准分子激光器
准分子激光器 原理
准分子激光器原理准分子激光器是一种利用准分子过程产生激光的装置。
它是一种半导体激光器，其工作原理基于准分子现象。
准分子激光器常用于医疗美容、激光打标、激光切割等领域。
准分子激光器的工作原理可以分为以下几个步骤：吸收、激发、自发辐射和受激辐射。
准分子激光器通过半导体材料吸收外部能量。
当外部能量与半导体材料的能带之间的能级相匹配时，半导体材料吸收能量并将电子激发到导带中。
这个过程称为吸收。
接下来，激发的电子在导带中自由运动，碰撞并与其他自由电子进行能量交换。
当电子通过与其他自由电子碰撞时，它们可能会失去能量并回到较低的能级。
这个过程称为自发辐射。
在自发辐射过程中，电子从高能级跃迁到低能级，释放出光子能量。
然后，在自发辐射的基础上，如果有一个外部光子与被激发的电子的能级匹配，这个外部光子将与电子相互作用，使电子跃迁到一个更高的能级。
这个过程称为受激辐射。
在受激辐射过程中，电子从低能级跃迁到高能级，释放出与外部光子相同频率和相位的光子。
受激辐射引发的光子会通过半导体材料中的反射和放大效应进行多次反射和放大，从而形成激光。
激光的相干性和单色性取决于半导体材料的结构和控制参数。
准分子激光器的工作原理可以通过调整半导体材料的能带结构和控制电流来实现。
激光器的结构通常包括半导体材料、反射镜和光学腔。
半导体材料通过控制电流来实现能带结构的调整，从而控制激光的频率和功率。
反射镜用于反射和放大光子，光学腔用于提供多次反射和放大的环境。
准分子激光器利用准分子过程产生激光。
它通过吸收外部能量、激发电子、自发辐射和受激辐射等过程来产生激光。
准分子激光器的工作原理基于半导体材料的能带结构和电流控制。
通过调整能带结构和控制电流，可以实现对激光频率和功率的控制。
准分子激光器在医疗美容、激光打标、激光切割等领域有着广泛的应用前景。
准分子激光器 技术
准分子激光器技术准分子激光器技术准分子激光器是一种利用激光技术进行眼科手术的设备。
它使用激光对角膜进行切削，从而改变其形状，以矫正视力问题。
准分子激光器技术已经成为近视、远视、散光等眼科疾病的常见治疗方法。
准分子激光器技术的原理是利用激光束对角膜进行切削。
激光束可以精确地去除角膜上的组织，从而改变其曲率，使光能够准确地聚焦到视网膜上，从而矫正视力。
这种切削过程非常精确，可以达到几微米的精度，对于不同的视力问题可以进行相应的切削。
在准分子激光手术中，首先需要对患者的眼睛进行测量和检查，确定其视力问题的类型和程度。
然后，医生会使用准分子激光器对角膜进行切削。
切削过程通常很快，只需几分钟时间。
手术后，患者需要恢复一段时间，通常几天到几周不等。
准分子激光器技术具有许多优点。
首先，它是一种非侵入性的手术，不需要进行任何切口。
这意味着手术过程中不会有出血或伤口感染的风险。
其次，准分子激光器技术可以精确地矫正视力问题，能够在眼睛表面进行微小的切削，避免了传统手术中可能出现的不对称或过度切削的问题。
然而，准分子激光器技术也有一些限制和风险。
首先，手术的效果可能因个体差异而有所不同，有些人可能无法完全摆脱眼镜或隐形眼镜的依赖。
其次，手术过程中可能会出现一些并发症，如干眼症、角膜炎等。
因此，在考虑准分子激光手术时，患者需要与医生充分沟通，了解手术的风险和效果。
近年来，随着激光技术的不断发展，准分子激光器技术也在不断改进。
新型的准分子激光器设备可以更准确地进行角膜切削，有效降低手术风险。
同时，一些新的治疗方法和术后护理措施也使患者的恢复更加快速和舒适。
准分子激光器技术是一种常见的眼科手术方法，用于矫正不同类型的视力问题。
它通过精确的激光切削角膜来改变其形状，从而使光能够准确聚焦在视网膜上，达到矫正视力的目的。
虽然该技术存在一些限制和风险，但随着技术的不断进步，准分子激光器技术将会在眼科领域继续发挥重要作用，为更多视力问题的患者提供有效的治疗方案。
准分子激光器的光脉冲宽度和输出功率
准分子激光器的光脉冲宽度和输出功率
标准分子激光器是由一些复杂的激光元件如激光源、多模滤波器、可调带宽高效率放大器、峰值功玗控制以及电子锁定电路等组成的高端激光设备，是目前世界上使用最为广泛的激光器。
它的主要特点有：
1、光脉冲宽度：标准分子激光器的光脉冲宽度可以调节，其激光脉冲宽度的
标准可达到3ns-50ns，可以根据实际应用进行合理调整。
2、输出功率：标准分子激光器可以实现最高输出功率达100mw-1000mw，可
以调节范围交大，可以根据应用需要精确调节功率输出范围。
3、杂散激光：标准分子激光器可以有效减少杂散激光，从而提高激光器系统
的成像质量和功玗质量。
4、操作方便：标准分子激光器拥有高效率的操作平台，可以快速调节脉冲宽
度和功玗输出，提升用户的操作体验。
5、催化反应：标准分子激光器的光谱线宽度可以调节，因此，它可以实现高
效催化反应，满足各种不同的催化反应需求。
6、精度和准确性：标准分子激光器拥有精度高、准确性高，可以实现快速响
应时间和测量精度。
7、可靠性：标准分子激光器具有良好的可靠性，能有效降低激光器系统的维
护成本，对环境污染也最小化。
总而言之，标准分子激光器可以实现高精度、可靠性高、可调节性高及催化反应等多种特性，它的光脉冲宽度和输出功玗可以迅速调节，且具有高度效率。
因此，标准分子激光器可以满足各种实际应用的需求，成为目前世界上极为普及的激光器。
准分子激光技术
准分子激光技术准分子激光技术（Excimer Laser Technology）是一种高精度的激光技术，广泛应用于眼科手术中的近视、远视和散光矫正手术。
它通过激光在眼角膜上的准确照射，改变角膜的形状从而改善视力问题。
准分子激光技术是一项非侵入性的手术，患者在手术中不需要经历切削和缝合过程，因此风险较小且恢复较快。
手术过程中，患者的眼睛会被固定在手术床上，然后医生会使用准分子激光器来矫正角膜的形状。
激光的作用是通过去除角膜上的微薄组织来改变其曲率，从而达到矫正视力的效果。
准分子激光技术的核心部分是准分子激光器。
准分子激光器是一种特殊的激光器，它能够产生高能量的紫外光。
这种紫外光的波长能够与角膜组织的分子结构相匹配，从而使得激光能够精确地去除角膜上的组织。
准分子激光器还具有很高的聚焦能力，可以在极短的时间内将光能集中到非常小的区域，从而减少了对周围组织的伤害。
准分子激光技术的矫正效果是通过改变角膜的形状来实现的。
对于近视患者，激光会去除角膜中央的组织，使其变得更平坦。
对于远视患者，激光会去除角膜外围的组织，使其变得更陡峭。
对于散光患者，激光会去除角膜上不规则的部分，使其变得更加规则。
通过这样的矫正，光线能够正确地聚焦在视网膜上，从而改善患者的视力。
准分子激光技术有很多优点。
首先，它是一种非常精确的技术，可以在微米级别上进行调整。
其次，手术过程简单快捷，通常只需要几分钟就可以完成。
此外，准分子激光技术还可以根据患者的个体情况进行个性化调整，以达到最佳的矫正效果。
然而，准分子激光技术也存在一些风险和局限性。
手术过程中，患者可能会感到一些不适，如疼痛、灼热或刺痛。
术后可能会有视力模糊、干涩或光敏等短期不适感。
此外，准分子激光技术对于视力矫正的效果也存在一定的限制，对于高度近视或散光患者的矫正效果可能不如预期。
因此，在接受准分子激光手术前，患者需要经过详细的评估和咨询，以确定手术是否适合自己。
准分子激光技术是一种高精度、非侵入性的眼科手术技术，可以有效地矫正近视、远视和散光等视力问题。
准分子激光原理及应用
准分子激光原理及应用准分子激光（Excimer Laser）是一种利用准分子态原子或分子之间的能量跃迁来产生激光辐射的器件，其工作原理基于准分子激发态的产生和退激发过程。
准分子激光器的核心是一个放电腔室，其中含有一种或多种稀有气体、反应性气体和惰性气体的混合物，如氩气和氯气，或者氙气和氟气。
这些气体通过高压电离放电，产生等离子体态。
随后，气体混合物中的能级跃迁导致处于激励能级的原子或分子与激发态的原子或分子相互作用，形成准分子激发态。
在准分子激发态的作用下，反应性气体分子经历了电化学反应，形成活化的原子或分子，并且激发态的原子或分子获得了高度激发的态。
当能级激发达到足够高的时候，原子或分子之间的能量差足够大，会产生能量释放。
在准分子激光器放电过程中，放电电子与反应性气体分子发生反应后释放出的能量被激发气体吸收，使激发态的气体分子进一步激发.准分子激光器激发态分子的寿命非常短暂，只有几纳秒的时间。
在这个时间内，激发态分子会发生电荷转移或电化学反应，产生高能量的光子，即激光。
通过与激光增大器中的谐振腔相互作用，光就会被放大，形成一束强度高、相干性好、波长短的激光束。
准分子激光器的应用非常广泛。
其中一个主要应用领域是眼科手术，特别是屈光手术。
通过对角膜进行精确雕刻，准分子激光器可以有效地矫正人眼的屈光度和折光度，从而改善人们的视力。
除了眼科手术，准分子激光器还用于皮肤病治疗，如色素斑和痤疮的去除，因为其高能量光束可以选择性地杀死皮肤中的特定细胞或微生物。
此外，准分子激光器还在半导体行业中被广泛用于晶片制造。
在集成电路的制作过程中，激光器可以用来切割边缘、气泡、坑洞和材料表面的缺陷。
由于准分子激光器可以精确控制激光束的位置和能量，因此可以实现微米级别的切割和蚀刻，从而提高晶片的制造精度和可靠性。
除了以上应用，准分子激光器还在光刻、显微成像、光谱分析、医学研究等领域有着重要作用。
准分子激光器可以产生高能量、短脉冲的激光束，具有较高的可调谐性和窄束宽的特点，因此在这些领域具有独特的优势。
准分子激光器
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诞生及发展
第一台准分子激光器于1970年诞生，它利用强电子束激励液态氙，获得氙准分子的激射作用，激光波长为 1720埃。随后，气相氙分子以及其它稀有气体准分子，稀有气体氧化物准分子（氧化氪、氧化氙、氧化氩等）， 金属蒸气-稀有气体准分子（氙化钠等）；稀有气体单卤化物准分子（氟化氙、氟化氩、氟化氪、氯化氙、溴化氙、 碘化氙、氯化氪等），金属卤化物准分子（氯化汞、溴化汞等）和金属准分子（钠准分子等）陆续诞生。准分子 激光物质具有低能态的排斥性，可以把它有效地抽空，故无低态吸收与能量亏损，粒子数反转很容易，增益大， 转换效率高，重复率高，辐射波长短，主要在紫外和真空紫外（少数延伸至可见光）区域振荡，调谐范围较宽。 它在分离同位素，紫外光化学，激光光谱学，快速摄影，高分辨率全息术，激光武器，物质结构研究，光通信， 遥感，集成光学，非线性光学，农业，医学，生物学以及泵浦可调谐染料激光器等方面已获得比较广泛的应用， 而且可望发展成为用于核聚变的激光器件。
眼科使用的准分子激光,是以氩气(Argon)和氟气( Fluoride)为工作气体产生的激光。所谓准分子激光，是 指受激二聚体（惰性气体和卤素两种元素）所产生的激光，波长范围为157～353nm，所属紫外激光波段。用于临 床的氟化氩(ArF)混合物产生的波长为193nm的超紫外冷激光.
波长为193nm的ArF准分子激光，进行屈光手术的机理就是光化学效应。准分子激光单个光子的能量大约是 6.4eV，而角膜组织中肽键与碳分子键的结合能量仅为3.6eV。当其高能量的光子照射到角膜，直接将组织内的分 子键打断，导致角膜组织碎裂而达到消融切割组织的目的，并且由于准分子激光脉宽短（10～20nm），又是光化 学效应切除。因此，对切除周围组织的机械损伤和热损伤极小（﹤0.30μm）。
准分子激光器
什么是准分 子激光？
准分子激光是一种气体激光, 它的工作气体是由常 态下化学性质稳定的惰性气体原子如He 、 Ne 、Ar 、 Kr 、Xe 和化学性质较活泼的卤素原子如F 、Cl 、Br 等 组成。一般情况下,惰性气体原子是不会和别的原子形 成分子的, 但是如果把它们和卤素元素混合,再以放电的 形式加以激励,就 能成为激发态的分子,当激发态的分子 跃迁回基态时,立刻分解、还原成本来的特性,同时释放 出光子, 经谐振腔共振放大后, 发射出高能量的紫外光 激光。这种处于激发态的分子寿命极短, 只有10ns , 故 称为“准分子”( Excimer)。
准分子激光器 的原理和应用
组员：王卓彦、翁国斌、叶芊
什么是准分 子？
准分子是一种在激发态复合成分子,而在基态离解 成原子得不稳定缔合物,激光跃迁发生在束缚 的激发态 到排斥的基态,属于束缚—自由跃迁。1970年,巴索夫等 利用强流电子束泵浦液态氙,获得Xe激光振荡,其波长在 176nm,这是第一台准分子激光器,稍后美国洛斯阿拉莫 斯实验室报道了气相氙的激光输出,并在Kr(145.7nm)、 Ar(126.1nm)获得激光输出。1974年美国Kansan州立大 学 报道了稀有气体卤化物在紫外波段的强荧光辐射,这 一结果引起了激光界的极大兴趣,短短六个月, 美国海军 实验室便获得了溴化氙(282nm)激光输出,阿符科公司获 得了氟化氙(351nm)、氟化氪 (248nm)、氯化氙(308nm) 的激光输出,桑迪亚实验室则获得了氟化氢(193nm)的真 空紫外输 出,每个脉冲能量达百焦耳以上。
准分子激光 器眼科临床
激光治疗屈光不正手术在十多年的发展过程中, 随 着高新技术的不断应用, 技术日趋完美。从早 期的大光 斑扫描技术到现在广泛应用的小光斑飞点扫描技术, 解 决了术后中心岛效应和角膜浑浊问 题, 能够获得完美的 光学抛面, 使术面光滑、平整; 角膜地形图的应用和波 前像差引导下的个体化切 削技术,使切削精度大大提高, 真正做到“量眼定做”; 主动眼球跟踪技术解决了术眼转 动产生的角膜 偏中心切削, 使准分子激光始终处于角膜 中心约6mm 大小的区域内进行渐进式切削, 提高了手术 的 精确度。另外, 随着准分子激光治疗屈光不正手术发 展起来的其他技术如角膜板层刀技术、计算机 辅助软 件技术等等也有了长足发展,大大增强了手术的安全性。
准分子气原理
准分子激光器的工作原理是基于准分子的形成和解体过程中的能量释放来产生激光。
准分子是一种短暂存在的激发态分子，通常由稀有气体和卤素或金属元素组成。
它们在电子激发状态下形成，但在返回到基态时会迅速分解，释放出能量。
准分子激光器就是利用这一过程来产生激光的。
具体原理如下：
1. 激发过程：在准分子激光器中，通过电子束、放电或其他方式激发气体混合物，使得气体分子达到激发态并形成准分子。
2. 激光发射：准分子在返回到基态时会释放出光子，这些光子具有相同的波长和相位，从而形成了高度相干的光——即激光。
3. 波长特性：由于准分子激光器工作在紫外波段，它们具有短波长、高光子能量的特点，这使得它们在许多工业应用中具有优势。
准分子激光器的应用非常广泛，包括材料加工（如半导体晶片的刻蚀）、医疗手术、科学研究等。
它们的一些主要特点包括波长短、光子能量大、平均功率高，以及能够进行脉冲工作等。
总的来说，准分子激光器的设计和优化是一个复杂的过程，涉及到对气体高压放电等离子体深紫外激光系统的深入理解和研究。
随着技术的发展，准分子激光器在各个领域的应用也在不断扩展和完善。
准分子激光器的种类
准分子激光器的种类
随着科技的不断发展，准分子激光器已经成为多种应用领域中的重要设备。
准分子激光器是指其工作过程中会产生吸收光谱的激光器，是目前广泛应用于医疗、科学研究、军事等领域的一种典型激光器。
在实际应用中，准分子激光器有多个种类，具体如下：
（一）溅射准分子激光器
溅射准分子激光器是基于金属蒸气的产生机制来设计制造的激光器。
通过脉冲放电向金属靶子中注入高能量，形成金属离子的激发态，再通过离子化和能量释放的过程来激光辐射。
溅射准分子激光器可选用的金属靶子种类较为广泛，因此具有比较灵活的激光光谱选择能力。
（二）氩氟化物准分子激光器
氩氟化物准分子激光器又称为DF激光器，以氢氟酸（HF）的振动波长为基础产生光辐射。
这种激光器有较高的单色性和能谱选择性，可被广泛应用于研究高分辨光谱仪，超精密测量及环境监测等方面。
（三）二氧化碳准分子激光器
二氧化碳准分子激光器是一种波长长于10微米的激光器。
由于其较高的单频性和强大的激光输出，已广泛应用于研究大气化学、工业加工等领域。
（四）染料准分子激光器
染料准分子激光器是以有机染料吸收、电离、辐射放出能量来产生激
光的一种设备。
由于染料激光器的激光波长可在宽广的范围内调节，
同时也具有较高的波长可调性，被广泛应用于医疗、材料加工、科学
研究等领域。
以上是准分子激光器中的部分种类。
随着科技发展和应用领域的不断
拓展，在未来，还会有更多种类的准分子激光器涌现，给人们的工作、生活带来更多便利。
2024年准分子激光器市场分析现状
2024年准分子激光器市场分析现状本文对准分子激光器市场的现状进行了分析和探讨，主要包括市场规模、行业发展趋势、市场竞争格局等方面的内容。
通过对市场的细致研究，希望能够为相关从业者提供一些有益的信息和参考。
1. 市场规模准分子激光器市场在过去几年中呈现出较快的增长势头。
根据市场研究数据显示，2019年全球准分子激光器市场规模达到了XX亿美元，预计到2025年将增长至XX亿美元。
准分子激光器市场在医疗、通信、工业等领域中具有广泛应用，这也是市场规模持续扩大的主要原因之一。
2. 行业发展趋势2.1 技术革新推动市场发展随着科技的不断进步，准分子激光器的技术水平不断提高。
新的材料、新的工艺以及新的应用领域的涌现，都为准分子激光器市场的发展提供了新的机遇。
未来几年中，准分子激光器市场有望在新材料激发下迎来新一轮的技术革新和市场繁荣。
2.2 新兴应用领域崛起随着通信、医疗和工业领域的不断发展，准分子激光器在这些领域中的应用也日益广泛。
在通信领域，准分子激光器被用于光纤通信、无线通信等；在医疗领域，准分子激光器被应用于眼科手术、皮肤美容等；在工业领域，准分子激光器被应用于材料加工、照明等。
这些新兴领域的崛起为准分子激光器市场的发展提供了新的增长点。
2.3 竞争格局准分子激光器市场的竞争格局相对较为集中，少数几家大型企业垄断了市场。
这些企业具有较高的研发能力和生产规模，能够提供高质量的准分子激光器产品和解决方案。
同时，他们通过不断创新，加强与客户的合作，积极推动市场的发展。
除了大型企业之外，还有一些中小型企业在市场上有所作为，但相对而言，市场份额较小。
3. 市场挑战与机遇3.1 技术难题待解决准分子激光器市场在技术方面仍存在一些挑战，如功率密度、光束质量等方面的提升等。
解决这些技术难题对于市场的进一步发展至关重要。
相关企业应加大研发投入，不断创新，提高技术水平，以突破技术瓶颈，进一步拓展市场。
3.2 市场竞争加剧随着市场规模的扩大和行业竞争的加剧，准分子激光器市场的竞争压力也在不断增加。
准分子激光原理
准分子激光原理介绍准分子激光是一种激光器，其工作原理基于光子的产生和放大。
本文将全面介绍准分子激光的工作原理及其应用。
激光的基本原理激光是一种高度聚焦的、单色纯净的光。
激光的产生是通过在激光谐振腔中放大光子来实现的。
这种放大过程利用了受激辐射的原理，其中一个已存在的光子能够刺激原子从激发态跃迁到低能态，释放出两个相干的光子。
这两个光子经过反射和放大后，又能够刺激更多的原子跃迁并放出更多的光子。
这种过程不断重复，最终形成高强度、高纯度的激光光束。
传统激光与准分子激光的区别传统激光的工作原理是通过电子跃迁产生光子，而准分子激光则是利用了受激辐射的原理。
传统激光器通常需要外部注入能量才能运作，而准分子激光则可以在室温下通过自发辐射产生激射。
准分子激光由于不需要外部能量输入，因此更加节能高效。
准分子激光器的结构准分子激光器的主要组成部分包括激光谐振腔、光源和泵浦装置。
激光谐振腔是光子放大的地方，光源可以是气体、液体或固体，泵浦装置则用于提供能量以激发激光产生。
准分子激光的工作过程准分子激光的工作过程可以分为泵浦、激发和激射三个阶段。
首先，在泵浦阶段，泵浦装置提供能量以激发激光材料中的原子或分子。
这些被激发的粒子跃迁到高能态，形成一个反转粒子分布。
接下来，在激发阶段，反转粒子分布会引起受激辐射，其中一个光子刺激一个原子或分子跃迁到低能态并释放出两个相干光子。
最后，在激射阶段，放大的光子在激光谐振腔中经过多次反射和放大，在激光输出镜片反射下形成高度聚焦的激光光束。
准分子激光的应用由于准分子激光具有高纯度、高光强度和高方向性等特点，所以在许多领域都有广泛的应用。
医疗领域准分子激光在医疗领域中被广泛应用于激光手术、激光治疗和皮肤美容等方面。
其高度聚焦的特性使得激光可以精确地切割和破坏组织。
同时，激光的单色性和纯净性可以有效地用于医学成像和激光诊断。
工业领域准分子激光在工业领域中常被用于激光切割、激光钻孔和激光焊接等工艺。
krf准分子激光器工作原理
krf准分子激光器工作原理KRF准分子激光器是一种利用准分子激发态产生激光辐射的设备，其核心工作原理是通过外加电压激发稀薄稳定气体放电并产生激发态，然后通过跃迁过程实现激光放大器。
下面将详细介绍KRF准分子激光器的工作原理。
1.激发态生成KRF准分子激光器中使用的气体主要是强氧化剂O2和稀有气体氪气Kr。
当外加高压电压施加到两极之间的气体空间中时，电场会使气体分子碰撞，并将低能电子激发到高能态，形成电离和激发态。
氧气分子在高能态下发生电离和解离，产生自由的氧离子和激发态的氧。
2.激发态能级跃迁在离子化和激发态的激发态中，随着时间的推移，能级跃迁会将激发态逐渐转化为基态。
在这个过程中，氧激发态转化为氧基态，释放出光子并产生激光。
3.光子放大在激发态气体中，通过放电和跃迁过程产生的光子被一个具有反射镜和输出镜的光学谐振腔所限制。
其中，反射镜对光进行多次反射，形成光波束的多次来回传播。
反射镜和输出镜之间的空间形成一个谐振腔，使光子发生多次放大。
在激光介质中，光子发生多次反射和跃迁，产生的新光子与原来的光子相位一致，能量叠加，最终形成强光束。
4.激光输出在光波束叠加放大过程中，能量激光逐渐增强。
当能量达到一定程度时，激光从输出镜中发射出来，成为输出光束。
KRF准分子激光器一般采用连续波（CW）工作模式，其工作原理如上所述。
其优点包括较高的能量转换效率、较高的大气传输率，并且可以在光纤通信、医学和科学研究等领域得到广泛应用。
需要注意的是，为了保证激光器稳定运行并降低能量损耗，准分子激光器还需要液体冷却系统和气体处理系统的支持。
液体冷却系统可通过将冷却液循环运行在激光器内部，有效地控制激光器的温度。
而气体处理系统用于使激光器工作气体的压力、温度和纯度保持在合适的范围内，以确保激光器的性能和寿命。
总结起来，KRF准分子激光器的工作原理是通过电压激发稀薄稳定气体放电并产生激发态，然后通过能级跃迁实现激光放大器。
准分子激光器讲解
准分子激光器
1. 教学目的
使学生理解什么是准分子激光器。
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
2. 学习内容
准分子不是稳定的分子，是在激光混合气体受到外来能 量的激发，所引起的一系列物理及化学反响中曾经形成但转 瞬即逝的分子，其寿命仅为几十毫微秒，准分子激光是一种 脉冲激光，因谐振腔内充入不同的稀有气体和卤素气体的混 合物，而有不同波长的激光产生。大部份波长范围为157－ 353nm。
准分子激光器的特点
准分子的能级结构
Ø能级构造有明显的特点。如左 图所示，A表示较高激发态，B 表示激光上能级，C表示基态。 Ø由于基态寿命很短，即使是超 短脉冲情况下，基态也可认为 是空的，因此准分子体系对产 生短脉冲特别有利。
准分子激光器的特点
准分子的能级结构
Ø激光下能级是基态，根本上没有 无辐射损耗。因此数量反转效率 很高，这是准分子激光器可能到 达高效率的主要原因。 Ø由于激光下能级的离子迅速离解， 因此拉长脉宽和高重复率工作都 没有困难。 Ø 由于准分子的荧光光谱为一连 续带，故可做成频率可调谐器件。
4. 作业考虑题
①什么是准分子？ ②准分子激光器是几能级系统？
Thank You ! 不尽之处，恳请指正！
结语
谢谢大家！
准分子激光器的泵浦方式
Ø电子束泵浦:①横向泵浦 ②纵向泵浦 ③同轴电子束泵浦 Ø快速放电泵浦: 快速放电泵浦方式多采用所谓布鲁姆莱 (Blumlein)电路
准分子激光器输出波长
3. 小结
(1)准分子不是稳定的分子，其寿命仅为几十毫微秒。 (2)激光下能级是基态，根本上没有无辐射损耗。因 此数量反转效率很高，这是准分子激光器可能到达 高效率的主要原因。
准分子激光器及其应用研究
准分子激光器及其应用研究近年来，准分子激光器在医学领域的应用逐渐受到瞩目。
准分子激光器是一种主要用于矫正视觉问题的激光治疗设备，它可纠正高度近视、散光、远视和角膜疾病等多种眼科问题。
本文将详细介绍准分子激光器的原理、应用及其有关的研究进展。
一、准分子激光器原理准分子激光器的原理是在激光束下，将角膜表面几微米的薄层组织蒸发掉。
当激光到达角膜后，由于其能量学，激光将局部融化角膜表层，再通过刻蚀的形式实现切削，最后治疗目的达成。
具体而言，激光束沿角膜表面打出完美的光交叉网格图案，实现清晰矫正，并确保最佳眼球健康。
准分子激光治疗术后，角膜表面需进行愈合以及再生，而这些过程须进行细致干预。
因此，与传统激光治疗不同，准分子激光还能保存大部分角膜层次结构，为眼球的再生提供充分保护。
二、准分子激光器的应用准分子激光器用于矫正视觉障碍，被广泛应用于白内障手术、近视、远视矫正以及其他视网膜问题。
视网膜层部分使用准分子激光器，其他部位则使用金属激光，这一技术已成熟，取得了出色的治疗效果。
除了常见的治疗方式，准分子激光器还可作为品质监管系统之用，确保激光技术的工艺质量不受其他因素干扰。
另外，准分子激光器亦可用于验光，明显优于传统的验光技术。
现实生活中，大多数医生都采用准分子激光器进行验光，这主要是因为其准确性优于传统技术。
三、准分子激光器在眼科领域的研究目前，眼科领域已有许多关于准分子激光器的研究。
其中，大多数研究都集中在角膜层面，如角膜去除厚度、定制准分子激光疗法等。
同时，还有一些研究致力于发掘准分子激光器的多种运用方式，通过将其应用于其他眼科领域，探索其治疗其他疾病的潜力。
最近一项研究显示，准分子激光器可以用于治疗眼表疾病，如干眼症和其他表面性疾病。
此外，准分子激光器治疗角膜堆积疾病的疗效也得到了充分的证明，为这种疾病的治疗带来了新的希望。
四、总结由此可见，准分子激光器是一种目前广泛使用的眼科设备。
准分子激光器治疗视觉问题的成功率很高，能够满足不同程度的视觉障碍。
准分子激光的区别和用途
准分子激光的区别和用途准分子激光（Excimer laser）是一种特殊类型的激光，其工作介质是由准分子（即氟化物或氯化物）构成的气体，如氟化氙、氟化氖等。
与其他激光器相比，准分子激光器具有独特的特点和广泛的应用领域。
下面将详细介绍准分子激光的区别和用途。
准分子激光与其他激光的区别主要体现在其工作介质和特殊的工作原理上。
首先，准分子激光器的工作介质是由稀有气体和卤素组成的混合气体，而其他激光器通常使用光子共振产生激射光。
其次，准分子激光利用脉冲放电和电离的方式产生激光，而其他激光器则依靠能量传递和自发辐射。
由于这些特殊的区别，准分子激光器具有独特的工作特性和应用效果。
准分子激光的用途非常广泛，涵盖了医学、工业和科学研究等多个领域。
1. 医学应用：（1）眼科手术：准分子激光已经广泛应用于LASIK和PRK等眼科手术中，用于矫正近视、远视和散光等眼部视觉问题。
（2）皮肤治疗：准分子激光能够高度精确地在皮肤组织上进行蒸发和切割，因此被广泛用于皮肤手术、纹身和色斑去除等美容和医疗治疗。
（3）牙科手术：准分子激光可以在牙齿和齿龈组织上进行准确切割和蒸发，被应用于牙龈治疗、根管治疗和牙齿矫正等领域。
2. 工业应用：（1）半导体制造：准分子激光器被广泛用于半导体制造过程中的刻蚀、沉积和光刻等步骤，用于制造集成电路和其他半导体器件。
（2）微纳加工：准分子激光器具有高度可控的激光质量和精确切割能力，因此被应用于微细加工领域，如微电子器件制造、生物芯片制造和光纤制造等。
（3）材料加工：准分子激光器可以通过蒸发、切割和合金化等方式精确处理材料表面，因此广泛应用于金属加工、塑料加工和玻璃加工等领域。
3. 科学研究应用：准分子激光被广泛运用于物理、化学和生物学等领域的科学研究中。
（1）光谱学研究：准分子激光产生的单色激光对于分析物质的光谱特性具有高度敏感性，因此可以用于分析物质的组成和结构等。
（2）等离子体物理研究：准分子激光器可产生高能量和高功率的激光束，因此被广泛应用于等离子体物理研究，包括等离子体物态方程、聚变能源研究等。
准分子激光原理
准分子激光原理
准分子激光（Excimer Laser）是一种基于准分子激光原理工作的激光器。
准分子激光器的工作原理可以简单地描述成以下几个步骤：
1. 激发态的产生：准分子激光器使用一种特殊的气体混合物（比如氩氟化物）作为工作物质。
通过加热气体，产生高能态的气体分子和离子。
这些高能态的分子和离子就是激发态，它们的能量由电子的跃迁引起。
2. 能量传输：在激发态的气体分子和离子中，存在能量传输的自发过程。
这个过程中，高能态的分子和离子通过碰撞传递能量给其他低能态的分子和离子，使它们也转化为激发态。
这样的自发过程将能量逐渐积累在气体中。
3. 能量释放：当能量积累到一定程度时，一部分激发态的分子和离子会通过自发辐射释放出能量。
这个自发辐射的过程是一个光子发射的过程，即准分子激光的辐射。
4. 有效反射：准分子激光器内有一个光学腔，其中包含一个准分子激光介质和反射镜。
这些反射镜能够有效地反射辐射出的光，使光线来回在腔内传播，与被激发的气体反复发生碰撞，使更多的气体转化为激发态。
5. 输出激光：当光线在腔内不断受到反射和激发时，光线的强度和能量会不断增加。
当光线达到一定的能量密度时，光线就会从腔的另一端的输出镜透过，形成激光输出。
准分子激光器的工作原理是基于气体的能级跃迁和光子辐射的原理。
通过激发和释放能量，准分子激光器能够产生高能、单色、相干并且非常强大的激光束。
在实际应用中，准分子激光器被广泛应用于医疗、材料加工、激光打印等领域。
准分子激光原理
准分子激光原理
准分子激光是一种应用广泛的激光技术，它在医疗、工业、科研等领域都有着
重要的应用价值。
要深入了解准分子激光，首先需要了解它的原理。
准分子激光的原理主要包括激发态产生、粒子受激发射和光放大三个基本过程。
首先，激发态产生是准分子激光的起始过程。
在准分子激光器中，通过能量输
入（如电子束、光束等），激发气体分子的原子或分子从基态跃迁到激发态，形成粒子的激发态。
这一过程需要一定的能量输入，通常通过外部能源来实现。
接着，粒子受激发射是准分子激光的核心过程。
在激发态的气体分子中，当一
个激发态的分子与一个光子相互作用时，会导致这个分子跃迁到一个比原来更低的能级，同时释放出一个光子。
这个释放出的光子与刺激它的光子在频率、相位、偏振和传播方向上都是一致的，这就是光的受激发射。
这些光子的产生是以激发态分子的数目为基础的，因此受激发射的光子数目是与激发态分子数目成正比的。
最后，光放大是准分子激光的最终过程。
在激光器中，通过光学共振腔的作用，受激发射的光子在来回反射中得到增强，逐渐形成一束强度和相位都非常一致的激光。
这个过程需要一个光学共振腔来实现，共振腔中有两个镜子，一个是半透明的，另一个是完全反射的。
激光在这个共振腔中来回反射，逐渐增强，最终形成一束高度聚焦的激光。
总的来说，准分子激光的原理是通过激发态产生、粒子受激发射和光放大三个
基本过程来实现的。
这些过程相互作用，共同构成了准分子激光的产生原理。
深入理解准分子激光的原理，有助于我们更好地应用和发展这一技术，推动其在各个领域的进一步应用和发展。
准分子激光器
分子（氟化氙、氟化氩、氟化氪、氯化氙、 溴化氙、碘化氙、氯化氪等），金属齿化 物准分子（氯化汞、溴化汞等）和金属准 分子（钠准分子等）陆续诞生。
工作原理
准分子的概念和形成：准分子是一种在激
发态结合成分子，在基态解离为原子的不 稳定缔合物。准分子激光器普遍采用电子 束或快速放电泵浦。放电泵浦多采用 Blumlein电路，以放电泵浦KrF*准分子激光 器说明其激励过程：在放电过程中，被电 场加速的自由电子与Kr原子碰撞产生大量 受激氪原子(Kr*)，Kr*与含卤素分子NF3碰 撞产生KrF*准分子。
谢谢！
典型应用
(1)首先是在眼科应用方面，用ArF准分子激
光在眼球上雕刻出细线，使眼球松弛，曲 率减小，进一步减小了近视眼手术治疗的 难度。(2)其次，准分子激光的切割，与金 刚石刀相比，切口位置及深度可精确控制， XeCl准分子激光器用于使动脉粥样硬化斑 块气化，具有边缘齐整且周围组织碳化极
小的优点，可望取代心脏旁通术和气球血管 成形术。 随着科学技术的发展以及临床工作的不断 深入和研究, 准分子激光技术将得到进一步 的提高和突破，准分子激光技术在加工领 域、医学领域必将取得更快的发展, 为人类 带来更好地服务。
准分子激光器的基本结构：激光器的谐振
腔用于存储气体、气体放电激励产生激光 和激光选模。它由前腔镜、后腔镜、放电 电极和预电离电极构成,并通过两排小孔与 储气罐相通,以便工作气体的交换、补充。 为了获得均匀大面积的稳定放电, 一般的准 分子激光器均采用了预电离技术, 在主放电。
开始之前, 预电离电极和主放电的阴极之间 先加上高压, 使它们之间先发生电晕放电, 在阴极附近形成均匀的电离层。一般高压 为20kV～30kV 。气体放电时,脉冲高压电源 加在电极上对谐振腔内的工作气体放电, 发 生能级跃迁产生光子, 通过反射镜的反馈振 荡, 最后产生激光从前腔镜输出。
准分子激光器的内部结构
准分子激光器的内部结构英文回答：The internal structure of a semiconductor laserconsists of several key components that work together to generate a laser beam. These components include the active region, the waveguide, the cladding layers, and the electrodes.The active region is where the laser action takes place. It is typically made of a semiconductor material, such as gallium arsenide (GaAs), that has been doped withimpurities to create a population inversion. This meansthat there are more electrons in the conduction band thanin the valence band, which is necessary for stimulated emission to occur.The waveguide is responsible for confining and guiding the light within the active region. It is usually a thin layer of a different semiconductor material, such asaluminum gallium arsenide (AlGaAs), that has a higher refractive index than the cladding layers. This causes the light to be trapped and guided along the waveguide, increasing the chances of stimulated emission.The cladding layers surround the active region and help to confine the light within the waveguide. They are typically made of a semiconductor material with a lower refractive index than the waveguide, such as GaAs. The cladding layers act as a barrier, preventing the light from escaping and ensuring that it stays within the waveguide.The electrodes are used to provide electrical current to the active region, which is necessary to create the population inversion. There are typically two electrodes, one on each side of the waveguide, that allow current to flow through the active region. The current injection causes electrons to move from the valence band to the conduction band, creating the population inversion required for stimulated emission.In addition to these key components, semiconductorlasers also often include other elements such as mirrors or gratings to enhance the laser output. These elements helpto create a resonant cavity that allows the light to bounce back and forth within the cavity, amplifying the laser beam.中文回答：准分子激光器的内部结构包括几个关键组件，它们共同工作以产生激光束。
准分子激光器工作原理
准分子激光器工作原理《准分子激光器的奇妙世界》嘿，朋友们！今天咱来聊聊准分子激光器那神奇的工作原理呀。
你看，这准分子激光器就像是一个超级厉害的“光魔法大师”。
它里面有一些特别的物质，这些物质可神奇了呢！它们在特定的条件下，能产生出一种超级集中、超级有能量的光。
就好像是一群小小的“光精灵”在那里蹦跶，然后突然就汇聚成了一道强大的光束。
这道光束啊，那可是厉害得很呢！它可以非常精准地去做很多事情哦。
比如说，它可以像一个超级精细的“雕刻大师”，在一些材料上进行非常精确的加工。
就好像我们用小刀去仔细地雕琢一件艺术品一样，只不过它可比我们厉害多啦，又快又准！而且啊，这准分子激光器还特别“聪明”。
它能根据我们的需要，调整自己的“魔法力量”，让那道光变得更强或者更弱，更粗或者更细。
这就像是我们调节手电筒的亮度和光斑大小一样，是不是很有意思呀？你想想看，要是没有它，很多高科技的东西可就没办法实现啦。
比如那些超级精细的电子元件，就是靠它来加工制造出来的呢。
它在医疗领域也有大用处哦！可以帮助医生们治疗一些眼睛的问题呢，就像是给眼睛来了一场特别的“光疗”。
我记得有一次啊，我去参观一个工厂，就看到了一台准分子激光器在那里“辛勤工作”。
那场面，真的是让我大开眼界呀！一道道光在那里闪烁，就像是在跳着一场神奇的光之舞。
总之呢，准分子激光器就是这么一个神奇又厉害的东西。
它就像是隐藏在科技世界里的一个神秘宝藏，不断地给我们带来惊喜和奇迹。
它让我们的生活变得更加丰富多彩，让那些以前觉得不可能的事情都变成了现实。
真的是太了不起啦！所以呀，我们可得好好感谢这个“光魔法大师”，让它继续为我们创造更多的美好呢！。
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Superior Reliability&PerformanceA Full Line of Excimer LasersAs the world’s largest laser manufacturer and the leader in excimer technology,we manufacture and ship more excimer lasers than all other laser companies combined. We’re also the only laser company that makes virtually every other commercially available type of pulsed and continuous-wave ultraviolet laser.We have applications labs on three continents with each lab fully equipped for UV studies. We’ll also share our40-plus years of UV experience with you.So,whatever your UV laser application is,you’ll get the best solution when you work with Coherent.Cover:Excimer Lasers for Flat Panel Display Production Coherent offers the following advantages:•UV technology leader•Professional applications laboratory facilities worldwide •High power and high pulse energy•High repetition rate•Extremely compact light sources•OEM integration and custom performance parameters•Beam management systems•Superior customer-focused service and support2Superior Reliability&Performance••tech.sales@3Laser Selection Guide4Excimer Lasers4Applications Matrix 7Applications Labs Worldwide 9Excimer LasersExciStar XS 10Xantos XS12BraggStar Industrial Series 14IndyStar 18COMPexPro 20COMPexPro 150T 22LPXpro Series 24LAMBDA SX26On-Site Requirements32UV Optical Systems and Components34VarioLas Family 35GeoLasPro375X Optical Subsystems 39CrystaLas 40Components41Laser Measurement and Control Accessories44Contents•Toll Free:(800)527-3786•Tel:(408)764-4983•Fax:(800)362-1170Wavelength (nm)Max.Energy (mJ)Max.Repetition Rate (Hz)ExciStar XS 11571200/5001935200/5002488200/5003514200/500Xantos XS 11571500193550024885003514500BraggStar Industrial Series 1BraggStar Industrial 19371000248101000BraggStar Industrial LN 193>0.5100024821000IndyStar 119381000248121000COMPexProCOMPexPro 501931005024815050COMPexPro 10019320020/10024840020/10030825020/10035120020/100COMPexPro 150T 1932505024845050COMPexPro 20019340010/5024870010/5030750010/5035130010/50Laser Selection GuideExcimer Lasers1Max.energy (mJ)is stabilizedenergy.4Superior Reliability &Performance • •tech.sales@Wavelength (nm)Max.Energy (mJ)Max.Repetition Rate (Hz)LPXpro SeriesLPFpro 20015750200LPXpro 210193450100248800100308500100351400100LPXpro 220193300200248550200308300200351200200LPXpro 305193600502481100503087005035140050LAMBDA SXLAMBDA SX C-Series 300Hz 3081050300LAMBDA SX K-Series 2481000300LAMBDA SX C-Series 600Hz308900600Laser Selection GuideExcimerLasers5•Toll Free:(800)527-3786•Tel:(408)764-4983•Fax:(800)362-1170Applications Matrix16This matrix shows only a sampling of many possible applications for our lasers.Please contact us regarding your application.Superior Reliability&Performance••tech.sales@7Applications MatrixExamples of Marking and Surface Treatment Applications•Toll Free:(800)527-3786•Tel:(408)764-4983•Fax:(800)362-1170Applications Labs Worldwide8Applications MatrixMost source Superior Reliability &Performance • •tech.sales@9Coherent Japan YokohamaCoherent,Inc.Santa ClaraCoherent GmbH,G¨0ttingenApplications Labs WorldwideOur laser Please information,please go to page 50.Application Lab,Göttingen•Toll Free:(800)527-3786•Tel:(408)764-4983•Fax:(800)362-117010Excimer Lasers2.Key Features and Customer Benefits Key Features Customer Benefits Ultra-Compact•Low investment costs Lightweight Design•Flexible integrationAlmeta XS Tube Design •Extended tube lifetime•High pulse-to-pulse stability•Available at 157,193,248and 351nm wavelengths Corona Preionization •Homogeneous beam profile Solid-State Switch •Immediate operation•Maintenance-free operation Energy Monitor •Preset stabilized energy operation(optional)1.DescriptionExciStar™XS excimer lasers are tabletop systems with an ultra-compact design for easy installation and operation.Due to the integration of the new Almeta XS™tube design,they deliver excellent results in low pulse energy applications.Featuring soft corona preionization,the ExciStar XS provides a homogeneous energy distribution and high pulse-to-pulse stability.Solid-state switching provides immediate and main-tenance-free operation,and units are available with maxi-mum repetition rates of 200Hz and 500Hz.ExciStar XSExcimer Lasers3.Specifications 1Wavelength (nm)157193248351Max.Repetition Rate (Hz)200/500200/500200/500200/500Max.Pulse Energy (mJ)28126Stabilized Pulse Energy (mJ)1584Average Pulse Power 2<0.2/0.51/2.5 1.6/40.8/2Energy Stability 2(sigma,%)2/32/32/32/3Beam Dimensions (FWHM,V x H,mm 2)6x 36x 36x 36x 3Beam Divergence (FWHM,V x H,mrad 2)2x 12x 12x 12x 1Pulse Duration (ns)(typ.)55551All specifications are typical data and are subject to change without prior notice in order to provide the best product possible.2Measured at stabilized energy and maximum repetition rate (200/500Hz).Superior Reliability &Performance • •tech.sales@5.Accessories Part No.Product Description Use part Energy monitornumber of matching laser type On requestElectromechanical shutter (available only in combination with the energy monitor)4.Weight/Utilities/Dimensions Weight 58kg/128lbs.Cooling Air-cooledElectrical230V,50or 60Hz,2000VAC,16A (recommended external fuse),single-phase Dimensions 649x 300x 400mm (L x W x H)(25.6x 11.8x 15.7in.)ExciStar XSExcimerLasersE x c i m e r L a s e r sSpecifications (continued)Wavelength (nm)157193248351Part No.EXS-200-157nm-XS EXS-200-193nm-XS EXS-200-248nm-XS EXS-200-351nm-XS (200Hz,without energy monitor)-w/o emon -w/o emon -w/o emon -w/o emon 111588111158791115884On request Part No.EXS-200-157nm-XS EXS-200-193nm-XS EXS-200-248nm-XS EXS-200-351nm-XS (200Hz,with energy monitor)1115882111588011158851157175Part No.EXS-500-157nm-XS EXS-500-193nm-XS EXS-500-248nm-XS EXS-500-351nm-XS (500Hz,without energy monitor)-w/o emon -w/o emon -w/o emon -w/o emon 112441111244131124415On requestPart No.EXS-500-157nm-XS EXS-500-193nm-XS EXS-500-248nm-XS EXS-500-351nm-XS (500Hz,with energy monitor)1124412112441411244161148001Excimer Lasers2.Key Features and Customer BenefitsKey Features Customer BenefitsGas Management•Equipped with a completegas management system,including premix gas cylinder•No additional external gascompartment necessary•Compliant with GermanTÜV safety standardsAlmeta XS Tube Design•Extended tube lifetime•High pulse-to-pulse stability•Available at157,193,248and351nm wavelengthsCorona Preionization•Homogeneous beam profileSolid-State Switch•Immediate operation•Maintenance-free operationEnergy Monitor•Preset stabilized energyoperation1.DescriptionXantos™XS excimer lasers are compact,fully integrated sys-tems that are very easy to install.For ease of use in the lab,theXantos XS housing contains a complete laser module based onthe ExciStar XS,plus a pre-mixed gas cylinder that includes gashandling and complies with all necessary gas safety standards.Xantos XS lasers are best suited for low pulse energy applica-tions,such as spectroscopy and precision material processing.Featuring soft corona preionization,the Xantos XS providesa homogeneous energy distribution and high pulse-to-pulsestability.Solid-state switching ensures immediate,mainte-nance-free operation.Xantos XS lasers are available formaximum repetition rates of500Hz,and standard versionsare equipped with an energy monitor,as well as an electro-mechanical shutter.Xantos XSExcimer Lasers3.Specifications1Wavelength(nm)157193248351Max.Repetition Rate(Hz)500500500500Max.Pulse Energy(mJ)28126Stabilized Pulse Energy(mJ)1584Average Pulse Power2(W)0.5 2.542Energy Stability2(sigma,%)3333Beam Dimensions(FWHM,V x H,mm2)6x36x36x36x3Beam Divergence(FWHM,V x H,mrad2)2x12x12x12x1Pulse Duration(typ.)55551All specifications are typical data and are subject to change without prior notice in order to provide the best product possible.2Measured at stabilized energy and maximum repetition rate.5.AccessoriesNo accessories available.4.Weight/Utilities/Dimensions Weight 170kg/374.8lbs.Cooling Air-cooledElectrical230V,50to 60Hz,2000VAC,16A (recommended external fuse),single-phaseDimensions 900x 400x 1045mm (L x W x H)(35.4x 15.8x 41.1in.)[including signal lamp]Xantos XSExcimerLasersE x c i m e r L a s e r sSpecifications (continued)Wavelength (nm)157193248351Part No.Xantos XS-500-Xantos XS-500-Xantos XS-500-Xantos XS-500-(always includes energy monitor 157nm 193nm 248nm 351nm and electromechanical shutter)1123361112336211233631123364Excimer Lasers2.Key Features and Customer BenefitsKey Features Customer BenefitsIndustrial Design•High uptime•Low maintenanceFutureTube•Metal/ceramic tube design forextended lifetimesCorona Preionization•Homogenous beam profileSolid-State Pulser•"Soft"discharge for better point-ing stability and energy stability•Especially suitable forFBG WritingLine-Narrowed•With line-narrowing moduleBraggStar Version for maximized temporalcoherenceAir-Cooled•Quick and easy integration(water-cooled optional)•Optional external heatexchanger for water cooling athigh repetition rates1.DescriptionThe BraggStar™Industrial Series is a versatile UV light sourcethat delivers excellent performance for all types of:•Phase Mask Fiber Bragg Grating(FBG)Writing•Interferometric FBG Writing•High Spatial Coherence Applications•Precision Interferometric Applications(typical for line-narrowed(LN)version)Two versions are available:BraggStar Industrial and BraggStarIndustrial LN.The BraggStar Industrial,which is available at193nm and248nm wavelengths,provides repetition rates upto1000Hz.It also features the FutureTube™design,coronapreionization and solid-state pulser technology.The"LN"ver-sion includes a line-narrowing module for lower bandwidthoperation.Overall,BraggStar lasers are compact,highly effec-tive systems that are easy to install and easy to operate.BraggStar Industrial SeriesExcimer Lasers3.Specifications1BraggStar Industrial BraggStar Industrial LN Wavelength(nm)193248193248Max.Repetition Rate(Hz)1000100010001000Max.Pulse Energy(mJ)111614Stabilized Pulse Energy(mJ)710>0.52Average Pulse Power2(W)710>0.52Energy Stability2(sigma,%)3363Beam Dimensions(FWHM,V x H,mm2)6x36x36x1.56x1.5Beam Divergence(FWHM,V x H,mrad2)2x12x12x12x1Pulse Duration(ns)(typ.)12151215BraggStar Industrial SeriesExcimerLasersE x c i m e r L a s e r s3.Specifications 1(continued)BraggStar IndustrialBraggStar Industrial LNT emporal Coherence (FWHM,µm)>30>120>3000>3000Spatial Coherence (FWHM,µm)>700>1500>300>600Spectral Bandwidth 3(FWHM)natural natural <15<15Wavelength (nm)193248193248Part No.BSI 1000-BSI 1000-BSI 1000-BSI 1000-(always includes energy monitor)193nm-FT 248nm-FT 193nm-FT-248nm-FT-line narrowed line narrowed 4-06-0022-0634-06-0018-064112441711216661All specifications are typical data and are subject to change without prior notice in order to provide the best product possible.2Measured at stabilized energy and maximum repetition rate.3Calculated using temporal coherence data.Excimer LasersBraggStar Industrial SeriesExcimer Lasers4.Weight/Utilities/DimensionsBraggStar Industrial BraggStar Industrial LN Weight135kg/298lbs.140kg/309lbs.Cooling Air-cooled,optionally Air-cooled,optionallywater-cooled by external water-cooled by externalheat exchanger heat exchanger Electrical230V,50or60Hz,2000VAC,230V,50or60Hz,2000VAC,16A(recommended external fuse),16A(recommended external fuse),single-phase or two phases single-phase or two phases Dimensions(L x W x H)978x380x837mm978x380x837mm(38.5x15.0x33.0in.)(38.5x15.0x33.0in.)5.AccessoriesPart No.Product Description3-15-0004-000External heat exchangerKB200V —19"version (for 50or 60Hz and 100,115,200,208and 230V),Cooling capacity 2.0kW,water-to-airBraggStar Industrial SeriesExcimerLasersE x c i m e r L a s e r sExcimer LasersIndyStarExcimer Lasers1.DescriptionThe IndyStar series represents the successor of the ExciStarS-Industrial.With the integrated new tube technology“Almeta”the IndyStar provides multiple lifetimes forconsumables like LDU(laser discharge unit)and optics aboutseveral billion pulses compared to the ExciStar S-Industrial.IndyStar excimer lasers are highly effective light sources,featuring a compact design and easy integration andoperation,delivering superior results in demandingapplications,such as photomask inspection(classificationand detection of mask defects)and micromachining forindustrial demands.Featuring corona preionization and solid state pulsertechnology the IndyStar series provides up to1000Hzrepetition rates and is available at193nm and248nmwavelengths.2.Key Features and Customer BenefitsKey Features Customer BenefitsIndustrial Design•High uptime•Low maintenanceCorona Preionization•Homogeneous beam profileSolid-State Pulser•"Soft"discharge for better pointingstability and energy stability•No warm-up timeAlmetaTube•All metal sealed tube design forextended lifetimes about severalbillion pulsesIntegrated•Preset stabilized energy operationEnergy MonitorAir-Cooled•Quick and easy integration(water-cooled•Optional external heat exchangeroptional)for water cooling at high repetitionrates3.Specifications1AlmetaTube ArF KrFWavelength(nm)193248Max.Repetition Rate(Hz)10001000Max.Pulse Energy(mJ)1216Stabilized Pulse Energy(mJ)812Average Pulse Power2(W)812Energy Stability2(sigma,%)<2<2Beam Dimensions(FWHM,V x H,mm2)6x36x3Beam Divergence(FWHM,V x H,mrad2)2x12x1Pulse Duration(typ.)881All specifications are typical data and are subject to change without prior notice in order to provide the best product possible.2Measured at stabilized energy and maximum repetition rate.IndyStarExcimer Lasers4.Weight/Utilities/DimensionsWeight135kg/298lbs.Cooling Air-cooled;optionally water-cooledby external heat exchangerElectrical230V,50/60Hz,2000VAC,16A(recommended external fuse),single-phase or two phasesDimensions978x380x837mm(L x W x H)(38.5x15.0x33.0in.)(including signal lamp)5.AccessoriesPart No.Description3-15-0004-000External heat exchanger KB200V—19"version(for50/60Hz and100,115,200,208and230V),cooling capacity2.0kW,water-to-air ExcimerLasers Specifications(continued)Wavelength193248Part No.IndyStar193IndyStar248(always includes energy monitor)11416611147638Excimer LasersCOMPexProExcimer Lasers2.Key Features and Customer BenefitsKey Features Customer BenefitsCeramic Preionization•Unmatched pulse-to-pulsestability•Increased pulse energy•Increased static gas lifetimeIntegrated Vacuum Pump•Compact standalone designand Halogen FilterIntegrated,Purgable•Preset stabilized energyEnergy Monitor operationAir-Cooled(up to20Hz),•Quick and easy integrationSingle-PhaseCompliances Met•RoHS1.DescriptionCOMPexPro™lasers are highly effective light sources,featuringa compact design and easy installation and operation.Theydeliver superior results in demanding applications,such assolid sampling systems(LA-ICP-MS),material research(PLD)and precise material processing.Featuring new ceramic preionization,the COMPexPro pro-vides multi-hundred millijoules output,plus unmatchedpulse-to-pulse stability.The COMPexPro also comes with animproved gas processor that extends both gas and opticslifetimes.3.Specifications1Wavelength COMPexPro COMPexPro COMPexPro COMPexPro COMPexPro(nm)50102110201205 Maximum Pulse Energy2(mJ)193100200200400400248150400400700700308-250250500500351-200200300300 Maximum Average Power3(W)19344124152487730730308-516420351-412315 Maximum Repetition Rate(Hz)All50201001050Pulse Duration(FWHM)(ns)All2020202525Energy Stability(sigma,%)All11111Beam Dimensions(FWHM,V x H,mm2)All14x524x1024x1024x1024x10 Beam Divergence(FWHM,V x H,mrad2)All2x13x13x13x13x11All specifications are typical data and are subject to change without prior notice in order to provide the best product possible.2Measured at10Hz.3Measured at maximum repetition rate.E x c i m e r L a s e r sCOMPexProExcimer Lasers4.Weight/Utilities/Dimensions WeightCOMPexPro 50/100270kg/PexPro 200325kg/716lbs.CoolingWater,2to 3l/min.(0.5to 0.8gal./min.),15to 20°CElectricalCOMPexPro 50/100230V,±10%,16A,50/60Hz switchable,1-phaseCOMPexPro 200115V,±10%,25A,50/60Hz switchable,1-phase OptionsUnstable resonator optics Dimensions (L x W x H)COMPexPro 50/1001282x 375x 793mm (51x 15x 31in.)COMPexPro 2001682x 375x 793mm (67x 15x 31in.)5.AccessoriesPart No.Product Description26082610Unstable resonator optics 193nm (COMPexPro 50and 100)26082710Unstable resonator optics 248nm (COMPexPro 50and 100)26082810Unstable resonator optics 308nm (COMPexPro 100)26082910Unstable resonator optics 351nm (COMPexPro 100)26083010Unstable resonator optics 193nm (COMPexPro 200)26083110Unstable resonator optics 248nm (COMPexPro 200)26083210Unstable resonator optics 308nm (COMPexPro 200)26083310Unstable resonator optics 351nm (COMPexPro 200)262456Unstable resonator adapter (COMPexPro 50,100and 200)1149339Beam aligner1132990Temperature stabilization moduleSpecifications (continued)WavelengthCOMPexPro COMPexPro COMPexPro COMPexPro COMPexPro (nm)50102110201205Part No.(F-Version)All11244091113836111383811151291115131Part No.(XeCl-Version)All-1113837111383911151301115132Excimer LasersCOMPexPro150TExcimer Lasers2.Key Features and Customer BenefitsKey Features Customer BenefitsCombination of•Magnetic assist for high lifetimeCOMPexPro110F and of electrical componentsCOMPexPro205F•NovaTube inside for optimizeddischarge conditions/minimizedwear of electrode material•Integrated electrostatic gaspurification minimizes gasconsumption•Ceramic preionization for highoutput stability•Delay stabilized high voltagecircuitsLine Narrowing Module•Tunable•Low bandwidth•Improved temporal coherenceIntegrated,Purgable•Preset stabilized energyEnergy Monitor operationCompliances Met•RoHS1.DescriptionThe COMPexPro™150T represents a special version of the verysuccessful COMPexPro PexPro150T is a combina-tion of two lasers(COMPexPro110and COMPexPro205),oper-ating in oscillator-amplifier-mode plus a tunable line narrow-ing module.It offers a unique combination of performancecharacteristics:narrow line width,high optical power density,low beam divergence and broad tunability.3.Specifications1COMPexPro150T ArF COMPexPro150T KrF Wavelength(nm)193248Maximum Pulse Energy2(mJ)250450Maximum Average Power3(W)1020Maximum Repetition Rate(Hz)5050Pulse Duration(FWHM)(ns)2525Energy Stability(sigma,%)11Beam Dimensions(FWHM,V x H,mm2)10x2410x24Beam Divergence(FWHM,V x H,mrad2)<0.2<0.2Bandwidth(FWHM,pm)<3<31All specifications are typical data and are subject to change without prior notice in order to provide the best product possible.E x c i m e r L a s e r sCOMPexPro 150TExcimer Lasers4.Weight/Utilities/Dimensions Weight 750kg/1653lbs.CoolingWater,2to 10l/min.(0.5to 2.6gal./min.),5to 20°CElectrical400/208VAC ±10%,50/60Hz switchable,3-phasesOptionsUnstable resonator optics Dimensions (L x W x H)1960x 800x 1350mm (72x 31.5x 53.2in.)5.Accessories Part No.Product Description26082610Unstable resonator optics 193nm (COMPexPro 100)26082710Unstable resonator optics 248nm (COMPexPro 100)26083010Unstable resonator optics 193nm (COMPexPro 200)26083110Unstable resonator optics 248nm (COMPexPro 200)1149339Beam aligner1132990Temperature stabilization module3.SpecificationsCOMPexPro 150T ArFCOMPexPro 150T KrF Part No.(F-version)11567741156774Excimer LasersLPXproExcimer Lasers2.Key Features and Customer BenefitsKey Features Customer BenefitsAdaptable Resonator•Fit to application requirementsConfigurationFlexible Pulse Energy•Advanced process controlF-version•193,248,351nm operationC-version•308nm operationTrue Specs•Reliable long-term operationInternal Burst Generator•Programmable laser pulsesRugged Laser Frame•Unmatched beam stabilityLongest Gas Life•Low operation costs1.DescriptionLPXpro™is a family of RoHS compliant excimer lasers,offered at wavelengths of193,248,308and351nm,withoutput powers as high as90W at248nm.The LPFpro familyexpands wavelength range to vacuum UV with157nm.Thebeam quality,high pulse energy,short pulse length and highpeak power of LPXpro and LPFpro lasers combine to optimizeUV applications.These characteristics,plus their proven reliability and lowcost of ownership make LPXpro lasers suitable for a widerange of demanding,high precision processing tasks.Theseinclude drilling,pulsed laser deposition(PLD),laser directpatterning(LDP),laser lift off(LLO)and cleaning.3.Specifications1Wavelength LPXpro LPXpro LPXpro LPXpro LPFpro LPFpro(nm)210220240305205220 Max.Pulse Energy2(mJ)157––––50401934503001606004002502488005503001100––3086500300–700––351400*********––Max.Rep.Rate(Hz)100200300/4005050200 Max.Average Power3(W)157–––– 2.5719335502425154024880908050––30864550–30––35135353015––Energy Stability4(1sigma)(%)112133 Pulse Duration5(ns)202020251515 Beam Dimensions5(V x H)(mm2)10x2410x2410x2010x2410x2410x24 Beam Divergence5(V x H)(mrad2)1x31x31x31x32x62x61All specifications are typical data and are subject to change without prior notice in order to provide the best product possible.2Single pulse up to10Hz.3Measured at maximum repetition rate.4Specified at248nm.5Typical,FWHM.LPXpro ExcimerLasers4.Weight/Utilities/DimensionsWeightLPFpro/LPXpro200400kg/880lbs.LPXpro305430kg/946lbs. Cooling Water,<_7l/min.(1.8gal./min.),15to20°C Electrical208or400VAC,50/60Hz3-phaseDimensions(L x W x H)Laser Head1966x800x474mm3(77x32x19in.3) Power Supply460x185x750mm3(18x7x30in.3)5.AccessoriesPart No.Product Description26083020Unstable resonator optics193nm(external resonator configuration)26083120Unstable resonator optics248nm(external resonator configuration)26083220Unstable resonator optics308nm(external resonator configuration)26083320Unstable resonator optics351nm(external resonator configuration)953187Unstable Resonator Output Coupler157nm(LPFpro)953186Unstable Resonator Rear Mirror157nm26083010260831102628561149339ExcimerLasers3.Specifications(continued)LPXpro LPXpro LPXpro LPXpro LPFpro LPFpro210220240305205220 Part No.(F-Version,400V)112012511201291152299112013311201371120139 Part No.(F-Version,208V)112012611201301152300112013411201381120140 Part No.(C-Version,400V)11201271120131–1120135––Part No.(C-Version,208V)11201281120132–1120136––Excimer LasersLAMBDA SXExcimer Lasers2.Key Features+Customer BenefitsKey Features Customer BenefitsIndustrial Design•Rugged and reliable•Modular setupIndustrial Interfaces•Integrated industrial PC•Serial interface RS-232•Direct Control Port(DCP)foreasy integration intoworkstationsExternal Resonator•Excellent beam-pointing stability•SlideValves for tube windowmaintenanceSealed and Purged•Long optics lifetimes,suitable forBeam Path rugged industrial enviromentsHigh-Stability NovaTube•Outstanding energy stability—NovaPowerSwitch™significantly below1%(rms)High UV Laser Power•Lowest costs per Watt UVFlexible Pulse Energy•Advance process controlExternal Resonator•Unmatched beam stability1.DescriptionThe LAMBDA SX™industrial excimer laser series provideshighly stabilized UV power to the production floor.It isdesigned to deliver the best energy stability available,and also features a number of innovative technologies forunsurpassed performance and reliability.PowerLokProprietary PowerLok™technology brings every pulse of aburst train to the desired energy level.PowerLok employs aself-learning algorithm,utilizing a look-up table to smoothencycling bursts.TimeLokProprietary TimeLok™technology stabilizes the trigger-to-pulse delay of all-solid-state HV switch-driven excimer lasersand minimizes the time jitter.TimeLok also employs aself-learning algorithm,utilizing a look-up table for delaystabilization in any operation mode.Onboard Diagnostics and LoggingThe last10,000values of HV,energy and sigma are storedin a ring buffer and are continuously updated from pulse topulse.This enables detailed logging of laser operations.e-DiagnosticsProvides external online data acquisition and analysis(optional).Allows tracking and analysis of laser performanceexternally on a notebook PC.Supports predicted maintenanceand process parameter control.LAMBDA SX C-Series 300HzExcimerLasersE x c i m e r L a s e r s3.Specifications 1LAMBDA SX 300CLAMBDA SX 200C Wavelength (nm)308308Maximum Stabilized Pulse Energy (mJ)800to 1000550to 670Maximum Stabilized Average Power (W)300200Maximum Repetition Rate (Hz)300300Energy Stability (rms,%)<_2<_1Pulse Duration (FWHM)(ns)2922Beam Dimensions (FWHM,V x H,mm 2)235x 1335x 12Beam Divergence (FWHM,V x H,mrad)<_4.5x 1.5<_4.5x 1.5Beam-Pointing Stability (V x H)<_0.45x 0.15<_0.45x 0.15Dynamic Gas Lifetime>40>40(at max.stabilized energy)(mio.pulses)Part No.11214461139027LAMBDA SX 300C,400VAC,50/60HzLAMBDA SX 200C,400VAC,50Hz 1139028LAMBDA SX 200C,400VAC,60Hz 1All specifications are typical data and are subject to change without prior notice in order to provide the best product possible.2At 1.0m from beam exit.4.Weight/Utilities/Dimensions LAMBDA SX 300C LAMBDA SX 200C Weight 1400kg/3086lbs.1370kg/3020lbs.Cooling Water,12to 28l/min.Water,12to 28l/min.(3.2to 7.4gal./min.),10to 15°C (3.2to 7.4gal./min.),10to 15°C Electrical26kVA,3-phase,400VAC,18kVA,3-phase,400VAC,50or 60Hz,190to 480VAC 50or 60Hz,190to 480VAC (with optional transformer)(with optional transformer)Dimensions 2500x 850x 1925mm 2500x 850x 1925mm (L x W x H)(98.5x 33.3x 76in.)(98.5x 33.3x 76in.)Excimer LasersLAMBDA SX C-Superb300HzExcimer Lasers2.Key Features+Customer BenefitsKey Features Customer BenefitsBest Pulse Stability High annealing homogeneityFlexible Pulse Energy Advanced process&cost controlStable Beam Parameter High annealing yield1.DescriptionThe LAMBDA SX315C is a superb performance excimer lasermainly designed for Excimer Laser Annealing.The highquality demand in OLED display manufacturing requireshigh grade lowtemperature poly-Silicon(LTPS)which canbe created only with high performance excimer lasers.4.Weight/Utilities/DimensionsWeight1400kg/3086lbs.Cooling Water,12to28l/min.(3.2to7.4gal./min.),10to15°CElectrical26kVA,3-phase,400VAC50or60Hz,190to480VAC(with optional transformer)Dimensions(L x W x H)2500x850x1925mm(98.5x33.3x76in.)3.Specifications1LAMBDA SX315CWavelength(nm)308Maximum Stabilized800to1050Pulse Energy(mJ)Maximum Stabilized315Average Power(W)Maximum Repetition Rate(Hz)300Energy Stability(rms,%)<_1。