浅析半导体制造企业的危险废物管理

浅析半导体制造企业的危险废物管理

摘要：半导体制造企业在生产运营过程中产生的危险废物种类多、数量大，对

资源、环境等方面有较大的环保风险。本文结合半导体制造企业危险废物处置现状，提出环境安全风险控制方法，健全危险废物规范管理工作体系，构建良性循

环的环保意识。

关键词：危险废物综合治理控制、规范化管理工作体系及策略

一、概述

半导体行业是“十三五”战略新兴计划的关键发展领域，在行业飞速发展的同时，一系列

不容忽视的环境问题相继出现，特别是半导体制造企业产生的危险废物品种多、数量大、成

分复杂，往往具有一种或多种危险特性，尤其含有危险化学品的废液，其毒性、腐蚀性、易

燃性特性明显，且产生量占总量近九成。若在储存、运输、处置等过程中应对不当，会对人

员健康和生态环境造成严重危害。

二、半导体行业危险废物产出现状

由半导体制造工序直接产出的危险废物，占整体危险废物产生量约九成，剩余部分为辅

助生产线运转的前端及后端间接性产出。半导体制造中需要使用的原料主要有两类：酸、碱、有机溶剂等液体类；具有惰性、腐蚀性、易燃性、氧化性、剧毒等气态类。液体类原料在投

入制造工序后仅有微量会最终融入晶圆表面，剩余大部分原料会直接转化为废弃物通过管路

汇集至对应废液专槽专收，还有少部分原料将通过管路排至厂内废水处理系统进行处置。例

如异丙醇原液投入蚀刻、清洗等工序时，生产设备会将不同种类原液的依照设定的时长，定

量喷涂于旋转状态下晶圆表面，进行物理化学反应，再利用旋转产生的离心力将晶圆表面多

余的原液甩出，被甩出的这部分原液直接成为废液，后经换向阀将不同时期产出的不同浓度

异丙醇废液分流至异丙醇废液收集储槽或废水系统处置。此类危险废物产生的途径，对于不

同的产品、工艺、原料、规模、设备技术水平以及管理水平，产生量也是截然不同的。气态

类原料投用后产出的废气由排气装置输送至厂内对应的废气处理系统进行处置，仅产生少量

反应沉积颗粒。

三、危险废物的管理体系

半导体制造企业为365天24小时工作制，确保“原料进得来，废物出得去”是生产线稳定的基本条件。依照企业对危险废物实际生产运营管理特点应建立以下管理体系：

（1）建立危险废物管理规范制度

危险废物的整体运作执行，皆订有文件规范。涵盖上至公司最高层的环保政策，下至危

险废物清运及申报等作业细项应明文规定并确保可以实际执行，包括明确定义作为产废源头

的各部门的责任所属，以供各相关执行部门与人员在从事废弃物作业过程中可以有所遵循。

设立废弃物资源管理部门，与生产线动态结合，横向到底纵向到边，深入企业内部统筹管理

产废源头，将涉及危险废物安全环保工作纳入专业领域由专人管理，以期达成危险废物“减量化、资源化、循环再利用”的目标，并紧密联系与实际生产运营情况。

（2）规范暂存场所的分类分区

深刻汲取江苏省“3.21”天嘉宜公司爆炸事故教训：厂区危险废物产出时，必须先按其危

险特性进行分类管理。分类管理即产生源头的分类收集，参考沾染到原料的化学性质，暂存

于不同的容器内。危险废物储存分区应按照环评中设计方案进行归类分区。设置防雨、防火、防雷、防扬散、防渗漏、气体导出口、气体净化装置、泄漏液体收集装置等，并且配备通讯、照明、监控和消防设施，不相容的危险废物应有隔离间隔断。

在危险废物分类分区管理中，标示及台账必不可少。危险废物标示主要分为储存场所标

示及危险废物标示，每处储存场所标示均涵盖储存场内可以储存的危险废物清单，便于作业

人员将废弃物依据内容正确对应储存场所，确保各类危险废物置于安全的暂存场所等待清运。储存场所设置台账可以真实记录危险废物生命线轨迹，做到自危险废物的产生至终端处置全

程监管。

（3）加强对处置单位稽核

危险废物经营许可证是处置单位最重要的资质之一，是其合法合规处置危险废物的资质

证明。借鉴台湾半导体行业对于危废处置单位的年度定期或不定期稽核程序，包含查核处置

单位运营情况、环保许可、废弃物储存区、对外申报及检测、缺失整改、废水废气管理、紧

急应变处理、设备维护保养、安全及职业病防护、外包厂商、管制类化学品、防护器具、教

育训练、人员证照、消防管理等，涵盖了环保、安全、职业卫生、消防等多项内容，确保产

废单位将危险废物交付与日常运作均能合法合规的处置单位。

三、管理中仍存在的问题

1、危险废物回收再利用困难

俗话讲“废弃物是放错位置的资源”，回收再利用是企业活化危险废物处置的最终手段。

无论是企业内部自建回收利用设施，还是委托外部再利用单位回收处置，均可有效改善危险

废物的回收利用状况。但实际运行中往往遇到自建回收设施费用高昂，副产物量少无下游工

序收纳，废水废气评估不达标等情况导致产废单位自建项目无法顺利达成；在企业外部寻找

符合产废单位要求的，合法合规的回收再利用单位，因危险废物代码或主要成分不相符，处

置工艺为物理化学无害化处置而被淘汰，可选范围非常局限。

2、经营许可证换证频率高且周期长

近些年废弃物处置行业蓬勃发展，危险废物处置单位数量剧增，但危废处理能力却良莠

不齐。不少处置单位因换证申办流程复杂，提交材料众多，预约环保部门及专家现场勘察等

复核周期长等制约条件，导致其无证经营的空窗期短则1月有余，长则可达半年以上，严重

影响与之合作的产废单位日常清运，必将导致产废单位多元化寻找处置单位，但又受限于地域、产废周期及产量、处置单位资质相符程度等因素，就此陷入不良循环，使产废单位的危

险废物处置风险陡增。

四、结论

新环保法自2015年1月1日正式施行以来，引入了生态建设及可持续发展的立法理念，对环保相关技术、管理、监督、处罚等制度都进行了革新，结合半导体行业产生的危险废物

总量大、种类多、成分结构复杂且危害特性明显的产废特点，企业建立完善的环保管理体系

及规范化管理制度，严格控制产生、收集、储存、转移、处置等各环节安全环保风险是企业

稳定运行的根本保障。

参考文献:

【1】冯羽,张肖,吴群,童君君.浅析TFT-LCD行业危险废物的管理[J].江西化

工,2018(04):131-133.