显微镜电子枪发射出的电子束经过聚焦后汇聚成点光源；点光源在加速电压下形成高能电子束；高 能电子束经由两个电磁透镜被聚焦成直径微小的光点，在透过最后一级带有扫描线圈的电磁透镜后，电子束以光 栅状扫描的方式逐点轰击到样品表面，同时激发出不同深度的电子信号。此时，电子信号会被样品上方不同信号 接收器的探头接收，通过放大器同步传送到电脑显示屏，形成实时成像记录（图a）。由入射电子轰击样品表面激 发出来的电子信号有：俄歇电子（Au E）、二次电子（SE）、背散射电子（BSE）、X射线（特征X射线、连续X射 线）、阴极荧光（CL）、吸收电子（AE）和透射电子（图b）。每种电子信号的用途因作用深度而异。
2021年，全数字化扫描电子显微镜新品在无锡惠山发布。
类型
扫描电子显微镜类型多样，不同类型的扫描电子显微镜存在性能上的差异。根据电子枪种类可分为三种：场 发射电子枪、钨丝枪和六硼化镧 。其中，场发射扫描电子显微镜根据光源性能可分为冷场发射扫描电子显微镜 和热场发射扫描电子显微镜。冷场发射扫描电子显微镜对真空条件要求高，束流不稳定，发射体使用寿命短，需 要定时对针尖进行清洗，仅局限于单一的图像观察，应用范围有限；而热场发射扫描电子显微镜不仅连续工作时 间长，还能与多种附件搭配实现综合分析。在地质领域中，我们不仅需要对样品进行初步形貌观察，还需要结合 分析仪对样品的其它性质进行分析，所以热场发射扫描电子显微镜的应用更为广泛。
图 a.扫描电子显微镜原理图;b.扫描电子显微镜电子信号示意
图 a.扫描电子显微镜原理图；b.扫描电子显微镜电子信号示意图。
扫描电镜的原理及应用论文
扫描电镜的原理及应用论文1. 引言扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种常用的高分辨率成像技术，广泛应用于材料科学、生命科学、纳米科学等领域。
本文将介绍扫描电镜的原理和应用。
2. 扫描电镜的原理扫描电镜采用电子束取代了光束，利用电子与样品之间的相互作用产生信号进行成像，具有很高的分辨率和深度信息。
其原理主要包括以下几个方面：2.1 加速电子束由电子枪发射出的电子经过加速电场加速，形成高速电子束。
2.2 焦化电子束利用磁透镜将电子束进行聚焦，使得电子束直径减小，增加成像的分辨率。
2.3 与样品相互作用电子束照射到样品表面后，与样品发生相互作用。
这些相互作用包括电子散射、透射、反射等。
2.4 探测信号样品对电子束的相互作用会产生各种信号，如二次电子、反射电子、散射电子等。
扫描电镜会对这些信号进行检测和记录。
2.5 高分辨率成像扫描电镜根据探测到的信号，通过扫描样品表面得到像素状的数据，并通过计算机处理形成图像。
由于电子束的小焦斑直径和信号检测的优势，扫描电镜具有很高的分辨率。
3. 扫描电镜的应用扫描电镜在许多领域中有很广泛的应用。
以下列举了其中几个重要的应用领域：3.1 材料科学扫描电镜可以对材料的微观形貌进行观察和研究，如金属晶体的形态和结构、聚合物的表面形貌、纳米颗粒的尺寸和分布等。
这些信息对于材料的性能和应用有重要影响。
3.2 生命科学扫描电镜可以对生物样品进行观察和研究，如细胞的形态、结构和表面特征、细胞器的分布和形态等。
这些研究可以帮助科学家深入了解生物体的结构和功能。
3.3 纳米科学扫描电镜在纳米科学领域中有着广泛的应用，如纳米材料的制备和表征、纳米结构的形貌和特性研究等。
其高分辨率和成像能力使其成为纳米研究中不可或缺的工具。
3.4 地质学扫描电镜在地质学中的应用主要包括矿物学和岩石学的研究。
通过观察和分析矿物颗粒、岩石的纹理和结构，可以推断其形成和演化历史，对地质过程进行研究。
扫描电子显微镜的发展及展望
扫描电子显微镜的发展及展望1、分析扫描电镜和X射线能谱仪目前，使用最广的常规钨丝阴极扫描电镜的分辨本领已达 3.5nm左右，加速电压范围为0.2—30kV。
扫描电镜配备X射线能谱仪EDS后发展成分析扫描电镜，不仅比X射线波谱仪WDS分析速度快、灵敏度高、也可进行定性和无标样定量分析。
EDS发展十分迅速，已成为仪器的一个重要组成部分，甚至与其融为一体。
但是，EDS也存在不足之处，如能量分辨率低，一般为129—155eV，以及Si(Li)晶体需在低温下使用(液氮冷却)等。
X射线波谱仪分辨率则高得多，通常为5—10eV，且可在室温下工作。
1972年起EDAX公司发展了一种ECON系列无窗口探测器，可满足分析超轻元素时的一些特殊需求，但Si(Li)晶体易受污染。
1987年Kevex 公司开发了能承受一个大气压力差的ATW超薄窗，避免了上述缺点，可以探测到B，C，N，O等超轻元素，为大量应用创造了条件。
目前，美国Kevex公司的Quantifier，Noran公司的Extreme，Link公司的Ultracool，EDAX公司的Sapphire等Si(Li)探测器都属于这种单窗口超轻元素探测器，分辨率为129eV，133eV等，探测范围扩展到了5B—92U。
为克服传统Si(Li)探测器需使用液氮冷却带来的不便，1989年Kevex公司推出了可不用液氮的Superdry探测器，Noran公司也生产了用温差电制冷的Freedom探测器(配有小型冷却循环水机)，和压缩机制冷的Cryocooled探测器。
这两种探测器必须昼夜24小时通电，适合于无液氮供应的单位。
现在使用的大多还是改进的液氮冷却Si(Li)探测器，只需在实际工作时加入液氮冷却，平时不必维持液氮的供给。
最近发展起来的高纯锗Ge探测器，不仅提高了分辨率，而且扩大了探测的能量范围(从25keV扩展到100keV)，特别适用于透射电镜：如Link的GEM型的分辨率已优于115eV(MnKα)和65eV(FKα)，Noran的ExplorerGe探测器，探测范围可达100keV等。
扫描电镜的原理特点及其应用
扫描电镜的原理特点及其应用1. 原理介绍扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种利用电子束与样品之间的相互作用来产生图像的一种显微镜。
与传统的光学显微镜不同，扫描电镜通过扫描电子束在样品表面的反射和散射来获取高分辨率的图像。
其原理如下：•通过电子枪产生高能电子束，该电子束经过加速后，在一系列电磁透镜的作用下，被聚焦为一个非常细小的束斑。
•电子束在样品上的散射以及与样品表面原子的相互作用会产生二次电子信号，这些信号被收集并放大后，通过扫描系统进行整理和处理。
•扫描系统控制电子束在样品表面上的移动，并记录和解析二次电子信号，最终生成高分辨率的图像。
2. 特点扫描电子显微镜具有以下特点：2.1 高分辨率扫描电子显微镜的分辨率通常在0.1纳米到10纳米之间，远远超过了传统光学显微镜的分辨率。
这使得它能够观察到更小尺寸、更细微的结构和更精细的表面特征。
2.2 大深度扫描电子显微镜能够提供比传统显微镜更深的景深，即使在观察高度不均匀、多层次的样品时也能保持图像的清晰度。
2.3 表面成分分析通过扫描电子显微镜，可以使用能量色散X射线光谱仪（Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy，EDS）来检测样品表面的元素组成。
这种功能使得扫描电子显微镜在材料分析、金属学和纳米科学等领域具有广泛的应用。
2.4 环境适应性扫描电子显微镜可以在常温下使用，也可以在真空或气体环境中工作。
这使得它能够适应各种样品的要求，并广泛应用于不同领域。
3. 应用扫描电子显微镜在科学研究和工业生产中有着广泛的应用。
以下是一些常见的应用领域：3.1 材料科学扫描电子显微镜可以用来观察和分析各种材料的微观结构和表面形貌。
例如，可以观察金属的晶粒形态、断裂面的特征，以及陶瓷和聚合物的微观结构等。
这些信息对于材料的研究和开发非常重要。
3.2 纳米科学由于其高分辨率和表面成分分析能力，扫描电子显微镜在纳米领域中具有重要的应用价值。
扫描电镜的原理及应用
扫描电镜的原理及应用扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种利用电子束扫描样品表面并通过检测电子束与样品交互产生的多种信号来获得样品表面形貌和成分信息的显微镜。
相比传统光学显微镜，扫描电镜具有更高的分辨率和深度，广泛应用于材料科学、生物学、地质学、电子学等多个领域。
1.电子源：扫描电镜使用热阴极或场发射电子枪产生电子源，通过激光或电子束对电子源进行刺激，使其产生电子。
2.真空系统：扫描电镜需要在真空中进行工作，以避免电子与空气分子的相互作用。
真空系统可确保电子束能够稳定地通过管道进入样品表面。
3.电子束的聚焦和定位：经过加速和聚焦装置后，电子束被聚焦到非常小的直径，同时通过扫描线圈控制电子束在样品表面上进行移动和定位。
4.样品表面的信号检测：样品表面与电子束交互后，产生多种信号，包括二次电子、背散射电子、X射线、荧光等。
通过相应的检测元件，如二次电子检测器和能谱仪，来收集这些信号。
5.数据处理和成像：通过对收集到的信号进行放大、滤波、扫描等处理，将数据转化为像素点，通过屏幕或计算机显示成像。
扫描电镜具有很多应用领域，以下是其中的几个主要应用：1.材料科学：扫描电镜可用于研究材料表面形貌、晶体结构以及纳米材料的性质。
通过观察和分析材料表面形貌和成分，可以揭示材料的微观结构、缺陷、晶胞排列等信息。
2.生物学：扫描电镜对于生物学研究也有很大的帮助。
可以观察细胞、组织和器官的微观形态、细胞器的分布和关系。
通过扫描电镜的成像，可以研究细胞的形态和结构与功能的关系，以及疾病的发生机制。
3.地质学：扫描电镜可用于研究岩石和矿石的成分、结构、矿物组成等信息。
可以观察到岩石和矿石的微观结构、矿物晶型、矿物交代等特征，为地质学和矿物学研究提供重要的信息。
4.电子学：在微电子制造中，扫描电镜可用于观察和分析电子元件的形态和结构、探测缺陷和纳米线路的状况。
这对于电子元件的设计和质量控制非常重要。
扫描电镜工作原理
扫描电镜工作原理引言概述：扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，通过扫描样品表面并测量反射电子的信号来获取样品的形貌信息。
本文将详细介绍扫描电镜的工作原理。
正文内容：一、电子束的产生与聚焦1.1 热阴极电子发射：热阴极通过加热产生的热能使电子从阴极表面发射出来。
1.2 真空环境：扫描电镜需要在真空环境中工作，以避免电子束与气体分子发生碰撞而散射。
1.3 电子束的聚焦：通过电磁透镜对电子束进行聚焦，使其具有较小的直径和较高的能量密度。
二、扫描线圈与样品的扫描2.1 扫描线圈：扫描线圈通过施加电流，产生磁场从而使电子束在样品表面上进行扫描。
2.2 扫描模式：扫描电镜可采用逐行扫描或逐点扫描的方式，将电子束沿着样品表面进行扫描。
2.3 扫描速度与分辨率：扫描速度和分辨率之间存在着一定的权衡，较高的扫描速度可获得较低的分辨率，而较低的扫描速度可获得较高的分辨率。
三、信号的检测与放大3.1 二次电子信号：当电子束与样品表面相互作用时，会产生二次电子信号，这些信号携带了样品表面形貌的信息。
3.2 检测器：扫描电镜使用不同类型的检测器来检测二次电子信号，常见的有原子力显微镜（AFM）和光电倍增管（PMT）。
3.3 信号放大：检测到的二次电子信号经过放大处理，以便更好地观察和分析样品的形貌。
四、图像的生成与显示4.1 信号转换：放大后的信号被转换成数字信号，以便进行图像处理和分析。
4.2 图像生成：通过将扫描过程中获取到的信号与扫描位置的信息进行匹配，生成样品的图像。
4.3 图像显示：生成的图像可以通过计算机显示器或打印机进行显示和输出，以供观察和分析。
五、应用领域与发展趋势5.1 应用领域：扫描电镜广泛应用于材料科学、生物学、纳米技术等领域，用于研究材料的微观结构和表面形貌。
5.2 发展趋势：随着技术的不断进步，扫描电镜的分辨率和图像质量将不断提高，同时也将更加注重对样品的非破坏性观察和三维重建等方面的发展。
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扫描电镜的新发展
陈散兴
扫描电镜的原理
扫描电镜( Scanning Electron Microscope, 简写为SEM) 是一个复杂的系统, 浓缩了电子光学技术、真空技术、精细机械结构以及现代计算机控制技术。
成像是采用二次电子或背散射电子等工作方式, 随着扫描电镜的发展和应用的
拓展, 相继发展了宏观断口学和显微断口学。
扫描电镜是在加速高压作用下将电子枪发射的电子经过多级电磁透镜汇集
成细小( 直径一般为1-5 nm)的电子束(相应束流为10- 11-10- 12A)。
在末级透镜上方扫描线圈的作用下, 使电子束在试样表面做光栅扫描( 行扫+ 帧扫)。
入射电子与试样相互作用会产生二次电子、背散射电子、X 射线等各种信息。
这些信息的二维强度分布随试样表面的特征而变( 这些特征有表面形貌、成分、晶体取向、电磁特性等等) , 将各种探测器收集到的信息按顺序、成比率地转换成视频信号, 再传送到同步扫描的显像管并调制其亮度, 就可以得到一个反应试样表面状况
的扫描图像。
如果将探测器接收到的信号进行数字化处理即转变成数字信号,
就可以由计算机做进一步的处理和存储。
扫描电镜主要是针对具有高低差较大、粗糙不平的厚块试样进行观察, 因而在设计上突出了景深效果, 一般用来分析断口以及未经人工处理的自然表面。
扫描电镜的主要特征如下:
( 1) 能够直接观察大尺寸试样的原始表面;( 2) 试样在样品室中的自由度非
常大;( 3) 观察的视场大;( 4) 图像景深大, 立体感强;( 5) 对厚块试样可得到高分
辨率图像;( 6) 辐照对试样表面的污染小;( 7) 能够进行动态观察( 如动态拉伸、压缩、弯曲、升降温等) ;( 8) 能获得与形貌相对应的多方面信息;(9) 在不牺牲扫描电镜特性的情况下扩充附加功能, 如微区成分及晶体学分析。
近代扫描电镜的发展主要是在二次电子像分辨率上取得了较大的进展。
但对不导电或导电性能不太好的样品还需喷金后才能达到理想的图像分辨率。
随着材料科学的发展特别是半导体工业的需求, 要尽量保持试样的原始表面, 在不做
任何处理的条件下进行分析。
早在20 世纪80 年代中期, 便有厂家根据新材料( 主要是半导体材料) 发展的需要, 提出了导电性不好的材料不经过任何处理
也能够进行观察分析的设想, 到90 年代初期, 这一设想就已有了实验雏形, 90 年代末期, 已变成比较成熟的技术。
其工作方式便是现在已为大家所接受的低真空和低电压, 最近几年又出现了模拟环境工作方式的扫描电镜, 这就是现代扫
描电镜领域出现的新名词/ 环扫0, 即环境扫描电镜。
低电压扫描显微镜
在扫描电镜中, 低电压是指电子束流加速电压在1 kV 左右。
此时, 对未经导电处理的非导体试样其充电效应可以减小, 电子对试样的辐照损伤小, 且二次电子的信息产额高, 成像信息对表面状态更加敏感, 边缘效应更加显著, 能够适应半导体和非导体分析工作的需要。
但随着加速电压的降低, 物镜的球像差效应增加, 使得图像的分辨率不能达到很高, 这就是低电压工作模式的局限性。
低真空扫描显微镜
低真空为是为了解决不导电试样分析的另一种工作模式。
其关键技术是采用了一级压差光栏, 实现了两级真空。
发射电子束的电子室和使电子束聚焦的镜筒必须置于清洁的高真空状态,一般用1 个机械泵和扩散泵来满足之。
而样品室不一定要太高的真空, 可用另一个机械泵来实现样品室的低真空状态。
当聚焦的电子束进入低真空样品室后, 与残余的空气分子碰撞并将其电离,这些离化带有正电的气体分子在一个附加电场的作用下向充电的样品表面运动, 与样品表面充电的电子中和, 这样就消除了非导体表面的充电现象, 从而实现了对非导体样品自然状态的直接观察, 在半导体、冶金、化工、矿产、陶瓷、生物等材料的分析工作方面有着比较突出的作用。
环境扫描电镜
上述低真空扫描电镜样品室最高低真空压力为400 Pa, 现在有厂家使用专利技术, 可使样品室的低真空压力达到2 600 Pa, 也就是样品室可容纳分子更多, 在这种状态下, 可配置水瓶向样品室输送水蒸气或输送混合气体, 若跟高温或低温样品台联合使用则可模拟样品的周围环境, 结合扫描电镜观察, 可得到环境条件下试样的变化情况。
环扫实现较高的低真空, 其核心技术就是采用两级压差光栅和气体二次电子探测器, 还有一些其它相关技术也相继得到完善。
它是使用1 个分子泵和2 个机械泵, 2 个压差( 压力限制) 光栅将主体分成3 个抽气区, 镜筒处于高真空, 样品周围为环境状态, 样品室和镜筒之间存在一个缓冲过渡状态。
使用时, 高真空、低真空和环境3 个模式可根据情况任意选择, 并且在3 种情况下都配有二次电子探测器, 都能达到3. 5 nm 的二次电子图像分辨率。
ESEM 的特点是:
(1) 非导电材料不需喷镀导电膜, 可直接观察, 分析简便迅速, 不破坏原始形貌;
(2) 可保证样品在100% 湿度下观察, 即可进行含油含水样品的观察, 能
够观察液体在样品表面的蒸发和凝结以及化学腐蚀行为;
(3) 可进行样品热模拟及力学模拟的动态变化实验研究, 也可以研究微注入液体与样品的相互作用等。
因为这些过程中有大量气体释放, 只能在环扫状态下进行观察。
环境扫描电镜技术拓展了电子显微学的研究领域, 是扫描电子显微镜领域的一次重大技术革命, 是研究材料热模拟、力学模拟、氧化腐蚀等过程的有力工具, 受到了国内广大科研工作者的广泛关注, 具有广阔的应用前景。
高温样品台功能
利用高温台在环境模式下对样品进行加热并采集二次电子信号可进行适时动态观察。
而在普通高真空扫描电镜和低真空扫描电镜中, 只能对极少数特殊样品在高温状态下进行观察, 并要求在加热过程中不能产生气体、不能发出可见光和红外辐射, 否则, 会破坏电镜的真空, 并且二次电子图像噪音严重, 乃至根本无法成像。
高温台配有专用陶瓷GSED( 气体二次电子探头) , 可在环境模式下, 在高达1 500 e 温度下正常观察样品的二次电子像。
加热温度范围从室温到1 500 e , 升温速度每分钟1~ 300 e 。
环境扫描电镜的专利探测器可保证在足够的成像电子采集时抑制热信号噪音, 并对样品在高温加热时产生的光信号不敏感。
而这些信号足以使其它型号扫描电镜中使用的普通二次电子探头和背散射电子探头无法正常工作。
动态拉伸装置
最新的动态拉伸装置配有内部马达驱动器、旋转译码器、线性位移传感器, 由计算机进行控制和数据采集, 配合视频数据采集系统, 可实现动态观察和记录。
可从材料表面观察在动态拉伸条件下材料的滑移、塑性形变、起裂、裂纹扩展( 路径和方向) 直至断裂的全过程等。
该装置还可附带3 点弯曲和4 点弯曲装置, 具有弯曲功能, 从而可以研究板材在弯曲状态下的形变、开裂直至断裂的情况。
最大拉伸力为2 000 N, 3 点弯曲最大压力为660N。
动态拉伸装置可配合多种扫描电镜工作。
结语
新一代环境扫描电镜与能谱仪和EBSD 配合, 可在得到较好的试样形貌像
的前提下同时得到成分信息和晶体学的信息。
最近几年实现了拉伸台与计算机的完美结合, 有比较完善的材料动态拉伸扫描电镜, 研究才有可能开展得更为深入。
环境扫描电镜真空系统和探测器等相关技术的成熟使得高温样品台的应用更安全可靠。
可以预期, 高温样品台、动态拉伸台、能谱仪、EBSD 和环境扫描电镜组合, 必将在现代材料研究方面发挥更大的作用。