微电子概论结课论文
微电子导论论文--发展及历史
![微电子导论论文--发展及历史](https://img.taocdn.com/s3/m/850f436558fafab069dc0219.png)
中国微电子技术发展现状及发展趋势论文概要:介绍了中国微电子技术的发展现状,并阐述对微电子技术发展趋势的展望。
针对日前世界局势紧张,战争不断的状况,本文在最后浅析了微电子技术在未来轻兵器上的应用。
一.我国微电子技术发展状况1956年7月,国务院科学专业化规划委员会正式成立,组织数百各科学家和技术专家编制了十二年(1965—1967年)科学技术远景规划,这个著名的《十二年规划》中,明确地把发展计算机技术、半导体技术、无线电电子学、自动化和遥感技术放到战略的重点上,我国半导体晶体管是1957年研制成功的,1960年开始形成生产;集成电路始于1962年,于1968年形成生产;大规模集成电路始于70年代初,80年代初形成生产。
但是,同世界先进水平相比较,我们还存在较大的差距。
在生产规模上,目前我国集成电路工业还没有实现高技术、低价格的工业化大生产,而国外的发展却很快,美国IBM 公司在日本的野洲工厂生产64K动态存贮器,1983年秋正式投产后,每日处理硅片几万片,月产量为上百万块电路,生产设备投资约8000万美元。
日本三菱电机公司于1981年2月开始动土兴建工厂,1984年投产,计划生产64K动态存贮器,月产300万块,总投资约为1.2亿美元。
此外,在美国和日本,把半导体研究成果形成工业化生产的周期也比较短。
在美国和日本,出现晶体观后,形成工业生产能力是3年;出现集成电路后形成工业生产能力是1—3年;出现大规模集成电路后形成工业生产能力是1—2年;出现超大规模集成电路后形成工业生产能力是4年。
我国半导体集成电路工业长期以来也是停留在手工业和实验室的生产方式上。
近几年引进了一些生产线,个别单位才开始有些改观,但与国外的差距还是相当大的。
从产品的产值和产量方面来看,目前,全世界半导体与微电子市场为美国和日本所垄断。
这两国集成电路的产量约占体世界产量的百分之九十,早期是美国独占市场,而日本后起直追。
1975年美国的半导体与集成电路的产值是66亿美元,分离器件产量为110多亿只,集成路为50多亿块;日本的半导体与集成电路的产值是30亿美元,分离器件产量为122亿只,集成电路为17亿块。
电子导论结课论文
![电子导论结课论文](https://img.taocdn.com/s3/m/dd284bdc195f312b3169a53a.png)
电子导论结课论文大一的电子导论课马上就结束了,感觉还是很快的。
通过三个老师的讲解,我对我们的这个专业有了一个比较清晰的认识。
我们这个专业设有集成电路设计技术、光电子与集成电路系统两个专业方向。
下面就是我上课的学到的东西,和我的感受。
先是骆丽老师给我们讲的我们这个专业的概况。
介绍了我们这个专业的由来,及其发展前景。
从应用的观点看,电子科学与技术是建立在物理学和数学基础之上的一门应用科学。
电子科学与技术的重要作用,是提供工程实际所需要的各种元器件和系统的分析,设计,制造与应用的基础理论与技术。
当然,是需要坚实的物理学基础的。
我们要学习固体物理学,半导体物理学,纳米电子学,量子力学等相关知识。
除此之外,还有基本的电磁理论。
有了物理基础,还是不够的,还要有数学知识。
就是微积分,数学分析,线性代数等等。
老师上课讲的很多东西,让我印象最深的是电路的制造工艺。
在这一块,老师讲的还是非常详细的。
老师讲了电子制造的基本概念,PCB的制造,还有集成电路中的工艺技术。
在集成电路中的工艺技术中,有很多的技术。
比如晶圆处理技术,掩膜技术,刻蚀技术,沉积技术,掺杂技术,外延技术等。
老师上课的时候有很多的图片很形象的展示了芯片的制作过程。
真的是很复杂的。
而且制造工艺会很大程度的影响集成电路的规模和效果。
老师说了我们这个专业以后会有三个发展方向。
微电子,电路设计,以及电磁波。
我们在以后的学习中会面临选择发展方向的问题。
总的来说,我觉得骆丽老师上课讲的还是很认真的,她所从事的微电子的研究我觉得还是有很大的发展前景。
第二位老师是黄琳琳老师,她讲的是电路设计方面的介绍。
老师说这个方向以后的前景是在铁路方面的。
其实,老实说,我们这个专业就是主要是铁路方面的。
电路设计主要是有模拟电路,数字电路,集成电路,射频电路。
模拟电路是·是由自然界产生周期性变化的连续性的物理自然变量,在将连续性物理自然变量转换为连续的电信号,并通过运算连续性电信号的电路即称为模拟电路。
微电子毕业论文
![微电子毕业论文](https://img.taocdn.com/s3/m/4df1e135f56527d3240c844769eae009581ba20f.png)
微电子毕业论文微电子毕业论文近年来,随着科技的飞速发展和社会的进步,微电子技术逐渐成为了现代科技领域中的重要组成部分。
微电子技术的应用范围广泛,涵盖了电子设备、通信技术、医疗器械等多个领域。
作为一名微电子专业的毕业生,我在我的毕业论文中选择了探讨微电子技术的应用和发展趋势。
在我的论文中,我首先介绍了微电子技术的基本概念和原理。
微电子技术是一门研究微型电子元件和微型电子系统的学科,它主要涉及到集成电路、半导体材料、微电子器件等方面的研究。
通过对微电子技术的深入了解,我发现它在现代社会中的重要性不言而喻。
接着,我详细讨论了微电子技术在电子设备中的应用。
电子设备是现代社会中不可或缺的一部分,无论是智能手机、电脑还是家用电器,都离不开微电子技术的支持。
通过微电子技术,我们可以实现电子设备的小型化、高效化和智能化。
例如,通过微电子技术,我们可以将大型计算机缩小到手掌大小的智能手机中,实现了信息的随时随地获取和交流。
除了电子设备,微电子技术还在通信技术领域发挥着重要作用。
随着互联网的普及和信息时代的到来,通信技术的发展变得越来越重要。
微电子技术的应用使得通信设备的性能得到了大幅提升,无论是移动通信还是卫星通信,都离不开微电子技术的支持。
通过微电子技术,我们可以实现更快速、更稳定的通信,为人们的生活和工作带来了巨大的便利。
此外,我还探讨了微电子技术在医疗器械中的应用。
医疗器械是保障人们身体健康的重要工具,而微电子技术的应用为医疗器械的发展提供了新的可能。
通过微电子技术,我们可以实现医疗器械的精确控制和监测,提高治疗效果和患者的生活质量。
例如,微电子技术的应用使得心脏起搏器可以根据患者的实际情况进行自动调节,提高了治疗效果和患者的生活质量。
在论文的最后,我对微电子技术的未来发展进行了展望。
随着科技的不断进步和社会的不断发展,微电子技术将会迎来更加广阔的应用前景。
例如,人工智能、物联网等新兴技术的发展将会进一步推动微电子技术的应用和创新。
微电子论文
![微电子论文](https://img.taocdn.com/s3/m/61e42d4fe45c3b3567ec8b94.png)
微电子学与医学的结合造福社会刘畅自动化专业093班学号:090919摘要: 微电子技术是现代电子信息技术的直接基础。
现代微电子技术就是建立在以集成电路为核心的各种半导体器件基础上的高新电子技术。
微电子技术的发展大大方便了人们的生活。
它主要应用于生活中的各类电子产品,微电子技术的发展对电子产品的消费市场也产生了深远的影响。
微电子技术过去在医学中的主要是应用于各类医疗器械的集成电路,在未来主要是生物芯片。
生物芯片技术在医学、生命科学、药业、农业、环境科学等凡与生命活动有关的领域中均具有重大的应用前景。
一、引言:我所了解的微电子技术1.定义微电子技术,顾名思义就是微型的电子电路。
它是随着集成电路,尤其是超大规模集成电路而发展起来的一门新的技术。
微电子技术是在电子电路和系统的超小型化和微型化过程中逐渐形成和发展起来的,其核心是集成电路,即通过一定的加工工艺,将晶体管、二极管等有源器件和电阻、电容等无源器件,按照一定的电路互联,采用微细加工工艺,集成在一块半导体单晶片上,并封装在一个外壳内,执行特定电路或系统功能。
与传统电子技术相比,其主要特征是器件和电路的微小型化。
它把电路系统设计和制造工艺精密结合起来,适合进行大规模的批量生产,因而成本低,可靠性高。
它的特点是体积小、重量轻、可靠性高、工作速度快,微电子技术对信息时代具有巨大的影响。
它包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术,是微电子学中的各项工艺技术的总和。
2.发展历史:微电子技术是十九世纪末,二十世纪初开始发展起来的新兴技术,它在二十世纪迅速发展,成为近代科技的一门重要学科。
它的发展史其实就是集成电路的发展史。
1904 年,英国科学家弗莱明发明了第一个电子管——二极管,不就美国科学家发明了三极管。
电子管的发明,使得电子技术高速发展起来。
它被广泛应用于各个领域。
1947 年贝尔实验室制成了世界上第一个晶体管。
微电子技术论文
![微电子技术论文](https://img.taocdn.com/s3/m/388efc04974bcf84b9d528ea81c758f5f61f298e.png)
微电子技术论文微电子技术是随着集成电路,尤其是大规模集成电路发展起来的一门新技术。
下面是由店铺整理的微电子技术论文,谢谢你的阅读。
微电子技术论文篇一微电子技术与产业群研究【摘要】微电子技术进步促进了微电子产业的发展,同时,以微电子产业为基础的许多领域也正在形成产业群发展浪潮。
本文旨在探讨微电子技术与产业群的关系,研究微电子产业群,区分微电子相关性产业群和微电子产业集群,揭示其产业群的特殊性,深化我们对微电子产业群的认识,促进其健康、快速发展。
【关键词】微电子技术;集成电路;产业群;产业集群;相关性产业群微电子技术的不断进步促进了微电子产业的快速发展,同时,也在以微电子产业为基础的许多领域产生了极富创造性的变革,从而引领了新一轮的产业群发展浪潮。
本文旨在通过对微电子技术与产业群发展关系的研究,探讨微电子产业群的分类以及它们的特征,把握微电子产业群发展的基本要求,促进微电子产业群健康有序发展。
一、微电子技术的发展微电子技术是随着集成电路,尤其是超大规模集成电路而发展起来的一门新的系列技术,它包括系统和电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术。
微电子技术除集成电路外,还包括集成磁泡、集成超导器件和集成光电子器件等。
为便于分析,我们设定:研究的微电子技术主要限于集成电路的器件、工艺技术等领域。
微电子技术始于1947年晶体管的发明,到1958年前后已研究成功以这种组件为基础的混合组件,1962年生产出晶体管―晶体管逻辑电路和发射极耦合逻辑电路。
上个世纪70年代,由于单极型集成电路(MOS电路)在高度集成和功耗方面的优点,微电子技术进入了MOS 电路时代。
从1958年TI研制出第一个集成电路触发器算起,到2003年Intel推出的奔腾4处理器(包含5500万个晶体管)和512MbDRAM(包含超过5亿个晶体管),集成电路年平均增长率达到45%。
目前,微电子技术正在快速发展,其发展表现在三点:一是缩小芯片中器件结构的尺寸,即缩小加工线条的宽度;二是增加芯片中所包含的元器件的数量,即扩大集成规模;三是开拓有针对性的设计应用。
微电子毕业论文
![微电子毕业论文](https://img.taocdn.com/s3/m/354bbdf2dc88d0d233d4b14e852458fb760b3856.png)
微电子毕业论文在当今科技飞速发展的时代,微电子技术无疑是推动社会进步的关键力量之一。
从智能手机到超级计算机,从医疗设备到航天航空,微电子技术的应用无处不在,深刻地改变了我们的生活和工作方式。
微电子技术的核心在于集成电路的设计与制造。
集成电路,也就是我们常说的芯片,是将大量的电子元件,如晶体管、电阻、电容等,集成在一块微小的半导体晶片上。
随着半导体工艺的不断进步,芯片上集成的元件数量越来越多,性能也越来越强大。
然而,这也给微电子技术的发展带来了诸多挑战。
在集成电路的制造过程中,光刻技术是至关重要的一环。
光刻技术的精度直接决定了芯片上元件的尺寸和间距。
目前,极紫外光刻(EUV)技术已经成为先进制程芯片制造的关键技术。
然而,EUV 技术的成本高昂,设备复杂,对制造环境的要求也极为苛刻。
为了降低成本,提高光刻精度,研究人员一直在不断探索新的光刻技术和材料。
另外,随着芯片集成度的提高,散热问题也日益突出。
芯片在工作时会产生大量的热量,如果不能及时有效地散热,将会影响芯片的性能和可靠性。
因此,热管理技术成为了微电子领域的一个重要研究方向。
目前,常见的散热技术包括风冷、液冷和相变冷却等。
同时,研究人员也在开发新型的散热材料,如高导热的石墨烯和金刚石等。
在集成电路的设计方面,低功耗设计成为了当前的研究热点。
随着移动设备的普及,对于芯片的功耗要求越来越严格。
为了降低功耗,设计人员需要从电路结构、工作电压、时钟频率等多个方面进行优化。
同时,新兴的技术如近似计算和异步电路设计也为低功耗设计提供了新的思路。
除了硬件方面,微电子技术在软件领域也有着广泛的应用。
例如,电子设计自动化(EDA)软件是集成电路设计必不可少的工具。
EDA软件可以帮助设计人员完成电路设计、仿真、验证等工作,大大提高了设计效率和质量。
然而,目前的 EDA 软件还存在一些不足之处,如对复杂系统的支持不够完善,仿真精度有待提高等。
因此,开发更加先进的 EDA 软件也是微电子领域的一个重要任务。
微电子技术论文范文3篇
![微电子技术论文范文3篇](https://img.taocdn.com/s3/m/2a31b81bba68a98271fe910ef12d2af90242a88e.png)
微电⼦技术论⽂范⽂3篇微电⼦技术发展历史论⽂摘要本⽂展望了21世纪微电⼦技术的发展趋势。
认为:21世纪初的微电⼦技术仍将以硅基CMOS电路为主流⼯艺,但将突破⽬前所谓的物理“限制”,继续快速发展;集成电路将逐步发展成为集成系统;微电⼦技术将与其它技术结合形成⼀系列新的增长点,例如微机电系统(MEMS)、DNA芯⽚等。
具体地讲,SOC设计技术、超微细光刻技术、虚拟⼯⼚技术、铜互连及低K互连绝缘介质、⾼K栅绝缘介质和栅⼯程技术、SOI技术等将在近⼏年内得到快速发展。
21世纪将是我国微电⼦产业的黄⾦时代。
关键词微电⼦技术集成系统微机电系统DNA芯⽚1引⾔综观⼈类社会发展的⽂明史,⼀切⽣产⽅式和⽣活⽅式的重⼤变⾰都是由于新的科学发现和新技术的产⽣⽽引发的,科学技术作为⾰命的⼒量,推动着⼈类社会向前发展。
从50多年前晶体管的发明到⽬前微电⼦技术成为整个信息社会的基础和核⼼的发展历史充分证明了“科学技术是第⼀⽣产⼒”。
信息是客观事物状态和运动特征的⼀种普遍形式,与材料和能源⼀起是⼈类社会的重要资源,但对它的利⽤却仅仅是开始。
当前⾯临的信息⾰命以数字化和⽹络化作为特征。
数字化⼤⼤改善了⼈们对信息的利⽤,更好地满⾜了⼈们对信息的需求;⽽⽹络化则使⼈们更为⽅便地交换信息,使整个地球成为⼀个“地球村”。
以数字化和⽹络化为特征的信息技术同⼀般技术不同,它具有极强的渗透性和基础性,它可以渗透和改造各种产业和⾏业,改变着⼈类的⽣产和⽣活⽅式,改变着经济形态和社会、政治、⽂化等各个领域。
⽽它的基础之⼀就是微电⼦技术。
可以毫不夸张地说,没有微电⼦技术的进步,就不可能有今天信息技术的蓬勃发展,微电⼦已经成为整个信息社会发展的基⽯。
50多年来微电⼦技术的发展历史,实际上就是不断创新的过程,这⾥指的创新包括原始创新、技术创新和应⽤创新等。
晶体管的发明并不是⼀个孤⽴的精⼼设计的实验,⽽是⼀系列固体物理、半导体物理、材料科学等取得重⼤突破后的必然结果。
微电子概论期末论文
![微电子概论期末论文](https://img.taocdn.com/s3/m/778d6080bceb19e8b8f6ba67.png)
微电子概论期末论文.txt有没有人像我一样在听到某些歌的时候会忽然想到自己的往事_______如果我能回到从前,我会选择不认识你。
不是我后悔,是我不能面对没有你的结局。
本文由_黑色闪电贡献doc文档可能在WAP端浏览体验不佳。
建议您优先选择TXT,或下载源文件到本机查看。
浅析微电子技术的发展[摘要]微电子技术的应用与影响在我们的日常生活中随处可见。
在本文里,简要地叙述了微电子技术的发展历史和现状,实际应用,发展趋势和展望,增进对微电子技术的了解。
[关键词] 微电子技术、发展、应用 [引言]微电子技术是一项年轻的技术,它发展的理论基础是 19 世纪末到 20 世纪 30 年代之间建立起来的现代物理学。
它在短短的一个多世纪的时间里,凭借着飞快的发展速度和强大的生命力,成功地渗入人类生活的各个领域,并在 21 世纪里继续成为最具发展潜力的技术之一。
[论述和讨论]1、微电子技术的发展历史和现状微电子技术的发展历史和现状19 世纪末 20 世纪初的物理学革命,为微电子技术的产生奠定了理论基础。
半导体三个重要物理效应——光电导效应、光生伏特效应、整流效应的发现,量子力学的建立和材料物理的发展,都起到了理论推动作用。
1946 年 1 月,Bell 实验室正式成立了半导体研究小组,成员为肖克莱、理论物理学家巴丁、实验物理学家布拉顿。
在系统的研究过程中,巴丁提出了表面态理论,肖克莱给出了实现放大器的场效应基本设想,巴丁设计进行了无数次实验,于 1947 年 12 月观察到了该晶体管晶体管结构的放大特效,标志着世界上第一个点接触型晶体管的诞生。
1952 年,肖克莱又与斯帕克斯、迪尔一起发明了单晶锗 npn 结型晶体管。
1952 年 5 月,英国科学家达默第一次提出了集成电路的构想。
1958 年,以德克萨斯仪器公司的科学家基尔比为首的研究小组研制出世界上第一块集成电路。
晶体管和集成电路的发明,拉开了人类进入电子时代的序幕,对人类社会的所有领域产生了并且还正在产生着深远影响。
微电子科学与工程毕业论文
![微电子科学与工程毕业论文](https://img.taocdn.com/s3/m/6184885fa66e58fafab069dc5022aaea998f41ec.png)
微电子科学与工程毕业论文微电子科学与工程毕业论文微电子科学与工程是一门研究微小尺寸电子器件及其应用的学科,涵盖了电子学、物理学、材料学等多个领域。
在这个快速发展的时代,微电子科学与工程的研究和应用已经深入到我们生活的方方面面。
作为一名微电子科学与工程的毕业生,我将在本文中探讨微电子科学与工程领域的一些研究和应用,以及我在毕业论文中的研究内容。
首先,微电子科学与工程的研究领域非常广泛,包括了集成电路设计、半导体器件制造、纳米电子学等方面。
其中,集成电路设计是微电子科学与工程的核心内容之一。
随着科技的进步,集成电路的规模越来越小,功能越来越强大。
在我的毕业论文中,我主要研究了基于深度学习算法的图像识别集成电路设计。
通过使用深度学习算法,我设计了一种高效的图像识别电路,能够准确地识别不同种类的图像。
这项研究对于提高图像识别的准确性和速度具有重要意义。
其次,微电子科学与工程的应用非常广泛,涉及到电子产品、通信设备、医疗器械等多个领域。
其中,电子产品是微电子科学与工程的主要应用之一。
如今,电子产品已经成为人们生活中必不可少的一部分,如智能手机、平板电脑等。
在我的毕业论文中,我研究了一种新型的柔性显示技术,通过在柔性基底上制造微小尺寸的电子器件,实现了可弯曲、可折叠的显示屏。
这项研究对于改善电子产品的使用体验和便携性具有重要意义。
此外,微电子科学与工程还与能源领域密切相关。
随着能源危机的加剧,人们对于高效能源的需求越来越迫切。
微电子科学与工程在能源领域的应用主要包括太阳能电池、燃料电池等。
在我的毕业论文中,我研究了一种新型的太阳能电池材料,通过改变材料的组成和结构,提高了太阳能电池的转换效率。
这项研究对于推动可再生能源的发展和应用具有重要意义。
综上所述,微电子科学与工程是一门非常重要的学科,它的研究和应用涉及到多个领域。
在我的毕业论文中,我主要研究了基于深度学习算法的图像识别集成电路设计、柔性显示技术和太阳能电池材料等方面。
微电子 毕业论文
![微电子 毕业论文](https://img.taocdn.com/s3/m/6c55d08ddb38376baf1ffc4ffe4733687e21fc27.png)
微电子毕业论文微电子毕业论文引言:微电子作为一门新兴的学科,涉及到微观电子器件的设计、制造和应用。
随着科技的不断发展,微电子在现代社会中扮演着重要的角色。
本文将探讨微电子领域的一些研究方向和应用领域,并对未来的发展进行展望。
一、微电子的研究方向1.1 纳米电子器件的设计与制造纳米电子器件是微电子领域的重要研究方向之一。
通过利用纳米材料和纳米加工技术,可以制造出尺寸更小、性能更优的电子器件。
例如,纳米晶体管可以实现更高的开关速度和更低的功耗,而纳米存储器可以实现更大的存储容量和更快的读写速度。
1.2 集成电路的设计与优化集成电路是微电子领域的核心技术之一。
通过将多个电子器件集成在同一芯片上,可以实现更高的功能集成度和更低的功耗。
集成电路的设计与优化是一个复杂的过程,需要考虑电路的性能、功耗、可靠性等多个方面的因素。
1.3 无线通信技术的研究与应用随着无线通信技术的不断发展,微电子在无线通信领域的应用越来越广泛。
例如,通过设计和制造高性能的射频集成电路,可以实现更高的通信速率和更低的功耗。
此外,微电子还可以应用于无线传感器网络、物联网等领域,为人们的生活带来便利。
二、微电子的应用领域2.1 智能手机和平板电脑智能手机和平板电脑是人们日常生活中不可或缺的电子产品。
微电子技术的发展使得这些设备越来越小巧、轻便,并且具备更强大的计算和通信能力。
例如,通过微电子技术,可以实现更高的屏幕分辨率、更快的处理速度和更长的电池续航时间。
2.2 医疗器械和生物传感器微电子在医疗器械和生物传感器领域的应用也越来越广泛。
例如,通过设计和制造微型传感器,可以实现对人体生理参数的监测和记录。
此外,微电子技术还可以应用于医学影像设备、人工智能辅助诊断等方面,为医疗行业带来了巨大的发展机遇。
2.3 智能家居和物联网随着物联网的兴起,微电子在智能家居和物联网领域的应用也越来越受到关注。
通过设计和制造智能传感器和控制器,可以实现对家庭设备的远程控制和监测。
微电子硕士毕业论文
![微电子硕士毕业论文](https://img.taocdn.com/s3/m/c1ade1ad6aec0975f46527d3240c844768eaa079.png)
微电子硕士毕业论文标题:基于微电子技术的智能传感器在医疗器械领域的应用研究摘要:随着微电子技术的不断发展,智能传感器已经成为医疗器械领域的重要技术之一。
本论文主要研究了基于微电子技术的智能传感器在医疗器械领域的应用。
通过对智能传感器的原理和结构进行详细介绍,探讨了智能传感器在医疗器械中的应用场景及其优势。
以血压计和血糖仪为例,分别详细介绍了智能传感器在这两种医疗器械中的应用,并对其性能进行了评估。
实验结果表明,基于微电子技术的智能传感器在医疗器械中具有较高的稳定性、精确性和可靠性,能够有效提高医疗器械的性能和用户体验。
关键词:微电子技术;智能传感器;医疗器械;应用研究引言:医疗器械是保障人类身体健康的重要工具,对于医疗行业的发展起到了至关重要的作用。
随着科技的不断进步,微电子技术的应用正在推动医疗器械技术的革新。
智能传感器作为微电子技术的重要组成部分,在医疗器械领域发挥了重要作用。
本论文将重点研究基于微电子技术的智能传感器在医疗器械领域的应用,以期为医疗器械技术的进一步发展提供有益的参考。
一、智能传感器的原理与结构智能传感器是一种将微电子技术与传感技术相结合的器件,具有自主感知、数据采集和信息处理等功能。
其采用了微电子技术中的集成电路和微机电系统技术,能够实现对环境信息的高效获取。
智能传感器的结构包括传感元件、信号调理电路、数据处理器和通信接口等组成部分。
传感元件负责对环境参数的感知,信号调理电路将传感元件输出的信号进行处理和放大,数据处理器对处理后的信号进行分析和判断,通信接口负责与外部设备进行数据交互。
二、智能传感器在医疗器械中的应用场景与优势智能传感器在医疗器械领域有着广泛的应用场景。
以血压计为例,智能传感器可以通过测量皮肤下的血压,准确地获取患者的血压信息。
与传统血压计相比,智能传感器具有响应速度快、测量精度高、使用方便等优势。
同样地,智能传感器在血糖仪中也发挥了重要作用。
通过检测患者血液中的葡萄糖含量,智能传感器可以实时监测患者的血糖水平,并及时发出警报。
微电子概论结课论文新
![微电子概论结课论文新](https://img.taocdn.com/s3/m/9d6570b827d3240c8447efeb.png)
微电子概论结课论文新微电子概论结课论文学院:专业:学号:姓名:日期:【摘要】本文简要地叙述了微电子技术的发展历史和现状,实际应用,及对集成电路,半导体材料简介,和微电子方向的发展趋势和展望,从而增进对微电子技术的了解。
【关键词】微电子技术半导体集成电路 MEMS 系统【正文开始】通过老师风趣幽默的讲述,对微电子概论有了几点基本的认识,对单片机等其他东西也有了接触,对于我们今后对专业知识的学习也有了有意的帮助。
什么是微电子学,微电子学是电子学的一门分支,主要研究电子或离子的固体材料中的运动规律及其应用。
微电子学是以实现电路和系统的集成为目的:研究如何利用半导体的围观特性以及一些特殊工艺,在一块半导体芯片上制作大量的器件,从而在一个微小的面积中制造出复杂的电子系统。
我们懂得了什么是半导体,什么是本征半导体。
了解晶体管电流放大原理。
掌握了晶体管的输入输出特性曲线等等所谓集成电路IC就是在一块极小的硅单晶片上,利用半导体工艺制作上许多晶体二极管、三极管及电阻、电容等元件,并连接成完成特定电子技术功能的电子电路。
从外观上看,它已成为一个不可分割的完整器件,集成电路在体积、重量、耗电、寿命、可靠性及电性能方面远远优于晶体管元件组成的电路,目前为止已广泛应用于电子设备、仪器仪表及电视机、录像机等电子设备中。
集成电路的发展经历了一个漫长的过程,以下以时间顺序,简述一下它的发展过程。
1906年,第一个电子管诞生��1912年前后,电子管的制作日趋成熟引发了无线电技术的发展��1918年前后,逐步发现了半导体材料��1920年,发现半导体材料所具有的光敏特性��1932年前后,运用量子学说建立了能带理论研究半导体现象��1956年,硅台面晶体管问世��1960年12月,世界上第一块硅集成电路制造成功��1966年,美国贝尔实验室使用比较完善的硅外延平面工艺制造成第一块公认的大规模集成电路。
[2] 1988年~16M DRAM问世,1平方厘米大小的硅片上集成有3500万个晶体管,标志着进入超大规模集成电路阶段的更高阶段。
微机电导论
![微机电导论](https://img.taocdn.com/s3/m/bf578bfd910ef12d2af9e7dc.png)
从“大房子”到“指甲盖”—微机电导论结课论文说实话,微机电,我还是第一次接触!因为,以前的印象:机电就是机械和电气设备,一定是巨型设备,小?那也应该很大!小到看不见,小到微米纳米级别?您说笑了吧?这就是我以前对机电的观点。
而现在?就拿最熟悉的计算机为例,世界上最早的计算机是第二次世界大战期间,美国军方为了解决计算大量军用数据的难题,成立了由宾夕法尼亚大学莫奇利和埃克特领导的研究小组,开始研制世界上第一台电子计算机。
经过三年紧张的工作,第一台电子计算机终于在1946年2 月14日问世了。
它由17468个电子管、6万个电阻器、1万个电容器和6千个开关组成,重达30吨,占地160平方米,耗电174千瓦,耗资45万美元。
这台计算机每秒只能运行5千次加法运算,仅相当于一个电子数字积分计算机(ENIAC即"埃尼阿克")。
第一台计算机诞生至今已过去50多年了,在这期间,计算机以惊人的速度发展着,首先是晶体管取代了电子管,继而是微电子技术的发展,使得计算机处理器和存贮器上的元件越做越小,数量越来越多,计算机的运算速度和存贮容量迅速增加。
1994年12月,美国Intel公司宣布研制成功世界上最快的超级计算机,它每秒可进行3280亿次加法运算(是第一台电子计算机的6600万倍)。
如果让人完成它一秒钟进行的运算量的话,需要一个人昼夜不停地计算一万多年。
现在,计算机的体积越来越小,小到和手表一样大小,超乎人的想象!而说到电脑,一定就会提到一个高技术的核心器件——CPU!这就引出了我所要说到的微机电系统MEMS。
MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。
尺寸在几厘米以下乃至更小的小型装置,是一个独立的智能系统,主要由传感顺、作动器(执行器)和微能源三大部分组成。
微机电系统的制造工艺主要有集成电路工艺、微米/纳米制造工艺、小机械工艺和其他特种加工工种。
微机电系统在国民经济和军事系统方面将有着广泛的应用前景。
微电子学论文
![微电子学论文](https://img.taocdn.com/s3/m/a464c0f4f705cc17552709c5.png)
存储器技术摘要:存储器是现代计算机核心组成部分,是计算机系统中的记忆设备,用来存放程序和数据。
因为有了它,计算机才具有“记忆”功能,才能把程序及数据的代码保存起来。
本文简述了存储器的7个发展阶段,现状和未来发展趋势。
一、存储器的发展历史1.汞延迟线汞延迟线是基于汞在室温时是液体,同时又是导体,每比特数据用机械波的波峰(1)和波谷(0)表示。
机械波从汞柱的一端开始,一定厚度的熔融态金属汞通过一振动膜片沿着纵向从一端传到另一端,这样就得名“汞延迟线”。
在管的另一端,一传感器得到每一比特的信息,并反馈到起点。
设想是汞获取并延迟这些数据,这样它们便能存储了。
这个过程是机械和电子的奇妙结合。
缺点是由于环境条件的限制,这种存储器方式会受各种环境因素影响而不精确。
2 磁带磁带存储器是以磁带为存储介质,由磁带机及其控制器组成的存储设备,是计算机的一种辅助存储器。
磁带机由磁带传动机构和磁头等组成,能驱动磁带相对磁头运动,用磁头进行电磁转换,在磁带上顺序地记录或读出数据。
磁带存储器以顺序方式存取数据。
存储数据的磁带可脱机保存和互换读出。
1951年,由埃克特设计的第一台通用计算机UNIV AC—I就是采用的磁带存储器。
磁带是所有存储器发展中单位存储信息成本最低、容量最大、标准化最高的常用存储介质之一。
3.磁鼓1953年,随着存储器设备发展,第一台磁鼓应用于IBM 701,它是作为内存储器使用的。
磁鼓是利用铝鼓筒表面涂覆的磁性材料来存储数据的。
鼓筒旋转速度很高,因此存取速度快。
它采用饱和磁记录,从固定式磁头发展到浮动式磁头,从采用磁胶发展到采用电镀的连续磁介质。
这些都为后来的磁盘存储器打下了基础。
磁鼓最大的缺点是利用率不高,一个大圆柱体只有表面一层用于存储,而磁盘的两面都利用来存储,显然利用率要高得多。
因此,当磁盘出现后,磁鼓就被淘汰了。
4 磁芯磁芯在导线上流过一定电流下会被磁化或者改变磁化方向,事先可以通过实验和材料的工艺控制得到这个能够让磁芯磁化的电流最小阈值。
微电子技术及其发展论文
![微电子技术及其发展论文](https://img.taocdn.com/s3/m/ec5f42f6a216147916112840.png)
微电子技术及其发展论文微电子学论文前言:随着半导体新兴技术的发展,微电子成为越来越多人青睐的专业之一。
微电子学是一门综合性很强的边缘学科,其中包括了半导体器件物理、集成电路工艺和集成电路及系统的设计、测试等多方面的内容;设计了固体物理学、量子力学、热力学与统计物理学、材料科学、电子线路、信号处理、计算机辅助设计、测试和加工、图论、化学等多个领域。
下面我就从如下几个方面来谈谈微电子的一些基本情况。
一微电子学(Microelectronics)是电子学的一门分支学科,主要是研究电子或离子在固体材料中的运动规律及其应用,并利用它实现信号处理功能的学科。
它以实现电路和系统的集成为目的的微电子学又是信息领域的重要基础学科,在这一领域上,微电子学是研究并实现信息获取、传输、存储、处理和输出的科学,是研究信息获取的科学,构成了信息科学的基石,其发展书评直接影响着整个信息技术的发展。
微电子科学技术的发展水平和产业规模是一个国家经济实力的重要标志。
微电子技术是在电子电路和系统的超小型化和微型化过程中逐渐形成和发展起来的,第二次大战中、后期,由于军事需要对电子设备提出了不少具有根本意义的设想,并研究出一些有用的技术。
1947年晶体管的发明,后来又结合印刷电路组装使电子电路在小型化的方面前进了一大步。
到1958年前后已研究成功以这种组件为基础的混合组件。
集成电路的主要工艺技术,是在50年代后半期硅平面晶体管技术和更早的金属真空涂膜学技术基础上发展起来的。
19614年出现了磁双极型集成电路产品。
1962年生产出晶体管——晶体管理逻辑电路和发射极藉合逻辑电路。
MOS集成电路出现。
由于MOS电路在高度集成方面的优点和集成电路对电子技术的影响,集成电路发展越来越快。
70年代,微电子技术进入了以大规模集成电路为中心的新阶段。
随着集成密度日益提高,集成电路正向集成系统发展,电路的设计也日益复杂、费时和昂贵。
实际上如果没有计算机的辅助,较复杂的大规模集成电路的设计是不可能的。
微电子结课论文
![微电子结课论文](https://img.taocdn.com/s3/m/f2bd92f0d0f34693daef5ef7ba0d4a7302766cfc.png)
微电子结课论文电子商务概论微课教学已经作为一种新型的教学手段走进了技校课堂,在信息化环境下开展微课教学研究,能够揭示微课教学活动的内在发展规律,对于提升电商专业教师的信息化教学水平,激发学生的创造力,有效促进电商微课资源建设等均具有积极的意义。
一、认识微课微课是微型课程的简称,是一种新型的学习方法和教学模式。
微型课程的特点可以描述为“短、小、精、悍”:微课教学活动时间一般控制在10分钟以内;教学目标明确、教学设计合理、教学内容精练、课程资源应用面广,适合通过互联网传播和使用。
微课教学的应用,有利于形成优质高效的教学资源,促使课堂教学形式创新、有效提升专业教师的能力,有效促进职业教育与信息化技术的有效融合。
二、“电子商务概论”实施微课的可行性分析1.传统电子商务概论教学模式较为落后“电子商务概论”是我校电子商务专业的基础核心课程,理论学时为40学时。
目前,技校电子商务概论的教学方式比较单一,还停留在教师主讲的模式上,学生学习枯燥,学习兴趣不高,进而难以培养具有良好的学习能力以适应职业发展需要的学生。
2.微课模式的引入具有现实基础智能手机、笔记本电脑等设备已成为师生校园生活的必备工具,微课也正是借助移动设备供学习者进行学习。
针对这种情况,选取电子商务概论中有深度、内容相对独立的知识点设计了系列微课,同时包括与学习相配套的扩展性学习资源,支持学生使用移动设备随时随地进行学习。
由此建立起集趣味性、情景化为一体的数字化电子商务微课学习资源。
三、基于微课的电子商务概论教学设计流程电子商务概论课程理论知识点多,教师大多数采用传统的“满堂灌”教学模式,学生学习枯燥,无心学习。
而微课通过微视频的教学方式,将过去枯燥乏味以教师讲授为主的课堂教学变得生动有趣,从而吸引学生学习的注意力,激发学生的学习兴趣,进而取得比传统教学更好的教学效果。
根据课程教材并结合电子商务考证理论鉴定考点,我从中选取第一章“电子商务概述”为例,开展微课的教学活动。
微电子专业毕业论文范文.doc
![微电子专业毕业论文范文.doc](https://img.taocdn.com/s3/m/a0b9121d6d175f0e7cd184254b35eefdc8d31511.png)
微电子专业毕业论文范文下面是的微电子专业毕业论文,欢送阅读。
微电子技术是随着集成电路,尤其是超大规模集成电路而开展起来的一门新的技术,包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术,微电子技术是微电子学中的各项工艺技术的总和。
微电子技术对电子产品的消费市场产生了深远的影响。
价廉、可靠、体积小、重量轻的微电子产品,使电子产品相貌一新;微电子技术产品和微处理器不再是专门用于科学仪器世界的贵族,而落户于各式各样的普及型产品之中,进人普通百姓家。
例如电子玩具、游戏机、学习机及其他家用电器产品等。
就连汽车这种传统的机械产品也浸透进了微电子技术,采用微电子技术的电子引擎监控系统。
汽车平安防盗系统、出租车的计价器等已得到广泛应用,现代汽车上有时甚至要有十几个到几十个微处理器。
总之,微电子技术已经浸透到诸如现代通信、计算机技术、医疗卫生、环境工程在源、交通、自动化消费等各个方面,成为一种既代表国家现代化程度又与人民生活息息相关的高新技术。
所以研究中国微电子产业现状能让我们正确认识我国微电子产业的优势与优势,从而对症下药,才能促使中国微电子产业正确快速开展。
早在 1965 年,我国的集成电路就开场起步。
虽然改革开放以来我国电子工业获得长足进步,但是我国电子工业与国际程度相比:技术许多领域差距正在继续拉大;规模经济的程度不够大;经济效益差;产品的品种、质量、价格和效劳尚不能很好适应国内市场和国际市场的需求。
我国在微电子产业方面确实有所出成绩,我国信息产业的高速开展国民经济和社会信息化的加速推进对微电子产业产生强大的促进作用。
近几年来我国集成电路市场需求量均保持高于30增长势头我国集成电路市场总量已从1999年的 550亿元增加到了xx年的1900亿元。
中国集成电路市场已成为仅次于美、日的世界第三大市场成为世界主要微电子市场之一。
中国集成电路产业呈现良性开展的势头。
尽管国内集成电路产业在近年来获得了宏大的开展业绩,但整体程度与国际兴旺国家相比仍有很大差距。
关于微电子学概论多媒体课件的设计论文
![关于微电子学概论多媒体课件的设计论文](https://img.taocdn.com/s3/m/eab34e1e783e0912a3162a10.png)
关于微电子学概论多媒体课件的设计论文基于微电子学概论课程的特点,介绍了微电子学概论课程多媒体课件的设计方法与过程,从教学实际出发,精心组合多媒体中的各要素,实现课件最优化,为学生的自助式学习提供一个具有交互式功能的多媒体课件系统。
随着信息技术的飞速发展,传统的教学方式已经很难适应现代教育的需要,将多媒体技术应用到教学过程是弥补传统教学教育方式的诸多不足,提高教学效果的有效手段。
多媒体课件是开展计算机辅助教学的一种基本的教学软件,其设计方法直接影响到课件的开发质量和课堂教学的实际效果。
微电子学概论课程的主要内容包括了微电子技术的发展历史、半导体物理和器件物理基础、集成电路基础、集成电路制造工艺、集成电路及系统芯片(SOC)设计方法学及设计技术、微机电系统(MEMS)技术、封装技术、微电子技术发展的一些基本规律等,是一门与实际联系很紧密,形象化教学素材十分丰富的课程,将这门课程开发转化为多媒体CAI课件对提高教学效果、教学质量非常有益。
一、多媒体课件设计的指导思想现代教育观念强调素质与能力的培养,重视学生在教学活动中的自主活动,要求将学生作为教学的主体。
为此,应该把“以学生为主体,以教师为主导”作为多媒体课件设计的指导思想,把它设计成助学式的并且具有交互功能的课件[1]。
此外,多媒体课件必须既符合相关课程的特点,又符合一般教学规律,且利用多媒体计算机辅助教学的多种技术手段进行设计和制作。
对于微电子学概论课程,多媒体CAI课件应该满足以下基本特点:1.微电子学概论课程中的版图技术、制造工艺、器件、封装等内容均需要演示较为复杂的图形或过程。
因此,需要充分利用多媒体技术,将图像、动画、音频、文字、视频等进行合理的处理,做到图文并茂,形象生动,以有助于提高教学质量。
2.多媒体CAI课件应当有丰富的信息资源,便于扩大学生的知识面。
在传统的教学中,信息非常有限,且缺乏灵活性、方便性和交互性;随着信息技术的发展,教师可以通过更多的渠道获得文字、图像、音频、动画、视频,甚至三维虚拟现实等多方位信息用于多媒体课件制作,使教学内容更丰富,教学方法灵活多样[2]。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
微电子概论结课论文
----浅析微电子技术的发展
[摘要]
微电子技术的应用与影响在我们的日常生活中随处可见。
在本文里,简要地叙述了微电子技术的发展历史和现状,实际应用,发展趋势和展望,增进对微电子技术的了解。
[关键词]
微电子技术、发展、革命、晶体管、集成电路、财富、应用
[引言]
微电子技术是一项年轻的技术,它发展的理论基础是 19 世纪末到 20 世纪 30 年代之间建立起来的现代物理学。
它在短短的一个多世纪的时间里,凭借着飞快的发展速度和强大的生命力,成功地渗入人类生活的各个领域,并在 21 世纪里继续成为最具发展潜力的技术之一。
[论述和讨论]
一、微电子技术的发展历史和现状
19 世纪末 20 世纪初的物理学革命,为微电子技术的产生奠定了理论基础。
半导体三个重要物理效应——光电导效应、光生伏特效应、整流效应的发现,量子力学的建立和材料物理的发展,都起到了理论推动作用。
1946 年 1 月,Bell 实验室正式成立了半导体研究小组,成员为肖克莱、理论物理学家巴丁、实验物理学家布拉顿。
在系统的研究过程中,巴丁提出了表面态理论,肖克莱给出了实现放大器的场效应基本设想,巴丁设计进行了无数次实验,于 1947 年 12 月观察到了该晶体管晶体管结构的放大特效,标志着世界上第一个点接触型晶体管的诞生。
1952 年,肖克莱又与斯帕克斯、迪尔一起发明了单晶锗 npn 结型晶体管。
1952 年5 月,英国科学家达默第一次提出了集成电路的构想。
1958 年,以德克萨斯仪器公司的科学家基尔比为首的研究小组研制出世界上第一块集成电路。
晶体管和集成电路的发明,拉开了人类进入电子时代的序幕,对人类社会的所有领域产生了并且还正在产生着深远影响。
随着晶体管和集成电路的发明与应用,微电子技术进入了一个飞速发展的时期。
1965 年,美国硅谷西安童半导体公司的 Gordon Moore 博士(Intel 公司创始人之一)通过研究了
半导体工业的发展数据, 1971 年提出了著名的“摩尔定于律”——集成电路芯片的集成度每三年提高 4 倍,而芯片加工特征尺寸每三年缩小倍。
微电子技术是近五十年来发展最快的技术。
从最基本的机构单元 pn 结,到简单的接触双极型晶体管和结型晶体管,再到MOS 场效应晶体管;从双极集成电路,到数字集成电路,再到 MOS 集成电路,每一次进步都是一次技术上的巨大飞跃。
作为微电子技术的核心,集成电路(IC)经历了小规模、中规模、大规模、超大规模阶段,目前已进入甚大规模阶段,其集成度不断提高、功耗延迟积(优值)和特征尺寸不断缩小、集成规模不断增大。
各方面的性能不断优化,价格却在不断降低.如此一来,产品的升级换代不仅导致性能品质的提升,价格也变得越来越便宜,性价比不断提高,在人类生活中也越来越受到欢迎,得到了广泛的应用。
二.微电子技术的发展趋势
几十年来集成电路(IC)技术一直以极高的速度发展。
如前文中提到的,著名
的穆尔(Moore)定则指出,IC的集成度(每个微电子芯片上集成的器件数),每3年
左右为一代,每代翻两番。
对应于IC制作工艺中的特征线宽则每代缩小30%。
根
据按比例缩小原理(Scaling Down Principle),特征线条越窄,IC的工作速度越
快,单元功能消耗的功率越低。
所以,IC的每一代发展不仅使集成度提高,同时
也使其性能(速度、功耗、可靠性等)大大改善。
与IC加工精度提高的同时,加工
的硅圆片的尺寸却在不断增大,生产硅片的批量也不断提高。
以上这些导致了微
电子产品发展的一种奇妙景观:在集成度一代代提高的同时,芯片的性能、功能
不断增强,而价格却不断下跌。
这一现象的深远意义在于,随着微电子芯片技术
的快速发展,一切微电子产品(计算机、通信及消费类产品等)也加速更新、换代;
不仅新一代产品性能、功能大大超过前一代,而且价格的越来越便宜又为电子信
息技术的不断推进及其迅速推广应用到各个领域创造了条件,导致了人类信息化
社会的到来。
由于集成电路栅长度的减小和集成度的增大,因此必须发展相应的制造技术,即
光刻技术、氧化和扩散技术、多层布线技术和电容器材料技术。
①光刻技术
利用波长436nm光线,形成亚微米尺寸图形,制造出集成度1M位和4M位的
DRAM。
i射线(波长365nm)曝光设备问世后,可形成半微米尺寸和深亚微米尺寸的
图形,制造出16M位和64M位的DRAM。
目前,采用KrF准分子激光器的光刻设备已经投入实用,可以形成四分之一
微米尺寸的图形,制造出64M位DRAM。
采用波长更短的ArF激光器的光刻设备,
有可能在21世纪初投入实用。
当然,为了实现这一目标,必须开发出适用的掩膜
形成技术和光刻胶材料。
X射线光刻设备的研制开发工作,已经进行了相当的时间,电子束曝光技术和
3nm真空紫外线曝光技术,也在积极开发之中,哪一种技术将会率先投入实用并成
为下一阶段的主流技术,现在还难以预料。
②蚀刻技术
在高密度集成电路制造过程中,氧化膜、多晶硅与布线金属的蚀刻技术,随
着特征尺寸的不断缩小将变得越来越困难。
显然,如果能够研制出一种可以产生均匀的平面状高密度等离子源的技术,就会获得更为理想的蚀刻效果。
利用CER(电子回旋共振)等离子源或ICP(电感耦合等离子)高密度等离子源,并同特殊气体(如HBr等)及静电卡盘(用于精密温度控制)技术相结合,就可以满足上述电路蚀刻工艺的要求。
③扩散氧化技术
要想以低成本保证晶体的良好质量,必须采用外延生长技术。
其理由是,同在晶体制作上下工夫保证质量所需要花费的成本相比,外延生长技术的成本低得多。
离子注入的技术水平已经有很大提高,可以将MeV(兆电子伏特)的高能量离子注入到晶体内部达几微米深度。
迄今采用的气体扩散法,需要在高温中长时间地扩散杂质才能形成扩散层。
而现在,利用离子注入技术,可以分别地将杂质注入到任意位置,再经一次低温热处理,就可以获得同样的结果。
同时,低能量离子注入技术也取得很大进展,可以形成深度小于0.1μm的浅扩散层,而且精度相当高。
另外,斜方向离子注入技术也大有进展,可以在任何位置注入杂质,从而可以在低温条件下按照设计要求,完成决定晶体管性能的杂质扩散工序作业。
用固相扩散法制造源漏极浅结极为有效,已经获得35nm的浅结。
④多层布线技术
把电阻小于铝的铜,作为下一代布线材料正在引起人们的关注。
美国半导体工业协会(SIA)已经将“以铜代替铝”列入其发展规划,并制定出相应的目标和技术标准。
铜布线采用镶嵌方法制作,并利用CMP(化学机械抛光)技术进行研磨,布线形成则使用半导体级电镀技术。
铜容易在绝缘膜中扩散,所以,在采用铜布线时,需要同时采用能够防止铜扩散的势垒金属技术。
用离子束喷射法替代常用的真空溅射法,将金属喷射到硅圆片表面,这种方法使硅圆片不需要金属化的一侧带负电荷,然后让金属离子带正电荷,在负电荷吸引下,金属粒子沉积在硅圆片表面,形成十分均匀的金属薄膜。
预计离子喷射法三年后可达到实用。
在高速电路的布线中,必须同时形成低介电系数的层间膜。
氧化膜的介电系数为4.0,添加氟(F)的氧化膜,其介电系数现在可以达到3.6,利用高密度等离子CVD(化学气相淀积)技术可制作含氟的氧化膜。
⑤电容器材料
随着DRAM集成度的提高,电容器材料——氧化膜的厚度变得越来越薄。
进入90年代以来,氮化硅膜技术不断改进,并改用立体的电容器结构,以确保所必需的电容值。
但是,这种技术似乎已经接近其极限,今后有可能采用迄今没有用过的新材料,如氧化钽膜(Ta2O5)和高电容率材料(BST)等。
三.微电子技术与其它学科
微电子学是一门综合性很强的边缘学科,其中包括了半导体器件物理、集成电路工艺和集成电路及系统的设计、测试等多方面的内容;涉及了固体物理学、
量子力学、热力学与统计物理学、材料科学、电子线路、信号处理、计算机辅助设计、测试和加工、图论、化学等多个领域。
微电子学渗透性强,其他学科结合产生出了一系列新的交叉学科。
微机电系统、生物芯片就是这方面的代表,是近年来发展起来的具有广阔应用前景的新技术。
微电子学技术已经渗透到各个方面,随着科技的发展,其对各个学科的影响也会愈加深远,微电子学的发展也会更大的推动社会的发展。
[小结]
21世纪人类将全面进入信息化社会,对微电子信息技术将不断提出更高的发展要求,微电子技术仍将继续是21世纪若干年代中最为重要的和最有活力的高科技领域之一,微电子技术的发展也必将对整个社会的发展产生深远的影响。
[参考文献]
[1]蒋燕燕微电子技术的现状与未来展望微电子学概论(第二版)2
[2]晏伯武,兆春微电子技术发展与展望
[3] 张兴,黄如,李晓彦1世纪微电子技术的发展(上)
材料学院成型093班
贾志远
090602318。