真空镀膜仪操作流程

高真空镀膜仪操作流程

1.开启循环水，并检查循环情况和是否漏水。

2.开启电源总阀。

3.打开真空室的手动放气阀放气，放气结束后关闭手动放气阀。接着打开真空

室盖。

4.放置蒸镀金属和样品，关闭真空室盖。

5.开启真空计，开启机械泵，然后打开前级阀

6.待真空度小于10Pa后开启分子泵。待真空度小于7*10-4Pa后开始蒸镀（蒸镀

期间不要关闭机械泵、前级阀和分子泵）。

7.蒸镀：

（1）开启并设置膜厚控制系统

（2）开启样品架旋转按钮（5%-10%），并打开样品托挡板。

（3）开启蒸镀电极电源并检查腔体内挡板情况

（4）膜厚仪示数归零。

（5）调节电流值（银38A；金50A）开始蒸镀。

（6）当膜厚达到要求值后先关挡板后，再将电流调节阀归零，并盖住样品托。

8.关闭设备

（1）关闭真空计！！！！

（2）关闭分子泵，当分子泵示数为零时，关闭前级阀，最后关闭机械泵。

（3）打开真空室手动放气阀，放气结束后再关闭放气阀。

（4）取出样品（此时可以放置下一次要蒸的样品）

（5）开启真空计，打开机械泵，前级阀，将真空室抽真空至10Pa以下。

（6）关闭真空计，关闭前级阀和机械泵。

（7）关闭设备总电源和墙上总电源以及循环水系统。

若出现异常，请先关闭分子泵！！！

紧急情况，请关闭总电源！！！！