上虞市杜浦化工厂助剂整体搬迁及新增微电子化学品项目环境评估报告书

上虞市杜甫化工厂助剂整体搬迁及新增微电子化学品项目环境影响报告书（简本）目录1 建设项目概况...................................................................................................................................... - 1 -1.1项目背景及建设地点 (1)1.2项目建设内容 (2)1.3政策与规划符合性分析 (3)2 建设项目周围环境现状...................................................................................................................... - 4 -2.1环境现状 (5)2.2评价范围 (5)3 环境影响预测及污染治理措施.......................................................................................................... - 7 -3.1污染物产生、排放情况 (7)3.2环境保护目标 (7)3.3环境影响预测分析 (8)3.4污染治理措施及达标可行性分析 (9)3.5环境风险评价 (9)3.6环境经济损益分析 (9)3.7环境监测及环境管理 (10)4 公众参与............................................................................................................................................. - 11 -4.1公众参与方法、内容及对象 (11)4.2环保公告结果 (11)4.3公众参与总结 (11)5 评价结论............................................................................................................................................ - 13 -6 联系方式................................................................................................................. 错误！未定义书签。

1 建设项目概况1.1 项目背景上虞市杜浦化工厂（以下简称“杜浦化工”）成立于1990年，原厂址位于道墟镇，是一家专业从事印染助剂生产与销售的化工企业，公司原有已批产品包括柔软剂RL、匀染剂ALS-300、JFC、平平加O、乳化剂、十二烷基苯磺酸钠、洗涤剂七个产品。

杜浦化工原址位于绍嘉高速公路的拆迁范围内，为配合嘉绍跨海大桥建设、响应上虞区政府的号召，企业已于2009年全部拆迁完毕，并计划搬迁至杭州湾上虞经济技术开发区新址，搬迁后将形成年产40000吨微电子化学品（超纯二氧化硅磨料、后清洗液）、5600吨纺织印染助剂产品生产线。

搬迁前后产品方案具体见表1.2-1。

搬迁前企业印染助剂的总产能为650t/a，随着近年来纺织服装业的蓬勃发展，已远远不能满足市场的需求，为此企业搬迁后扩大了产能，同时调整了助剂的种类。

项目微电子化学品作为电子产品表面处理液，属于高端产品，其市场行情与集成电路发展息息相关。

集成电路技术以摩尔定律速度飞速发展，电子器件体积越做越小而功能越来越强大，这就要求在更小尺寸上做出更多的电子电路，为达到这一目的，要求集成电路生产过程中的晶圆表面可接受分辨率与平整度达到纳米级甚至埃级水平，为此只有对晶圆表面实现全局化平坦才能满足这一要求。

到目前为止，采用CMP手段是公认的唯一能够对半导体晶圆实现全局化平坦要求的先进技术，该工艺使用的抛光液中碾磨料的好坏对集成电路最终表面的平整度有着重要影响，根据调查，目前市场上的抛光液中磨料以SiO2、Al2O3、CeO2为主，而二氧化硅磨料以其低硬度、低损伤、高加工精度以及环境友好等优点已成为抛光液的主流，随着集成电路的发展，其应用市场迅速增长；而后清洗液主要是配套集成电路抛光后的表面清洗除杂，目前主要采用非离子表面活性剂纯水溶液，本次项目选用单硬脂酸甘油酯。

项目超纯二氧化硅磨料技术来自于中国科学院上海微系统与信息技术研究所与上海新安纳电子科技有限公司共同自主研发的成果，采用以活性硅胶（固体）为原料，通过控制工艺参数，首先使硅胶溶解，分散于水中成为纳米级小颗粒状的硅溶胶，然后在一定温度和时间等参数的作用下使小颗粒缩聚成一定尺寸级别（纳米级）的匀质、稳定态颗粒，并通过过滤、离子交换等手段去除溶液中的颗粒、盐份等杂质，最终使产品的性能达到行业要求。

该工艺技术目前为世界首创，与传统的有机硅水解工艺（如硅酸甲酯，经水解后生成二氧化硅和甲醇，然后对甲醇进行精馏提纯获得成品）相比，该工艺生产过程不产生有机醇等有机废气，安全性高，同时该工艺能耗相对传统工艺要低；另外，该工艺技术对参数的控制可使其粒径的大小稳定均匀，与传统工艺相比产品质量的可控性好。

因此，项目二氧化硅磨料采取的工艺比传统工艺有较大的先进性。

为此，杜浦化工拟投资7000万元，在杭州湾上虞经济技术开发区新征用地20亩，购置静态化料釜、超滤浓缩器等国产先进设备，形成年产40000吨微电子化学品（超纯二氧化硅磨料、后清洗液）生产能力，同时利用原有的市场优势和技术优势，对现有的纺织印染助剂产品进行适当的优化，形成年产5600吨纺织印染助剂生产能力。

1.2 项目建设内容1.2.1 工程概况项目名称：助剂整体搬迁及新增微电子化学品项目建设单位：上虞市杜甫化工厂建设性质：搬迁扩产总投资：7000万元建设地点：杭州湾上虞经济技术开发区项目工程组成表见表1。

1.2.2 产品方案产品方案见表2。

1.2.3 生产工艺超纯二氧化硅磨料：以活性硅胶、氢氧化钠为原料经溶解、压滤、超滤浓缩、缩聚、超滤浓缩和树脂交换得到最终产品。

柔软剂RL：以硬脂酸、羟乙基乙二胺、硫酸二乙酯为原料，经缩合1、缩合2、中和和切片得到。

匀染剂ALS：以聚乙二醇、油酸、甘油聚醚为原料，分别经酯化1和酯化2、最终混合得到。

项目其余产品均为复配加工。

1.3 政策与规划符合性分析1.3.1 生态功能区规划符合性分析本项目位于杭州湾上虞经济技术开发区，属于优化准入区中杭州湾上虞工业园区生态工业建设生态环境功能小区(编号：Ⅰ3-10682D01)，见附图7。

该项目生产的微电子化学品属于新型材料，可提升企业水平和园区产业层次，助剂产品污染相对较轻，项目的建设严格执行了三级审核管理制度。

因此，该项目的建设符合当地的生态环境功能区规划。

1.3.2 规划符合性分析项目位于杭州湾上虞经济技术开发区，符合当地城市的总体规划和开发区的用地规划；根据当地环境功能区划，厂址区域环境空气属二类功能区，水环境功能区划为Ⅲ类水体，声环境属3类功能区，可满足项目建设要求；本项目所生产的产品属于精细化工产品，符合开发区产业定位；项目在企业现有厂区内实施，位于中心河以北、北塘河以南区域，符合开发区产业布局规划。

1.3.3 政策符合性分析据查《产业结构调整指导目录(2011年本)》（修正），该项目生产的产品及生产工艺不属于国家限制类和禁止类，因此属于允许类；经查《浙江省淘汰落后生产能力指导目录（2012年本）》和《绍兴市产业结构调整导向目录（2010-2011年）》，本项目不属于限制发展和禁止发展项目，且经杭州湾上虞经济技术开发区立项批准；本项目的建设未违反《关于加强全省工业项目新增污染控制的意见》浙政办发〔2005〕87号意见精神，符合浙江省产业政策。

2 建设项目周围环境现状2.1 环境现状2.1.1 周边环境概况本项目位于杭州湾上虞经济技术开发区，厂区东侧临经十三路；南侧为润辉化工；西侧为大井化工；北侧为宏泽化工。

2.1.2 周边环境质量现状（1）大气环境质量现状根据近期园区环境空气监测结果，常规污染物SO2监测浓度在0.02-0.071mg/m3之间，NO2在0.018-0.055mg/m3之间，PM10在0.088-0.147mg/m3之间，TSP在0.154-0.289mg/m3之间，各监测结果均符合《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中的二级标准要求；在特征因子方面，氨监测结果在0.037-0.165mg/m3之间、HCl在0.017~0.049mg/m3之间、臭气浓度小于19。

因此，园区及周围敏感点特征污染物基本符合相关环境质量标准要求。

（2）地表水环境质量现状上述监测结果表明，园区内河水质较差，已不能满足Ⅲ类水体的环境功能要求。

根据调查，超标原因主要是内河受到周边生活、农业面源以及园区初建时期化工企业污染的影响。

但是近年来园区经过了多年的整治，总体水质有所改善。

（3）地下水环境由地下水水质现状监测结果可知，项目区域地下水监测因子中氨氮为Ⅴ类，亚硝酸盐、COD Mn为Ⅳ类，项目拟建地地下水的水质不满足环境质量要求。

据分析，地下水水质超标一方面与受污染的地表水补给有关，另一方面与农药、化肥等过量使用，污水灌溉等农田径流的影响有关。

目前该区域地下水无开发利用计划，也尚未划分功能区。

（4）声环境该项目所在地昼夜噪声均能满足功能区划的《声环境质量标准》（GB3096-2008）中3类功能区标准。

2.2 评价范围（1）大气根据估算模式计算结果，本项目为三级评价，根据导则规范，大气环境影响评价范围为以生产区为中心，南北向为主轴，长5km，宽5km，面积约25km2的矩形范围。

（2）地表水该项目污水经上虞污水处理厂处理后排入杭州湾，内河水系为杭州湾上虞经济技术开发区周围主要河流，评价范围为项目所在地上、下游合计约3km的河段。

（3）地下水本项目地下水评价等级为三级，评价范围为所在厂区周边20km2的地区。

（4）噪声厂界及厂界外200m的范围内。

（5）风险根据导则，环境风险评价等级为二级，评价范围以生产区为中心，距离源点3km 的范围。

3 环境影响预测及污染治理措施3.1 污染物产生、排放情况三废产生排放情况见表33.2 环境保护目标本项目主要保护对象情况见表4。

3.3 环境影响预测分析（1）环境空气影响由预测结果可以看出，正常工况下，项目助剂车间排气筒1#醋酸最大地面小时质量浓度为4.04×10-4mg/m3，占标率为0.2%，最大地面小时质量浓度出现在下风向325m处；在非正常工况下，醋酸最大地面小时质量浓度为8.09×10-3mg/m3，占标率为4.04%，最大地面小时质量浓度出现在下风向325m处；正常工况下，HCl最大地面小时质量浓度为1.58×10-3mg/m3，占标率为3.16%，最大地面小时质量浓度出现在下风向325m处；在非正常工况下，HCl最大地面小时质量浓度为3.16×10-2mg/m3，占标率为63.22%，最大地面小时质量浓度出现在下风向325m处。