管式扩散炉操作规程

1.工艺控制软件的使用

1.1软件的启动

按下“上电”按钮，启动工控计算机，双击“扩散监控系统”图标后启动工艺控制软件，启动软件后，程序进入登录界面，选择用户名，输入密码，即可登陆。

如果修改密码，则先输入原密码，再在相应的恶框内输入新密码，按确认后就可完成修改。正确输入密码登录后，进入手动操作界面。

1.2温度设置

界面上有三个模拟温度控制器图形，分别对应扩散炉的三端温度控制器。温度控制器图形中第一行三个绿色的示值为左、中、右三个温区的控温热电偶测量值。三个热电偶之间的区域正是该设备的恒温区。第二行的三个红色示数为温度控制器的温度设定值（SV值）。三个点的SV值可以单独设置，主要供调试和维护所用，在自动运行界面中，没有开放。

温度设定值在本窗口可以修改。修改方法：点击温度控制器上的SET按钮，ＳＶ值的颜色改变，通过＂＋１＂等按钮进行修改数值，然后再次点击SET按钮，该端点的ＳＶ值将得到修改。

1.3手动界面的温度曲线和流量曲线显示

在手动操作界面中有一个记录并描叙温度的曲线图。横坐标为时间轴，起始长度为１小时，记录到一小时时，时间区域长度自动翻倍，依次类推，一直记录，在两种情况下将自动停止：

1）点击“退出系统”按键，退出工作程序；

2）进入程序工艺运行（此时将启动运行状态下的温度曲线记录）。

温度曲线是控制热电偶ＰＶ的温度记录，左端温度记录曲线显示为白色线条，中点温度记录为红线条，右端温度记录为绿线条。

见面右上角显示有系统时间，每月要注意将其与标准时间核对。

本界面还有流量曲线显示，操作同温度曲线显示，通过手动操作间界面上的“温度曲线／流量曲线”进行温度曲线显示和流量曲线显示的装换。

1.4阀动作设置

在手动操作界面的中上部有系统的气路总图和气路简图的显示，两者可以通过“气路总图／气路简图）按钮进行切换。在窗口的右下侧，有一个“设置区域”，在该区域可对电磁阀状态和气体流量进行设置。设置键为右侧中部的“＋１”等按键。在设置O2阀、N2阀、小N2阀气体阀门及流量时，相应的气体阀门将会打开，反映在屏幕上是气体简图中的阀门将会改变颜色（绿色为开，红色为关）。设置区右侧是测量数值区，可以观察到实际气体流量的大小，显示单位为L/min。

1.5舟动作设置

界面的右下角，有一个“测量值区域”。显示舟的状态（舟前进、舟后退、舟停止、前限位、后限位），舟处于那个状态，那个状态就显示红色“True”。

在手动操作屏的舟移动上只需设置舟速并选择前进或后退即可实现舟的自动动作。操作过程如下：

1）点击设置区域中的舟前进或舟后退，使其选中为有效，此时已红色突出显示。

2）单击设置区域中的舟速，使其选中为有效，然后通过软键盘设置速度值。速度值允许输入０～５００，单位mm/Min，速度设置为０表示舟停止状态，数值越大速度越快，但高速状态下不利于周的运行平稳，所以一般设置在２００～３００之间。

3）在舟的运行中，点击“舟停止”按键，周立即停止运动。

4）舟运动时，如果判断到舟的限位开关被压住，周将自动停止。

1.6调试恒温区

1）根据工艺要求在计算机上设置好所需的温度值。

2）按下面板上的“加热开”按钮。

3）当炉温达到设定温度并稳定后，用标准测温系统先测三个点：恒温区中点、左端点、右端点（如800mm长的恒温区，则测炉体中点及其左右400mm处的两点），根据测得温度的高低，对相应的温控仪的温度修正值做出修改，修改后待温度稳定10min后再测，经多次反复到三点调平后，再将热电偶放至炉体左端点处稳定15分钟以上，然后每隔3分钟将热电偶拉出50mm，根据数字表的显示情况再对相应温控仪的温度修正值作适当调整。

1.7工艺编辑

单击“数据编辑”按钮，程序进入集成工艺编辑屏。具体操作如下：

打开工艺：如果想打开其它已经编辑的工艺，只需在“打开工艺号”下拉框中选择所需工艺号即可。打开其它工艺时，当前编辑的工艺不保存。

编辑工艺：编辑工艺数据时，先用鼠标点击想要编辑数据的位置，然后单击软键盘的相应按键，即可编辑书记。程序的工艺最多为３０步，每次显示１５部，按“下一页”／＂上一页＂切换。编辑时最好从第一步开始，先编辑工艺时间，只有工艺时间不为零时才可编辑该步其它工艺。设置推舟状态，0表示停止，1表示前进，2表示后退。

点击“插入步”按钮，将出现“插入步号”的下拉框，选好插入步号后点击“确定”，即实现插入操作。删除步骤方法相同。

工艺保存：编辑完工艺后，在“编辑工艺号”下拉框中选择希望保存的工艺号，然后点击“存盘退出”，则工艺保存完毕。不想保存，则点击“不存盘退出”，回到手动操作界面。

设置工艺升温过程时一般分如下步骤：第一步温度设置为40度，时间1分钟，即设备在常温下停留1分钟。第二步升温，时间为目标温度除以6，即升温斜率为6度/分钟。

工艺曲线历史记录

点击手动界面的工艺曲线按钮，进入打开历史记录屏：

在工艺记录屏，不要选择盘符及目录，使用系统默认的目标位置。

选中文件，文件名为“年月日-工艺号.本日第n次运行此工艺号”。在左下方有相应的文件资料。

点击“删除”，可将选中文件删除。点击“返回”可退出本窗口。点击“历史数据”可查看工艺运行历史数据，在工艺运行历史数据记录屏中可查看历史时间点的各项参数，记录每6秒为一个间隔。点击“温度曲线”可打开工艺运行历史温度曲线。点击“转换文件”按钮，可把选定的记录文件转换成同名的Excel文件。

1.8工艺运行

点击手动操作屏的“工艺运行”按钮，进入操作人员运行登录屏，输入正确的工艺运行信息进入工艺运行窗口。在运行窗口左上侧，是本步工艺信息；点击“运行…”按钮，将切换为保持状态，程序运行的所有倒计时停止，其他一切如常，点击“已保持…”可切换至运行状态。点击“在线编辑”可对未运行的工艺步骤进行编辑。

1.9断点启动

控制程序在工艺自动运行时如果中途退出或因断电、死机等原因未能正常完成设定工艺，将自动生成断点信息，在手动操作屏中点击“断点启动”可查看发生断点时的各种工艺参数。点击断点启动运行将直接进入自动运行屏继续运行剩余的工艺。

1.10报警显示

单击手动操作屏的“报警窗口”按钮，将在屏幕的气路图显示区域显示系统的报警状态，相应项的灯为红色的表示在报警。如果出现“控制热偶短路或温控仪温度显示异常报警”，系统会自动地显示报警窗口，只需单击“报警窗口”按键就会解除报警状态。

1.11退出程序

点击手动操作屏中的“退出系统”按钮，输入正确的密码后，点击确定按钮即结束控制程序，程序退出后温度设定不变，流量设定全部为0。