检漏仪工作原理
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内部图¾1测试口
2 测试口压力
3 标准漏率棒
4 排气或吸枪口
5 前级泵
6 前级真空压力
7 分子泵
8 质谱
Pump Fore Vacuum
Counter Flow
Twin-Flow Low
Twin-Flow High
吸枪模式Twin-Flow Low
校准
¾负压模式(Vacuum mode)
将待测腔体连接到检漏仪test port，以真空装置或检漏仪( vacuum system)对腔体进行抽真空，使其压力低于25mbar，再在可能的泄露点喷少许示宗气体检漏。