准分子激光气体应用
合集下载
相关主题
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
准分子激光气体应用
准分子激光气体(Excimer Laser Gas Mixtures)包括AF(193nm),KrF(248nm),XeCl (308nm)预混气体,主要应用于眼科医疗、光纤、半导体、材料科学、电子、平板等领域。
技术指标(Technical indicators)
作为当今最有效,最可靠的脉冲紫外激光技术的代表,准分子激光器有效的推进了诸如半导体,AMOLED平板显示,薄膜,硅底板加工、有机金属沉淀、高温超导、刻蚀、材料研究、汽车制造、生物医疗、光纤、钻石达标设备及可替代能源等多种成长型工业中的技术更新。