管式扩散炉操作规程
管式扩散炉操作规程
1.工艺控制软件的使用1.1软件的启动按下“上电”按钮，启动工控计算机，双击“扩散监控系统”图标后启动工艺控制软件，启动软件后，程序进入登录界面，选择用户名，输入密码，即可登陆。
如果修改密码，则先输入原密码，再在相应的恶框内输入新密码，按确认后就可完成修改。
正确输入密码登录后，进入手动操作界面。
1.2温度设置界面上有三个模拟温度控制器图形，分别对应扩散炉的三端温度控制器。
温度控制器图形中第一行三个绿色的示值为左、中、右三个温区的控温热电偶测量值。
三个热电偶之间的区域正是该设备的恒温区。
第二行的三个红色示数为温度控制器的温度设定值（SV值）。
三个点的SV值可以单独设置，主要供调试和维护所用，在自动运行界面中，没有开放。
温度设定值在本窗口可以修改。
修改方法：点击温度控制器上的SET按钮，ＳＶ值的颜色改变，通过＂＋１＂等按钮进行修改数值，然后再次点击SET按钮，该端点的ＳＶ值将得到修改。
1.3手动界面的温度曲线和流量曲线显示在手动操作界面中有一个记录并描叙温度的曲线图。
横坐标为时间轴，起始长度为１小时，记录到一小时时，时间区域长度自动翻倍，依次类推，一直记录，在两种情况下将自动停止：1）点击“退出系统”按键，退出工作程序；2）进入程序工艺运行（此时将启动运行状态下的温度曲线记录）。
温度曲线是控制热电偶ＰＶ的温度记录，左端温度记录曲线显示为白色线条，中点温度记录为红线条，右端温度记录为绿线条。
见面右上角显示有系统时间，每月要注意将其与标准时间核对。
本界面还有流量曲线显示，操作同温度曲线显示，通过手动操作间界面上的“温度曲线／流量曲线”进行温度曲线显示和流量曲线显示的装换。
1.4阀动作设置在手动操作界面的中上部有系统的气路总图和气路简图的显示，两者可以通过“气路总图／气路简图）按钮进行切换。
在窗口的右下侧，有一个“设置区域”，在该区域可对电磁阀状态和气体流量进行设置。
设置键为右侧中部的“＋１”等按键。
在设置O2阀、N2阀、小N2阀气体阀门及流量时，相应的气体阀门将会打开，反映在屏幕上是气体简图中的阀门将会改变颜色（绿色为开，红色为关）。
扩散炉安全使用说明书
M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统安全使用说明书中国电子科技集团公司第四十八研究所2007年2月目 录1．使用环境要求 (1)2．工作条件要求 (1)3．设备调试时注意事项 (1)4．设备使用注意事项 (2)5．运行H/O合成工艺注意事项 (4)6．真空系统注意事项 (5)7．化学品的安全使用 (6)8．气体的安全使用 (7)9． 保养与维修 (8)10、碳化硅制品使用说明 (8)11、石英器件使用说明 (11)1、使用环境要求1.1 环境温度5～40℃。
1.2 相对湿度＜75％。
1.3 海拔不超过2500m。
1.4 电网电压波动不超过额定值±10%。
1.5 环境洁净度不劣于：1000级。
1.6 有良好的抽风排毒系统，每管抽风量3000～5000L/min。
1.7 无高频及较强的磁场干扰。
2、工作条件要求2.1 供电：3Ф＋中线+地线，50HZ；设备功率：序号 反应管形式 炉膛内径 单台管数 单台总功率1 开管 Ф300mm 3管/台 105KVA2 开管 Ф300mm4管/台 140KVA3 闭管 Ф330mm3管/台 128KVA4 闭管 Ф330mm4管/台 170KVA5 闭管 Ф350mm4管/台 195KVA2.2 供水：3／4＂管供自来水，水压0.1～0.3MPa，冷却用；去离子水，清洗及工艺用。
2.3 供气：N2、O2 、H2、压缩空气，进气压力0.4～0.6Mpa，工艺气体纯度99.99﹪。
2.4 气源柜、废气室、净化台顶部均应接入排毒、排气管道。
2.5 设备应接入专用接地线，接地电阻≤3 Ω。
3、调试时注意事项3.1 逐柜、逐层上电，检查各部件上电情况，注意检查机壳是否带电。
3.2控制柜及气源柜上电，检查计算机、温控仪、温度保护仪、各控制开关、指示灯、电磁阀、质量流量控制器、流量计电源等是否正常。
在计算机手动操作屏上逐一试验，看对各器件的控制是否正确无误。
17.管式加热炉操作规程
管式加热炉操作规程1 适用范围本规程适用于集输泵站升温用管式加热炉的操作。
本规程规定了管式加热炉投产前的准备、投运、运行检查及停运操作步骤。
2 操作内容2.1投运前的准备2.1.1 正确穿戴劳保用品，并进行危害辨识和风险分析，落实必要的风险削减措施。
2.1.2 岗位人员要求经过培训特殊工种作业培训，取得相应操作证书持证上岗。
2.1.3 点炉前的检查2.1.3.1炉体、保温层、安全阀、压力表、温度计齐全完好，在检定有效期内。
检查人孔应严密，附属设备正常。
2.1.3.2倒通燃料流程，检查火嘴无结焦、无堵塞，点火电极间距合适，燃烧器良好，风门、烟道挡板灵活好用。
2.1.3.3观火孔保持完好，烟道畅通，防爆门完好。
2.1.3.4顺序打开被加热介质出口阀门、进口阀门，确认流程畅通后，关闭旁通阀门，倒通工艺流程后循环10min，替换盘管内介质。
2.1.3.5烟囱绷绳和接地线良好。
2.1.3.6检查配电系统及附属线路完好后，戴绝缘手套合闸送电。
2.1.4启动鼓风机强制通风5～10min，负压水套炉应自然通风15min以上，排净炉膛内残余的可燃气体。
2.1.5点炉前与相关岗位进行联系。
2.2投运2.2.1通风结束后，按点火开关点火，燃烧稳定后，调节风门和烟道挡板开度，保持火焰处于最佳燃烧状态。
2.2.2小火烘炉4～5小时后，方可调节火焰升高炉温，按升温曲线要求进行升温。
2.2.3根据生产要求调节加热温度。
2.3运行2.3.1检查各部位无漏气、漏油、漏风等现象，燃气（油）流量计应运行正常，火焰稳定、均匀，烟囱无冒黑烟现象，燃烧器运行正常。
2.3.2 根据生产参数控制燃料用量，保证被加热介质出口温度满足工艺要求。
2.3.3定期巡检并做好参数的录取。
2.4停炉2.4.1正常停炉2.4.1.1 通知相关岗位做好流程切换前的准备工作。
2.4.1.2提前4～5小时关小燃料阀门，同时调节燃烧器风门及烟道挡板，控制火焰使炉膛温度逐渐下降。
扩散炉操作规则扩散炉操作规则
20. 在温区-SV“数据录入” 界面上点击“炉体保 温”，再点击“确定”按 钮，完成温度600℃设定 。
开机操作（十一）
21.按下各管操作面板的“加热开”
12
按钮，“加热开”的指示灯亮， 开始升温。
注意
单台扩散只能两 管同时加热！
开机操作（十二）
22.将气柜内恒温水槽的黑色
13
开关由“切”拨为“入”， 启动恒温水槽。
关机操作（四）
7. 按下各管操作面板
的“加热关”按钮， “加热关”的指示 灯亮，开始降温。
8 关闭源瓶阀门，依 次松开进、出气口 的螺母，拔出进出 气管，并分组包扎 捆好。
关机操作（五）
9. 将内恒温水槽的黑色 开关由“入”拨为 “切”，关闭恒温水槽。
10.在“状态设置”界面点击“退 出”按钮，弹出“操作提示” 界面。
M511-4W/UM闭管扩散炉 开机、关机培训
2009.06.10
开机操作（一）
1. 打开墙壁面板上压缩空气相
2
应的手动阀，并调节相应的 调压阀使其压力为： 0.7±0.1MPa。
2. 打开墙壁面板上氮气相应的 手动阀，并调节相应的调压 阀使其压力为0.4±0.1MPa。
开机操作（二）
3. 打开墙壁面板上氧气相应的 手动阀，并调节相应的调压 阀使其压力为0.4±0.1MPa。
23.检查并设定温度20℃，按
下“启动”按 钮，启动 恒温水槽 。
24.设备炉温升值设定值，待
生产。
二：关机操作
关机操作（一）
1. 检查并确定各管 工艺已运行结束。
2. 在状态界面上点 击“推舟速度”显 示框，弹出“数据 录入”界面。
关机操作（二）
3. 在“数据录入”界
管式炉的使用流程解
管式炉的使用流程解1. 管式炉的基本介绍管式炉是一种常用的工业加热设备，主要用于加热物体或材料。
它的工作原理是通过在管道中流通热介质，将热能传递给管道外的物体，从而实现加热的目的。
管式炉广泛应用于石油化工、电子、冶金等领域。
2. 管式炉的使用流程使用管式炉前，需要进行以下流程：2.1 准备工作•检查管式炉的外观是否完好，无损坏或漏气情况；•清理管道和加热腔的杂物和残留物；•检查并确认管道的连接是否紧固；•确保管道入口和出口处的阀门处于关闭状态。
2.2 开启燃气系统•打开燃气系统的进气阀门；•检查燃气进气管道是否有泄漏，如有泄漏应立即进行修复；•打开燃气系统的燃气调节阀。
2.3 点火准备•打开点火系统的电源开关；•检查点火系统的电源是否正常；•检查点火电极和火焰探测器的连接是否良好。
2.4 点火操作•用打火机或点火器将火焰点燃，接触到点火电极处；•点火后，观察燃烧情况，确保火焰稳定和齐全；•没有问题后，可以关闭点火电源开关。
2.5 温度设定和控制•打开温控装置的电源开关；•设置所需的加热温度；•确认温度控制装置显示正确目标温度；•确认温度调节装置的工作正常。
2.6 加热操作•打开管道入口处的阀门，让热介质流入管道；•观察管道内的温度变化，确保加热效果符合要求；•根据需要调整温度和加热时间。
2.7 关闭操作•关闭管道入口处的阀门，停止热介质流入；•关闭温控装置的电源开关；•关闭燃气系统的调节阀和进气阀门；•阻止燃气进入管式炉；•关闭管式炉的电源开关。
3. 使用注意事项为确保安全使用管式炉，应注意以下事项：•使用前必须检查设备的完好性和安全性；•打开或关闭燃气系统时，要小心防止火花；•避免管道和加热腔内的积水和潮湿；•加热过程中，不可将易燃物品靠近管道；•当设备出现故障或异常时，必须及时停止使用和排除故障。
以上是管式炉的使用流程解，希望能对使用管式炉的人员有所帮助，确保安全和高效的使用管式炉。
管式炉点火操作规程1份
管式炉点火操作规程
一、点火前准备工作
1、检查管式炉油路系统阀门开闭是否正确富油泵压力是否正常。
2、检查管式炉蒸汽阀门开度是否正确压力是否正常。
3、检查管式炉系统阀门仪表是否安全好用。
4、打开煤气主阀门，打开排气阀门，待冒出煤气二分钟后关闭。
5、检查煤气压力，煤气压力应大于1000Pa。
6、打开管式炉蒸汽扫阀门，（蒸汽不低于0.1MPa）待放散处大量冒蒸汽十分钟后将蒸汽关闭。
二、点火
1、首先点着点火棒伸入要点火嘴附近。
2、将分煤气阀门找开10/——20/，当火嘴点着后将煤气加大。
3、用此法依次将三个火嘴点燃。
4、调节管式炉上部翻板和下部通风翻板。
三、熄火
1、将煤气阀门逐渐关闭把炉膛内火熄灭。
2、通入蒸汽吹扫。
四、特殊操作
1、停电时或停风机时应先将煤气阀门关闭立即打开蒸汽阀门，对管式炉内气体置换。
长时间停管式炉时应将管式炉内富油吹静，关闭蒸汽阀在闭煤气阀门。
扩散制结操作规程
扩散制结操作规程1. 目 的为规范扩散制结操作流程，正确的操作设备、高效的进行生产，特制定本规程。
2. 使用范围上海超日太阳能科技发展有限公司辖区内的扩散车间。
3. 职 责3.1操作不规范可能引起原材料硅片的损耗，在进行操作之前，务必仔细阅读本规程。
3.2熟练掌握每道操作步骤。
4. 定 义4.1扩散车间只负责按规程操作，更改数据需技术部授权。
5. 程 序5.1 开启非区排风开关及扩散炉总电源。
5.2 开启水浴槽循环开关，检查每个水浴槽的设定温度以及有无循环，观察每个源瓶容量多少。
5.3开启氧气瓶开关，将阀门调节至最大，检查氧气压力是否正常（图2），正常扩散中不断查看氧气压力表，及源瓶温度（图3）。
（图2） （图3）5.4开启的扩散炉的“电源”开关按钮，进入程序操作界面，按下“炉体开”按钮，开始升温（图4）。
（图4） 5.5 插片，将清洗好的硅片从花篮中取下，两片为一单元，插进石英舟内，要求硅片较洁净的一面朝向外面。
如遇硅片表面较脏，须请示工艺员是否对其扩散。
5.6 选定相应工艺参数组，待炉温到达设定值后，按下“装舟”按钮（图5）。
（图5） 5.7 将装有硅片的石英舟用拉舟棒架于悬臂桨上，4个舟依次靠紧，按下“运行”按钮（图6），进行扩散。
（图6）5.8 扩散过程中要检查非区水浴槽的温度，水循环状况，源瓶鼓泡状况，若发现异常，应及时上报并处理。
5.9 扩散结束待悬臂桨完全出炉后用拉舟棒依次取下石英舟放入净化台，开启吹风按钮（图7），进行降温。
图（7）5.10 在扩散开始时，开启半导体电阻率测试仪器。
图（8） 开启测试仪电源、测试探针电源，方块电阻测试旋扭置于“短路”，仪器通电预热半小时。
5.11 抽检扩散后硅片的方块电阻图（9）从风冷后的每个石英舟内不同位置各取两片硅片放于盛片盒内，将测试探针升降脚踏板踩下，取下探针保护套，放下探针，旋紧螺丝将其固定。
将测试旋扭置于测试状态，把硅片扩散面朝上放在测试台上，选取硅片中心及四个边的中心，改变电源极性测出每个测试点正负两个数据并做好各项记录表单。
管式炉操作规程
管式炉操作规程(总2页)--本页仅作为文档封面，使用时请直接删除即可----内页可以根据需求调整合适字体及大小--双温区真空管式炉操作规程一、开机1. 打开电源。
2. 打开控气柜电源开关，预热15min，将流量显示仪调零。
二炼气1. 放置四个管堵，安装法兰。
2. 左右温区均以3o C/min升温至150 o C，保温30min，加热的同时抽真空，抽真空时，法兰将抽气针阀打开一点，待真空压力表降至 MPa时，分三个阶段完全打开（约3圈）针阀，至 MPa保持30min。
三、气体置换1. 关闭抽气口法兰上的针阀，打开气瓶约至以下，打开气柜上进气阀Tv1orTv2，同时观察气柜上的P1orP2压力，打开排气阀Tv3，再打开进气口法兰上的针阀2. 打开MFC1or2至阀控位置，缓慢调节“设定”旋钮至最大（1000ml/min），当法兰真空压力表达到时，关闭其上针阀，调节流量为0，打开抽气口针阀，抽气至，再关闭抽气口针阀。
3. 再二次打开进气口针阀，缓慢开流量至最大，真空压力表至，关闭进气口针阀，调节流量为0，打开抽气口针阀，抽至，再关闭抽气口针阀，完成二次气体置换。
4. 根据需要重复气体置换（步骤3），一般三次，关闭真空泵。
四、实验1. 充入保护性气体，关闭进气口针阀，等炉温降至室温，打开抽气口法兰，取出两个管堵。
2. 放入样品至热电偶位置，放入两个管堵至要求位置，安装法兰。
3. 确认抽气口针阀为关闭状态，打开真空泵，再缓慢打开针阀，真空压力表降至，分阶段完全打开针阀至，关闭抽气口针阀，关闭真空泵。
4. 打开进气口针阀，调节气柜流量至最大，使真空压力表达，打开抽气口针阀对外排气，根据实验要求调节流量，一般为100ml/min。
5. 两侧同时设定升温程序，温差不能超过300 o C。
6. 工作结束，降至室温，取出样品，再放入管堵，安装法兰。
7. 关闭进气口针阀，打开真空泵，抽至 MPa，充入保护气体，关闭进气口针阀。
管式炉用法
管式炉用法
管式炉是一种常见的热处理设备，广泛应用于金属加工、陶瓷烧结、玻璃制造等领域。
下面是一般情况下使用管式炉的基本步骤：
1. 准备工作：确保管式炉周围环境安全，并检查炉体、加热元件等设备部件是否完好。
清理炉膛，移除杂质和残留物，以免对热处理过程产生不良影响。
2. 加载物料：根据热处理的要求和物料的特性，将待处理的物料装入炉膛中。
确保物料摆放整齐，避免相互接触或堵塞炉膛。
3. 设定热处理参数：根据物料的种类、尺寸、要求以及热处理的目的，设定合适的炉温、保温时间、升温速率等参数。
这些参数将直接影响到热处理效果和物料的质量。
4. 加热过程：启动管式炉，根据设定的热处理参数，逐渐升温至目标温度。
在升温过程中，要确保升温速率适宜，避免温度变化过快或过慢对物料造成不利影响。
5. 保温处理：当达到目标温度后，保持稳定的温度和保温时间，使物料得到所需的热处理效果。
在此期间，要注意炉内的温度均匀性，避免出现温度梯度过大的情况。
6. 冷却过程：热处理完成后，将管式炉的加热源关闭，并进行适当的冷却处理。
冷却速度可以根据物料的要求选择自然冷却或辅助冷却方法，确保物料冷却到安全温度。
7. 取出物料：待物料冷却到适当温度后，可以打开炉门，小心取出物料。
注意避免烫伤或其他安全问题。
8. 清洁和维护：热处理结束后，对管式炉进行清洁和维护工作，确保设备的正常运行和延长使用寿命。
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扩散CT炉子
1.5、输入XP操作系统用户“Operator”密码“？”，进入CMI计算 机的XP系统，自动启动CMI软件。
1.6、检查并打开气柜上1-4管“CESAR”的开关，启动“CESAR”系 统
1.7、 设定各管“Paddle”温度为默
CT扩散炉简单操作
培训内容
1、开机操作 2、生产操作 3、关机操作
1、开机操作
1.1、打开气柜压缩空气 的手动阀并调节调压 阀使其压力在6Bar左 右。
1.2、打开气柜氮气和氧 气手动阀，并调节调 压阀使其压力在2Bar 左右。
1.3、打开电气柜上的 “Main Switch”在 “ON”位置，设备上 电；CMI电脑自动启 动。
2.7、进入“Boat information”界 面， 在Actual boat location 位置选择“Slider”，在Boat state位置选择“Wait for tube”，再点击“Next”按钮。
2.8、进入“Process information”界面，选择相应 的运行工艺名，在“Lots in boat”中输入相关舟的信息， 再点击“Finish”按钮
6、按下恒温箱控制面板的“RUN” 按钮，使恒温箱停止工作，再 关闭黑色的电源开关。
7、退出CMI软件，关闭CMI电脑
3.8、关闭设备冷却水，先关进 水阀，再关出水阀。
3.9、关闭电器柜总断路器， 使设备断电。
3.10、关闭气柜的氮气、氧气和压缩空气的手动阀。
3.4、设定“Spike”温度到20℃。 按下 “Manual/T_Spike/All/Setpoi nt”,输入“20” 并按确认 “ENTER”。
管式实验电炉操作步骤及注意事项
管式实验电炉操作步骤及注意事项下载提示：该文档是本店铺精心编制而成的，希望大家下载后，能够帮助大家解决实际问题。
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Centrotherm 扩散炉操作规程
内容
1．装片将来片装至石英舟上。
装片过程中,石英舟的斜度向左,将每两片正片插入同一插槽中方向从右向左。
并保证扩散面向外, 插片过程中严禁用手(包括戴手套)直接接触硅片绒面。
2. 上舟将以装好产品的石英舟放置于Slider上，如图所示：
3. 运行工艺
3.1点击Jobs,进入Jobs界面，确认tube状态并进入SETUP菜单
3.2选择BOAT LOT，可选择没有对号的Boat
3.3进入下个菜单如下．并进行如下选择,之后点击Next
3.4输入BOAT ID(石英舟架的编号)，并选择wafer尺寸
3.5勾选run（运行）的炉管
3.6选择进货时炉管状态
3.7选择recipe ,根据工艺要求选择相应的recipe，然后点击Finish
3.8确认界面．确认之前设置无误，点击OK。
3.9点击Jobs返回Jobs菜单,点击RUN就可开始自动进炉扩散
3.10当RECIPE（程序）结束后会跳出如下对话框，点OK 机台自动运行UNLOAD(硅片出炉，冷却后下片)程序。
4.常见报警及处理方法：
5.设备故障汇报机制
接到设备故障报告后，现在技术员立即到现场处理维修，半小时内无法解决，当班技术员即时通知到机台责任工程师，工程师两小时内无法解决问题，则立即通知相应的设备主管，四小时无法解决问题，通知设备经理。
管式炉操作规范和注意事项
管式炉操作规范和注意事项
操作规范:
注意事项:
1、仪器外壳必须有效接地,以保证使用安全。
2、仪器应放通风良好室内,在其周围不可放置易燃易爆物品。
3、不得放入易燃易爆物品。
4、仪器使用完要切断电源。
5、严禁物体撞击机器。
6、烘炉通蒸汽时必须先脱水,缓慢进行,防止水击。
7、烘炉过程中要加强检查,升温要匀速缓慢,严格按烘炉升温曲线进行,发现异常现象立即请示处理。
8、用完后需检查各部砌砖有无裂缝,耐火衬里有无脱落,钢架、吊挂有无弯曲变形,炉管有无变形,基础有无下沉等。
管式炉安全操作规程
If the heart is tired, a person loses his soul, and does not have a mind to do things, and everything in the world seems to have nothing to do with him.同学互助一起进步（页眉可删）
管式炉安全操作规程
一、仪器使用
1. 检查线路是否正确；
2. 开启空气开关，旋转开关，看控温仪表是否显示；
3. 进样，用炉钩将样品放到正中间，放好炉塞；
4. 安装好法兰，检查气密性；
5. 洗炉，完成加热前准备；
6. 设置仪表升温程序；
7. 点击启动键，绿色指示灯亮，长按run键1-2秒，松手，设备运行。
二、注意事项
1. 使用前戴好手套，眼罩口罩等护具；
2. 保持电炉清洁，定期检查线路是否接触良好；
3. 确保电炉周围没有导电，易燃易爆物及能破坏金属和绝缘的腐蚀性气体；
4. 静止想炉内防止可燃性液体及易溶解的金属；
5. 温度过低（300℃以下）时，升温速率不能太快；
6. 使用完毕后，切断电源，及时清理。
管式真空炉安全操作规程
管式真空炉安全操作规程《管式真空炉安全操作规程》一、概述管式真空炉是一种用于进行高温处理的设备，操作时需要特别注意安全。
为了保证操作人员和设备的安全，特制定本规程。
二、操作前准备1. 在操作前，需对设备进行检查，确认所有控制按钮和开关是否正常使用。
2. 检查管式真空炉内部是否有异物或杂质，确保操作过程中不会发生意外情况。
3. 穿戴好防护服和个人防护装备。
三、操作规程1. 在使用管式真空炉时，需按照设备操作规程进行操作，不得随意更改设备设置参数。
2. 在设备加热过程中，严禁离开操作现场，以防发生意外情况。
3. 操作人员需随时留意管式真空炉的工作状态，如有异常情况，应及时停止使用并报告相关负责人。
4. 操作人员在使用过程中，不得在设备周围设置障碍物，以免影响设备的通风散热或运行。
四、紧急情况处理1. 在使用管式真空炉时，若发生异常情况，如设备起火、冒烟等，操作人员要立即停止使用，并迅速离开现场，通知相关人员进行处理。
2. 若操作人员在操作过程中出现体感不适，应立即停止操作，并寻求相关医疗支持。
五、设备维护1. 在使用管式真空炉过程中，需定期对设备进行检查、清洁和维护，确保设备处于良好状态。
2. 在进行设备维护和维修时，需按照设备操作规程，使用正确的工具和方法，避免发生意外情况。
六、安全意识培训1. 经常对操作人员进行安全培训和教育，提高其安全意识和应急处理能力。
2. 设备操作人员需遵守相关安全规定，严格按照操作规程进行操作，切实做好安全防护工作。
七、附则1. 本规程自颁布之日起执行。
2. 本规程解释权归设备管理部门所有。
管式真空炉是一种特殊设备，操作人员在使用过程中需严格按照相关规程执行，确保自身和设备的安全。
管式炉操作规程
管式炉操作规程
《管式炉操作规程》
一、操作人员应该熟知管式炉的基本结构和工作原理，严格遵守操作规范。
二、在操作管式炉之前，检查炉体内部是否有异物，保证清洁干净，以免影响使用效果。
三、操作人员在点火前，应该确保炉体内部通风良好，防止发生气体积聚引发火灾。
四、点火过程中，要尽量避免直接用手触摸炉体和炉管，以免造成烫伤。
五、使用管式炉过程中，应该密切观察炉体温度，及时调整加热功率，保证加热效果。
六、在关闭管式炉之前，要先将加热功率调整至最低档，然后再关闭电源开关。
七、定期对管式炉进行维护保养，防止炉体内部积存灰尘和杂物。
八、操作人员在使用过程中，要随时注意炉体周围的安全情况，避免发生事故。
以上就是关于《管式炉操作规程》，希望所有操作人员能够严格遵守，确保使用安全。
18#220 氧化扩散炉操作说明
天津理工大学电子信息工程学院——天津市薄膜电子与通信器件重点实验室倾斜体加粗为注意事项氧化扩散炉操作说明厂家及型号：青岛强森电子QDQS-300-2型双管氧化扩散炉热氧化基本步骤1.按下总电源；2.利用定值法调节温控表至目标温度（如1月以上不使用，需要预热1~2天）；3.自整定一般不开，除非长时间没有使用设备，如果需要自整定，最好在使用温度附近进行自整定，并且3个温区要分别进行自整定，不可同时进行；4.按下加热开，待到一定温度后（如300℃），打开氮气瓶（减压阀不要超过0.1MPa），打开氮气压力调节，打开氮气总阀；5.调节相应管的氮气流量转子至需要值；6.温度继续升高，当需要通氧气时按上述反步骤关闭氮气，按相同步骤通入氧气，如调节氧气流量转子至3.0L/min；7.升至一定温度后，为了加快氧化速率，可转用湿氧进行氧化；8.设定电炉温度，将干/湿氧转换打到湿氧（湿氧的流量不能大于1.5L/min，容器中的水不能超过容器的3/5），长按黑色三角按钮开启电炉加热（加热温度不要超过95℃，一般设定在70~90℃之间即可），9.湿氧生长一段时间后，再转成干氧（一般干-湿-干结合），关闭电炉加热，切换成干氧；10.当降至一定温度后，关闭氧气，通入氮气，让氧化片在氮气氛围下降温；11.温度降至200~300℃之间时，可取出片子，停止氮气通入；12.实验温度设定参考（硅片放在中温区）：1）升温至400℃，放样品，通入N2（3L/min），升温至800℃；2）关闭N2，通入O2（干氧3L/min），等待30min（温度基本稳定后再开始计时）；3）升温至860℃，等待10min，升温至950℃，等待10min，升温至1050℃，等待10min；4）干氧转换湿氧（电炉加热温度80℃，≤1.5L/min），待电炉温度升至80℃后，升温至1100℃，进行生长（时间根据厚度不同）；5）生长完毕后，降温至1050℃，等待15min；6）湿氧转换干氧（3L/min），等待10min，降温至990℃，等待20min，降温至930℃，等待20min，降温至870℃，等待20min，降温至800℃，等待20min；7）降温至450℃以下，关闭O2，通入N2（3L/min），至350℃，取样品；8）在1050℃生长60min时，氧化硅的厚度约为570nm。
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1.工艺控制软件的使用1.1软件的启动按下“上电”按钮，启动工控计算机，双击“扩散监控系统”图标后启动工艺控制软件，启动软件后，程序进入登录界面，选择用户名，输入密码，即可登陆。
如果修改密码，则先输入原密码，再在相应的恶框内输入新密码，按确认后就可完成修改。
正确输入密码登录后，进入手动操作界面。
1.2温度设置界面上有三个模拟温度控制器图形，分别对应扩散炉的三端温度控制器。
温度控制器图形中第一行三个绿色的示值为左、中、右三个温区的控温热电偶测量值。
三个热电偶之间的区域正是该设备的恒温区。
第二行的三个红色示数为温度控制器的温度设定值（SV值）。
三个点的SV值可以单独设置，主要供调试和维护所用，在自动运行界面中，没有开放。
温度设定值在本窗口可以修改。
修改方法：点击温度控制器上的SET按钮，ＳＶ值的颜色改变，通过＂＋１＂等按钮进行修改数值，然后再次点击SET按钮，该端点的ＳＶ值将得到修改。
1.3手动界面的温度曲线和流量曲线显示在手动操作界面中有一个记录并描叙温度的曲线图。
横坐标为时间轴，起始长度为１小时，记录到一小时时，时间区域长度自动翻倍，依次类推，一直记录，在两种情况下将自动停止：1）点击“退出系统”按键，退出工作程序；2）进入程序工艺运行（此时将启动运行状态下的温度曲线记录）。
温度曲线是控制热电偶ＰＶ的温度记录，左端温度记录曲线显示为白色线条，中点温度记录为红线条，右端温度记录为绿线条。
见面右上角显示有系统时间，每月要注意将其与标准时间核对。
本界面还有流量曲线显示，操作同温度曲线显示，通过手动操作间界面上的“温度曲线／流量曲线”进行温度曲线显示和流量曲线显示的装换。
1.4阀动作设置在手动操作界面的中上部有系统的气路总图和气路简图的显示，两者可以通过“气路总图／气路简图）按钮进行切换。
在窗口的右下侧，有一个“设置区域”，在该区域可对电磁阀状态和气体流量进行设置。
设置键为右侧中部的“＋１”等按键。
在设置O2阀、N2阀、小N2阀气体阀门及流量时，相应的气体阀门将会打开，反映在屏幕上是气体简图中的阀门将会改变颜色（绿色为开，红色为关）。
设置区右侧是测量数值区，可以观察到实际气体流量的大小，显示单位为L/min。
1.5舟动作设置界面的右下角，有一个“测量值区域”。
显示舟的状态（舟前进、舟后退、舟停止、前限位、后限位），舟处于那个状态，那个状态就显示红色“True”。
在手动操作屏的舟移动上只需设置舟速并选择前进或后退即可实现舟的自动动作。
操作过程如下：1）点击设置区域中的舟前进或舟后退，使其选中为有效，此时已红色突出显示。
2）单击设置区域中的舟速，使其选中为有效，然后通过软键盘设置速度值。
速度值允许输入０～５００，单位mm/Min，速度设置为０表示舟停止状态，数值越大速度越快，但高速状态下不利于周的运行平稳，所以一般设置在２００～３００之间。
3）在舟的运行中，点击“舟停止”按键，周立即停止运动。
4）舟运动时，如果判断到舟的限位开关被压住，周将自动停止。
1.6调试恒温区1）根据工艺要求在计算机上设置好所需的温度值。
2）按下面板上的“加热开”按钮。
3）当炉温达到设定温度并稳定后，用标准测温系统先测三个点：恒温区中点、左端点、右端点（如800mm长的恒温区，则测炉体中点及其左右400mm处的两点），根据测得温度的高低，对相应的温控仪的温度修正值做出修改，修改后待温度稳定10min后再测，经多次反复到三点调平后，再将热电偶放至炉体左端点处稳定15分钟以上，然后每隔3分钟将热电偶拉出50mm，根据数字表的显示情况再对相应温控仪的温度修正值作适当调整。
1.7工艺编辑单击“数据编辑”按钮，程序进入集成工艺编辑屏。
具体操作如下：打开工艺：如果想打开其它已经编辑的工艺，只需在“打开工艺号”下拉框中选择所需工艺号即可。
打开其它工艺时，当前编辑的工艺不保存。
编辑工艺：编辑工艺数据时，先用鼠标点击想要编辑数据的位置，然后单击软键盘的相应按键，即可编辑书记。
程序的工艺最多为３０步，每次显示１５部，按“下一页”／＂上一页＂切换。
编辑时最好从第一步开始，先编辑工艺时间，只有工艺时间不为零时才可编辑该步其它工艺。
设置推舟状态，0表示停止，1表示前进，2表示后退。
点击“插入步”按钮，将出现“插入步号”的下拉框，选好插入步号后点击“确定”，即实现插入操作。
删除步骤方法相同。
工艺保存：编辑完工艺后，在“编辑工艺号”下拉框中选择希望保存的工艺号，然后点击“存盘退出”，则工艺保存完毕。
不想保存，则点击“不存盘退出”，回到手动操作界面。
设置工艺升温过程时一般分如下步骤：第一步温度设置为40度，时间1分钟，即设备在常温下停留1分钟。
第二步升温，时间为目标温度除以6，即升温斜率为6度/分钟。
工艺曲线历史记录点击手动界面的工艺曲线按钮，进入打开历史记录屏：在工艺记录屏，不要选择盘符及目录，使用系统默认的目标位置。
选中文件，文件名为“年月日-工艺号.本日第n次运行此工艺号”。
在左下方有相应的文件资料。
点击“删除”，可将选中文件删除。
点击“返回”可退出本窗口。
点击“历史数据”可查看工艺运行历史数据，在工艺运行历史数据记录屏中可查看历史时间点的各项参数，记录每6秒为一个间隔。
点击“温度曲线”可打开工艺运行历史温度曲线。
点击“转换文件”按钮，可把选定的记录文件转换成同名的Excel文件。
1.8工艺运行点击手动操作屏的“工艺运行”按钮，进入操作人员运行登录屏，输入正确的工艺运行信息进入工艺运行窗口。
在运行窗口左上侧，是本步工艺信息；点击“运行…”按钮，将切换为保持状态，程序运行的所有倒计时停止，其他一切如常，点击“已保持…”可切换至运行状态。
点击“在线编辑”可对未运行的工艺步骤进行编辑。
1.9断点启动控制程序在工艺自动运行时如果中途退出或因断电、死机等原因未能正常完成设定工艺，将自动生成断点信息，在手动操作屏中点击“断点启动”可查看发生断点时的各种工艺参数。
点击断点启动运行将直接进入自动运行屏继续运行剩余的工艺。
1.10报警显示单击手动操作屏的“报警窗口”按钮，将在屏幕的气路图显示区域显示系统的报警状态，相应项的灯为红色的表示在报警。
如果出现“控制热偶短路或温控仪温度显示异常报警”，系统会自动地显示报警窗口，只需单击“报警窗口”按键就会解除报警状态。
1.11退出程序点击手动操作屏中的“退出系统”按钮，输入正确的密码后，点击确定按钮即结束控制程序，程序退出后温度设定不变，流量设定全部为0。
1.12程序操作注意事项1)严禁删除计算机内已经安装的各种软件，需要重新安装操作系统或本控制系统时，需由经过培训的人员进行。
2)程序退出后将关闭所有的阀门及流量，推舟停止运行，温控仪的各个参数将保持。
3)如设备长时间不运行工艺，要关掉主机电源。
运行本程序时禁止玩游戏和运行其他程序，未经允许，不得进行磁盘操作。
2. 设备各个组件的使用2.1 碳化硅桨的使用1）首次使用前清洗A 湿法清洗：用HF:HCL:H2O=1:1:4或1:1:10，然后在去离子水中彻底清洁漂洗。
B 干燥：产品湿洗之后进入高温前必须经过彻底干燥，在干净的N2吹扫环境下，室温干燥24小时，或者在150度下干燥4小时，吹扫后必须以低速（小于8inch/min）低温（低于400℃）的状况下进入炉管。
400℃保持1小时以后，再以10℃/min的速度升温。
2）维护时的清洗A 湿法清洗：使用HF:H2O=1:4的溶液清洗，根据使用具体情况来确定清洗的周期。
B 干燥：（参照1）2.2 石英器件的使用清洗程序：1）用去离子水将石英器件冲洗干净；2）将石英管置于5%氢氟酸溶液中浸蚀5分钟；3）用去离子水冲洗干净以后，干燥待用。
注意：搬运石英件时，应小心谨慎，并随时使用棉制手套。
2.3 扩散源的使用源的灌装：1）装源的石英瓶必须清洗干净，并用N2吹干；2）确保源瓶上的阀门与瓶颈之间无泄露；3）装源必须在有良好抽风系统的房间进行，并且操作人员必须佩带能有效保护眼睛及呼吸系统的防护面具，必须戴好厚橡胶手套，不得将皮肤裸露在外。
源瓶的安放：1）在将源瓶放入恒温槽之前不得打开源瓶上的阀门。
2）向恒温槽注入深度为槽深2/3的水。
3）双手扶助源瓶，并将其倾斜，慢慢放入恒温槽对应的位置。
4）连接好气管（小管进气，通至源瓶的底部，携带源的N2从粗管排出）。
5）打开进气阀和出气阀。
注意：进气管道和出气管道千万不可接反，装好源瓶后进气阀门和出气阀门必须打开，否则通气以后会引起源瓶爆炸，对设备造成严重损坏。
2.4 安全保护及事故处理安全保护注意事项：1）设备一定要有良好的接地2）装扩散源时，必须在有良好的通风排毒的条件下进行3）当系统出现报警时，必须在彻底排除故障后方可重新开机4）进行扩散工艺时，炉口废气室、源柜的排气口，一定要与通风系统相通5）超温保护要求每天工艺前测试一次出现故障时的处理：1）扩散源出现故障时，应先关闭相应的气路的手动阀，并暂停工艺运行，待排除故障后才能继续扩散工艺2）炉子超温，会自动切断加热电源并发出声光警报，此时应先查找原因，待故障处理后再重新开启加热3）如发生液源溢出，要立即擦拭干净，并暂停工艺，仔细检查源瓶是否破裂。
保养与维护1.恒温区校准周期炉子恒温区调好以后，不是频繁连续工艺，可三个月校准一次，连续工艺，一个月校准一次。
2.炉体保温在隔一天以上的工艺之间，炉温最佳为500℃~600℃保温。
3.设备工作环境应长期保持清洁、干燥、无污染。
4.设备长期不用时，每隔一星期通电运行一次，防止器件受潮失效。
更换损坏元器件时，应尽量采用规格、型号相同的器件。
温控仪等关键器件不得采用替代品。