ESS03波长扫描时式多入射角光谱椭偏

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sect3_3_主动光学_

按主镜的结构，主动光学分为薄镜面和拚接镜面主动光学两类：薄镜面类： VLT; Gemini ; Subaru 拚接镜面类: Keck I & Keck II; HET
使用主动光学的望远镜需要在光路中分出一束光线，将其引入沙克-哈特曼光栏检测装置。计算机检测出像差，计算准泽尼克多项式的系数，利用其与预先校正值之差来调整各促动器施力大小，并实时反馈。有的望远镜也备有开环改正机制，需要了解望远镜的受力和位置，适用于引导星亮度不足或是检测装置失灵等情况下的使用。
控制和补偿由于大气湍流引入的像畸变的技术称为自适应光学adaptiveoptics主动光学和自适应光学合在一起简称ao主动光学是在1980年代发展起来的它是在薄型主镜后方设有上百个计算机控制的促动器随时监测并抵消重力变形风力干扰和温度波动对成像的影响调整频率约001至1赫自适应光学主要补偿的则是大气湍动调整频率可达每秒上百次调整的对象也非主镜而是光路中专门设置的一块变形辅助镜大口径主镜难以承受高频调整
昴星团望远镜的自适应光学变形镜系统，安装在卡塞格林焦点处（图片提供：NAOJ）
激光引导星和多共轭点（ Multi-Conjugate ）自适应光学系统。前者是向大气中间层发射激光，激发钠原子辐射出黄光，产生人工引导星。目前凯克、双子、昴星团、加拿大法国-夏威夷望远镜、欧洲南方天文台等处均配备了激光引导星系统。至于后者，是在光路中设置数个变形镜来增大视场。另外大口径变形镜也正在开发中。
主动光学系统工作原理图（Ed JanssenVLT主镜的促动器
Gemini N主镜(8.1m)厚仅20厘米，镜后有120个促动器，能单独上下移动万分之一到千分之一头发丝厚度，只有咖啡杯大小。另外60个促动器压在主镜的周边。

光谱椭偏仪（MME）

光谱椭偏仪（MME）Spectroscopic Ellipsometer嘉仪通科技嘉仪通科技成立于2009年，总部位于武汉市东湖开发区未来科技城，拥有研发及办公面积1100多平方米，在北京、上海、成都建有办事处，并与当地科研院所合作建立了联合实验室。

嘉仪通科技是一家研发、生产和销售关于新材料、尤其是薄膜材料物性分析科学仪器的高新技术企业，从而为客户新材料的研发及改进提供理论依据和实验平台。

嘉仪通科技秉承技术创新、应用为上的价值理念，遵循“聚众之智，穷理致用”的原则，踏踏实实、认认真真做好每一台科学仪器。

嘉仪通科技拥有一批海归研发团队，解决了纳米级薄膜材料物性分析的国际难题，并获得多项荣誉。

作为薄膜材料物性分析领跑者，嘉仪通科技已建立完善的薄膜材料物性分析科学仪器产品线：●相变温度分析仪（PCA）●热膨胀系数分析仪（TEA）●光功率热分析仪（OPA）●热电参数测试系统（Namicro）●薄膜热电参数测试系统（MRS）●薄膜热导率测试系统（TCT）●薄膜热应力测试系统（TST）●薄膜变温电阻测试仪（TRT）●薄膜磁性测试系统（TMT）●霍尔效应测试系统（HET）●光谱椭偏仪（MME）......部分使用客户清华大学中科院金属所中科院电工所中科院上海微系统所福建省特检院华中科技大学北京科技大学武汉理工大学安徽工业大学武汉工程大学西华大学盐城工学院Queen Mary of University London,UK光谱椭偏仪（MME）光谱椭偏仪MME根据不同原理、特点以及应用，分为ME序列、MME序列和ME-L序列。

光谱椭偏仪采用光学技术，测量精度高，适合超薄膜，与样品非接触，对样品无破坏性且不需要真空，可用于检测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构。

ME序列快速摄谱型光谱椭偏仪ME序列光谱椭偏仪是针对工业和科研环境推出的高精度快速摄谱型光谱椭偏仪，光谱范围覆盖紫外、可见到红外，适合于进行实时和非实时检测，包括：●单层纳米薄膜样品的膜厚、折射率n（λ）、消光系数k（λ）、介电函数ε（λ）●多层纳米薄膜样品的膜厚、折射率n（λ）、消光系数k（λ）、介电函数ε（λ）●块状材料的折射率n（λ）和消光系数k（λ）●材料带隙●纳米样品表面纳米级的微粗糙度●纳米薄膜样品交界面形成的混合膜层的膜厚、各组分比例●纳米薄膜的结晶度●纳米薄膜的物性不均一分布（如，折射率梯度分布等）●各向异性的纳米薄膜●波片的位相延迟差技术参数型号ME01ME03ME05产品外观光谱范围193-1700nm其它光谱范围可定制光谱分辨率 1.5nm膜厚测量重复性0.05nm折射率测量重复性0.001典型单次测量时间10s入射角度范围40°-90°40°-80°入射角度调节方式自动调节手动调节，步进5°固定角度可测量的样品尺寸200mmx200mm400mmx400mm样品方位调整Z轴高度调节：0-10mm；二维俯仰调节：±4°样品对准光学自准直和显微对准系统软件多语言界面切换；预设项目供快捷操作使用；安全的权限管理模式（管理员、操作员）；方便的材料数据库；多种色散模型库；丰富的模型数据库，具有一键操作功能测量重复性：是指对标准样品（平面硅基底上100nm的SiO2膜层样品）上同一点连续测量30次所计算的标准差。

椭偏仪样册

样品方位调整
样品对准
软件
技术指标 ESS03VI: 370-1700 ESS03UI: 245-1700 可设置 40-90 手动调节，步距 5，重复性 0.02 PSCA（Δ在 0°或 180°附近时也具有极高的准确度）典型 0.6s / Wavelength / Point（取决于测量模式） 0.05nm (对于平面 Si 基底上 100nm 的 SiO2 膜层) 0.001 (对于平面 Si 基底上 100nm 的 SiO2 膜层) 直径 200 高度调节范围：10mm 二维俯仰调节：±4° 光学自准直显微&望远对准系统 •多语言界面切换 •预设项目供快捷操作使用 •安全的权限管理模式（管理员、操作员）
3、应用领域
ESS03 系列多入射角光谱椭偏仪尤其适合科研中的新品研发。
北京量拓科技有限公司（Ellitop Scientifc Co.,Ltd）

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文件编号：ESS03-JS-01-2012 / A / 0
ESS03 适合于很大范围的材料种类，包括对介质材料、聚合物、半导体、金属等的实时和非实时检测，光谱范围覆盖半导体的临界点，这对于测量和控制合成的半导体合金成分非常有用。并且适合于较大的膜厚范围（从次纳米量级到 10 微米左右）。
性能保证
• 高稳定性的He-Ne激光光源、先进的采样方法以及低噪声探测技术，保证了高稳定性和高准确度 • 高精度的光学自准直系统，保证了快速、高精度的样品方位对准 • 稳定的结构设计、可靠的样品方位对准，结合先进的采样技术，保证了快速、稳定测量 • 分立式的多入射角选择，可应用于复杂样品的折射率和绝对厚度的测量 • 一体化集成式的仪器结构设计，使得系统操作简单、整体稳定性提高，并节省空间 • 一键式软件设计以及丰富的物理模型库和材料数据库，方便用户使用

超薄Ag膜的椭偏光谱建模及解谱

第28卷,第5期光谱学与光谱分析Vol 128,No 15,pp 995-9982008年5月 Spectro sco py and Spectr al AnalysisM ay ,2008超薄Ag 膜的椭偏光谱建模及解谱曹春斌1,蔡琪2,宋学萍2,孙兆奇2*11安徽农业大学理学院,安徽合肥 230036 21安徽大学物理与材料学院,安徽合肥 230039摘要用直流溅射法制备了6个不同厚度的超薄A g 膜。

结合超薄A g 膜的结构特点,采用了D rude 模型联合L or entz Oscillato r 模型的解谱方法,得到1~6号样品的厚度分别为410,612,1215,2612,3010和4016nm 。

从拟合结果的消光系数k 图谱中发现,在1号到4号样品中分别于430,450,560和570nm 处出现了表面等离子体共振峰(SP R),随膜厚的增加共振峰宽化且峰位红移。

最后,利用SPR 理论计算出不同厚度A g 薄膜等离子体共振峰出现的位置,并和实验结果进行了比较。

关键词超薄A g 膜;椭偏数据解谱;表面等离子体共振吸收中图分类号:O 484 文献标识码:A 文章编号:1000-0593(2008)05-0995-04收稿日期:2006-12-08,修订日期:2007-03-23基金项目:国家自然科学基金项目(59972001),教育部博士点专项基金项目(20060357003),安徽省高校省级自然科学基金项目(JK2008B015),安徽省人才专项基金项目(2004Z029)和安徽大学人才队伍建设基金项目资助作者简介:曹春斌,1971年生,安徽农业大学理学院讲师 e -mail:caochun bin@ahau 1edu 1cn*通讯联系人 e -mail:s zq@ah u 1edu 1cn引言现代椭圆偏振光谱方法被广泛应用于各种材料的光学性质研究和分析,作为一种非破坏、非接触性的光学测量方法,样品无需特殊处理,并且测量时间短,精度高[1,2]。

碳纳米管折射率的测量

碳纳米管折射率的测量电子科学与技术学院(光信息科学与技术)周航学号:2003111193【摘要】纳米材料是一类具有重要理论价值和广阔应用前景的新型功能材料,被誉为21世纪最有前途的材料.碳纳米管在纳米材料中最富有代表性,并且是性能最为优异。

研究人员必须对碳纳米管的结构及其性能进行全面研究，在此基础上展望纳米材料的潜在应用。

本文用椭圆偏振法测量碳纳米管（以CVD化学气相沉积法合成）的折射率。

首先用EP3椭偏仪对标准SiO2薄膜的厚度和折射率进行了测量,而后用同样方法测量了碳纳米管薄膜的厚度和折射率,并对其表面性质进行了简要的分析.测得碳纳米管的厚度为4.7±0.73nm,折射率为1.29。

【关键词】碳纳米管；折射率；椭偏仪1.前言1.1 背景知识纳米材料是一类具有重要理论价值和广阔应用前景的新型功能材料,被誉为21世纪最有前途的材料.碳纳米管在纳米材料中最富有代表性,并且性能最为优异。

美国、日本、德国、法国和瑞典等国家对纳米科学技术非常重视并投入大量资金，制定了庞大的国家计划，在纳米技术领域处于领先地位。

我国在纳米科学技术的研究已取得了一定的成绩，尤其是在以碳纳米管为代表的研究方面已取得了重要进展。

但同其他国家一样，至今在工程应用方面尚未取得突破性进展。

为此，研究人员必须对碳纳米管的结构及其性能进行全面研究，在此基础上展望纳米材料的潜在应用。

本选题便是通过测量单壁碳纳米管的折射率，研究其光学性能，以期对物理性质进行深入的了解.本实验使用德国nanofilm公司的EP3反射型椭偏仪进行测量,测量数据通过EP3所附带的EP3viewv233软件处理. 首先用EP3椭偏仪对标准SiO2薄膜的厚度和折射率进行了测量,而后用同样方法测量了单壁碳纳米管的厚度和折射率,并对其表面性质进行了定性的分析.1.2碳纳米管的产生及其应用碳纳米管是纳米材料中的宠儿，它的一经发现就激起了人们的极大兴趣，经过短短的几年的发展，碳纳米管已成为纳米材料研究领域的重要组成部分。

荧光光谱仪鉴定规程

出和记录。根据各待测元素的特征X射线波长进行定性分析，根据谱线的强度进行定量分析。 2.2 构成 2.2.1 顺序式谱仪结构
顺序式谱线仪又称单通道X射线荧光光谱仪。它的分光晶体为平面晶体。这类仪器一般由四部分组成：X射线发生、X射线分光、检测和记录系统以及操作和控制系统。各系统均由专用计算机控制和操作。 2.2.1.1 X射线发生系统是由X射线管及其控制部分、高压油箱、高压电缆和X射线管冷却单元等组成。这些组成部分保证了激发源(X射线管)发射出稳定的、有一定强度的一次X射线。 2.2.1.2 X射线分光系统是由X射线分光晶体、样品室、真空抽气系统和气路系统组成。X 射线光谱仪包括SC闪烁计数器、第一狭缝、分光晶体、晶体转换器、第二狭缝和FPC流气正比计数器等。真空抽气系统包括真空泵、真空管道和真空探头。气路系统包括氩和甲烷气瓶、减压阀、流量计和自动气体调压器等。 2.2.1.3 检测和记录系统是由放大器印刷电路板、PHA的印刷电路板、探测器高压电源的印刷电路板、接口印刷电路板、防护板、插件板和电源等组成。 2.2.1.4 操作控制系统包括专用于操作系统的微处理机、定标器/定时器、记录仪接口以及光谱仪各个接口。经脉冲高度选择器分离出来的分析线脉冲高度分布，由计数率计——记录仪、定标器——定时器读出和显示。 2.2.1.5 专用计算机
首先确定每一块晶体高、低2θ角度处的测量谱线和检定样品，并调节X射线管的电流和电压，使每一谱线的测量强度值≤5kcps。闪烁计数器(SC)的连锁检定，是将CuKα线(2 θ，LiF200，黄铜)的脉冲高度分布(PHA)曲线的峰值调到2.0V(或调到仪器某一固定值)，并以此值作为标准。流气正比计数器(FPC)的连锁检定是将SiKα线(2θ，PET，玻璃)的脉冲高度分布曲线的峰值调到2.0V(或调到仪器某一固定值)，并以此值作为标准。然后测量各晶体高、低2θ两个角度处的谱线脉冲高度值(PHA 峰值)，用记录仪画图。测量完毕，按公式(1) 计算漂移值。把测量条件和每一谱线的脉冲高度测量值以及计算得到的漂移值，填入附录

利用消光椭偏仪精确测量波片相位延迟量

利用消光椭偏仪精确测量波片相位延迟量1.引言波片是基于晶体双折射性质的偏振器件，在光纤技术、光学测量以及各种偏振光技术等领域具有广泛的应用[1~3]。

其中1/4波片及1/2波片在偏振器件中应用尤其广泛。

测量波片相位延迟量的方法主要有：光强探测法[4]、旋光调制法[5]、半阴法[6]、光学补偿法[7]等。

这些方法主要基于对光强的测量，容易受光源的不稳定及杂散光的干扰，精度受到一定的限制，测量误差一般在0.5°。

我们从理论上分析了利用椭偏仪测量波片相位延迟量的可能性，讨论了其测量精度及误差来源，并利用HST-3型消光式椭偏仪[8]测量了1/4波片以及1/2波片相位延迟量。

实验表明：测量过程不受光强波动的影响，方法简单，操作方便，精确度高，测量波片相位延迟量精度达0.005°，是测量任意波片相位延迟量的有效及实用的方法。

2. 测量的原理利用消光式椭偏仪测量波片相位延迟量时，光路要调整成直通的状态。

如图1所示，其中P 为起偏器，Q 为标准1/4波片，C 为待测波片，A 为检偏器。

图1 椭偏仪测量波片相位延迟量光路图由透射式椭偏方程为[9]：tan ψ⋅e ∆i =ps T T = 2121P p s s E E E E = 1221s P s pE E E E ⋅ （1）其中ψ和∆为椭偏参数，可由椭偏仪测量。

T p ，T s 分别是样品的p 分量和s 分量的透射系数，透射波的复振幅为（2P E ，2s E ），入射波的复振幅为（1p E ，1s E ）。

设θ为波片快轴与入射面的夹角，δ为其快慢轴之间的相位延迟量，则波片的通用矩阵为[10]： G=222cos sin cos 2sin sin 2i i δδδθθ-⎛ -⎝ 222sin sin 2cos sin cos 2i i δδδθθ-⎫⎪+⎭ (2) 取入射光1E =11p s E E ⎛⎫ ⎪⎝⎭，经过一个波片后，出射光2E 为：22p s E E ⎛⎫ ⎪⎝⎭=222cos sin cos 2sin sin 2i i δδδθθ-⎛ -⎝ 222sin sin 2cos sin cos 2i i δδδθθ-⎫⎪+⎭⋅11p s E E ⎛⎫ ⎪⎝⎭=111222111222cos sin cos 2sin sin 2cos sin sin 2sin cos 2p p s s p s E iE iE E iE iE δδδδδδθθθθ--⎛⎫ ⎪ ⎪-+⎝⎭⑶ 令11s pE E E =，（3）式代入（1）得 tan ψ⋅e ∆i = 222222cos sin cos 2sin sin 21cos sin cos 2sin sin 2i iE i i E δδδδδδθθθθ--+- ⑷ 所以（4）式就是测量样品的相位延迟量的椭偏方程，只要测量椭偏参数（ψ，∆）值就能通过椭偏方程求出波片相位延迟量δ。

空间调制傅里叶变换红外光谱仪多级微反射镜倾斜误差分析

中图分类号：３．０４３１
光程差排布示意图。图１ｃ为由面阵探测器接收的两束光干叶变换红外光谱仪中，动镜的移
动情况直接影响着光谱仪的性能。为了控制调制度误差和位相误差，要求动镜保持高精度匀速直线运动，与定镜保持并严格垂直。目前，人们在动镜倾斜误差容限分析方面已进行了较多的研究＿６，１＿而对空间调制傅里叶变换红外光谱仪中＿代替动镜的关键器件倾斜误差的分析则鲜有报道。文基于本空间调制傅里叶变换红外光谱仪结构模型［，对干涉系统的７３核心器件——多级微反射镜的倾斜误差进行了理论计算，并
利用光学软件对其引起的干涉图和光谱图变化进行了模拟分析，为后期多级微反射镜的工艺制作以及整个干涉系统的公差分析和装调提供了理论依据。
１光谱仪工作原理
图１是基于多级微反射镜的空间调制傅里叶变换红外光谱仪原理图。图１ａ是该光谱仪的干涉系统结构模型，光源（）发出的光经过准直透镜后变为平行光束，由分束器分为强度相等的两束光，分别投射到两个多级微反射镜的每个子反射面上。反射后的两束光再次经过分束器，由多级微反射镜的结构决定光程差的空间分布，在探测器阵列上形成干涉图的空间采样。图１ｂ为两个多级微反射镜级次Ｉ均为４时的（）ＴＩ
涉得到的干涉图。后，放大器、Ａ／最经Ｄ转换器等，由计算机处理得到相应的归一化光谱图，图１ｄ所示。如（）
２多级微反射镜倾斜误差分析
２１多级微反射镜倾斜误差理论计算．图２是干涉系统坐标示意图，以分束器中心０为原点，

光谱椭偏仪

光谱椭偏仪
光谱椭偏仪是一种用于测量比色应变指标亮度、饱和度以及色偏的仪器。

它被广泛应用于食品、药物、纺织品、塑料、化妆品等行业，有助于了解产品质量和稳定性。

光谱椭偏仪的工作原理是，它会把被测物体的反射光谱转换为可见光谱，根据可见光谱中的颜色谱系和色温，就能准确测量该物体的亮度、饱和度及色偏。

在测试过程中，光谱椭偏仪的发射光谱与接收光谱及被测物体的反射光谱之间有着千丝万缕的关系，这些反射光谱又具有复杂的颜色结构和表面形状。

光谱椭偏仪采用三色多区域检测技术，能快速准确测量物体的亮度、饱和度及色偏误差。

其中，穿透式光谱椭偏仪，将圆形光源透射到被测物体表面，记录反射光谱全部波段，通过计算被测物体反射光谱和可见光谱的颜色谱系，从而实现对物体的精确测试。

另一种是反射式光谱椭偏仪，它直接反射光谱到被测物体，从而测量其能反射出的颜色和可见光谱的亮度、饱和度和色彩度。

光谱椭偏仪的的使用对行业发展具有重要的意义，它不仅可以通过对产品质量的检测，帮助行业企业提高产品质量，而且还能够帮助企业快速研发出更具可持续性的新型产品，以更好地满足消费者的需求。

同时，光谱椭偏仪还可以帮助降低企业的产品开发成本，改善企业的经济效益，为企业的可持续发展带来可观的收益。

总之，光谱椭偏仪是一种可以帮助行业快速发展的新型仪器，它可以准确快速地测量物体的亮度、饱和度及色偏，有助于了解产品质
量和稳定性。

它的应用不仅有助于企业及时研发新型产品，满足消费者需求，而且还能够降低企业的产品开发成本，改善企业的经济效益，为行业发展带来重要的收益。

光谱仪基本知识2

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光栅制造中的缺陷
• 伴线
• • 刻线间距的偶然的和局部的误差导致谱线轮廓形状复杂化，在较高级次的光谱中，靠近谱线会出现微弱的大多不对称的伴线。伴线相对强度较小时，并不影响分辨率，但是影响谱线轮廓的研究。
• 鬼线
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棱镜可用的材料
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例子
• λ=400nm • 熔融石英 n=1.47，dn/dλ=1100cm-1 • 重燧石玻璃：n=1.81， dn/dλ=4400cm-1
sin i + sin θ ≤ 2
mmax ≤
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2d
λ
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光栅的角色散率
d (sin i + sin θ ) = mλ ⇒ d cosθdθ = mdλ
dθ m = dλ d cos θ
• 光栅的角色散率与光栅常数d成反比 • 光栅的角色散率与光谱级数成正比 • 光栅的角色散率与衍射角余弦成反比 • 在靠近法线位置：
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最小偏向角条件
• 对于单色的入射光，偏向角θ随入射角变化而变化，对于某一个入射角，偏向角存在最小值。
ɑ i1 θ i'1 i2 i'2
dθ =0 di1
• 根据折射定律和几何关系可以得到最小偏向角条件： i1 = i'2 此时： i'1=i2=α/2 θmin=2i1-α

三波长法的原理和优点

三波长法的原理和优点
三波长法的原理是:
1. 选择样品中待测组分在三个不同波长下的吸光值,作为分析波长。

2. 利用样品在这三个波长下的吸光值建立数学模型,消除基质效应的影响。

3. 根据模型和组分在各波长的吸光系数,计算出样品中组分的含量。

三波长法的优点:
1. 可以有效消除样品基质对分析的影响。

2. 可同时测定多组分,实现多组分的准确分析。

3. 不需要复杂的样品预处理。

4. 可用于固体和液体样品的测定。

5. 分析速度快,可用于流动注射分析。

6. 可以现场实时监测和分析。

7. 分析仪器和操作简便。

8. 计算方法简单直观。

9. 可以扩展到多波长提高选择性。

10. 测定精度和准确度高。

总体来说,三波长法可以提高分析效率和准确度。

03原子发射光谱讲解

C题目：原子发射光谱法1003 几种常用光源中，产生自吸现象最小的是( )(1) 交流电弧(2) 等离子体光源(3) 直流电弧(4) 火花光源1004 在光栅摄谱仪中解决200.0～400.0nm区间各级谱线重叠干扰的最好办法是( )(1) 用滤光片(2) 选用优质感光板(3) 不用任何措施(4) 调节狭缝宽度1005 发射光谱分析中，应用光谱载体的主要目的是( )(1) 预富集分析试样(2) 方便于试样的引入(3) 稀释分析组分浓度(4) 增加分析元素谱线强度1007 在谱片板上发现某元素的清晰的10 级线，且隐约能发现一根9 级线，但未找到其它任何8 级线，译谱的结果是( )(1) 从灵敏线判断，不存在该元素(2) 既有10 级线，又有9 级线，该元素必存在(3) 未发现8 级线，因而不可能有该元素(4) 不能确定1016 闪耀光栅的特点之一是要使入射角α、衍射角β和闪耀角θ之间满足下列条件( )(1) α=β(2) α=θ(3) β=θ(4) α=β=θ1017 下列哪个因素对棱镜摄谱仪与光栅摄谱仪的色散率均有影响？( )(1) 材料本身的色散率(2) 光轴与感光板之间的夹角(3) 暗箱物镜的焦距(4) 光线的入射角1018 某摄谱仪刚刚可以分辨310.0305 nm 及309.9970 nm 的两条谱线，则用该摄谱仪可以分辨出的谱线组是( )(1) Si 251.61 ─Zn 251.58 nm (2) Ni 337.56 ─Fe 337.57 nm(3) Mn 325.40 ─Fe 325.395 nm (4) Cr 301.82 ─Ce 301.88 nm1024 带光谱是由下列哪一种情况产生的? ( )(1) 炽热的固体(2) 受激分子(3) 受激原子(4) 单原子离子1025 对同一台光栅光谱仪，其一级光谱的色散率比二级光谱的色散率( )(1) 大一倍(2) 相同(3) 小一倍(4) 小两倍1026 用发射光谱进行定量分析时，乳剂特性曲线的斜率较大，说明( )(1) 惰延量大(2) 展度大(3) 反衬度大(4) 反衬度小1085 光栅公式[nλ= b(Sinα+ Sinβ)]中的b值与下列哪种因素有关？( )(1) 闪耀角(2) 衍射角(3) 谱级(4) 刻痕数(mm-1)1086 原子发射光谱是由下列哪种跃迁产生的？( )(1) 辐射能使气态原子外层电子激发(2) 辐射能使气态原子内层电子激发(3) 电热能使气态原子内层电子激发(4) 电热能使气态原子外层电子激发1087 用摄谱法进行光谱定性全分析时应选用下列哪种条件？( )(1) 大电流，试样烧完(2) 大电流，试样不烧完(3) 小电流，试样烧完(4) 先小电流，后大电流至试样烧完1089 光电法原子发射光谱分析中谱线强度是通过下列哪种关系进行检测的（I——光强，i——电流，V——电压）？( )(1) I→i→V(2) i→V→I (3) V→i→I (4) I→V→i1090 摄谱法原子光谱定量分析是根据下列哪种关系建立的(I——光强, N基——基态原子数,∆S——分析线对黑度差, c——浓度, I——分析线强度, S——黑度)？( )(1) I－N基(2) ∆S－lg c(3) I－lg c(4) S－lg N基1117 当不考虑光源的影响时，下列元素中发射光谱谱线最为复杂的是( )(1) K (2) Ca (3) Zn (4) Fe1174 用发射光谱法测定某材料中的Cu 元素时，得铜的某谱线的黑度值(以毫米标尺表示)为S(Cu) = 612，而铁的某谱线的黑度值S(Fe) = 609，此时谱线反衬度是 2.0，由此可知该分析线对的强度比是( )(1) 31.6 (2) 1.01 (3) 500 (4) 25.41199 以光栅作单色器的色散元件，若工艺精度好，光栅上单位距离的刻痕线数越多，则：( )(1) 光栅色散率变大，分辨率增高(2) 光栅色散率变大，分辨率降低(3) 光栅色散率变小，分辨率降低(4) 光栅色散率变小，分辨率增高1200 发射光谱定量分析选用的“分析线对”应是这样的一对线( )(1) 波长不一定接近，但激发电位要相近(2) 波长要接近，激发电位可以不接近(3) 波长和激发电位都应接近(4) 波长和激发电位都不一定接近1218 以光栅作单色器的色散元件，光栅面上单位距离内的刻痕线越少，则( )(1) 光谱色散率变大，分辨率增高(2) 光谱色散率变大，分辨率降低(3) 光谱色散率变小，分辨率增高(4) 光谱色散率变小，分辨率亦降低1220 某光栅的适用波长范围为600～200nm，因此中心波长为460nm 的一级光谱线将与何种光谱线发生重叠? ( )(1) 230nm 二级线(2) 460nm 二级线(3) 115nm 四级线(4) 除460nm 一级线外该范围内所有谱线1236 光栅摄谱仪的色散率,在一定波长范围内( )(1) 随波长增加,色散率下降(2) 随波长增加,色散率增大(3) 不随波长而变(4) 随分辨率增大而增大1237 用发射光谱进行定性分析时,作为谱线波长的比较标尺的元素是( )(1)钠(2)碳(3)铁(4)硅1238 分析线和内标线符合均称线对的元素应该是( )(1)波长接近(2)挥发率相近(3)激发温度相同(4)激发电位和电离电位相近1239 下列哪个化合物不是显影液的组分？( )(1)对苯二酚(2)Na2S2O3 (3)KBr (4)Na2SO31240 下列哪个化合物不是定影液的组分？( )(1)对甲氨基苯酚硫酸盐(2)Na2S2O3 (3)H3BO3(4)Na2SO31241 测量光谱线的黑度可以用( )(1)比色计(2)比长计(3)测微光度计(4)摄谱仪1365 火焰( 发射光谱)分光光度计与原子荧光光度计的不同部件是( )(1)光源(2)原子化器(3)单色器(4)检测器1368 下列色散元件中, 色散均匀, 波长范围广且色散率大的是( )(1)滤光片(2)玻璃棱镜(3)光栅(4)石英棱镜1377 原子发射光谱与原子吸收光谱产生的共同点在于( )(1)辐射能使气态原子内层电子产生跃迁(2)基态原子对共振线的吸收(3)气态原子外层电子产生跃迁(4)激发态原子产生的辐射1552 下面哪些光源要求试样为溶液, 并经喷雾成气溶胶后引入光源激发？( )(1) 火焰(2) 辉光放电(3) 激光微探针(4) 交流电弧1553 发射光谱分析中, 具有低干扰、高精度、高灵敏度和宽线性范围的激发光源是( )(1) 直流电弧(2) 低压交流电弧(3) 电火花(4) 高频电感耦合等离子体1554 采用摄谱法光谱定量分析, 测得谱线加背景的黑度为S(a+b), 背景黑度为S b,正确的扣除背景方法应是( )(1) S(a+b)－S b(2) 以背景黑度S b为零, 测量谱线黑度(3) 谱线附近背景黑度相同, 则不必扣除背景(4) 通过乳剂特性曲线, 查出与S(a+b)及S b相对应的I(a+b)及I b,然后用I(a+b)－I b扣除背景1555 用发射光谱法分析高纯稀土中微量稀土杂质, 应选用( )(1) 中等色散率的石英棱镜光谱仪(2) 中等色散率的玻璃棱镜光谱仪(3) 大色散率的多玻璃棱镜光谱仪(4) 大色散率的光栅光谱仪1556 电子能级差愈小, 跃迁时发射光子的( )(1) 能量越大(2) 波长越长(3) 波数越大(4) 频率越高1557 光量子的能量正比于辐射的( )(1)频率(2)波长(3)传播速度(4)周期1558 在下面四个电磁辐射区域中, 能量最大者是( )(1)Ｘ射线区(2)红外区(3)无线电波区(4)可见光区1559 在下面五个电磁辐射区域中, 波长最短的是( )(1)Ｘ射线区(2)红外区(3)无线电波区(4)可见光区1560 在下面四个电磁辐射区域中, 波数最小的是( )(1)Ｘ射线区(2)红外区(3)无线电波区(4)可见光区1561 波长为500nm的绿色光, 其能量( )(1)比紫外线小(2)比红外光小(3)比微波小(4)比无线电波小1562 常用的紫外区的波长范围是( )(1)200～360nm (2)360～800nm (3)100～200nm (4)103nm1563 以直流电弧为光源, 光谱半定量分析含铅质量分数为10-5以下的Mg时, 内标线为2833.07Å, 应选用的分析线为 ( )(1)MgⅠ2852.129Å, 激发电位为4.3eV(2)MgⅡ2802.695Å, 激发电位为12.1eV(3)MgⅠ3832.306Å,激发电位为5.9eV(4)MgⅡ2798.06Å, 激发电位为8.86eV1564 下面四个电磁辐射区中, 频率最小的是( )(1)Ｘ射线区(2)红外光区(3)无线电波区(4)可见光区1565 NaD双线[λ(D1)＝5895.92Å, 由3P1/2跃迁至3S1/2; λ(D2)＝5889.95Å, 由3P3/2跃迁至3S1/2]的相对强度比I(D1)／I(D2)应为( )(1) 1/2 (2) 1 (3) 3/2 (4) 21566 下面哪种光源, 不但能激发产生原子光谱和离子光谱, 而且许多元素的离子线强度大于原子线强度？( )(1)直流电弧(2)交流电弧(3)电火花(4)高频电感耦合等离子体1567 下面几种常用激发光源中, 分析灵敏度最高的是( )(1)直流电弧(2)交流电弧(3)电火花(4)高频电感耦合等离子体1568 下面几种常用的激发光源中, 最稳定的是( )(1)直流电弧(2)交流电弧(3)电火花(4)高频电感耦合等离子体1569 连续光谱是由下列哪种情况产生的？( )(1)炽热固体(2)受激分子(3)受激离子(4)受激原子1570 下面几种常用的激发光源中, 分析的线性范围最大的是( )(1)直流电弧(2)交流电弧(3)电火花(4)高频电感耦合等离子体1571 下面几种常用的激发光源中, 背景最小的是( )(1)直流电弧(2)交流电弧(3)电火花(4)高频电感耦合等离子体1572 下面几种常用的激发光源中, 激发温度最高的是( )(1)直流电弧(2)交流电弧(3)电火花(4)高频电感耦合等离子体1727 原子发射光谱仪中光源的作用是( )(1) 提供足够能量使试样蒸发、原子化/离子化、激发(2) 提供足够能量使试样灰化(3) 将试样中的杂质除去,消除干扰(4) 得到特定波长和强度的锐线光谱1728 用原子发射光谱法直接分析海水中重金属元素时, 应采用的光源是( )(1) 低压交流电弧光源(2) 直流电弧光源(3) 高压火花光源(4) I CP光源1729 矿物中微量Ag、Cu的发射光谱定性分析应采用的光源是( )(1) I CP光源(2) 直流电弧光源(3) 低压交流电弧光源(4) 高压火花光源1730 在原子发射光谱摄谱法定性分析时采用哈特曼光阑是为了( )(1) 控制谱带高度(2) 同时摄下三条铁光谱作波长参比(3) 防止板移时谱线产生位移(4) 控制谱线宽度1731 下列哪种仪器可用于合金的定性、半定量全分析测定( )(1)极谱仪(2)折光仪(3)原子发射光谱仪(4)红外光谱仪(5)电子显微镜1735 低压交流电弧光源适用发射光谱定量分析的主要原因是( )(1) 激发温度高(2) 蒸发温度高(3) 稳定性好(4) 激发的原子线多1736 发射光谱法定量分析用的测微光度计, 其检测器是( )(1) 暗箱(2) 感光板(3) 硒光电池(4) 光电倍增管1737 发射光谱摄谱仪的检测器是( )(1) 暗箱(2) 感光板(3) 硒光电池(4) 光电倍增管1738 发射光谱定量分析中产生较大背景而又未扣除分析线上的背景, 会使工作曲线的下部( )(1) 向上弯曲(2) 向下弯曲(3) 变成折线(4) 变成波浪线1739 当浓度较高时进行原子发射光谱分析, 其工作曲线(lg I ~lg c)形状为( )(1) 直线下部向上弯曲(2) 直线上部向下弯曲(3) 直线下部向下弯曲(4) 直线上部向上弯曲1751 对原子发射光谱法比对原子荧光光谱法影响更严重的因素是( )(1) 粒子的浓度(2) 杂散光(3) 化学干扰(4) 光谱线干扰2014 摄谱仪所具有的能正确分辨出相邻两条谱线的能力，称为_分辨率_ 。

椭圆偏振光谱测量技术及其在薄膜材料研究中的应用

２椭偏技术的发展历程
椭偏的概念首先由德国科学家ＰａｕｌＤｒｕｄｅ在１９世纪末提出，１８８７年他使用Ｆｒｅｓｎｅｌ公式解释了以布儒斯特角射入水中的偏振光，反射得到的ｐ偏振光反射率不趋于０的问题［５］。Ｄｒｕｄｅ不仅仅给出了椭偏分析的理论基础，１８９０年他还使用
第６期
朱绪丹，等：椭圆偏振光谱测量技术及其在薄膜材料研究中的应用
（复旦大学信息科学与工程学院光科学与工程系，上海２００４３３）
摘要：椭圆偏振光谱测量技术通过测量线偏振光经材料表面反射后光的相对振幅与相位改变量计算得到椭偏参数，再通过椭偏参数的拟合获取样品光学性质。由于其具有非接触、高灵敏度、非破坏性等优势，广泛应用于物理、化学、材料科学和微电子等方面，是一种不可或缺的光学测量手段。本文首先简要回顾了该技术的发展历程，接着阐述了传统椭偏仪的基本原理，按照测量原理的不同可将椭偏仪分为消光式和光度式。随后，本文简单介绍了一些常用椭偏仪的基本架构、测量原理和相关应用，并比较了他们的优缺点，重点展示了复旦大学研制的双重傅立叶变换红外椭偏光谱系统。然后按照椭偏参数处理的基本步骤：测量、建模与拟合３个方面，阐述了其过程，详细剖析了参数拟合所使用的各种光学色散模型，同时通过应用实例介绍了各色散模型的应用情况。最后，对未来椭偏技术的发展方向进行了展望。关键词：椭偏技术；椭偏仪；椭偏参数拟合；光学色散模型；材料光学特性中图分类号：Ｏ４８４．５；Ｏ４３３．１文献标识码：Ａｄｏｉ：１０．３７８８／ＣＯ．２０１９１２０６．１１９５
光学测量的一项重要内容是薄膜特性———例如厚度和光学性质。常用的光学测量技术根据其原理可分为：光吸收法、干涉监控法、偏振光分析法等［２３］。其中偏振光分析法就是本文介绍的椭圆偏振光谱测量技术（后文中简称为椭偏，本文介绍的椭偏仪／椭偏技术均采用反射式），该方法是利用偏振光在材料表面反射后，相应偏振态的改变来测量该材料的光学性质。通过椭偏测试，可以获得材料的折射率、消光系数和复介电函数等光学性质，还可以进一步计算得到包括材料反射率、吸收率、透射率、光学带隙在内的相关光学特性。同时，椭偏技术还可用于获取材料组分、界面层性质和粗糙度等综合信息。

上海三科仪器有限公司

上海市上中路303号邮编：200231 销售电话：64879966 64873364椭圆偏振光谱仪系列椭圆偏振光谱技术是近年来随着现代科技的发展而迅速发展起来的光学无损检测方法，在材料、信息、化学、物理、生命科学领域具有广泛的应用前景。

它已越来越多地用于介电、半导体、金属、有机物等各种材料的光学特性、结构特征、生长过程和材料质量的快速测试与研究。

我公司经营销售的自动测厚仪、单波长/多波长自动椭圆偏振分析仪、紫外-近红外波段自动椭圆偏振光谱仪和红外波段全自动椭圆偏振光谱仪等全波段系列产品具有高准确度、高精度、最高性价比等特点，其中红外椭圆偏振光谱仪是当今国际上唯一一种红外波段、单色仪光谱型的椭圆偏振光谱仪,它比基于红外傅里叶光谱仪的椭圆偏振光谱仪便宜得多，其性能参数都达到国内领先、国际先进水平。

仪器用途应用领域 —单层膜结构和膜厚 —均匀性 —多层膜结构和膜厚 —折射率n —生长或蚀刻速度—消光系数k —多成份组成比 —结晶度 —氧化层厚度和解吸附 —表面粗糙度 —折射率梯度分布 —界面混合特性• 化学 • 通讯• 数据存贮 • 平板技术• 光刻术 • 光学镀膜 • 半导体 • 在位检测• 生命科学 • 微电子• 科研 • 教学上海市高新技术企业本企业通过ISO9001：2000质量管理体系认证本企业通过ISO13485：2003质量管理体系认证椭圆偏振光谱仪系列SC600系列自动椭圆偏振测厚仪SC600HG型气体激光光源632.8nmSC600LG型固体激光光源470nm，532nm，543nm，630nm，780nm，850nm，935nm，980nm，1064nm可选 1．光源： He-Ne激光器632.8nm或固体激光光源 2．入射角：65度3．测量膜厚厚度：1-10，000nm4．测量精度：0.1nm5．样品尺寸：Ø1-160mm6．软件①基于Windows XP的操作系统；②集成化自动数据采集、数据分析软件；③具有数据和图形输出功能。

光谱光谱分析仪测量常用参数的规范操作流程

光谱光谱分析仪测量常用参数的规范操作流程河南师范大学张豪杰光谱分析仪是光学研究以及光纤通信中常用的测试仪器，规范的使用光谱分析仪可以得到精确的测量结果。

本文以横河的AQ6370光谱分析仪为例，结合自己的测试经验，与大家分享下使用光谱分析仪进行一些常规参数的规范测量方法。

一、光谱分析仪简述：光谱分析仪是光通信波分复用检测中常使用到的测量仪器，当WDM系统刚出现时，多用它测试信号波长和光信噪比。

其主要特点是动态范围大，一般可达70dB；灵敏度好，可达-90dBm；分辨率带宽小，一般小于0.1nm；比较适合于测试光信噪比。

另外测量波长范围大，一般在600~1700nm.，但是测试波长精度时不如波长计准确。

在光谱的测量、各参考点通路信号光功率、各参考点光信噪比、光放大器各个波长的增益系数和增益平坦度的测试都可以使用光谱分析仪。

光谱分析仪现在也集成了WDM的分析软件，可以很方便地把WDM的各个波长的中心频率、功率、光信噪比等参数用菜单的方式显示出来。

二、常用参数测试光谱分析仪的屏幕显示测量条件、标记值、其它数据以及测量波形。

屏幕各部分的名称显示如下：图1：屏幕各部分的名称1、光谱谱宽的测量谱宽即光谱的带宽，使用光谱分析仪可以测量LD、发光二极管的谱宽。

在光谱的谱宽测量时，要特别注意光谱分析仪系统分辨率的选择，即原理上光谱分析仪的分辨率应当小于被测信号谱宽的1/10.，一般推荐设置为至少小于被测信号谱宽的1/5。

在实际的测量中，为了能够准确测量数据，一般选择分辨率带宽为0.1nm 以下。

分辨率带宽RES位于SETUP菜单中的第一项，直接输入所要设定的分辨率带宽的大小即可。

如下图2、3、4所示（图中只为区别光谱形状的不同），当选择的分辨率带宽不同时，从光谱分析仪观察到的光谱形状有很大的不同，并且所测量得到的谱宽大小的不同。

图2：分辨率带宽RES=0.5nm时的光谱形状图3：分辨率带宽RES=0.1nm时的光谱形状图4：分辨率带宽RES=0.02nm时的光谱形状在观察光谱谱宽的同时，也可以通过光谱分析仪读出光谱的中心频率、带宽、峰值功率和边模抑制比等参数。

烟酰胺片的近红外漫反射光谱快速、无损定量测定

ｍａｈｍａｉａｄｌｙｐｒａａｔｓｕｒｔｏｒｉｏｉａｄｂｅｓｓｍｐｅ．ｓｌＴｅｏｔｌａｋａｄｍｅｑａｅｔｅｔｌｍｏｅｓｂａｔｌｓｑａｅｍｅｈｄｆｃｔｍｉｅｔｌｔａｌｓＲｅｕｔｃｉｅｌｏｎｎａｓｈｐｉｎｎａｓｕｍａｒｎｒ
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Ｆｒｅｖｔｅｓｅｔｍｐｅｒｃｓｎｅｈｄｗｓｕｅ，ｎｅｔｇｏ（５．７４８２ｅ）ａｅｃｄｔｄｖｌｐｉｔｒａｖｐｃｕｒｏｅｓｇｍｔｏａｓｄａｄｓｃａｒｉｎ９７０７— ９．ｍｓｄｉｉｒｐｉｐｒｅｌｗｓｓｌｔｅｅｅｅｏｏ
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６９・３
烟酰胺片的近红外漫反射光谱快速、无损定量测定
李睿高鸿彬相秉仁。，，
确定６４次扫描最佳主成分数为４，均方误为３３，示集平均回收率为９．６，Ｓ．４预９５％ＲＤ为２５％。为确证近红外漫反射．８

Varioskan Flash 全波长扫描式多功能读数仪简明用户手册

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硬件操作和注意事项
8.
进样器的维护，进样器使用前需要 Prime 的维护）。进样针用完需套上保护枪头架上。
，使用后需要 Empty
和清洗（详见自动进样器，放置在进样器
9.
注意 3 个黑色的插销要保存好，用完自动进样器后要插回原位，以防止外界的光进入检测系统。
10. 如使用微量检测板，请确保微量板已洗干净，检查是否挂液。
内存硬盘计算机接口显示器浏览器
2、双击安装光盘内，点击 Next，在新出现的对话框内点击 Install Software Prerequisites，输入 SQL 数据库的密码“Thermo1”T 大写！；
3、点击 Next，在出现的界面中点击 Install Software，在新出现的对话框中输入您安装光盘上背面的 Serial Number 和 Installation Code，如果您遗忘您的软件序列号和安装码，请咨询我们的技术支持人员；
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目录 ........................................................................................................................................................................1 仪器总体介绍 ........................................................................................................................................................2 硬件操作和注意事项 ............................................................................................................................................3 仪器安装连接 ....................................................................................................................................................3 仪器使用注意 ....................................................................................................................................................3 自动进样器的维护 ............................................................................................................................................5 软件安装和操作指南 ............................................................................................................................................6 软件安装 ............................................................................................................................................................6 连接仪器 ............................................................................................................................................................8 新建用户 ............................................................................................................................................................9 数据库备份 ..................................................................................................................................................... 10 数据管理 ......................................................................................................................................................... 11 新建程序 ......................................................................................................................................................... 12 结果导出 ......................................................................................................................................................... 19 操作实例：BCA 法蛋白质浓度测定.............................................................................................................. 21