原子力显微镜使用说明书

SII

操作说明书

Nanopics NPX100M001 原子力显微镜

湖南大学机械与汽车精密制造工程实验室翻译

1.1版本 1999年11月

1.2版本 2000年9月

在使用该仪器之前请认真阅读该操作手册并按里面的说明操作。把该说明书放置在仪器旁边，当遇到仪器操作的问题时请参考之。

该产品的技术受国际交易控制法和国际贸易控制法的保护，未经日本政府权威机构的书面允许不得泄漏。

©1999,2000日本精工Seiko公司。所有的权利都受保护

未经许可不得复制该手册

该说明书内容改变不再通知

前言

感谢您选择了Nanopics产品。该手册为使用注意事项和指导说明，将有助于您安全地使用本仪器，为了充分发挥该仪器的功能，请务必彻底地阅读操作说明书，必要时参考该说明书。

用途

在操作该仪器之前请仔细阅读说明书的安全指南和警告标志，并按照说明书及仪器上所示的注意事项操作，以获得一个安全的使用环境。

保修

该仪器的保修期为从交货之日起一年内。在该期间内提供免费保修，但由于不按操作说明书操作而产生的损坏除外。保修内容的详细信息请参阅5.4节的保修部分。

用户登记

为了方便使SII向您提供软件不断升级及维护服务通知，请返回Nanopics用户信息。在该说明书内有一张用户登记卡，请按卡上的传真号码寄回。若不寄回该卡则可能对该仪器的升级信息的通知及免费维修等带来不便，故建议您及时寄回。

安全指导

为了正确使用该仪器，请注意以下事项

1．在操作之前参考主要设备及附件的操作说明书，按照说明书上的指导要求操作，可保证操作的安全简便。

2．请把操作说明及安全指导书放在仪器旁边，以便于参考。

3．请注意仪器上的所有警告标志，参考后续部分的警告栏信息。

4．该仪器通过三根插线接地，为了避免触电请不要随意乱动或拔下接地线。

5．在修理设备的任何部件之前，请关掉所有的电源。

6．为了防止温升，在腔内置有通风冷却扇，请不要取下或阻碍其运转。

7．为了避免触电类事件发生，请不要把您的手或身体其他部分靠近仪器的开关，特别是通风部分。

8．请把仪器放置在稳定的位置。

9．不要在粉尘过多或温度过高的环境中使用该仪器。

10．不要改置改仪器，除非特殊情况下向SII代理商请求被许可或者在警告栏的指导下。打开或除去罩子会产生大量的电流，从而发生危险事件，如漏电或着火。

操作手册的注意点

该操作手册把注意点分成5个不同的等级。因此您可以选择装置的最佳操作环境并且使操安全保险。我们强烈建议您在想要使用该仪器前特别注意以下几点

仪器上的警告标志

下图显示了仪器上的警告标志的位置。参考上一页对这些标注栏重要性的描述。仔细阅读标签上的文字以明白其重要性。

警告标志的位置

小心

为了获得一安全的操作环境，请特别注意以下的警示标志。

目录

第一章介绍

1.1 Nanopics介绍

1.2 系统组成

1.3 各组成部分及其功能

1.4 测量的理论基础

1.5 探针的使用寿命

第二章拆包/安装/连接

2.1 拆包

2.2 安装

2.3 连接

第三章操作

3.1 仪器的启动及观察前准备工作

3.2 进针

3.3 图像观察

3.4 回退探针及取下试件

第四章参数设置

4.1 扫描速度

4.2 反馈增益

4.3 256/512帧

4.4 对比度

4.5 边界增强

4.6 高电阻

4.7 调出/保存

4.8 开始

4.9 小振幅模式

第五章维修

5.1 故障检修

5.2 更换电熔丝

5.3 日常维护

5.4 维修

5.5 定购耗损件

第一章介绍

1.1 Nanopics介绍

1.2 系统组成

1.3 各组成部分及其功能

1.4 测量的理论基础

1.5 探针的使用寿命

1.6 零部件的规格说明

1.7 操作流程图

1.1Nanopics产品介绍

该Nanopics原子力显微镜，以下简称为原子力显微镜，是利用试件和探针之间的相互作用来测量并显示纳米级的尺寸上的被测试件的外貌。该仪器由以下几个部分组成：•测量头单元（NPX100）

•控制器（Nanopics1000）

特点：

•测量头内置有自感应悬臂和抗振机构

该仪器在硅悬臂内装有一个力传感器，并采用了位移自感应悬臂，因此力改变，则悬臂的倾斜程度也变化。根据现有的技术，不必再采用激光探测系统的光学调整，进针和拿取试件是很简单的。

由于装有抗振机构的测量头，该仪器结构紧凑。

•切面及表面形状的颜色设置

对于试件表面和切面的图像可以设置颜色以易于观察。

•图像的可视输出

由于该仪器有标准的图像输出接口，因此显示的图像可以输出到大屏幕的CRT、VTR显示器上，也能进行打印。

•专门的分析软件（可选）

利用外部计算机可以通过专门的分析软件（可选）进行精确的分析和做出更高水平的图像处理，如三维方式显示、粗糙度分析、增益大小分析。

•从正上方观察探针和试件

通过光学显微镜（可选）可瞬间实现对观察区域的调整，同时也可以从正上方观察样品和试件。

1.2 系统组成

该仪器由标准部件、附件及可选件组成。根据下图检查您的部件。【】中所列的数字是产品的代码

标准零部件

标准附件

可选件