洁净室分类及工作原理)

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洁净室分类及工作原理

洁净室分类及工作原理

洁净室分类及工作原理2009年11月18日来源:说仪网(一)洁净室的定义洁净室是指空气洁净度达到规定级别的可供人活动的空间。

其功能是控制微粒(尘埃粒子)的污染。

来达到满足精密产品的生产与科学实验活动。

洁净室绝不是仅限于"洁净",不同的行业与部门对温度、温度、照明、噪声、静电、微振都有相当要求的多功能的综合整体,是集建筑装饰(与大气相对隔断的密闭装修)、净化空调、纯水、纯气、动力电、照明电、工艺管道等多种专业技术于一体的产物,洁净室(或洁净厂房)(二)洁净室的分类实现层流的最低风速值2.1按用途分类(可分为两大类)①工业洁净室-以无生命微粒的控制为对象。

主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。

它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD (液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。

②生物洁净室:以控制有生命微粒(细菌)与无生命微粒(尘埃)对工作对象的污染。

又可分为:A.一般生物洁净室,主要控制微生物(细菌)对象的污染。

同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀,内部一般保持正压。

实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室。

B.生物学安全洁净室:主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。

内部要保持与大气的负压。

2.2按气流分类(按气流可分为四类)①.单向流洁净室(层流、活塞流)②.乱流净室③.辐射流(斜流)洁净室④.混合流洁净室(乱流、层流同在)(三)单向流(层流)洁净室(又称垂直流,平行流)(1)既气流以均匀的截面速度,沿着平行流线以单一方向在整个室天花截面下通过的洁净室。

单向流洁净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用。

迅速把室内污染排回风道。

(2)要想实现"活塞流"的作用,最重要的是高效过滤器必须满布。

但是由于高效过滤器有边框,放置高铲过滤器也要有支架,不可能百分之百的满布。

洁净室的原理

洁净室的原理

一、洁净室空调系统的特点1、洁净室空调系统与一般民用建筑的空调系统的不同,它首先对控制区的洁净度有很高要求。

导体器件厂房内,在硅衬底上只要落有电路线宽1/10~1/3大小的尘埃,就可能导致芯片电路短路。

另外,洁净厂房空调系统除对洁净度要求较高外,还对温度、湿度、震动、噪音等都有不同程度要求。

2、洁净室与洁净厂房能源消耗比其他的建筑大得多,其运行费约是一般办公楼的10(1万级)~30(100级)倍。

就空调冷负荷而言,一般办公大楼为120W/m2左右,一般洁净室为300~800w/m2,而大规模半导体器件厂房可以达到1400~1600w/m2。

同时,由于半导体器件生产工艺的特点,要求洁净厂房内全天(24h)保持相应的洁净度,目此,洁净空调系统(包括排风系统)、为其配套的冷、热源及相应的输送系统需每天24 h运行,这也与其他空调系统极其不同。

3、送风量大。

一般办公大楼换气次数为10次/h左右,一般洁净室换气次数可选为:100级按室内平均风速0.2~0.5m/s来计算,1000级按50~60次/h 计算,10000级按15~25次/h计算,100000按10~15次/h;而大规模半导件器件厂房内,为了满足相应的洁净度要求,需要保证很高的换气次数,致使循环风量非常大。

100级洁净室的换气次数可选到400 次/h,10000级洁净室的换气次数可选到40次/h,100000级洁净室的换气次数也要30次/h。

4、新风负荷大。

在电子厂房中,某些车间散发出有害气体,需要通过排风加以消除,这就加大了系统的新风量。

洁净室的各类制冷负荷中,最重要的有新风、风机温升和设备散热3项,而尤以新风最大。

根据有关部门统计,新风负荷可以从20%~70%,风机温升从8%~20%多,工艺设备可以从16%~50%。

5、风机全压高。

由于净化空调中过滤器很多,其中仅高效过滤器的初阻力就在200Pa以上,终阻力在400 Pa以上;而要求高的车间阻力会更大。

洁净室工作原理

洁净室工作原理

洁净室工作原理
洁净室的工作原理主要是通过控制室内空气中的尘粒、细菌、病毒等污染物,使室内环境达到一定的洁净度和卫生标准。

以下是洁净室的工作原理:
1.空气净化:洁净室内的空气净化系统主要包括空气过滤器、臭氧发生
器、紫外线杀菌灯等设备。

通过这些设备的使用,可以有效地去除空气中的尘埃、细菌、病毒等污染物,保证室内空气的洁净度。

2.气流组织:洁净室内的气流组织主要是通过送风口和回风口来控制。


风口将经过处理的空气以一定的速度和方向送入室内,回风口则将室内的空气排出。

这种气流组织可以保证室内空气的循环和净化,避免死角和涡流的出现。

3.压差控制:洁净室内的压差控制主要是通过控制室内不同区域的压力差
来实现。

一般来说,洁净室的压力要比室外高一些,这样可以防止室外污染空气进入室内。

同时,室内不同区域的压力差也可以防止污染物在室内扩散。

4.人员管理:洁净室的人员管理也是非常重要的。

进入洁净室的人员需要
经过严格的清洁和消毒处理,避免将污染物带入室内。

同时,人员也需要遵守洁净室的各项规定和操作规程,保证室内环境的稳定和洁净度。

总之,洁净室的工作原理是通过空气净化、气流组织、压差控制和人员管理等多方面的措施,实现室内环境的洁净度和卫生标准。

洁净室实验技术的基本原理与操作要点

洁净室实验技术的基本原理与操作要点

洁净室实验技术的基本原理与操作要点洁净室是一种控制环境污染的封闭空间,广泛应用于生物医药、电子制造、食品加工等领域。

洁净室实验技术是指在洁净室内进行实验操作的一系列技术及操作要点。

本文将介绍洁净室实验技术的基本原理和操作要点。

1. 洁净室的基本原理洁净室通过一系列的控制手段来限制尘埃颗粒、微生物和化学物质等污染源的进入和扩散,以维持特定的洁净度水平。

其基本原理包括空气过滤、流向规划、密闭性和负压控制。

首先,空气过滤是洁净室的基础。

洁净室内的空气通过高效过滤器过滤,可以有效去除空气中的颗粒物。

根据需要,洁净室可以设置多级过滤器,确保过滤效果的持续性。

其次,流向规划是指空气在洁净室中的流动方式。

根据具体的工艺需求,采用垂直流、水平流或局部层流等方式,将洁净室的空气流向进行合理规划,使得污染物尽量快速有效地被带出室外或经过过滤器处理。

再次,密闭性要求洁净室具备良好的密闭性,防止外部污染物进入洁净室,同时可以防止洁净室内的有害物质泄漏至外界环境。

洁净室的门窗、通风管道等部件都需要具备良好的密封性能。

最后,负压控制是指在洁净室内保持一定的负压,使得洁净室的空气不被外界非洁净的空气污染。

负压的控制可以通过风机的正向排风和负向进风来实现,确保洁净室内的空气流向符合设计要求。

2. 洁净室实验技术的操作要点在洁净室进行实验时,除了了解洁净室的基本原理外,还需要掌握一些操作要点,以保证实验操作的准确性和安全性。

首先,进入洁净室前,操作人员要进行必要的准备工作,包括穿戴符合洁净室要求的工作服、戴好手套和鞋套等。

同时,还应对自己进行培训,了解洁净室内的操作规范和安全注意事项。

其次,在洁净室内进行实验时,需要注意操作的轻柔性和小心翼翼。

尽量减少摩擦和震动,以避免产生更多的颗粒物污染。

在操作中,要确保操作区域干净整洁,不要堆放零部件和垃圾,及时清理洁净室内的污染源。

同时,注意洁净室的空气流动情况,避免产生交叉污染。

在洁净室内,要尽量避免大面积的开口,减少空气的混合和扩散。

洁净室设计专业知识点

洁净室设计专业知识点

洁净室设计专业知识点洁净室(Clean Room)是一种能够控制和管理室内环境的特殊空间,通过严格的设计和维护,可最小化空气中的微粒、细菌和其他污染物的存在,确保生产过程中的产品质量和安全。

在洁净室设计中,有一些专业知识点需要被准确考虑和应用。

本文将重点介绍一些洁净室设计的专业知识点。

1. 洁净室分类洁净室按照粒子数量和大小的控制要求可以分为多个等级。

最常见的国际标准是ISO 14644-1。

该标准将洁净室等级划分为ISO5到ISO9,其中ISO5是最高等级,对粒子的控制要求最严格。

设计洁净室时,需要根据具体的应用需求来确定所需的洁净室等级。

2. 空气流动模式在洁净室内,需要通过合理的空气流动模式来控制和排除污染物。

最常见的空气流动模式有垂直流和水平流。

垂直流是指从天花板向地面的单向气流,适用于对粒子控制要求较高的场合。

水平流是指水平方向的气流,适用于对粒子控制要求相对较低的场合。

3. 过滤系统洁净室中的空气质量主要通过过滤系统来保证。

过滤系统通常由初效、中效和高效过滤器组成,可以有效地过滤掉空气中的微粒和细菌等污染物。

在设计洁净室时,需要根据所需的洁净度等级来选择合适的过滤器种类和数量。

4. 温湿度控制洁净室内的温湿度控制也是很重要的。

过高或过低的温度和湿度都可能对产品的质量产生不良影响。

在设计洁净室时,需要考虑到所需的温湿度范围,并采取相应的措施来进行控制,例如使用空调系统和加湿设备等。

5. 装饰材料和设备洁净室的装饰材料和设备也需要特别选择。

墙面、地面、天花板等装饰材料应具备密闭性、耐腐蚀性和易清洁性等特点,以防止微粒吸附和滋生细菌。

此外,洁净室中的设备也需要具备适当的材质和特性,以满足洁净室的使用要求。

6. 静电控制静电也是洁净室中需要特别关注的问题之一。

静电的存在可能会对产品和人员安全造成影响。

因此,在洁净室设计中,需要采取相应的静电控制措施,例如使用导电地板、消除静电的设备和适当的防护措施等。

洁净室知识培训资料

洁净室知识培训资料
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目录
• 洁净室基本概念与原理 • 洁净室设计与布局规划 • 空气净化系统与设备选型 • 洁净室操作管理与维护保养 • 洁净室性能评价与改进方向 • 总结回顾与拓展延伸
洁净室基本概念与
01
原理
洁净室定义及作用
主要功能
控制室内空气中尘埃粒子、有害空气、细菌等污染物,并将室内之温度、洁净 度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求 范围内。
故障排查和应急处理措施
故障排查
当洁净室出现故障时,及时进行排查和维修,确保洁净室的正常运行。同时,对 故障原因进行分析和总结,避免类似故障再次发生。
应急处理措施
制定洁净室应急处理预案,包括停电、设备故障等突发情况的应对措施,确保在 紧急情况下能够迅速采取有效措施,保障洁净室的安全运行。
洁净室性能评价与
维护保养策略和方法
01
02
03
04
定期对空气处理机组、风机等 设备进行清洗和保养,保持设
备良好的运行状态。
定期更换高效过滤器,避免过 滤器堵塞影响空气流通和过滤
效果。
定期对检测仪器进行校准和维 护,确保检测数据的准确性和
可靠性。
建立完善的维护保养档案,记 录设备的运行状况、维护保养
情况和更换部件等信息。
THANKS.
行业前沿动态关注
新型洁净室技术不断涌现
随着科技的不断进步,新型洁净室技术不断涌现,如智能控制系统、高效过滤材料等,为洁净室行业的发展注入 了新的活力。
洁净室应用领域不断拓展
随着各行业对产品质量和生产环境要求的不断提高,洁净室的应用领域也在不断拓展,如新能源、新材料等领域 也开始广泛应用洁净室技术。

洁净室的工作原理

洁净室的工作原理

洁净室的工作原理
洁净室是一种能够控制空气污染程度的特殊环境。

其工作原理基于以下几个方面:
1. 空气流动控制:洁净室内的空气流动是按照特定的方向和速度进行控制的。

通常采用单向流动,即空气从洁净区域的高压区域流向非洁净区域的低压区域。

这种一向性的空气流动可以有效防止外部空气中的颗粒物进入洁净区域。

2. 过滤系统:洁净室配备有高效过滤器,能够有效地过滤空气中的微小颗粒物和微生物。

这些过滤器一般采用 HEPA(高效
颗粒空气过滤器)或 ULPA(超高效颗粒空气过滤器)技术,
能够去除空气中直径大于0.3微米的颗粒物。

3. 正压维持:洁净室通常采用正压维持,即室内空气的压力要高于室外环境。

这样可以避免外界空气通过裂缝、门缝等进入洁净室,同时也可以通过室内压力差促使空气从洁净区流向非洁净区。

4. 清洁卫生管理:洁净室内要进行定期的清洁和维护,以确保室内空气的洁净程度。

通常会采用抗静电地板、壁面覆盖材料、定期消毒等方式来控制空气中的微生物和粉尘。

通过综合运用以上原理,洁净室能够创造出一个几乎无尘、无微生物的工作环境。

它广泛应用于电子、制药、食品、航空航天等领域,以确保产品质量和工作安全。

洁净室分类及工作原理)范文

洁净室分类及工作原理)范文

洁净室分类及工作原理一、洁净室原理(一) 洁净室的定义洁净室是指空气洁净度达到规定级别的可供人活动的空间。

其功能是控制微粒(尘埃粒子)的污染。

来达到满足精密产品的生产与科学实验活动。

洁净室绝不是仅限于"洁净",不同的行业与部门对温度、温度、照明、噪声、静电、微振都有相当要求的多功能的综合整体,是集建筑装饰(与大气相对隔断的密闭装修)、净化空调、纯水、纯气、动力电、照明电、工艺管道等多种专业技术于一体的产物,洁净室(或洁净厂房)(二) 洁净室的分类实现层流的最低风速值2.1按用途分类(可分为两大类)①工业洁净室-以无生命微粒的控制为对象。

主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。

它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。

②生物洁净室:以控制有生命微粒(细菌)与无生命微粒(尘埃)对工作对象的污染。

又可分为:A.一般生物洁净室,主要控制微生物(细菌)对象的污染。

同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀,内部一般保持正压。

实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室。

B.生物学安全洁净室:主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。

内部要保持与大气的负压。

2.2按气流分类(按气流可分为四类)①.单向流洁净室(层流、活塞流)②.乱流净室③.辐射流(斜流)洁净室④.混合流洁净室(乱流、层流同在)(三) 单向流(层流)洁净室(又称垂直流,平行流)(1) 既气流以均匀的截面速度,沿着平行流线以单一方向在整个室天花截面下通过的洁净室。

单向流洁净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用。

迅速把室内污染排回风道。

(2) 要想实现"活塞流"的作用,最重要的是高效过滤器必须满布。

但是由于高效过滤器有边框,放置高铲过滤器也要有支架,不可能百分之百的满布。

洁净室名词解释

洁净室名词解释

洁净室名词解释洁净室是指一种具有特殊空气洁净度要求的工作环境,通过控制空气中的颗粒物、微生物、有毒有害气体和电磁辐射等污染物的浓度,以保证特定工艺过程中的产品质量、卫生要求和工人健康。

洁净室常用于半导体、电子、生物医药、食品、医疗器械等领域的生产制造和科研实验。

其主要目的是通过严格的空气过滤和空气流动控制,减少空气中的颗粒物数量,从而降低对产品的污染和损坏,确保产品的质量和可靠性。

洁净室可以分为多个级别,如ISO 14644标准中的1级到9级,级别越高,要求的洁净度越高。

洁净室通常由以下几个主要组成部分构成:1.空调系统:负责保证洁净室内的温度、湿度、气流速度和洁净度等参数处于合适的范围,其中最重要的是通过高效空气过滤器去除空气中的颗粒物和微生物。

2.洁净区:通常是洁净室中最干净的区域,在此区域内进行对产品的操作和处理,例如装配、测试、封装等。

洁净区通常根据需要设置不同的级别,以适应不同工艺的要求。

3.空气过滤器:是洁净室最重要的设备之一,用于去除空气中的颗粒物和微生物。

常用的过滤器包括高效空气过滤器(HEPA)和超高效空气过滤器(ULPA)。

4.洁净室服装:包括洁净服、口罩、头套、鞋套等,用于保护工作人员的洁净室环境免受外界污染,并防止工作人员将污染物带入洁净室。

洁净室工作原理是通过空气洁净度控制,即控制空气中的颗粒物数量来达到洁净要求。

主要采取以下措施来实现:1.空气过滤:通过高效过滤器对空气进行过滤,去除空气中的颗粒物,保证达到洁净度要求。

2.正压控制:洁净室内一般保持正压状态,使洁净室的洁净空气向外流出,避免外界空气的进入。

3.气流控制:根据工艺需要,设置合理的进风口和排风口,并采取适当的风道设计来控制和调节空气流动速度和方向,减少污染物对产品的影响。

通过上述措施,洁净室能够提供一个干净、稳定、可控的工作环境,确保产品质量,减少生产中的污染和损坏,为各行各业的生产和科研提供良好保障。

洁净室分类原理及其特点

洁净室分类原理及其特点

第四章潔淨室之分類原理及其特點1.室內氣流組織:潔淨室一般按照室內的氣流形態進行分類。

室內氣流的基本形態,可分為非層流方式(Conventional Airflow Type)、層流方式(Laminar Airflow Type)和混合方式(Mined Airflow Type)三種。

潔淨室的分類見表4-1。

這些方式只是基本方案,設計時要在考慮各自特點的基礎上,對各種方式進行組合,改進,以便選定與所要求的潔淨度、管理方武、建設費、運行費相適應的方式。

表4-1 潔淨室的分類(1)非層流方式,非層流方式又稱為亂流方式(Turbulent Airflow Type)。

亂流方式實現淨化的基本考慮是稀釋混合,是在污染產生的瞬間進行擴散混合。

反過來說,就是把從污染源散發出來的塵埃向室內擴散作為前提來考慮的。

用通過過濾器的潔淨空氣將污染沖淡,從而使室內保持潔淨。

因此,所需要的換氣次數是隨著要求的潔淨度和室內的發塵情況不同而變化很大。

圖4-1、2是一般非層流潔淨室的流程圖。

潔淨度低於100,000級的潔淨室,發塵量小時,可以不用HEPA過濾器,而用中效或亞高效空氣過濾器就可以了。

如圖4-2所示,回風口設在地板上,考濾室內氣流狀況適當地布置回風口,可以較好地控制塵埃的擴散,達到1000級左右的潔淨度是完全可能的。

另外,對於要求潔淨度高,但面積小且位置确定的場合,往往是在亂流潔淨室內設置潔淨工作台、層流罩等,以確保局部實現高潔淨度。

圖4-1 非層流方式(側回風)(10,000-100,000萬級)圖4-2 非層流方式(地板回風)(1,000~1萬級)(2)層流方式,圖4-3為層流潔淨室防止污染擴散的示意圖。

在層流潔淨室中氣流被調整得非常好,從室內一側平穩地流向其相對應的另一測。

因此,層流方式具有兩個特點,一是可以將污染源散發出來的塵埃在未向室內擴散以前就被壓出室外,二是潔淨的空氣對于污染源有隔離作用,隔斷塵埃向空間的擴散。

洁净室原理及技术指标

洁净室原理及技术指标

洁净室原理及技术指标洁净室是指对空气洁净度、温度、湿度、流速、压力、噪声等参数根据需要进行控制的密闭性较好的空间。

分为十级(4级)、百级(5级)、千级(6级)、万级(7级)、十万级(8级)洁净室。

●气流组织○ 非单向流(乱流型)具有多个道路或气流方向不平行,通过洁净室或洁净区的气流。

非单向气流组织,可适用于万级(或千级)的洁净室。

○ 单向流(层流)具有平行流线,以单一方向,通过洁净室或洁净区的气流。

单向流气流组织广泛用于百级,甚至高于百级的洁净室。

●温、湿度洁净室的温度、相对湿度应与药品生产工艺要求相应,无特殊要求时,温度应控制在18℃-26℃,相对湿度45%-65%。

电子行业温度一般控制在20℃-24℃。

●正压差空气洁净级别不同的相临房间的静压差级别高的房间应高5帕,洁净室与室外大气的静压差应大于10帕。

如:十万级≥10Pa万级≥15Pa。

● 照度主要洁净工作室的照度宜为300Lx,一般生产区及通道宜为150Lx-300Lx(电子行业主要工作区照度为300Lx-1000Lx)●噪音洁净室内的噪声级(空态),非单向流洁净室不大于60dB(A),单向流混合流洁净室不应大于65dB(A),手术室不大于50-52dB(A).确认洁净室符合国家规范要求,应进行八项测试:◆空气洁净度测试◆浮游菌测试◆沉降菌测试◆静压差测试◆风速风量测试◆温度测试◆照度测试◆噪声测试洁净室的负荷特点与节能:一般情况下,洁净空调系统的能耗大于普通舒适性空调,产生原因:1.由于生产线的排风量比较大,故补充的新风量比较大,从而冷负荷比较大;2.洁净室的换气次数大于普通空调,故风机的送风量比较大,输送的动力消耗大,风机管道温升高;3.室内的设备发热量大,消耗的冷量大。

以上三项负荷占总冷量对70~95%。

节能控制的着眼点:1.减少新风量;2.控制送风量(换气次数);3.充分利用回风量;4.选用高效低阻的过滤器。

洁净室气流组织.docx

洁净室气流组织.docx

洁净室气流组织摘要:洁净室为了达到其所要求的洁净度级别需要三个条件:一是性能良好的高效过滤器,二是足够的送风量,三是合理的气流流型;而使用合理的气流流型能够有效地减少送风量。

本文主要叙述洁净室涉及到的气流组织,以及矢流洁净室用于医院洁净病房空调的可行性,并阐述了空态下矢流洁净室内洁净度的测量结果、矢流洁净病房静态下气流场的测量结果和矢流洁净病房点污染源散发实验结果。

关键词:洁净室、气流组织、矢流洁净室洁净室就其控制的对象来说,分工业洁净室和生物洁净室两大类。

各类洁净室控制微粒污染的途径是相同的,这类途径主要体现在以下几方面[1]:1、有效地阻止室外的污染侵入室内或有效地防止室内污染物扩散至室外。

这是洁净室控制污染的最主要途径,主要涉及空气净化处理的方法、室内的正压等。

2、迅速有效地排除室内已经发生的污染,这主要涉及室内的气流组织,也是体现洁净室功能的关键。

3、控制污染源,减少污染发生量,这主要涉及发生污染的设备的设置与管理和进入洁净室的人与物的净化。

洁净室气流组织的类型按其气流状态来区分,主要分为非单向流洁净室、单向流洁净室和矢流洁净室(也称辐流洁净室)[2]。

1、非单向流洁净室的工作原理(也称乱流洁净室原理)非单向流洁净室的主要特点是从来流到出流从送风口到回风口之间气流的流通截面是变化的,洁净室截面比送风口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。

所以,送风口以后的流线彼此有很大或者越来越大的夹角,曲率半径很小,气流在室内不可能以单一方向流动,将会彼此撞击,将有回流、涡旋产生。

这就决定非单向流洁净室的流态实质是突变流非均匀流。

所以,概括地说,非单向流洁净室的作用原理是当一股干净气流从送风口送入室内时,迅速向四周扩散、混合,同时把差不多同样数量的气流从回风口排走,这股干净气流稀释着室内污染的空气,把原来含尘浓度很高的室内空气冲淡了,一直达到平衡。

所以,气流扩散得越快,越均匀,稀释的效果就越好。

洁净间工作原理

洁净间工作原理

洁净间工作原理
洁净间(Cleanroom)工作原理是通过控制环境中的颗粒物和微生物数量,来保证空气质量达到特定要求的一种高度净化的环境。

它通常应用于要求非常高的生产环境,如半导体制造、生物医药、微电子等领域。

洁净间的工作原理可以总结为以下几个方面:
1. 空气滤净技术:洁净间内的空气经过多层过滤器的过滤,充分减少空气中的颗粒物和微生物数量。

通常使用的过滤器包括高效空气滤净器(HEPA)和超高效空气滤净器(ULPA)。

2. 正压维持:洁净间内部常保持正压状态,即空气从洁净间内部向外流动,防止外部空气中的污染物进入洁净间。

通过正压维持,可以使洁净间内的空气充分透过过滤器,有效减少颗粒物和微生物的数量。

3. 温度、湿度和静电控制:洁净间内部的环境参数如温度、湿度和静电等都是经过精确控制的。

通过设备的控制系统调节,可以保持洁净间内的环境参数在一定范围内稳定,并避免对产品的影响。

4. 人员控制:在洁净间内,人员需要穿戴洁净服,并按照特定程序进入和离开洁净间,以减少人员带入的颗粒物和微生物。

同时,洁净间内的人员也需要进行特殊的培训,以了解和掌握洁净间的工作要求和规范。

综上所述,洁净间的工作原理主要通过过滤技术、正压维持、环境参数控制和人员控制等手段,来降低洁净间内部空气中的颗粒物和微生物数量,以保证洁净间内的空气质量达到要求的标准。

洁净室的工作原理

洁净室的工作原理

洁净室的工作原理
洁净室的工作原理是通过控制室内的颗粒物、微生物水平和温湿度等环境因素,确保室内的空气和物体达到一定的洁净度标准,从而适用于对环境要求较高的工业生产和科学实验等领域。

以下是洁净室的主要工作原理:
1. 空气过滤:洁净室内部通常装有多层过滤器,可以有效地过滤空气中的颗粒物和微生物。

常见的过滤器包括初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器,它们按照不同的颗粒物截留能力来过滤空气中的污染物。

2. 正压控制:洁净室通常采用正压模式,即通过送风系统向室内提供一定的新鲜空气,使室内空气相对于外部环境保持正压状态。

这可以防止室外空气进入室内,减少外界污染物的侵入。

3. 空气循环:洁净室通常采用垂直层流空气流动方式,即从上部送风,底部排风。

这种方式能够保证室内空气有序流动,使污染物迅速离开洁净区域。

4. 控制温湿度:洁净室内部通常安装有温湿度调节设备,可以根据需要调节室内的温度和湿度,保持恒定的工作环境。

5. 严格控制人员进出:洁净室还会采取一系列严格的人员进出措施,如穿戴洁净服、戴口罩、戴手套等,以防止人员带入外界污染物进入洁净室,并确保室内洁净度的维持。

通过以上工作原理的综合作用,洁净室能够控制室内空气中的颗粒物和微生物含量在一定的标准范围内,保证了对特定工业生产和科学实验的净化要求,从而提高产品质量和实验结果的可靠性。

洁净室的几种分类

洁净室的几种分类

洁净室的几种分类洁净工程,即洁净室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。

亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

洁净室的分类有以下几种:乱流式空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。

气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。

此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。

定义:气流以不均匀速度不平行流动、伴有回流或涡流的洁净室。

原理:乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气,将污染空气逐渐稀释,来实现洁净的(乱流洁净室一般设计在千级以上至30万级净化级别)。

特性:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。

换气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)(1)自净时间:是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室,室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。

1,000级希望不超过20min(分钟)(可取15min计算)10,000级希望不超过30min(分钟)(可取25min计算)100,000级希望不超过40min(分钟)(可取30min计算) (2)换气次数(按上述自净时间要求设计)1,000级43.5-55.3次/小时(规范:50次/小时)10,000级23.8-28.6次/小时(规范:25次/小时)100,000级14.4-19.2次/小时(规范:15次/小时)优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。

缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。

另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。

层流式(Laminar)层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用,一般其洁净室等级为Class1~100。

洁净装修专业知识02-洁净室认知

洁净装修专业知识02-洁净室认知

沉铜 成型 包装
电镀 表面处理 出货
微影 文字
AOI 防焊
3、各类洁净厂房的工艺流程。
➢ 印制电路技术(方正) 常规多层印制板制造工艺流程:(外层加成法制作)
内层开料
AOI
微影
黑化
压合
外框成型
图形电镀铜
耐电镀图形
沉铜电镀
电镀锡铅抗蚀层 去除抗电镀干膜 蚀刻
钻孔 AOI
去除抗蚀镀层
X-RAY 防焊
➢ 印制电路板(PCB)有“电子系统产品之母”之称,是电子零件装载的基板,是 结合电子、机械、化工材料等众多领域之基础产品,用途涵盖范围相当广泛,一 般消费性电子产品、信息、通讯、医疗,航天科技产品都需使用印刷电路板作为 安装与互连时的主要支撑体,是所有电子产品不可或缺的主要基础零件。
➢ 随着印制板用途扩大,重要性提升,并与其上下产业间紧密结合,其产业结构也 在扩展变化。国际上称为“电子电路产业”(Electronic Circuits Industry), 并且建立了世界性的同行业联合组织:世界电子电路协会(WECC)。
表面处理
文字
包装
出货
3、各类洁净厂房的工艺流程。
➢ 印制电路技术(方正)
积层多层印制板制造工艺流程:
Via in Pad
Stacked Micro Via Solid Copper Micro Via
Telescopic Micro Via
Skipped Micro Via
Staggered Micro Via
“隧道”式单向流送风
➢ 辅流洁净室
水平单向流形式
高效过滤器形成扇形、半球形或半圆柱形辅流风口,从上部送风,对侧下回 风,其流线近似向一个方向流动,性能接近于单向流,并且施工较简单,费

洁净室工作原理

洁净室工作原理

洁净室工作原理洁净室是一种具有严格环境控制的工作场所,其目的是为了保护产品或工艺免受微生物、尘埃、化学蒸气和其他污染物的影响。

洁净室通常主要应用于半导体生产、生物制药、医疗器械生产和精密仪器制造等领域。

洁净室的工作原理是通过对空气流动、过滤和控制,确保室内空气质量满足特定的洁净级别,避免对产品或工艺的污染和影响。

一、空气流动洁净室内的空气流动是保持洁净级别的重要因素之一。

通常采用水平流、竖直流和混合流等不同的空气流动方式。

水平流是指空气从洁净室的一侧经过过滤器进入室内,然后沿水平方向流动,并最终通过排风口排出。

竖直流是指空气由上方进入洁净室,沿竖直方向向下流动,然后通过地板上的排风口排出。

混合流则是水平流和竖直流的结合,通过结合两种方式的特点来提高洁净室内的空气流动效果。

空气流动的目的是将产生的污染物迅速带走,避免其对洁净室内的物品和设备造成污染。

合理的空气流动还可以减小空气中的颗粒物浓度,提高洁净室的洁净级别。

二、过滤过滤是洁净室工作原理中至关重要的一环。

洁净室通常采用高效过滤器对进入室内的空气进行过滤,一般包括初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器等。

初效过滤器主要用于过滤大颗粒物和粉尘,中效过滤器用于过滤中等大小的颗粒物,而高效过滤器则能有效过滤微小颗粒物和微生物。

过滤器的选择和设备的布局需要根据具体的洁净级别和空气质量要求来确定。

一般情况下,过滤器要定期更换和维护,以确保其过滤效果和作用。

三、控制洁净室内的温度、湿度、静压差等因素都需要严格地控制。

温度和湿度的控制是为了保证产品的生产和储存环境,而静压差的控制则是为了防止室外的污染物进入洁净室内,维持洁净室内的洁净状态。

洁净室内通常采用空调系统进行温度和湿度的控制,通过调节空调设备来达到所需的温湿度要求。

还需要对室内的静压差进行监测和控制,通常采用负压控制和正压控制来防止污染物进入室内。

在控制系统方面,洁净室还需要配备自动化系统和监控系统,通过这些系统可以实时监测洁净室内的各项参数,并进行调节和控制,以维持洁净室的洁净状态。

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洁净室分类及工作原理一、洁净室原理(一) 洁净室的定义洁净室是指空气洁净度达到规定级别的可供人活动的空间。

其功能是控制微粒(尘埃粒子)的污染。

来达到满足精密产品的生产与科学实验活动。

洁净室绝不是仅限于"洁净",不同的行业与部门对温度、温度、照明、噪声、静电、微振都有相当要求的多功能的综合整体,是集建筑装饰(与大气相对隔断的密闭装修)、净化空调、纯水、纯气、动力电、照明电、工艺管道等多种专业技术于一体的产物,洁净室(或洁净厂房)(二) 洁净室的分类实现层流的最低风速值2.1按用途分类(可分为两大类)①工业洁净室-以无生命微粒的控制为对象。

主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。

它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。

②生物洁净室:以控制有生命微粒(细菌)与无生命微粒(尘埃)对工作对象的污染。

又可分为:A.一般生物洁净室,主要控制微生物(细菌)对象的污染。

同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀,内部一般保持正压。

实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室。

B.生物学安全洁净室:主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。

内部要保持与大气的负压。

2.2按气流分类(按气流可分为四类)①.单向流洁净室(层流、活塞流)②.乱流净室③.辐射流(斜流)洁净室④.混合流洁净室(乱流、层流同在)(三) 单向流(层流)洁净室(又称垂直流,平行流)(1) 既气流以均匀的截面速度,沿着平行流线以单一方向在整个室天花截面下通过的洁净室。

单向流洁净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用。

迅速把室内污染排回风道。

(2) 要想实现"活塞流"的作用,最重要的是高效过滤器必须满布。

但是由于高效过滤器有边框,放置高铲过滤器也要有支架,不可能百分之百的满布。

所以我国《洁净厂房设计规范》规定,垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。

(四) 乱流洁净室的原理和特性1、定义:乱流洁净室的定义是气流以不均匀的速度是不平行流动,伴有回流或涡流的洁净室。

2、原理:乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气,把室内污染逐渐排出,来实殃洁净的(乱流洁净室一般设计在千级以上至30万级净化级别)。

3、特性:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净级别。

换气次数决定定义无反顾的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)(五)洁净室的新风要求按《洁净厂房设计规范》规定,乱流洁净室新风量应不小于总风量的10%-30%;单向流洁净室,新风量应不小于总风量的2%-4%,当然也可以根据洁净室的具体功能而定洁净室洁净室一、洁净室之定义洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。

它是污染控制的基础。

没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。

在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。

洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。

亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。

按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。

也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。

当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。

如表所示,每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。

目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。

微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。

二、洁净室控管之项目1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。

2. 能防止微尘粒子之产生。

3. 温度和湿度之控制。

4. 压力之调节。

5. 有害气体之排除。

6. 结构物与隔间之气密性。

7. 静电之防制。

8. 电磁干扰预防。

9. 安全因素之考虑。

10. 节能之考量。

三、洁净室之分类1.乱流式(Turbulent Flow):空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。

气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。

此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。

优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。

缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。

另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。

2.层流式(Laminar):层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用,一般其洁净室等级为Class 1~100。

其型式可分为二种:(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。

优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。

缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。

(2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。

优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。

缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。

3.复合式(Mixed Type):复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。

(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。

此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。

洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。

(2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。

因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为最适宜使用。

药品、食品业界及半导体业界均适用。

(3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

洁净工作台:等级Class 1~100级。

洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。

四、洁净室气流之流动洁净室的洁净度往往受到气流的影响,换言之,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。

洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。

然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。

洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素,一般洁净室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间,此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高,将影响运转成本的增加,所以应在满足要求的洁净度水准之时,能以最适当的风速供应,以达到适当的风速供应以达到经济性效果。

另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果,均一气流之保持亦为一重要因素,均一气流若无法保持,表示风速有异,特别是在壁面,气流会延着壁面发生涡流作用,此时要实现高洁净度事实上很困难。

垂直层流式方向要保持均一气流必须:(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。

速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,目前一般洁净室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。

影响洁净室的气流因素很多,如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。

一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。

洁净室内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较差,在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少最低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。

五、洁净室之构成洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室:(1)天花板系统:包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。

(2)空调系统:包括空气舱、过滤器系统、风车等。

(3)隔墙板(Partitional wall):包括窗户、门。

(4)地板:包括高架地板或防静电舒美地板。

(5)照明器具:包括日光灯、黄色灯管等。

洁净室之建筑主体构造,一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,必须满足如下之条件:A.不会因温度变化与振动而发生裂痕;B.不易产生微尘粒子,且很难附着粒子;C.吸湿性小;D.为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高;六、洁净室按用途分类(可分为两大类)(1)、工业洁净室——以无生命微粒的控制为对象。

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