准分子激光气体应用

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准分子激光气体应用

准分子激光气体(Excimer Laser Gas Mixtures)包括AF(193nm),KrF(248nm),XeCl (308nm)预混气体,主要应用于眼科医疗、光纤、半导体、材料科学、电子、平板等领域。

技术指标(Technical indicators)

作为当今最有效,最可靠的脉冲紫外激光技术的代表,准分子激光器有效的推进了诸如半导体,AMOLED平板显示,薄膜,硅底板加工、有机金属沉淀、高温超导、刻蚀、材料研究、汽车制造、生物医疗、光纤、钻石达标设备及可替代能源等多种成长型工业中的技术更新。

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