微细电加工应用技术研究

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微细电火花加工模糊抬刀控制系统的设计及实验研究

中图分类号：６１ＴＧ６文献标识码：Ａ文章编号：０９—２９２１）１０５—０１０７Ｘ（０２０ —０１５
ＤｅｉｎａｐｒｍｅｔｌＳｕｙｏｚｙＪｍｐｉｇＣｏｒｌＳｓｅｆｒＭｉｒ — ｓｇｎｄＥｘｅｉｎａｔｄｆＦｕｚｕｎｎｔｏｙｔｍｏｃｏＥＤＭ
Ａｂｔａｔｓｒｃ：Ｔｈｓａｅｒｓｎｓｔｏｆｆｚｙｊｍｐｎｏｔｏｙｔｍａｅｎｍｉｅｒｇａｉｐｐｒｐｅｅｔｍｅｈｄｏｕｚａｕｉｇｃｎｒ１ｓｅｂｓｄｏｘｄｐｏｒｍ— ｓ
ｍｉｇｏＡＴＬｎｆＭＡＢｎａｄＶＣ＋＋．Ｔｈｕｚｏｔｏｙｔｍｓｄｓｎｄｂｓｄｏｔｔｔｓｏｈｉｅｆｚｙｃｎｒｌｓｅｉｅｉｅａｅｎｓａｉｉｆｔｅｄｓｓｇｓｃ —
《电加工与模具》２１年第１０２期
关的方波信号（称放电时间波形）就可明显区分简，
出这两种状态。因此，用放电时间检测法检测微采
时如以某一电压为基准，其转化为与放电时间有将
一
细电火花加工间隙大小的灵敏度很高，于微细电适
—
编写，刀控制模块流程见图５抬。该模块首先进行放电状态的辨别与统计，设计的放电状态统计模本块是基于上述放电时间检测法、脉冲个数为单位以进行放电状态统计的。采用累加计数的方法，软在件中设定３个变量ｃｕｔ、ｏｎ、ｏｎ。ｌ分别ｏｎ．ｃｕｔｃｕｔｌＳｄａ，记录短路状态数、花放电状态数及总放电状态数，火

微细电火花加工技术

微细电火花加工技术微细电火花加工技术是一种高精度加工方法，它通过利用电火花放电的瞬间高温和高压能量，将工件表面的金属材料溶解、熔化、蒸发和喷射等效应，实现对工件进行微细加工的一种技术。

微细电火花加工技术具有加工精度高、表面质量好、加工效率高等优点，在模具制造、航空航天、医疗器械等领域有着广泛的应用。

微细电火花加工技术的原理是利用电火花放电过程中产生的高温等效应来加工工件。

在微细电火花加工过程中，工件和电极通过一个电解液隔开，当施加足够的电压时，电极上会产生高频率的电火花放电。

电火花放电瞬间产生的高温和高压能量会使电解液中的金属离子快速聚集在工件表面，形成微小的气泡，同时气泡瞬间爆破产生的压力将工件表面的金属材料冲击下来。

通过不断重复这个过程，就可以实现对工件表面的微细加工。

微细电火花加工技术的加工精度非常高，可以达到亚微米级别。

这是因为在电火花放电过程中，由于高温和高压能量的局部聚集作用，使得工件表面的金属材料局部熔化和蒸发，从而实现微细加工。

此外，微细电火花加工技术还可以实现对工件表面的复杂形状、小孔和细槽等微细结构的加工，具有很高的灵活性。

微细电火花加工技术的应用非常广泛。

在模具制造领域，微细电火花加工技术可以用于制造高精度的模具零件，如模具芯、模具腔等。

在航空航天领域，微细电火花加工技术可以用于制造航空发动机的涡轮叶片、航天器的结构零件等。

在医疗器械领域，微细电火花加工技术可以用于制造高精度的医疗器械零件，如人工关节、牙科种植体等。

微细电火花加工技术虽然有很多优点，但也存在一些限制。

首先，由于加工过程中电火花放电会产生高温，工件表面容易产生热应力，从而导致表面质量下降。

其次，微细电火花加工技术只适用于导电材料的加工，对于非导电材料的加工效果不佳。

此外，微细电火花加工技术的加工效率相对较低，加工速度较慢。

微细电火花加工技术是一种高精度加工方法，具有广泛的应用前景。

随着科技的不断进步和发展，微细电火花加工技术将会进一步提高加工精度和效率，为各个领域的微细加工需求提供更好的解决方案。

微细加工工艺技术

微细加工工艺技术微细加工工艺技术是一种应用于微电子、光学、纳米学等领域的高精度加工技术，该技术能够实现对微细结构的精密加工。

在微细加工工艺技术中，常常采用的加工方法有激光刻蚀、化学蚀刻、光刻以及微电子束等。

激光刻蚀是一种应用激光照射，通过激光束的高能量将材料表面局部蚀刻的加工方法。

与传统的机械刻蚀相比，激光刻蚀具有高精度、高效率的优点。

在激光刻蚀中，光束的聚焦度和光斑直径是影响加工精度的重要参数。

化学蚀刻是一种利用特定的化学反应，在材料表面选择性地产生化学蚀刻产物，并将其去除的加工方法。

化学蚀刻通常需要制备特定的蚀刻溶液，通过控制溶液的浓度和温度，来影响化学反应的速率和选择性。

化学蚀刻可以实现微细结构的高精度加工，并被广泛应用于光学元件和微流控芯片等领域。

光刻是一种基于光化学反应的加工方法，通过光阻的选择性暴露和去除，来形成所需的图案结构。

在光刻过程中，首先在材料表面涂敷一层光刻胶，然后利用光刻机的紫外光照射和显影等步骤，实现图案的转移。

光刻具有高精度、高分辨率和高重复性的优点，是微细加工中不可或缺的工艺之一。

微电子束也是一种实现微细结构加工的重要方法。

微电子束利用高能电子束在材料表面定向照射，经过准直、聚焦和偏转等步骤，将电子束的能量转化为对材料的加工作用。

通过控制电子束的参数，如能量、聚焦度和扫描速度等，可以实现对微细结构的精密加工。

微电子束在高精度加工领域具有很大的应用潜力，尤其在微电子器件、光电器件以及半导体器件等方面，具有广阔的发展前景。

总的来说，微细加工工艺技术是一种实现高精度加工的重要方法，包括激光刻蚀、化学蚀刻、光刻和微电子束等。

这些加工方法在微电子、光学、纳米学等领域发挥着重要作用，推动了相关技术的进步和应用的发展。

未来随着科学技术的不断进步，微细加工工艺技术将继续发展壮大，为人类社会带来更多的科技成果和应用产品。

电解加工在微细制造技术中的应用研究

Ｌｈ —ｙｎ，ＩｕＳａｄｎｎｖｒｉｆｅｈｏｏｙＺｂ５０９Ｃｉ）ＩｉｏｇＪＨａ（ｈｎｏｇＵｉｓｙｏｃｎｌｇ，ｉ２５４，ｈａＺｅｔＴｏｎ
【摘要】电解加工是利用阳极金属电化学溶解原理来去除材料的制造技术，这种微去除方式使得
ｔｏｈｍｉａｄｓｏｕｉｎｐｒｎｉｅｏｐｒｃｓｓａｉｇ．Ｔｉｃｒ —ｄｉｓｌｔｎｍｏｋｓｒｃｅｃｌｉｓｌｔｉｃｐｌｔｏｅｓｈｐｎｏｈｍｉｏ— ｓｏｕｉｄｍｅＥＣＭｈｖｈｓｏｅａａｅｔｅ
ｐｕｌｃｒｏｒｅａｐｌｄｎＥＭＭ．ｅｅｅｔｏｓｕｃｐｉｉｅＫｅｒ：Ｅｌｃｒｈｅｉａａｈｉｎｙｗｏｄｓｅｔｏｃｍｃｌｍｃｎｉｇ；Ｍｉｒａｈｉｎｃｏｍｃｎｉｇ；Ｅｅｅｔｏｌｃｒｄｅ；Ｐｕｓｌｃｒｌｅｅｅｔｏ
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（）ＡＳＳ３ＮＹ数值模拟结果与实验测得结果符合较好，证明了数值模拟的合理性。有助于进一步研究脉冲磁场作用下合金凝固组织细化机理。
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ｋ来稿日期：０５—０２０８—１９
主要集中在铁芯、圆柱形样品的中间部分（铁芯宽度范围内），
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而在样品的两端磁感应强度较弱。

微细电火花加工设备技术研究

内。
设计与研究
位移分辨率的同时实现大位移行程的优点。其基本结构和运动原理见图３所示，主要构件包括主轴、向压轴键设备技术涉及电极的微进给伺服机构、微电极和工件的附加相对运动机构、微小能 ■放电电源以及加工状态检测与控制系统等。文章围绕微细电火花加工系统的设计实现．介绍
基于压电致动原理以及摩擦传动的微进给机构、具电极的线放电磨削机构和旋转主轴、工以及微小
转或振动无疑有利于改善加工状态，助于排屑和提有
高加工稳定性，电加工连续稳定地进行。为提高加放
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Ｄｉ。ｅｄｓｎｇ
工效率，必要进一步开发电极丝连续进给补偿机构。有图２为微细电极旋转进丝机构原理示意图。由进给活塞、常闭式夹丝机构、开式夹丝机构和导向头常等构成，机构与穿于其中的电极丝被置于旋转套筒该
电极轴的尺寸和形状精度。同时旋转主轴的径向跳动精度也直接限制被加工电极轴的最小尺寸。主轴旋转时线放电磨削加工制作的工具电极为圆
截面轴。若使主轴具有分度机构，配台轴向的精密再进给控制，可加工多种异形截面轴类形状。从工艺角度考虑，具电极在加工过程中附加旋工
能量放电电源的设计等，并指出需要进一步研究的课题。关键词：微细电火花加工微进绐机构线放电磨削机构微小能■ 放电电源

微细电火花加工的实验研究

ｏ２０Ｆｍ，法满足需求。基于微细电火花精密加．３ｉ无ｌ
工系统ＩＤ一０针对所需加工的微小孔，先加￣Ｍ５，Ｅ首工出了微细工具电极，后在零件上加工出了６个然均匀的微小孔，径为０１５ｍｍ（３。小孔的边直．５图）缘均很规整，径一致性也很高，全满足了需求方直完
微细电火花加工技术作为一种实现金属零件微
小特征精密加工的重要＿艺手段，引了国内外众Ｔ吸多学者进行卓有成效的研究。微细电火花加工系统
与实验研究是其中重要的研究内容。哈尔滨工业大
《电加工与模具》２Ｉ年第２０１期
工艺・备装
微细电火花加工的实验研究
张勇斌，吉方，刘广民，张连新，吴祉群
（中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，四川绵阳６１０２９０）
摘要：于新研发的一套微细电火花精密加工系统ＥＭ一０在金属材料上进行了一些典型的基Ｄ５，微小特征精密加工实验及电火花放电沉积实验。该系统已作为加工特征尺寸介于数十微米到数毫
的要求。
件，要求在围绕其中心、直径为１３且．５ｍｍ的圆周
上均匀加工出６个直径０１＇ｎ的微小孔。用微．５ＤＩｌ

电化学加工技术在微细零件制造中的应用研究

电化学加工技术在微细零件制造中的应用研究随着科技的不断进步和发展，微细零件制造成为高精度制造领域的重要技术之一。

其中，电化学加工技术作为一种高效、精密的加工方法，被广泛应用于微细零件制造中，取得了显著的成果。

本文将就电化学加工技术在微细零件制造中的应用做一探讨。

电化学加工技术是利用电解液中的金属离子在工件表面发生可控的电化学反应，实现工件材料的去除或增加。

这种技术与传统的机械加工方式相比，具有更高的加工精度和表面质量，能够制造出更加复杂的微细零件。

例如，在航空航天、医疗器械、电子设备等领域，微细零件的制造需要极高的精度和表面质量，而电化学加工技术能够满足这些要求。

首先，电化学加工技术在微细零件的制造中起到了重要的作用。

以微型齿轮为例，齿廓的精度和表面质量直接影响到齿轮的传动效率和使用寿命。

传统的机械加工方式在加工微细齿轮时存在齿轮齿廓形状控制困难、齿面加工质量差等问题。

而电化学加工技术通过控制电解条件和工艺参数，可以实现对齿轮齿廓形状和表面质量的精确控制。

此外，电化学加工技术还可用于制造微细孔等微细结构，具有很高的加工精度和表面质量。

其次，电化学加工技术在微细零件制造中还具有一定的应用潜力。

虽然电化学加工技术已经在一些领域得到了成功应用，但在一些新兴领域，如微电子器件、光学元件制造等方面，仍然存在一些挑战。

例如，微电子器件的制造要求零件尺寸更小、表面更加光滑，而传统的电化学加工技术在实现这些要求上还存在一些限制。

因此，针对这些新兴领域的需求，需要进一步改进和创新电化学加工技术。

此外，电化学加工技术在微细零件制造中还需要与其他制造技术相结合。

微细零件的制造过程往往需要多个加工步骤的协同作用。

例如，在微型电池的制造中，需要先通过电化学加工技术制造出电极片，然后将其与其他组件进行组装。

因此，电化学加工技术与其他加工技术的协同应用能够实现更加高效和精密的微细零件制造。

综上所述，电化学加工技术在微细零件制造中的应用研究具有重要意义。

微细电火花加工的实验研究

微细电火花加工的实验研究张勇斌;吉方;刘广民;张连新;吴祉群【摘要】Some t ypical experiments of micro-electrical discharge machining are described based on a set of new developed micro-eiectrical discharge machining equipment typed μEDM-50 in the paper.The resuhs about micro-character precise machining and discharging deposition are given. The size of the rnachining character varies mainly from a few decades of micrometers to a few millimeters.%基于新研发的一套微细电火花精密加工系统EDM-50,在金属材料上进行了一些典型的微小特征精密加工实验及电火花放电沉积实验.该系统已作为加工特征尺寸介于数十微米到数毫米范围的重要工艺手段.【期刊名称】《电加工与模具》【年(卷),期】2011(000)002【总页数】3页(P54-56)【关键词】微细电火花加工;工具电极;放电沉积【作者】张勇斌;吉方;刘广民;张连新;吴祉群【作者单位】中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川绵阳,621900;中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川绵阳,621900;中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川绵阳,621900;中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川绵阳,621900;中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川绵阳,621900【正文语种】中文【中图分类】TG661微细电火花加工技术作为一种实现金属零件微小特征精密加工的重要工艺手段,吸引了国内外众多学者进行卓有成效的研究。

微细电化学加工技术

微细电化学加工技术现状与进展摘要：微细电电化学加工是微细加工领域的一个重要研究方向，电化学加工是利用电化学阳极溶解的原理将零件加工成型，具有工具无损耗、加工表面质量好、与零件材料硬度无关、加工后工件无应力和变形等优点，近年来随着电解加工理论的进一步成熟，微细电解加工以其独特的优势有望成为微细加工领域的又一主流技术[1]。

微细电化学在未来的微纳加工中必将大有作为。

本文介绍了国内外微细电化学加工技术、微细电化学加工电源及检测技术的研究现状[2]。

结合国内外微细电化学加工技术的最新进展，系统地综述了微细电化学加工在多个方面的研究情况和工艺特点[3]。

关键词：电化学；电化学加工；微细电化学加工；脉冲电源。

电化学电化学是一项古老的技术，是从研究电能与化学能的相互转换开始形成的。

到20 世纪50 年代中期，苏联、美国和我国才相继开始了电解加工工艺的试验研究，电解加工也逐渐得到了发展。

随着科学技术的不断发展和深入，电化学的研究领域不断拓宽和扩展，在电化学基础上开拓的电化学加工技术，支撑了电铸、电镀、电解冶炼和电解合成、电解加工、材料腐蚀的控制等重要的产业部门，已迅速地发展成为具有重大工业意义的一项技术。

电化学加工电化学加工技术主要是利用金属材料发生氧化还原的电化学过程来实现去除材料和增加材料的目的。

电化学加工技术自问世以来，以其新颖的加工原理而得到了极为广泛的应用，已成为当前机械加工领域中不可缺少的加工方法。

电化学加工技术是一种特种加工技术，目前在微细加工中已占有重要的位置。

由于加工过程是以离子单位方式进行的，所以在微细加工中占有重要的位置。

随着现代电力电子技术的发展，针对电化学加工对精度和表面质量的要求，逐渐采用脉冲电源替代直流电源，而且脉冲电源的频率也在不断提高。

另外，计算机控制技术的发展，使采用简单形状电极加工复杂结构的工件成为可能，使电化学加工技术有了广阔的应用前景[4]。

电化学加工是一种基于在溶液中通电，使离子从一个电极移向另一个电极，从而将材料去除或沉积的方法，因此。

压电自适应微细电火花加工电极损耗率实验研究

了该装置的加工原理。该装置有别于常规的微型电火花加工装置，实现放电间隙与放电状态的可自适应调节，促进排屑，能有效控制提弧及短路现象的出现，并能实现短路自消除，而大幅度提高从
加工效率。通过大量实Fra bibliotek ，析了各参数对电板相对损耗率的影响。实验结果表明：分电极相对损耗
（ＷＲ）ｉｃｅｓｓｗｉｈｃｅｓｆｐｎｖｌｇｎａａｉｎｅＥｎｒａｅｔｔｅｉｒａｅｏｅｏｔｅａｄｃｐｃａｃ，ｗｈｌｒｓｔｎｅＲｌｎｈｓｈｎｏａｔｉｅｉａｃａｄＲ２ａｅｓ
ｓｂｔｅｅｆｃｕｌｆｅｔｏｎＥＷＲ．Ｋｅｒｙｗｏｄｓ：ｍｉｒｃｏＥＤＭ；ｅｆｔｎｉｅｕａｏ；ｅｅｓｉｚｅｅｔｉｉｙ；ｌｃｒｄａａｉｓｌ—ｕｎｇｒｇｌｔｒｒｖｒｅｐｅｏｌｃｒｃｔｅｅｔｏｅｗｅｒｒｔｏ
（Ｓａｄｎｉｅｓｔ，ａ５０，ｉａ）ｈｎｏｇＵｎｖｒｉｙＪｎｎ２０６Ｃｈｎｉ１
Ａｂｔａｔｓｒｃ：ＡｃｏｄｉｇｔｈｈｒｃｅｉｔｃｉｒｃｒｎｏｔｅｃａａｔｒｓｉｓｏｆｍｃｏＥＤＭ，ａｎｗｅｏｅｅｔｉｄｐｉｅｅｅｔｉａｅｐｉｚｌｃｒｃａａｔｖｌｃｒｃｌ
ｄｓｈａｇｃｉｉｇｈｓｂｅｅｅｏｅｉｃｒｅｍａｈｎｎａｅｎｄｖｌｐｄ，ａｄｉｓｗｏｋｉｇｍｅｈｎｓａｄｃａａｔｒｓｉｓｈｖｅｎａｎｔｒｎｃａｉｍｎｈｒｃｅｉｔｃａｅｂｅｎ— ａｙｅｎｔｓｐａｅ．Ｔｈｓｍａｈｉｉｇｍｅｈｄ，ｄｉｆｒｎｒｍｔｒｌｚｄｉｈｉｐｒｉｃｎｎｔｏｆｅｅｔｆｏｏｈｅｓ，ｃｎｒａｉｅｈｅｓｌ—ｕｎｎｅｕ— ａｅｌｚｄｔｅｆｔｉｇｒｇｌｔｒｂｅｗｅｎｄｉｃａｇｎｌａａｅａｄｄｉｃａｇｉｏｉｉｓ，ｆｃｌｔｔｅｖｎｈｈｐｎ，ｒ — ａｏｔｅｓｈｒｉｇｃｅｒｎｃｎｓｈｒｎｇｃｎｄｔｏｎａｉｉａｅｒｍｏｉｇｔｅｃｉｐｉｇｓｅｌａｅａｃｎｎｄｓｒｉｇａｄｃｎｅｉｎｔｈｈｒｉｙｉｓｌ，ｔｕｈｅｍａｈｎｎｆｉｉｎｃａｅｅｓｒｉｇａｈｏｔｎｎａｌｍｉａｅｔｅｓｏｔｎｇｂｔｅｆｈｓｔｃｉｉｇｅｆｃｅｙｃｎｂｉｒｖｄｄａｔｃｌｍｐｏｅｒｓｉａｌＭａｙｅｅｉｎｓａｅｅｎｏｅａｔｆｅｔｆｐａａｅｅｓｏｌｃｒｄｙ．ｎｘｐｒｍｅｔｈｖｂｅｄｎｎｄｈｅｅｆｃｓｏｒｍｔｒｎｅｅｔｏｅｗｅｒｒｔｏｈｖｅｂｅｎａｙｅｉｈｉａｅ．Ｅｘｅｉｎａｅｕｔｎｃｔｔｔｅｅｔｏｅｗｅｒｒｔｏａａｉａｅｎａｌｚｄｎｔｓｐｐｒｐｒｍｅｔｌｒｓｌｓｉｄｉａｅｈａｌｃｒｄａａｉ

微细电火花加工技术的研究进展

ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
行度偏差在亚微米级的３维立体结构而倍受世人瞩目。然而要实现ＬＧＡ工艺就必须使用昂贵Ｉ的同步辐射源，时，原理上讲，Ｉ同从ＬＧＡ技术很
难用于斜面、由曲面的微细３维加工ｎ。自
单位尽可能小。而在电火花加工过程中．其加工单位（即每次放电的蚀除量）只取决于单个放电脉冲的能量随着现代电力电子技术的发展，电火花加工的加工精度与表面质量得到了极大的提高，加
王振龙赵万生狄士春迟关心
摘要：究和综述了微细电火花加工技术的研究现状和发展趋势比较研分析了常用微细加工与微细电火花加工方法的特点及应用．述了线电极电论火花磨削枝木的原理及在微细加工中的作用。合电火花加工过程中无宏观结作用力的特点，述了微细电火花加工装置微小型化的可行性和几种主要形论
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中国机械工程第ｌ卷第ｌ３０期２０年５月Ｆ半月０２
文章编号：０４１２ｘ（０２１ —０９～０１０ — ３２０）０８４５
微细电火花加工技术的研究进展
而微细加工是实现产品零部件微型化的最基
本技术，已成为涉及机械、它电子、化学、料等多材种学科的现代高技术。目前．在微细加工领域中，同步辐射深度ｘ射线刻蚀、将电铸成型及塑

微细电解加工技术发展现状

微细电解加工技术发展现状
微细电解加工技术是一种利用电化学原理进行微细加工的先进制造技术，它在微加工领域具有重要的应用价值。

目前，微细电解加工技术的发展现状可以从以下几个方面来进行分析：
1. 技术原理，微细电解加工技术是利用电解液中的离子在工件表面的电化学溶解作用，通过控制电流密度和电解液流动状态，实现对工件进行微细加工的一种制造技术。

目前，该技术已经得到了较为深入的研究和理论积累，技术原理日趋成熟。

2. 加工精度，随着微细电解加工技术的不断发展，加工精度得到了显著提高。

目前，微细电解加工技术可以实现亚微米甚至纳米级的加工精度，能够满足一些高精度微制造领域的需求。

3. 加工效率，微细电解加工技术在加工效率方面也取得了一定的进展，通过优化加工参数和工艺流程，加工效率得到了提升。

然而，与传统加工方法相比，仍然存在一定的改进空间。

4. 应用领域，微细电解加工技术已经在微机械加工、微电子器件制造、生物医学器械加工等领域得到了广泛应用。

随着对微加工
精度和表面质量要求的不断提高，微细电解加工技术的应用领域还将进一步扩大。

5. 发展趋势，未来，微细电解加工技术有望在材料选择、加工参数优化、设备结构改进等方面取得新突破，进一步提高加工精度和效率，拓展应用领域，推动微细加工技术的发展。

总的来说，微细电解加工技术在技术原理、加工精度、加工效率、应用领域和发展趋势等方面都取得了一定的进展，但仍然需要在材料选择、工艺优化等方面继续努力，以满足不断提高的微细加工需求。

微细加工技术的发展与应用

微细加工技术的发展与应用随着科技的不断发展，微细加工技术成为现代工业中不可或缺的一部分。

微细加工技术是指对微小物体进行加工的技术，通常用于制造那些需要高精度或者微小尺寸的零件、设备和器件。

微细加工技术的应用范围非常广泛，包括微型机器人、光学器件、医疗器械、生物传感器等领域。

本文将探讨微细加工技术的发展历程、应用和未来发展趋势。

一、微细加工技术的发展历程微细加工技术源远流长。

在过去的几百年间，人们使用了各种手工工具和机械设备进行微细加工。

例如，19世纪英国人约瑟夫·温斯洛在1822年发明了摆线拖动齿轮切削机，实现了金属齿轮的精细加工。

这一技术被广泛应用于英国的纺织工业，并为工业革命的发展做出了贡献。

20世纪初，随着电气工程和电子学的发展，半导体器件的出现推动了微细加工技术的发展。

1947年，贝尔实验室的威廉·肖克利发明了第一个晶体管，奠定了现代电子工业的基础。

从此以后，微细加工技术得到了巨大的发展，出现了各种各样的微细加工工具和设备。

例如，扫描电子显微镜可以对微小物体进行高分辨率成像和表征，电子束光刻机可以用来制造半导体芯片、具有纳米尺度精度的纳米定位台可以用来进行精细的纳米加工等等。

二、微细加工技术的应用微细加工技术已经广泛应用于多个领域。

以下是一些例子：1. 光学器件光学器件包括激光器、光开关、波导器、光电探测器等。

微细加工技术可以提供高精度和可重复加工，适用于制造这些器件的需求。

例如，电子束光刻机已经被广泛应用于制造半导体激光器和光子晶体器件。

2. 医学器械微细加工技术可以用于制造医学器械，例如微型手术器械和医用传感器。

这些器械需要高精度和微小尺寸，以减少对患者的创伤和疼痛。

微细加工技术可以提供这些要求。

3. 生物传感器生物传感器利用生物体内的化学反应或者生物特性来检测生物分子和细胞。

微细加工技术可以用于制造这些传感器。

例如，电子束光刻机可以用来制造生物芯片，这些芯片可以用于生命科学研究和医学诊断。

微细加工技术研究现状

［收稿日期］２００７－０４－１０［作者简介］喻永康（１９８１－），男，安徽宿州人，江苏信息职业技术学院机电工程系助教。

微细加工技术研究现状喻永康（江苏信息职业技术学院机电系，江苏无锡２１４０６１）［摘要］微细加工技术已成为涉及机械、电子、化工、材料等多种学科的现代高新技术，受到越来越多的关注。

文章主要介绍几种微细加工技术的研究现状。

［关键词］微细加工技术；微型化；现状［中图分类号］ＴＧ５０６［文献标识码］Ａ［文章编号］１６７１－４８０６（２００７）０６－０００４－０３产品的小型化、微型化是２１世纪产品发展的主要趋势。

微小零件、微小装置在半导体工业、生物技术、微电子工业、远程通讯以及医疗行业中得到了越来越广泛的应用。

微细加工技术是实现产品零部件微型化的最基本技术，它已成为涉及机械、电子、化工、材料等多种学科的现代高新技术，受到越来越多的关注。

一、微细铣削微细机械铣削是近来新发展的微细加工技术。

美国学者ＣｈｒｉｓＪＭｏｒｇａｎ在松下ＷＧ－ＥＤ８２机床上利用电火花加工方法制作多晶金刚石刀具，然后在玻璃材料上铣削微细三维沟槽，如图１ａ）所示。

德国学者ＥｃｋａｒｔＵｈｌｍａｎｎ采用直径１００μｍ的微细铣刀在铜钨合金上加工出复杂形状的电火花加工电极，如图１ｂ）所示。

ａ）微细三维沟槽ｂ）微小三维电极图１微细机械铣削加工样件二、微细车削微细车削是加工微小型回转类零件的有效方法。

日本通产省工业技术院于１９９６年研制开发了世界上第一台微型车床，该车床长３２ｍｍ、宽２５ｍｍ、高３０．５ｍｍ，重量仅为１００ｇ（图２）；主轴电机额定功率１．５Ｗ，转速１００００ｒｐｍ。

用该机床切削黄铜，沿进给方向的表面粗糙度为Ｒｚ１．５μｍ，加工工件的圆度为２．５μｍ，加工出的最小外圆直径为６０μｍ。

图２微型车床图３微细车削加工工件日本金泽大学研究了一套微细车削系统，由微细车床、控制单元、光学显微系统和监视器组成。

机床长度约为２００ｍｍ，主轴功率为０．５Ｗ；转速为３０００￣１５０００ｒｐｍ，连续可调；径向跳动在１μｍ以内；装夹工件直径为０．３ｍｍ；Ｘ、Ｙ、Ｚ轴的进给分辨率为４ｎｍ；切削力通过一个具有３方向的力传感器来检测，以提高机床的运动精度。

三维微结构微细电火花和电解组合加工实验研究

《电加工与模具）００２１年第２期
设计・究研
三维微结构微细电火花和电解组合加工实验研究
胡满红，李勇，佟浩，晓宇马
（清华大学精密仪器与机械学系，北京１０８００４）
摘要：出一种微三维结构的微细电火花和微细电化学组合加工工艺，用三维伺服扫描微提利
ＥＣＭｌｉｍｉｎｇ．ｌ
Ｋｅｒｓ：ｈｂｉｒｃｓＤｉｒｔｕｔｒ；ｅｖｃｎｎｎｉｒｙｗｏｄｙｒｄｐｏｅｓ３ｍｃｏｓｒｃｕｅｓｒｏｓａｉｇｍｃｏＥＤＭ；ｉｒｍｃｏＥＣＭｉｌｇ；ｍｌｉｎＳｄ —ｎ１ａｅｌｃｒｄｉｅｉｓ１ｔｄｅｅｔｏｅ１
（ＴｓｎｈａＵｎｖｒｉ，ｅｊｇ１０８Ｃｈｎ）ｉｇｕｉｅｓｙＢｉｎ００４，ｉａｔｉ
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微细加工技术的应用和趋势

改造客观世界的一种高新技术。微机械多的小型泵的１０００倍，而且机电一体化蚀，最后把光刻胶去掉就得到了想要的
由于具有能够在狭小空间内进行作业，的微机械不存在信号延迟问题，可进行图形。光刻技术在微电子中占有很大的比重，比如微电子应用３．１搬迁原子１９９０年，美国圣何塞ＩＢＭＮ尔马登研
而受到人们的高度重视，被列为２１世纪和智能结构后，更易于实现微机械的多关键技术之首。功能化和智能化。
１．微机械的特征
１．５适于大批量生产、制造成本低究所科学家用ＳＴＭ将镍表面吸附的氙原子
５个氙原子排成ＩＢＭ－＝微机械在美国常称为微型机电系廉。微机械采用与半导体制造工艺类似的逐一移动，最终以３统；在日本称作微机器；而在欧洲则称方法生产，可以象超大规模集成电路芯片个字母。每个字母高５ｎｍ，原子间的最短作微系统。
而又不扰乱工作环境和对象的特点，在高速工作。
航空航天，精密仪器，生物医学等领域
１．４多功能和智能化。微机械最终宽来评价的，而线宽的获得跟光刻技术
有着广阔的应用潜力，且是实现纳米技要达到集传感器、执行器和电子控制电有很大的关系。术（Ｎａｎ０ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ）的重要环节，因路为一体的目标，特别是应用智能材料

激光微细加工技术的研究与应用

激光微细加工技术的研究与应用激光微细加工技术是一种应用非常广泛的前沿技术，能够在微纳尺度下对材料进行加工。

它具有高精度、高效率、高质量的特点，在现代工业中具有非常关键的应用价值。

本文将从激光微细加工技术的原理、发展历程以及应用领域等方面进行深入探究。

一、技术原理激光微细加工技术主要是通过激光在被加工物表面的作用下，使其产生化学反应、物理变化或消失等效应，实现对材料的加工。

其基本原理是通过激光束的聚焦，使光束与材料相互作用，产生较高的局部温度和压力，使物质发生蒸发、沉积、熔化、氧化等变化，从而实现对材料的加工。

二、技术发展历程激光微细加工技术的发展经历了几十年的漫长历程。

20世纪60年代，美国和苏联的科学家们开始在激光微细加工领域进行探索研究。

20世纪70年代，德国、日本、韩国等国家也开始了相关技术的研究。

80年代初，随着计算机技术和控制技术的快速发展，激光微细加工技术得到了迅速的发展。

90年代以来，随着激光技术和材料科学的不断进步，激光微细加工技术在制造业、材料科学、光学等领域得到了广泛应用。

三、技术应用领域激光微细加工技术具有非常广泛的应用领域，在现代工业、科技领域中得到了广泛的应用。

以下将从军事、航空航天、电子信息、生物医学等方面进行介绍。

1. 军事领域：激光微细加工技术在军事装备中得到了广泛应用，如激光导弹制导系统、光电防护系统、军事雷达成像系统等。

2. 航空航天领域：激光微细加工技术在航空航天领域中也得到了广泛应用，如航天器结构、焊接、修补、表面处理等方面。

3. 电子信息领域：激光微细加工技术在电子信息领域得到了广泛应用，如半导体制造、芯片刻蚀、电路打孔、塑胶雕刻等。

4. 生物医学领域：激光微细加工技术在生物医学领域中也得到了广泛应用，如激光治疗、眼科手术、组织切割、药物释放等方面。

四、技术瓶颈虽然激光微细加工技术得到了广泛的应用和发展，但是其仍然存在一些技术瓶颈，如：1. 能量损耗问题：光束在传输过程中会受到各种因素的影响，从而导致损耗。

微细及小孔电火花加工的关键技术研究的开题报告

微细及小孔电火花加工的关键技术研究的开题报告1. 研究背景微细及小孔电火花加工（Micro-Electrical Discharge Machining，简称Micro-EDM）是一种高精度、高效率、非接触的微细加工技术，可用于加工半导体材料、陶瓷材料、硬质合金材料以及其他难加工材料。

然而，Micro-EDM加工仍存在许多技术瓶颈，特别是在加工大深度、小直径（Diameter<20μm）的细微孔道时，加工效率和精度均面临巨大挑战。

为了解决这些技术难题，需要深入研究Micro-EDM过程的关键技术，提高Micro-EDM加工的效率和精度。

2. 研究目的本研究旨在探究Micro-EDM加工中的关键技术，针对大深度、小直径孔道加工难题，研究并优化Micro-EDM加工参数，提高加工效率和精度，从而为微细及小孔电火花加工技术的发展提供技术支撑。

3. 研究内容（1）Micro-EDM关键技术研究本文将从放电控制方法、电极、工作液以及辅助气体等方面对Micro-EDM关键技术进行研究，探讨各项技术对加工效率和精度的影响。

（2）大深度、小直径孔道加工技术研究本文将研究各项Micro-EDM加工参数对大深度、小直径孔道加工的影响，分析加工过程中的孔道直径误差、加工深度误差等问题，并提出相应的加工优化方案，提高Micro-EDM加工效率和精度。

4. 研究方法（1）理论分析法本文将从Micro-EDM加工过程的放电机理、放电脉冲参数、工作液理论等角度进行理论分析，明确放电控制方法以及其他关键技术。

（2）实验室实验法本文将在微细加工实验中采用一系列微细加工实验，探讨Micro-EDM加工的关键技术和影响因素，进行加工参数优化，提高加工效率和精度。

5. 研究意义研究Micro-EDM加工技术的关键技术，探讨大深度、小直径孔道加工技术优化方案，对提高Micro-EDM加工效率和精度，推动微细及小孔电火花加工技术的发展具有重要意义。

微细电火花加工的技术分析

刘龙，范悦2 ，
( 1. 吉林工程技术师范学院信息工程学院，长春 130 52 吉林 0 ;
2. 中国兵器工业第五五研究所，吉林长春 1 0 12 3 )
〔要1微细电火花加工技术是实现微机械的一个重要手段，摘本文根据微细电火花加工的特点，对其微能脉冲电源、工具电极、微量进给伺服系统、机床精度、工作液及其循环系统进行了技术分析。【关键词〕微细;电火花加工;技术【中图分类号」 7 N T 8 【文献标识码」 A 【文章编号」洲以 2《( 7 )0 一 J3 一 11 为一抖 20 0 C 5 0 ) 2
少，放电点的范围有限，其位置在空间上和时间上容易集中，增加了放电过程的不稳定因素; 而且也会限制脉冲频率的提高，造成脉冲利用率低、加工速度相
解决工具电极与工作台面的垂直和工具电极与机床主轴同心的问题，在微细电火花加工中，微细电极的制造采用在电火花机床上直接使工具电极成型的工艺，即将工具电极坯料预先夹持固定于电火花机床主轴上，利用机床本身的电火花加工系统对此坯料进行加工而使之成型。这样既可避免工具电极安装所带来的安装误差及操作困难等问题，又可获得极
区别。因此，需要重点研究非机械作用力及其干扰对加工过程的影响，进一步提高加工效率、加工精度及加工过程的稳定性。
2
电极制备
1 脉冲电源
电火花加工是靠电源将能量输向放电间隙，以实现尺寸加工，因此，脉冲电源的电参数对各项加工工艺指标起着决定性作用。在微细加工中，有一个特殊的面积效应。为了高效稳定地进行电加工，与电极相对表面内需分布有很多电势几乎相等的突起点，以避免产生电弧放电，但由于微细加工零件的加
X 3 收稿日期 2( 刀一0 一2 1 作者简介刘龙( 1 一 ) ，吉林长春人， %9 男，吉林工程技术师范学院信息工程学院高级实验师，主要从事教育技术研究，

微细电解加工技术研究现状与展望

１微细电解加工理论基础
在微细电解加工过程中，、极间电位差在间阴阳
隙电解液中形成的电场会对工件造成杂散腐蚀，这在很大程度上影响了电解加工的精度，约束电场、改
生产率高、面质量好、具阴极无损耗等显著优表工
Ｍ）ｉｃｄｇｔｅｆｎａｎａｔｅｒｓｏＣＭ，ｌｔｏｈｍｉａｃｏｍａｈｎｇｔｃｎｌｇｎ－Ｍ，ｎｌｉｈｕｄｍｅｔｌｈｏｉｆＥＭｅｅｒｃｅｃｌｍｉｃｉｉｅｈｏｏｙａｄｅｕｎｅｃｒｎ
第４期
２１０１年４月
组合机床与自动化加工技术
ＭｏｕｌｒＭａｈｉｏｄａｃｎｅＴｏｌ＆ＡｕｏａｉａｆｃｕｒｎｃｎｉｕｅｔｍｔｃＭｎｕａｔｉｇＴｅｈｑ
ＮＯ．４
Ａｐｒ．２０１１
ｏｈａｅｗｅｎｔｏａｈｄｎｄｗｏｋｅｅａｏ，ｎｄｋｅｅｈｏｏｄｄｖｌｐｍｅｔｉｈｕｕｅｆｔｅｇｐｂｔｅｏｌｃｔｏｅａｒｐｉｃｎｄｅａｙｔｃｎｌｇａｅｅｏｙｎｎｎｔｅｆｔｒ．
文章编号：０１０１—２６２１）４—０１８—０２５（０１００５
微细电解加工技术研究现状与展望
王贺宾，郭钟宁，罗红平
（东工业大学机电工程学院，州５００）广广１０６摘要：近年来微细电解加工领域的研究现状和发展趋势进行了概述，对包括微细电解加工的基础理论、微细电解加工技术和加工装置、响因素与极间间隙检测控制，影以及关键技术和今后的发展方向。关键词：细电解；础理论；细装备；状；展趋势微基微现发中图分类号：Ｈ１；Ｇ５Ｔ６Ｔ６文献标识码：Ａ