真空镀膜仪操作流程
真空镀膜机操作方法
真空镀膜机操作方法
真空镀膜机是一种常用的表面处理设备，主要用于在物体表面形成薄膜。
以下是一般的真空镀膜机操作方法的简要步骤：
1. 准备物体：将需要进行镀膜的物体清洁干净，确保表面没有灰尘、油脂或其它污染物。
2. 准备镀膜材料：根据需要的薄膜材料类型，准备相应的镀膜材料，一般为金属或者陶瓷材料。
3. 设置真空环境：将物体放置在真空镀膜室中，并确保室内的真空度达到所需的要求。
这通常需要使用真空泵和其他辅助设备。
4. 启动真空系统：打开真空系统的开关，开始抽取室内空气，直到达到设定的真空度。
5. 加热：在达到所需真空度后，加热镀膜材料使其蒸发。
加热的温度和时间取决于材料的性质和所需的薄膜厚度。
6. 沉积：薄膜材料从加热源蒸发出来后，会沉积在物体的表面。
这个过程需要一定的时间，以确保薄膜厚度均匀。
7. 冷却：在薄膜沉积完毕后，将镀膜室冷却至室温，以固化薄膜并使其附着在物体表面。
8. 释放真空：关闭加热源和真空系统，并逐渐恢复大气压力，最终打开镀膜室门让物体取出。
请注意，以上步骤是一个大致的操作流程，不同型号的真空镀膜机可能会有些差异。
在使用真空镀膜机之前，请务必详细阅读设备的操作手册，并根据实际情况进行操作。
真空镀膜机安全操作规程
真空镀膜机安全操作规程
1.打开总电源，打开总水源，打开中气源。
2.打开机械泵冷水阀门并启动机械泵，开始对管道抽真空。
3.开预阀，对扩散泵抽真空（延时自动启动罗茨泵）同时打开扩散泵上下冷却阀门及水冷挡板冷却阀门。
4.开扩散泵，约一小时左右后，扩散泵处于正常工作状态。
5.开启放气阀，打开箱门。
6.装入待镀元件，关闭箱门，关闭放气阀。
7.当扩散泵处于正常工作后，关闭预阀，打开低阀，延时120秒后自动启动罗茨泵，对蒸发室抽低真空，当蒸发真空度达到 1.0-0Pa 时，关闭低阀，开预阀，开高阀，对蒸发室抽高真空。
8.逐步调试增加蒸发室内温度。
9.蒸发室内温度及正空度达到所需求值时，打开膜厚仪，预热枪灯丝后开始蒸镀。
10.蒸镀完成后，关闭膜厚仪及枪灯丝，关闭高阀及扩散泵。
11.逐步降低蒸发室内温度。
12.待达到规定温度时（大于1小时）关闭低阀和机械泵。
13.关总电源，关总水源，关总气源。
真空镀膜机操作规程
真空镀膜机操作规程真空镀膜机是一种高精度的设备，操作规程的合理执行可以确保设备的正常运行并保证产品的质量。
下面是一份真空镀膜机的操作规程，供参考：一、操作前准备1. 检查设备的电源和附属设施，确保运行环境安全正常。
2. 检查真空镀膜机内部是否有异物或污染物，清洁设备确保表面干净。
二、设备开启与调试1. 打开设备的电源，并按照操作手册正确操作所有开关与按钮，确保设备的正常运行。
2. 设备初次开启或长时间未使用后，需打开辅助泵进行抽真空，待真空度达到标准值后再进行下一步操作。
3. 真空镀膜机应设有校准装置，操作人员应根据实际需要进行相应的校准，确保设备的稳定性和精度。
三、样品处理与准备1. 将待镀膜的样品放置在有效位置，确保样品的平整，并避免样品之间的碰撞。
2. 样品表面应清洁干净，不存在污染和油渍，否则会影响镀膜质量。
四、真空镀膜操作1. 打开样品舱门，将样品放置在样品架上，确保样品与样品架之间没有杂质。
2. 关闭样品舱门，设定镀膜参数，如镀膜材料、镀膜时间、镀膜温度、反应气体等。
3. 执行真空镀膜程序，按照操作手册的步骤进行操作，确保每一个程序的稳定运行。
4. 在镀膜过程中，操作人员应经常观察反应室内的状态，如真空度、压力、温度等参数，并及时调整。
5. 镀膜结束后，将样品从样品架上取下，放置在准备好的容器中，注意避免样品与其他物体接触，避免污染。
五、设备关闭与清洁1. 关闭设备的各个开关和电源，确保设备停止运行。
2. 清洁设备内部，包括反应室和样品架，确保设备内部干净整洁。
3. 清洁设备外部，特别是控制面板和触摸屏，避免灰尘或污渍附着在上面。
4. 检查设备的附属设施，如冷却系统，确保其正常运行。
六、操作注意事项1. 操作人员应穿戴好相应的防护用品，如手套、口罩、护目镜等，确保工作安全。
2. 镀膜材料和反应气体应储存妥善，避免与火源、高温、湿度等有害物质接触。
3. 真空镀膜机应定期进行维护保养，如更换密封圈、清洁真空管道、校准仪器等。
真空镀膜实验操作步骤
真空镀膜本实验应用真空蒸发的方法：即在真空中把制作薄膜的材料加热蒸发，使其淀积在适当的表面上来获得一质量优良的金属膜。
●真空镀膜机真空镀膜机结构图●蒸发系统蒸发系统蒸发源蒸发源的形状如下图，大致有螺旋式(a)、篮式(b)、发叉式(c)和浅舟式(d)等。
蒸发源真空蒸发实验的具体操作步骤：1. 检查真空镀膜机及复合真空计上各开关，并它们全部置在“关”的位置（特别是复合真空计上的规管电源一定要置在“关”的位置）；2. 接通真空镀膜机总电源，再把钟罩操作旋钮拨至“钟罩升”，等钟罩升至适当位置后拨至“关”；3. 把制作薄膜的铝材处理后放置在蒸发源的适当位置，再用挡板挡住蒸发源；把经清洗、干燥处理后的玻璃片放置在工作架的适当位置；然后把钟罩操作旋钮拨至“钟罩降”使钟罩降至最低位置后拨至“关”；4. 接通复合真空计电源，校准“测量2”的加热电流为98 mA，然后旋钮旋到“测量2”；5. 接通真空镀膜机冷却水源，再接通真空镀膜机的“机械泵及扩散泵”电源，“拉”低阀，用“测量2”监测钟罩内的气压变化，记录相应的P（t）～t 曲线，直到钟罩内的气压值下降为5Pa后，“推”低阀，改用“测量1”监测系统内的气压变化（确认“测量1”的加热电流为98 mA），直到系统内的气压值为5Pa时，“开”高阀；6. 再次采用“测量2”监测钟罩内的气压变化，记录相应的P（t）～t 曲线，直到钟罩内的气压值为0.1Pa后，接通复合真空计上的规管电源，启用电离规管对钟罩内的气压变化进行监测并记录相应的P（t）～t 曲线，直到钟罩内的气压值下降为0.015Pa 以下；7. 用电源插销接通所选用的蒸发源“电极”，再接通“烘烤、蒸发”电源，调节其电流强度为30 A并维持约1分钟，移开挡板，继续增大电流至45A并维持30秒，然后把电流强度调节为零，同时关闭复合真空计上的规管电源！！！8. 在进行抽气10分钟后，“关”高阀，“机械泵及扩散泵”改接为“机械泵”；9. 机械泵继续开动，水源不关，开风扇吹扩散泵……30分钟后接通“充气阀”对钟罩内“充气”，待充气完成后升钟罩，取出镀膜片；10. 再经半小时后关机械泵、水源及总电源。
真空镀膜机操作流程
真空镀膜机操作流程
真空镀膜机是一种非常重要的设备，它能够将金属薄膜均匀地沉
积在不同的基材上。
这种设备广泛应用于电子领域、医疗领域、航空
领域和化学领域等众多领域中。
本文将会为大家讲述真空镀膜机的操
作流程。
一、设备准备
在使用真空镀膜机之前，我们需要检查设备的运行状态，并检查
真空室内部是否存在瑕疵或污垢。
接着，清洁真空室内的所有夹具和
样品，并确保样品表面没有杂质和气泡。
二、真空抽气
将已经准备好的样品夹具放入真空室中，打开机器上的电源开关。
接下来，需要将真空室抽气直到其内部真空度达到所需的水平。
通常，我们将需要达到 1*10^-6 Torr 的真空度，这些都需要根据具体的样
品和需求而定。
三、样品镀膜
当真空度达到预定水平后，可启动样品镀膜程序。
在这个阶段，
你需要调整设备上的参数，例如反应气体、沉积速率以及沉积时间等等。
这些参数都需要根据样品的材料和形状进行调节。
最终目的是均
匀地沉积薄膜层。
四、停止反应
沉积时间用完后，需要切断电源并停止气体反应。
然后将真空室
压力调整为标准的大气压。
最后取出已经完成镀膜过程的样品，在放
回原位之前清洁表面上的杂质和污垢。
总结
以上为真空镀膜机的操作流程。
在进行操作时，我们必须保证设
备运行的正常和安全。
特别需要注意的是在各个阶段需要调整设备上
的参数，以保证样品能够得到最佳的效果。
有了这些基本的操作步骤，你可以轻松操作真空镀膜机，并为你的研究和生产工作创造更加优秀
的成果。
真空镀膜机操作程序
真空镀膜机操作程序①检查镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。
②打开总电源开关，设备送电。
③低压阀拉出。
开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。
④安装固定钨螺旋加热子。
把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。
把铝丝穿放在螺旋加热子内。
清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。
⑤落下钟罩。
⑥启动抽真空机械泵。
⑦开复合真空计电源（复合真空计型号：Fzh-1A)。
a 、左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。
b 、低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至110mA时，左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。
⑧当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6、7Pa时，低压阀推入。
这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
⑨开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。
⑩低压阀拉出。
重复一次⑦动作程序：左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。
低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至6、7Pa时，开高压阀（阀杆顺时针旋转）。
⑪等低真空表“2”内指针右移动至0、1Pa时，开规管灯丝开关。
a 、发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。
b 、左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
⑫旋转发射调节钮“4”，使高压真空表“5”内指针指向5。
⑬发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向零点位置。
⑭旋转零点调节钮“10”，让高压真空表“5”内指针指向0位置。
⑮发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向测量位置。
⑯旋转标准调节钮“3”，让高压真空表“5”内指针指向10。
⑰旋转“倍加器”开关钮“8”至指向10-12，当高压真空表“5”内指针逆时针左移超过1时，再把“倍加器”开关旋钮“8”旋转至指向10-3。
⑱当高压真空表“5”内指针逆时针移动超过6、7Pa时，开工件旋转钮开关，钟罩内被镀件PVDF膜转动。
⑲开蒸发钮开关。
把电流分插塞插入蒸发电极分配孔内（设有1、2、3、4孔，可插入任意一孔）。
真空镀膜工安全操作规程
真空镀膜工安全操作规程真空镀膜工是一项高风险、高技术含量的工作，必须遵循严格的安全操作规程以确保工作人员的身体健康和设备的安全运行。
本文档阐述了真空镀膜工的安全操作规程，以供参考。
工作前准备在进行真空镀膜工作之前，需要做好以下准备：1.检查设备是否完好，是否存在故障或漏洞等情况。
必要时修复或更换设备，确保设备安全运行。
2.检查镀膜材料是否充足，需要提前准备好所需的镀膜材料与工具，以确保工作顺利进行。
3.准备好个人防护装备，包括防护面罩、手套、防护服、安全鞋等。
确保个人安全和卫生。
4.了解现场应急预案，熟悉应急处理流程，以便需要时及时采取措施应对突发事件。
操作流程真空镀膜工作流程如下：1.打开真空镀膜室门并进入室内。
确保门紧闭后，操作者需要按下真空开关，减少压力，确保真空室内安全。
2.打开度规，确保设定好的膜层厚度准确无误。
根据相应的厚度设置真空度、电流等参数，在设备上进行相应调节。
3.选择所需的镀膜材料，打开加热器，聚焦电子枪以进行喷射。
在此期间，还需要对镀膜随时控制电流和其他参数，以保证镀膜质量。
4.将已制作好的样品放入真空室中进行镀膜，注意样品的定位和留空，确保镀膜质量和完整性。
5.镀膜完成后，将样品从真空室中取出。
关闭所有设备，清理残留物，清洁真空室，确保设备处于安全状态。
安全注意事项在进行真空镀膜工作的过程中，需要格外注意以下事项，以确保设备的安全运行：1.不得在真空室内残留任何材料或杂质，否则会影响镀膜的质量。
需要定期清理真空室，清洁设备的表面和内部。
2.操作者需要佩戴个人防护装备，并保持设备上的警示标志和指示标记清晰可见。
操作前必须检查设备是否完好，避免因为设备损坏造成人身伤害。
3.避免在真空室内进行运动或拖动重物，避免损坏真空室。
4.避免在真空室内引入可燃物品或液体等物质，这可能会引发火灾或爆炸。
5.操作结束后，应及时关闭设备并清理真空室，以免产生残留物质或是使设备损坏。
总结以上是针对真空镀膜工的安全操作规程，需要操作者遵循。
山东真空镀膜机操作规程
山东真空镀膜机操作规程
《山东真空镀膜机操作规程》
一、操作前准备
1. 确认设备及工具完好无损，必要时进行维修及更换。
2. 检查真空镀膜机的电源及周围环境，确保安全使用。
3. 穿戴好防护用具，如手套、护目镜等。
二、操作步骤
1. 打开真空镀膜机的电源，根据设备要求设定好相应的工作参数。
2. 将待处理材料放置于真空镀膜机的工作台上，注意放置位置及稳定度。
3. 启动真空镀膜机，观察真空度及工作状态，确保正常运行。
4. 根据需要，进行镀膜的预处理，如清洗、打磨等。
5. 将镀膜材料放置于真空镀膜机内，注意操作时避免碰触到内部设备。
6. 根据具体要求，进行镀膜操作，注意控制镀膜层厚度及均匀度。
7. 镀膜完成后，关闭真空镀膜机，将待处理材料取出，进行必要的后续处理。
三、操作注意事项
1. 操作人员需熟悉真空镀膜机的工作原理及操作要点，严格按
照规程进行操作。
2. 避免在真空镀膜机运行过程中对设备进行擅自操作，以免造成意外伤害。
3. 定期进行真空镀膜机的维护保养，确保设备的正常运行。
4. 操作结束后，做好设备清洁及安全关闭工作，及时进行设备及工具的归位整理。
以上即为《山东真空镀膜机操作规程》，希望操作人员严格遵守并按规定进行操作，确保设备的正常使用及工作安全。
真空蒸镀实验操作流程
真空镀膜实验操作流程
1.取下法兰（左窗先下螺丝，玻璃用吸盘吸起），将衬板取出（锡纸包裹上法兰；
左窗盖住），除尘纸轻微擦拭，酒精将薄膜展开，待酒精挥发5分钟，再放入腔室，裁剪部分金丝放入钨丝上，橡胶圈涂抹脂类，拧上螺丝（上法兰两长两短）。
2.开机械泵、磁电机、分子泵、复合真空计等（右边排插），打开真空泵显示，
待压强显示达到5×10-2时，打开下方分子泵开关，打开分子泵风扇（左边排插），启动分子泵，等待2h左右。
3.加上水冷；打开薄膜厚度仪器；盖上左窗面板；打开电源机箱加电流（慢慢
加，控制镀膜rate在1.5左右；电流最终加到13左右）待膜厚度达到0.15左右开始降电压（慢慢降，控制最后膜厚度到0.2左右）最后关闭电源机箱；关闭测厚仪；停止分子泵，等待1h后显示为预准备状态时关闭分子泵开关，然后将电源逐一关闭，慢慢拧开阀门，待腔室气压与外界一致，取下法兰与左窗，取出衬板，左窗与上口处锡纸包裹，将膜翻面，再放入腔室，拧上螺丝。
图1.真空蒸镀实验系统
图2.仪表系统（测厚仪、低压电源以及真空计）
图3.薄膜蒸金结果。
真空镀膜操作流程
真空镀膜操作流程一、准备工作在进行真空镀膜操作之前，首先需要进行一系列的准备工作。
包括准备好需要被镀膜的基材，清洁基材表面，确保表面没有杂质和污垢。
同时，还需要准备好镀膜材料，根据不同的需求选择合适的镀膜材料。
二、装载基材将准备好的基材装载到真空镀膜设备中。
装载时要注意避免基材的表面受到损伤或污染。
装载后，需要将设备密封好，确保设备内部形成一个相对封闭的空间。
三、抽真空在装载好基材后，需要对设备进行抽真空操作。
抽真空的目的是将设备内部的气体抽除，创造一个真空环境。
抽真空的过程中，需要逐渐降低设备内的压力，直到达到所需的真空度。
抽真空时要注意控制抽气速度和抽气量，以免对基材造成不良影响。
四、加热处理在达到所需真空度后，需要对装载的基材进行加热处理。
加热的目的是提高基材的温度，使其在镀膜过程中更容易与镀膜材料反应。
加热的温度和时间要根据具体的镀膜材料和要求进行调整。
五、镀膜在基材加热到适当温度后，可以开始进行镀膜操作。
镀膜主要是将镀膜材料蒸发并沉积在基材表面。
镀膜材料通常放置在镀膜源中，通过加热或其他方式使其蒸发。
蒸发的镀膜材料会在真空中扩散，并最终沉积在基材表面上。
镀膜的厚度可以根据需要进行调整，通过控制镀膜材料的蒸发时间和速度来实现。
六、冷却与卸载在完成镀膜后，需要对基材进行冷却处理。
冷却的目的是使镀膜材料固化，并增强附着力。
冷却的时间和方式可以根据具体的镀膜材料和要求进行调整。
冷却完成后，可以将镀膜好的基材从设备中取出，并进行后续的处理和检测。
七、清洁与维护在完成真空镀膜操作后，需要对设备进行清洁和维护工作。
清洁设备的目的是去除设备内的残留杂质和污垢，保持设备的工作效率和稳定性。
维护设备的目的是修复和更换设备中的损坏部件，确保设备的正常运行。
总结：真空镀膜操作流程包括准备工作、装载基材、抽真空、加热处理、镀膜、冷却与卸载、清洁与维护等步骤。
每一步骤都需要仔细操作，确保镀膜的质量和效果。
通过正确的操作流程，可以实现对基材表面的镀膜，提高其光学、电学、机械等性能，满足不同领域的需求。
真空镀膜机操作流程
真空镀膜机操作流程
一、准备工作。
1. 确认真空镀膜机的工作状态，检查设备是否完好。
2. 准备好需要镀膜的材料和目标物体。
3. 清洁目标物体表面，确保表面干净无尘。
二、开机操作。
1. 打开真空镀膜机的电源开关，待设备启动完成后进入下一步操作。
2. 启动真空泵，将系统抽真空至所需的工作压力。
三、镀膜操作。
1. 将待镀膜的材料放置在镀膜室内，注意安放位置和方向。
2. 打开镀膜室的加热系统，使其达到所需的温度。
3. 启动镀膜源，将镀膜材料加热至蒸发状态。
4. 控制镀膜源的蒸发速度和时间，确保均匀的镀膜层厚度。
5. 监控镀膜过程中的真空度和温度变化，及时调整参数以保证镀膜质量。
四、结束操作。
1. 关闭镀膜源和加热系统，停止镀膜操作。
2. 等待镀膜室内压力恢复至大气压，然后打开镀膜室门。
3. 将镀膜完成的物体取出，放置在通风处冷却。
4. 关闭真空泵和真空镀膜机的电源开关，完成操作。
五、清洁和维护。
1. 清洁镀膜室内表面和镀膜源，确保设备清洁。
2. 定期检查和维护真空镀膜机的各项部件，保证设备正常运转。
六、安全注意事项。
1. 在操作真空镀膜机时，要注意防止镀膜材料的挥发物对人体
的伤害，做好防护措施。
2. 注意设备的电气安全，避免触电和短路等事故发生。
3. 在操作过程中要严格遵守设备操作规程，确保人身和设备安全。
以上即是真空镀膜机的操作流程，希望能够对您的工作有所帮助。
如有任何疑问，请及时咨询设备厂家或专业人士。
高真空镀膜仪安全操作及保养规程
高真空镀膜仪安全操作及保养规程前言高真空镀膜仪是一种用于制备各种镀膜材料的重要实验设备，但在使用过程中，由于操作不当或保养不当等原因，易导致设备损坏、危险事故等情况，为了确保设备的安全运行和使用者的人身安全，本文将介绍高真空镀膜仪的安全操作及保养规程。
安全操作规程1. 设备开机前的准备工作1.确认准备工作的全部完成，未在高真空室内留有任何物品。
2.确定真空泵和其他设备都处于正常运行状态。
3.检查所有电源在关闭状态下，检查系统控制面板的所有指示灯是否符合预期。
2. 真空泵的使用1.操作时需要使用真空泵，打开真空泵前请确保泵内无液体或杂质，防止废气继续运行造成损坏。
2.在使用真空泵时，禁止长时间超负荷工作，应按规定的时间间隔进行检修和维护。
3. 操作中的注意事项1.在高真空室内操作时，必须佩戴相应的工作服、手套、帽子和鞋子，并将所有物品分散放置，防止可能产生反身物。
2.在操作过程中如果发现有异响或异常情况，请立即停机排除故障。
3.镀膜过程中，严禁开启外部的门窗，以避免污染外部环境。
4. 紧急情况1.在任何情况下，都要优先考虑人员安全，如果发现火灾、爆炸或其他紧急情况，请立即关闭所有电源，并向消防部门报警。
2.紧急情况结束后，设备操作前必须经过专业维修人员检查确认安全性。
保养规程1. 高真空镀膜仪日常维护1.日常使用中，应检查设备的各个部位是否有损坏或异常情况，如有，则应及时进行维修或更换。
2.定期对设备内部进行清洁，清除气路走道和所有零件的污物，以确保设备的正常运行。
2. 泵的日常维护1.泵的日常工作需要对气体冷却系统进行维护，对泵进行必要的润滑和充油。
2.在检修过程中请注意安全，切勿直接将手插入泵内，应使用相应的工具进行清洁和检查。
3. 镀膜室的维护1.针对镀膜室内部进行定期的检查，保持室内清洁和处理设备，以确保设备的正常运行。
2.在使用过程中尽可能减少设备的开关，以减少磨损和清洗超高真空室、抛光器和其它机器。
真空镀膜仪操作方法
真空镀膜仪操作方法
以下为真空镀膜仪的操作方法：
1. 准备工作：打开真空镀膜仪的主电源，确保设备正常启动。
检查真空仓内是否有杂质，如果有需要清理干净。
准备好需要镀膜的基板和所需的镀膜材料。
2. 将基板安装：将需要镀膜的基板固定在镀膜夹具上，确保基板与夹具之间没有杂质和空隙。
3. 真空抽气：打开真空泵，开始抽取镀膜仓内的空气，使真空度逐渐提高。
注意，真空度的提升需要一定的时间，一般需要几分钟到几十分钟不等。
4. 反射层镀膜：根据需要选择镀膜材料，将材料放入镀膜仓内的加热器中，并设置合适的加热温度。
当真空度达到设定值后，打开镀膜源的开关，让镀膜材料开始蒸发。
材料的蒸发会形成气体，沉积在基板上形成薄膜。
5. 辅助层镀膜（可选）：如果需要在基板上形成多层镀膜结构，可以在上述步骤完成后，更换镀膜源和镀膜材料，进行下一层的镀膜操作。
每层镀膜前都需要将真空度恢复到设定值。
6. 结束镀膜：当所需的镀膜层数达到要求后，关闭镀膜源的开关。
等待一段时间，让镀膜材料的蒸发停止。
7. 减压恢复：打开气阀，让室内的气体进入真空仓内，逐渐恢复正常气压。
此时可以打开真空仓门，取出镀膜好的基板。
8. 清洁维护：将真空仓内的杂质清理干净，注意避免使用刻蚀性强的清洁剂。
关闭设备主电源，关闭真空泵。
以上就是真空镀膜仪的基本操作方法，具体操作时应注意安全，并按照设备说明书和操作手册进行操作。
真空镀膜操作流程
真空镀膜机操作流程
1打开冷凝水。
2调节好舟，放一颗银粒到舟（4号舟）上，放置石英片（镀银的面朝下）。
3 打开总电源，进入操作界面，将样品和4号舟的挡板复位。
4开电流，看电路是否连通。
5关闭通空气阀门，打开机械泵，开机械泵阀门，抽真空至10Pa以下。
6关闭机械泵阀门，打开分子泵，打开分子泵阀门，抽真空至6*10-5Pa。
7 开电流加热装置，电流缓慢增大30-40A,70-80A,打开旋转开关，将样品和4号舟的挡板打开，打开样品旋转装置。
8在电流缓慢增大过程中，打开膜厚度检测装置。
加至140A时，此时金属增发，开始镀膜。
等膜厚到达35nm-40nm时关闭电流。
9关闭分子泵阀门，在操作界面关闭分子泵，等转速降为0时，可关闭分子泵电源。
10打开放气阀，放气完毕，取出样品。
11关闭通空气阀门，打开机械泵，开机械泵阀门，抽真空至10Pa以下。
12关总电源，关冷凝水，实验结束。
真空镀膜机安全操作规程
真空鍍膜机安全操作規程一.开机前作到：1.检查工作环境清洁、干净。
2.检查电线无破损，接地牢固。
3.检查真空室、镀膜转架及工位器具清洁、无油污。
4.机械泵、罗茨泵油位过半。
5.检查四只阀加注满3#真空脂，真空室转轴加注满3#真空脂。
6.罗茨泵转轴处油杯加满机械泵油。
7.准备相关工位器具，适量J-7乍乌丝、ABOO型99.99% 的铝丝。
&接通水、气、电，气压0.5・0.6Mpa,水压0.3-0.4Mpa o二.操作要点：1.通电，开启机械泵，3分钟后开启阀3,开扩散泵，预热1-1.5小时。
2.镀膜转架装夹产品、铝丝、钩丝，转架进烘箱预热（温度、时间符合工艺）。
3.开阀4,开启真空室，转架进真空室，卡销定位，试转动平稳无异常振动。
4.关闭真空室，关阀4,关阀3,开阀2,开始抽气，开启复合真空计。
5.当真空度达至-0.1 Mpa时，开启罗茨泵。
6.当真空度达到l-1.5Pa （52-64格）时,关阀2,开阀3, 开阀lo7.当真空度达到2Xl（?2pa时，开启转动（转速符合工艺）,分二次进行蒸镀（电压、时间符合工艺），蒸镀结束关复合真空计。
&停止蒸镀0.5・1分钟后关转动，关阀1,关罗茨泵。
9.开阀4,开真空室，拉出镀膜转架，取下成品，换装待镀产品，装上铝丝，进行下次工作。
10.严守开关阀、泵的顺序步骤，防止损坏设备。
11 .生产中注意产品安装到位牢固。
12.注意转架电极、紧固件是否松脱，及时加固补全。
13.及时更换断裂、积球、老化的餌丝。
三.关机及保养：1.拉出转架后，关扩散泵，冷却1・1.5小时，后关阀3, 关机械泵。
2.关整机电源，关冷却水、关高压空气。
3.每星期检查清洁镀膜转架工装。
4.每三个月检查更换机械泵油。
5.每六个月检查更换罗茨泵油、扩散泵油。
制定：王思忠审批：时间：2002.09.10时间:。
真空镀膜机操作规程
真空镀膜机操作规程
《真空镀膜机操作规程》
一、操作前准备
1. 确保真空镀膜机各部件状态正常，无故障。
2. 根据需要选择合适的膜材料和工艺参数。
3. 做好个人防护措施，穿戴好工作服、手套和防护眼镜等。
二、开机操作
1. 按照机器说明书进行正确的电源连接和开机操作。
2. 检查真空镀膜机的真空泵及抽气装置是否正常运转。
3. 启动控制面板，设置相关参数并进行预热。
三、装载工件
1. 选择适当的工件夹具，将工件放置在夹具上。
2. 将工件夹具安装到真空室内的装载平台上。
四、真空镀膜过程
1. 关闭真空室门，启动真空抽气系统。
2. 当真空度达到要求后，开始进行镀膜过程。
3. 根据工艺要求，控制镀层的厚度和均匀度。
五、结束操作
1. 镀膜完成后，停止镀膜系统的工作，等待真空室内气压恢复至正常压力。
2. 打开真空室门，将工件夹具取出，检查镀膜质量。
3. 关闭真空镀膜机，进行清洁和维护工作。
六、安全注意事项
1. 操作人员需熟悉机器的性能和操作流程，严格按照规程操作。
2. 操作过程中要注意保持机器和周围环境的清洁整洁。
3. 遵守相关安全标准和操作规范，确保人身和设备安全。
七、其他
1. 出现紧急情况时，应立即停止操作并报告相关人员。
2. 遵守环保法规，妥善处理废弃的膜材料和废气废水等。
3. 对真空镀膜机进行定期的维护保养，确保设备的长期稳定运转。
以上就是《真空镀膜机操作规程》，希望操作人员能够严格按照规程进行操作，确保镀膜工艺的质量和安全。
全自动真空离子镀膜机操作手册说明书
全自动真空离子镀膜机操作手册地址：中国广东省潮州市潮安区凤塘镇创高真空 备工艺厂电话：+86－0768*******+86－0768*******第一打开择需作系一章：用开控制电源需要用的用系统。
用户登陆源后，触用户名，在陆画面说明摸屏启动在密码窗明动进入止画口输入相画面。
在“应的密码“用户名”码后点击确下拉菜单确定键进入点单的单选入操击下拉菜单选择相应用户名输入相应的密码报警显示示设备冷却开关压缩空气开关工关工件加热开关工件加热关热时间设置镀膜计延时计数时关机时间设设置工艺选择择输入手动设置跳至当前工动镀膜气体置曲线画第五工五章：工工艺层数 度工艺参数数设置画面气号面说明体编号说明工艺状态显示延时开源时间设弧电设置氩气输入框此层镀膜第六本画绿色六章：IO 画面显示色代表此O 监控画示PLC 的此IO=ON画面说明的输入输出N出状态，红色代代表此IO ＝OFF第七章：开机步骤说明1、打开控制柜上主断路器2、打开控制电源开关后等待触摸屏启动3、选择相应用户名称4、输入相应用户密码后点击“确定”进入系统画面5、点击“功能画面”6、打开“冷却水泵”开关后返回系统画面7、打开维持泵开关8、打开扩散泵开关9、检查设备冷却水、压缩空气是否正常，等待扩散泵温度达到90摄氏度以上。
10、打开弧电源的总电源开关和气瓶开关12、打开“滑阀泵”13、设定好需要的工艺参数并选择14、打开“系统自动开关”和“镀膜自动”15、装好工件后关闭大门开始粗抽直到充气完成后开门取出工件第七章：关机步骤说明1、“系统自动”和“系统手动”开关关闭2、关闭弧电源的总电源开关3、关闭滑阀泵和扩散泵4、点击“功能画面”设定好自动关机时间（一般是120分钟）5、打开“自动关机”功能开关6、达到设定的时间后系统自动关闭“维持泵”和“冷却水泵”7、关闭总电源。
PVD真空镀膜机作业指导书
PVD真空镀膜机作业指导书一．开机1. 检查水路是否畅通，确定冷却塔、激进泵是否正常工作（水压需达到0.4Mpa以上）。
2. 检查气路是否畅通，确定空压机是否正常工作（气压需达到0.5Mpa）。
3．开启电源开关，打开《开机》、《维持泵》开关，待真空计的热偶计读数在10pa以下时，打开《扩散泵温控仪1、2》，《扩散泵1、2》四个开关。
即扩散泵升温（大约1小时左右）。
4. 距加热时间约10分钟左右，开启低温捕集器，待6分钟冷却时间过后，按《F1》启动低温捕集器。
待温控仪上的设定温度达到时，即可正常生产操作。
二．生产操作1. 确定真空室内膜料、离子源灯丝、工件架已按要求放置完毕。
2. 开启《粗抽泵》，将抽气手自动档切换至自动档，打开《自动抽气》开关，待真空室大门吸合即可。
3. 当罗茨泵自动开启时，按低温捕集器《F2》，开启捕集器制冷功能。
4. 此操作应工艺的不同而有较大的变化，此处不一一详述，即为口述。
5. 工艺完成后，关闭电子枪、离子源（必须先归零灯丝电流，再关电源）等开关，打开《自动充气》开关，待精抽阀闭合后，将抽气手自动档切换至手动档（此处必需注意除维持泵、扩散泵、粗抽泵、开机这四个开关是按下去的外，其他开关都不可按下，以免操作失误造成扩散泵暴露大气！），按捕集器F3，开启回温功能，待低温捕集器温度回温到30摄氏度以上，打开《充气阀》，待真空室门打开，关闭《充气阀》。
（注：《自动抽气》与《自动充气》开关严禁混淆）6. 以上循环，即为正常操作流程。
三．停机1. 将真空室门吸合，抽至一定真空，关闭除《停机》开关的所有开关。
（注：此停机开关，正常生产中严禁开启）2. 待真空镀膜机冷却一小时后，方可关闭电源，空压机，冷却塔，激进泵。
注：以上所有操作必须严格执行，未经允许不可更改，若应操作失误造成镀膜机受到损坏，影响等因素，操作员将承担相应责任。
警告:本机器有多处高压变压器，电压高达8KV，为避免安全事故，未经允许不可开启电柜、真空室下的屏蔽门。
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高真空镀膜仪操作流程
1.开启循环水，并检查循环情况和是否漏水。
2.开启电源总阀。
3.打开真空室的手动放气阀放气，放气结束后关闭手动放气阀。
接着打开真空
室盖。
4.放置蒸镀金属和样品，关闭真空室盖。
5.开启真空计，开启机械泵，然后打开前级阀
6.待真空度小于10Pa后开启分子泵。
待真空度小于7*10-4Pa后开始蒸镀（蒸镀
期间不要关闭机械泵、前级阀和分子泵）。
7.蒸镀：
（1）开启并设置膜厚控制系统
（2）开启样品架旋转按钮（5%-10%），并打开样品托挡板。
（3）开启蒸镀电极电源并检查腔体内挡板情况
（4）膜厚仪示数归零。
（5）调节电流值（银38A；金50A）开始蒸镀。
（6）当膜厚达到要求值后先关挡板后，再将电流调节阀归零，并盖住样品托。
8.关闭设备
（1）关闭真空计！！！！
（2）关闭分子泵，当分子泵示数为零时，关闭前级阀，最后关闭机械泵。
（3）打开真空室手动放气阀，放气结束后再关闭放气阀。
（4）取出样品（此时可以放置下一次要蒸的样品）
（5）开启真空计，打开机械泵，前级阀，将真空室抽真空至10Pa以下。
（6）关闭真空计，关闭前级阀和机械泵。
（7）关闭设备总电源和墙上总电源以及循环水系统。
若出现异常，请先关闭分子泵！！！
紧急情况，请关闭总电源！！！！。