非球曲面的超精密加工工艺及加工系统的研究

本科毕业设计（论文）通过答辩

摘要

非球面光学零件可以获得球面光学零件无可比拟的良好的成像质量，在光学系统中能够很好的矫正多种像差，改善成像质量，提高系统鉴别能力，它能以一个或几个非球面零件代替多个球面零件，从而简化仪器结构，降低成本并有效的减轻仪器重量。可广泛应用于各种现代光电子产品，几乎在所有的工程应用领域中，无论是现代国防科技技术领域，还是普通的工业领域都有着广泛的应用前景，开展光学玻璃非球面零件的高精密光学技术研究具有重要的理论意义和现实指导意义。

本次设计研究内容为非球曲面的超精密加工系统的研究，非球曲面的超精密加工工艺的研究。重点内容是非球曲面加工超精密磨削装置的设计，主要为砂轮主轴装置的选取，中心高位调机构的设计，各个运动的传动设计以及砂轮运动轨迹的分析。在研究过程中详细的分析了影响零件加工精度的各种主要因素并提出相应的控制措施，尤其是对非球曲面的磨削加工设备进行详细设计，并简要分析了非球曲面加工机床的数控及伺服控制系统等。

关键词：非球曲面；超精密加工；微调机构；金刚石砂轮

本科毕业设计（论文）通过答辩

Abstract

The aspheric optical parts can get good image quality, good optical system correction of various aberrations, to improve the image quality, and improve the system ability to identify it to one or several non-spherical spherical optical parts unparalleledparts instead of a number of spherical parts, thus simplifying the instrument structure, reduce costs and reduce instrument weight. It’s widely used in many realms, such as national defense, machine chemical and aviation. It’s very useful to develop the grinding theory and important practical significance to study the high precision grinding methods about the optical glass aspheric surface parts. This article discussed in the ultra-precision grinder, the CNC operation program,and the aspheric surface optics parts’grinding craft. The center height micro-adjusting mechanism and the drive system. In the process of the research, we analysis it detailed that the main factor influence the process precision of the parts, and make something to solve it, especially for the precision grinding equipments, and analysis it simplify for the precision machine tool for aspheric surface optics parts and the servo-control system and the other technology.

Key words: the aspheric surface; ultra-precision machining; the micro-adjusting mechanism; diamond wheel

本科毕业设计（论文）通过答辩

目录

摘要.............................................................................................................................. I 目录........................................................................................................................... III 第1章绪论 (1)

1.1非球面加工的优点和意义 (1)

1.2非球曲面研究概述 (1)

1.2.1 非球面的定义 (1)

1.2.2 非球面应用领域 (2)

1.2.3 非球曲面加工技术近年来发展概况 (2)

1.2.4 非球曲面加工的发展趋势和研究方向 (4)

1.3 非球面光学零件材料及其加工方法 (4)

1.3.1 计算机数控单点金刚石技术（SPDT） (5)

1.3.2 超精密磨削技术 (5)

1.3.3 计算机控制光学表面成型（CCOS）技术 (5)

1.3.4 光学玻璃模压成型技术 (6)

1.3.5 光学塑料成型技术 (6)

1.3.6 其他非球面加工技术 (6)

1.4非球面精密磨削加工理论 (6)

1.4.1 微量加工理论 (7)

1.4.2 脆性材料的延性域磨削 (8)

第2章超精密非球面加工方案选择及误差分析 (10)

2.1 超精密非球曲面磨床的总体布局 (10)

2.1.1 空气主轴系统 (10)

2.1.2 伺服进给系统 (11)

2.1.3 微位移测量系统 (11)

2.1.4 中心高微调系统 (11)

2.1.5 数控系统 (11)

2.2 非球曲面磨削方案的确定 (12)

2.2.1加工零件的技术参数 (13)