蚀刻水洗作业规范(002)
槽式湿法刻蚀清洗设备安全操作及保养规程
槽式湿法刻蚀清洗设备安全操作及保养规程1. 引言槽式湿法刻蚀清洗设备被广泛应用于半导体制造和微电子技术领域，用于清洗和刻蚀微细加工的工件表面。
为了保证清洗设备的安全运行和延长设备的使用寿命，本文将介绍槽式湿法刻蚀清洗设备的安全操作和保养规程。
2. 安全操作规程2.1 设备布置与操作环境1.将清洗设备放置在平稳的地面上，并保证设备四周的通风良好。
2.设备周围应设立明显的警示标识，以提醒操作人员注意安全。
3.操作区域应保持整洁，并定期清理设备表面和周围的废料，避免积聚导致安全隐患。
4.操作设备的环境应保持干燥，避免水或其他液体进入设备内部。
2.2 操作流程和注意事项1.在操作设备之前，必须先穿戴个人防护装备，包括防护眼镜、手套和口罩等。
2.在操作设备之前，需要进行设备的预热和检查，确保设备运行正常。
3.操作人员应按照设备的操作手册和操作流程进行操作，切勿随意更改设备参数。
4.操作人员在操作过程中应保持警觉，及时发现异常情况，并及时报告和处理。
5.在设备运行期间，切勿将手指或其他物体伸入设备内部，以免造成人身伤害。
6.在设备运行期间，切勿随意拆卸设备的保护罩或其他部件，以免影响设备的正常运行。
7.定期对设备进行维护保养，包括清洁设备内部杂质、更换滤网等。
3. 设备保养规程3.1 设备清洁与维护1.每次使用设备后，应及时清理设备内部的杂质，并使用干燥的布擦拭设备表面。
2.设备每日使用结束后，应对设备进行彻底的清洁，确保设备内部和外部的清洁度。
3.定期更换设备的滤网和过滤器，避免杂质积聚导致设备故障。
4.定期检查设备的电源线、连接线等，确保电气设备的安全性能。
5.随时检查设备的密封性能，及时更换损坏的密封件，避免液体泄漏。
3.2 定期保养与维修1.按照设备的保养手册要求，定期进行设备的保养与维修工作。
2.定期检查设备的运行状态和参数，及时调整和修复异常情况。
3.定期更换设备的耗材和易损件，确保设备的正常运行和安全。
蚀刻工序作业指导书
蚀刻工序作业指导书1.0 目的建立详细的作业规范，籍以稳定品质，提升生产效率，并作为设备保养、员工操作的依据，此文件同时也是本岗位新员工培訓之教材。
2.0 适用范围本作业规范适用于本公司蚀刻（含去膜、退锡）工序。
3.0 职责电镀班具体负责落实本指导书的实施及蚀刻设备的维护与保养。
4.0 作业内容4.1 作业流程4.1.1 内层（负片）蚀刻作业流程烤板→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→退膜→清洗→烘干→蚀检→转黑化工序4.1.2 镀锡板蚀刻作业流程退膜→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→强风吹干→自检→退锡→烘干→蚀检→转下工序4.1.3 镀金板蚀刻作业流程退膜→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→强风吹干→自检→酸洗→清洗烘干→蚀检→转下工序4.1.3 若外层线路使用负片菲林，其蚀刻流程同4.1.1。
4.2 蚀刻工序设备及物料清单蚀刻机、褪膜机、褪锡机、排骨架、猪笼架、放板台、去膜槽、水洗台、软毛刷、蚀刻子液、褪铅锡药水、褪膜篮、NaOH、氨水、柠檬酸、胶盆。
4.3 基本流程说明4.3.1 退膜：通过强碱溶解表面油墨/干膜使之退去，露出所需之铜。
4.3.2 蚀刻：在碱性强氧化剂的条件下，将线路板上之多余铜面除去。
4.3.3 退锡：去除蚀刻后图形上的抗蚀锡层。
4.3.4 酸洗：清洗金面轻微氧化，防止氧化加深。
4.4 工艺参数及操作条件4.5 工艺维护4.5.1 退膜槽配槽4.5.1.1 打开槽底排水开关和水泵，把废液抽至污水处理站，抽完后关闭水泵。
4.5.1.2 戴上长袖耐酸碱橡胶手套及防护面具，关闭排水开关，注满清水；4.5.1.3 开启电源与泵浦，对整个槽体全面喷洒5min，然后关闭电源与泵浦；4.5.1.4 打开盖板，用清洗工具彻底清洗槽内壁；4.5.1.5 打开槽底排水开关，把废液排出，并用高压水枪冲洗干净；4.5.1.6 将槽内注入3/5槽体积的清水；4.5.1.7 另用一小槽注满水，加入9kg NaOH，搅拌至完全溶解4.5.1.8 将泵浦电源打开，让水流动起來，再緩緩将NaOH溶液倒入槽内；4.5.1.9 添加完成后，循环20min，使药水达到完全搅拌均勻；4.5.1.10 通知化验人取样化验，各项管控点都在要求范围之内后方可进行生产。
蚀刻工艺流程及操作要求
蚀刻工艺流程及操作要求下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
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首先，要确保蚀刻机台处于正常工作状态，检查电源、气源是否畅通，以及蚀刻液是否充足。
蚀刻机设备安全操作规程
蚀刻机设备安全操作规程1. 前言蚀刻机是一种用于制作电子器件的重要设备。
由于其工作原理和使用场景的多样化，蚀刻机在使用过程中存在一定的安全风险。
因此，为了确保操作人员的身体安全和机器设备的稳定运行，本规程将介绍蚀刻机设备的安全操作规程。
2. 环境要求蚀刻机通常需要在特定的环境下使用，因此，在使用蚀刻机前，请确保以下环境达到要求：•使用房间保持干燥：尽量减少水汽、潮湿等因素的干扰。
•使用房间通风：防止有害物质的积累。
•安装环境整洁：避免杂物阻碍机器正常运行。
3. 操作注意事项在使用蚀刻机时，请注意以下事项：3.1 设备检查在使用蚀刻机之前，请检查设备是否符合要求：•装置稳定：设备安装位置稳定，不会晃动。
•电源是否正常：注意电线的连接是否正确，并确保电线是否在室内电线管内。
3.2 使用材料蚀刻机使用的材料应该符合以下标准：•电路板尺寸：应与所选蚀刻机匹配，防止松动或卡住。
•电路板厚度：应与所选刀具尺寸匹配，防止太薄导致破损，或太厚导致钝化。
3.3 操作技巧在使用蚀刻机时，请采用以下技巧：•压力平衡：在钳夹处应用均匀的压力，保证所使用的材料紧固。
•稳准不晃：在移动蚀刻机过程中，注意保持机器的平衡和稳定。
•遵循使用期限：注意刀具使用期限，使用过期刀具可能会导致逆转或损坏，需要及时更换。
•切勿过度运转：在蚀刻机的使用过程中，注意不要过度运转，这样会导致设备的损坏和晃动。
3.4 安全防护在使用蚀刻机时，请注意以下安全防护：•佩戴个人防护装备：戴上眼镜、口罩、手套等防护装备，以保护自己。
•操作前准备：操作人员应仔细阅读用户手册，并确认无误后再进行操作。
•保持沉着冷静：在操作过程中，保持冷静，不要过度紧张。
3.5 维护保养为了保证设备的稳定运行，请注意以下维护保养项：•清洁设备：在操作完毕后，请清洁设备并妥善存放。
•定期检查：定期检查设备的运行状态和维修情况，并及时维修或更换配件。
4. 总结蚀刻机是一种用于制作电子器件的重要设备，为了保证操作人员和设备的安全，需要遵循一定的操作规程。
蚀刻安全注意事项
蚀刻安全注意事项
1. 提前评估材料的安全性：在进行蚀刻之前，需要对蚀刻材料进行评估，确保其不会产生有毒气体或有害物质。
2. 使用适当的个人防护装备：在进行蚀刻操作时，应佩戴适当的个人防护装备，如防护手套、防护眼镜和口罩，以防止腐蚀剂溅到皮肤、眼睛或呼吸道。
3. 在通风良好的环境中进行蚀刻：蚀刻过程中产生的腐蚀剂蒸气有可能对人体健康造成危害，因此应在通风良好的环境中进行蚀刻操作，或者在操作区域设置合适的排气设备。
4. 尽量避免直接接触腐蚀剂：在操作过程中，尽量避免直接接触腐蚀剂。
如果不慎溅到皮肤上，应立即使用大量清水冲洗，并及时就医。
5. 正确处理蚀刻废液：蚀刻废液是有害废物，应当按照法律法规的要求进行正确的处理和处置，以保护环境。
6. 严格控制蚀刻时间和温度：蚀刻过久或温度过高可能导致不良的蚀刻效果，甚至材料损坏，因此应严格控制蚀刻时间和温度。
7. 小心操作：在进行蚀刻操作时要小心谨慎，避免因操作不当引起事故或材料破坏。
8. 定期检查腐蚀设备和器材：定期检查腐蚀设备和器材的工作状态，及时修理或更换损坏的部件，以确保蚀刻操作的安全性。
9. 储存和使用蚀刻剂时要密封保存：蚀刻剂是有毒化学品，应储存在防火防爆的容器中，放置在儿童无法接触的地方。
10. 接受专业培训：如果没有足够的蚀刻操作经验，应接受专业培训，了解蚀刻的原理、操作规程和安全注意事项，以保证操作的安全性。
蚀刻线岗位操作指引规范标准
6.9在每班生产前必须通知化验室分析药水及测量各药水缸温度。
6.10蚀刻线生产时显影必须自检，蚀刻后必须抽检。
6.11生产线药水添加时必须有领代班、主管或工程师在场确认，防止意外事件发生。
蚀刻线岗位操作规
制作单位：
文件编号：
生效日期：
版本号：
总页数：第4页 共6页
5.4接板
5.4.1戴棉手套或指套双手对角拿板,将板平整的放绿板上，注意拿板位置尽量拿板边缘。
5.4.2将生产板与绿胶片摆放整齐。
5.4.3连续生产时，一旦发现出板不连续必须立即查看蚀刻机是否在卡板。如果出现卡板，立即按下红色的急停按扭，由领班或储干轻轻取出所卡之板，如取出所卡之板需拿出输送轮、轴时，要由领班或储干拿出，并做好记号，按原位装回，不得调乱位置。
0.2mm厚的钢片
0.4-0.7 m/min
0.5 m/min
压力水洗
压 力
0.8-1.2 kg/cm2
1.0 kg/cm2
1次/班
去 膜〔600+600〕L
氢氧化钠
3-5%
4%
25kg
1次/4天
1次/班
上压力
0.8-1.4 kg/cm2
1.1 kg/cm2
下压力
1.0-1.6 kg/cm2
1.3 kg/cm2
带阻焊桥的产品
32℃
0.9-1.1m/min
CO32-8-15g/L
蚀刻线岗位操作规
制作单位：
文件编号：
生效日期：
版本号：
总页数：第2页 共6页
蚀刻作业指引
工作指引 蚀刻作业指引 制表： 日期： 2009.3.5 审核： 日期： 2009.3.5
文件编号 版本 生效日期 页次 批准： 日期：
EDI-010
液泵有无松动、 确定无异常后方可 日期： 2009.3.5 审核： 日期： 2009.3.5
文件编号 版本 生效日期 页次 批准： 日期：
EDI-010
②.将产品放入蚀刻机传送带上，两盘并排（特殊产品除外）。 4.3.3.产品上清洗架： ①.产品蚀刻后，将产品放入清洗夹具上，待清洗。
5.參考文件 5.1《蚀刻机作业指导书》 6.記錄 6.1《蚀刻药水测量记录》
生产前先空转设备23分钟观看传动链条传动齿轮行辘主传动接头液泵有无松动腐蚀转动不畅振动等异常现象
工作指引 蚀刻作业指引 制表： 日期： 2009.3.5 审核： 日期： 2009.3.5
文件编号 版本 生效日期 页次 批准： 日期：
EDI-010
1.目的：规范蚀刻作业，确保蚀刻作业的质量与安全。 2.范围：蚀刻生产小组 3.职责： 3.1作业前准备：作业安全措施的准备。 3.2蚀刻药水调配：根据产品的蚀刻要求，调配出符合生产要求的蚀刻药水。 3.3蚀刻作业：机器参数，产品输入，清洗上架。 4.作业内容： 4.1 作业前准备： 4.1.1、防护用品的准备：蚀刻作业人员要戴防护眼镜、耳塞、手套、口罩，穿水鞋。 4.2 蚀刻药水调配：(蚀刻液缸的总容积：900 L） ① 药水成份：三氯化铁、水、盐酸 ② 成份含量： 三氯化铁：320 kg 水： 510 kg 盐酸: 17 L ③ 药水浓度：39±1° ④Fe3+含量标准：110~130g/L ⑤ 药水温度：42±1° 4.3 蚀刻作业： 4.3.1.蚀刻机作业参数： ① 过热保护器设定温度为:48℃; ② 2米蚀刻段喷淋压力：2.5-3.O KGF; ③ 泵洗及酸洗喷淋压力:1.5-2.O KGF; ④ 循环水洗喷淋压力：1.5-2.O KGF; ⑤ 清水洗喷淋压力:1.5-2.0 KGF; ⑥ 蚀刻机传送速度: Run = 0.6 ~ 15.0 （ 根据产品加工要求而定） 4.3.2.产品输入： ①.生产前先空转设备2-3分钟,观看传动链条、传动齿轮、行辘、主传动接头、液泵有无松动 腐蚀、转动不畅、振动等异常现象；喷嘴水形有无改变；确定无异常后方可正常作业 (比例：38%) (比例：60%） （比例：2% ）
环保银蚀刻液工艺操作规范
Q/YS.816环保银蚀刻液
Q/YS.816环保银蚀刻液可用于银镍合金、银铜合金以及纯银的砂面处理，处理后板面有均匀而平整的砂面。
本剂对油墨没有影响，可用于花纹蚀刻处理。
使用方法：
1、原液使用，不须加水，操作温度可以是25℃-60℃，温度越高，速度越快。
2、将银板浸泡在银砂面剂中。
搅拌药水，使药水与银充分均匀反应；或者也可以用摇床，使药水来回动运，使银板砂面速度加快。
但不能超声波，以免破坏（感光）油墨。
3、浸泡时间为1-2分钟，随后水洗，烘干。
注意事项：
1、有腐蚀性，不与皮肤接触。
2、要用塑料容器盛装，不能用金属器皿盛装。
刻蚀机操作规程范文
刻蚀机操作规程范文一、安全操作规程1.操作人员必须穿戴好劳动防护用品，包括防护眼镜、防护手套和防护服等。
2.操作人员应熟悉刻蚀机的操作原理和技术要求，严禁未经培训人员擅自操作。
3.在开始操作刻蚀机之前，应仔细检查设备的电气系统和液压系统是否正常，如有异常应及时上报维修人员。
4.刻蚀机操作时严禁穿戴松散衣物，以免被卷入机器内部。
5.在操作刻蚀机过程中，不得拆卸设备的任何部件或对设备进行未经授权的维修。
6.刻蚀机进行停机维修和保养时应切断电源，并在相关操作位置设置明显的停工标识。
7.当设备出现异常情况或故障时，操作人员应首先切断电源，并及时上报维修人员。
二、操作规范1.操作人员必须事先了解要加工的工件的尺寸、形状、要求等相关信息。
2.设置加工参数前，应先按照工件要求选择合适的加工刀具和工艺。
3.对于磨损或损坏的刀具，应及时更换，以确保加工质量。
4.在操作前需要仔细清洁工作台面和夹具，以确保工件固定稳定。
5.在操作过程中，应严格按照加工程序和工序要求操作，并注意仪器仪表的正常显示。
6.加工过程中要注重观察工件和加工刀具的状态，发现异常应及时进行调整或更换。
7.切勿离开工作岗位，操作人员应随时注意设备的运行状态，以及周围的安全情况。
8.不得在设备运行过程中对工件进行干扰或触碰，防止发生意外伤害。
三、维护保养规程1.刻蚀机在每日操作之前和操作之后应进行必要的清洁工作，包括清理切割区域和液压系统。
2.定期检查和更换液压系统中的液压油，并保持油温在规定的范围内。
3.对设备的电气系统进行定期检查，确保电缆和线路的连接牢固可靠。
4.定期检查设备的刀具固定装置，确保刀具的固定性和稳定性。
5.对设备的重要零部件进行定期润滑和保养，延长设备的使用寿命。
6.定期进行设备的维修保养，以确保设备的正常运行和性能稳定。
四、应急处理规程1.发生设备故障或异常情况时，操作人员应立即停止操作，并切断电源。
2.在紧急情况下，若需进行切割、解救等处理，应采取安全、快速、有效的措施。
蚀刻工序作业指导书
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蚀刻工序作业指导书
1.0 目的
建立详细的作业规范，籍以稳定品质，提升生产效率，并作为设备保养、员工操作的依据，此文件同时也是本岗位新员工培訓之教材。
2.0 适用范围
本作业规范适用于本公司蚀刻（含去膜、退锡）工序。
3.0 职责
电镀班具体负责落实本指导书的实施及蚀刻设备的维护与保养。
4.0 作业内容
4.1 作业流程
4.1.1 内层（负片）蚀刻作业流程
烤板→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→退膜→清洗→烘干→蚀检→转
黑化工序
4.1.2 镀锡板蚀刻作业流程
退膜→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→强风吹干→自检→退锡→烘干
→蚀检→转下工序
4.1.3 镀金板蚀刻作业流程
退膜→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→强风吹干→自检→酸洗→清洗
烘干→蚀检→转下工序
4.1.3 若外层线路使用负片菲林，其蚀刻流程同4.1.1。
4.2 蚀刻工序设备及物料清单
蚀刻机、褪膜机、褪锡机、排骨架、猪笼架、放板台、去膜槽、水洗台、软毛刷、
蚀刻子液、褪铅锡药水、褪膜篮、NaOH 、氨水、柠檬酸、胶盆。
04蚀刻生产线操作..
步 骤责 任 人时 间标 准操作工正式生产前一天1、向蚀刻机注入蚀刻液，液体液面离上盖200mm方法：先打开连通液罐总节门，再打开输出立管节门。
开启蚀刻液加液电机电源，操作工不得离开现场，直至液体液面离上盖200m m 时，关闭电机及立管节门，再关闭连通罐总节门。
2、打开五处循环水上水节门，注入自来水，使水位达到水箱上线即可。
加入自来水时操作工不得离开现场，反复巡视注水水位，防止自来水外溢。
3、打开碱液箱上盖，观察碱液高度，是否在距上盖200mm处，若不足200mm,则注入自来水至200mm高度。
操作工正式生产前一天1、交替开启两台蚀刻液循环泵各运行10分钟，观察液体循环流量。
流量若过小则停机清通喷嘴。
2、开启五处市水循环泵电源，运行10分钟，打开机盖，观察各处喷嘴喷淋状况，若有堵塞及时疏通。
3、检查碱液循环泵运行状况。
用螺丝刀（改锥）拨动泵体扇页，若电机转动，则开通自来水流向通道节门，开启循环泵电源，观察液体循环状况。
有问题时及时填写维修单，并通知代班长。
并停止产前准备工作，等待通知。
冬季时，先用热水浇开易结晶各处后再进行上述工作。
操作工前一天1、开启两处刷洗电机电源，并打开机箱侧盖，观察8个电机运转状况，有无噪音、松动现象。
2、打开两处刷洗机箱平轴传动电机，及碱液平轴传动电机，观察传动轴转速，正常车速800转情况下，并调节电器柜调速旋钮，使一道刷洗平轴转速为 10 ，二道刷洗平轴转速为 12 ，碱液平轴转速为 11 。
3、打开牵引电机电源，观察各收卷轴转动状况，有无松动、无力等现象。
蚀刻生产线操作流程操作工正式生产前一天上午1、开启蚀刻液加热系统按钮，观察该加热系统三块电流表指针，若电流指针均达到“20-25”时，表示该加热系统正常，否则为不正常，立即填写维修单通知代班长，并关闭所有电源等待通知。
2、开启碱液加热系统按钮，观察该加热系统三块电流表指针，若电流表指针均达到“20-25”时，表示该加热系统正常。
蚀刻机操作工艺规程
1、 目的确立酸性蚀刻机操作工艺规程、保证产品质量。
2、 范围适用于酸性蚀刻机 3、 工艺流程放板→蚀刻→水洗→检查→去油墨→水洗→热烘干→检查 4、 使用设备酸性蚀刻机 5、 工艺流程5.1酸性蚀刻机系列开机顺序启动蚀刻机总电源→传送→预热→温控→上喷→启动脱油墨部份总电源→上喷液→水喷洗→鼓风→电热*注：双面板则应开上、下喷，如果是单面板时则应注意液泵的开关转换，如果只开一个泵时要及时关闭另一只泵液开关。
5.2操作时启动总电源，打开蚀刻液加热器加热蚀刻液，蚀刻液设置温度为45℃，同时启动烘板机电源，打开鼓风和电热开关预热，设置温度为55℃。
5.3检查蚀刻液喷嘴，各洗水喷嘴是否堵塞，若发现堵塞，则卸下喷嘴清洗并清洗异物。
5.4脱油墨缸配制氢氧化钠溶液，放板和接板员工工作时须戴品质手套，添加药品时戴橡胶手套。
5.5完成生产后，按开机顺序反顺序关机即可，不得直接关总电源。
6、注意事项6.1作业员必须按规定戴手套作业，执板时用双手执板边，避免手指接触图形线路，同时注意板子拿在手中保持水平位置，板与板之间无拖、拉、碰、撞以免伤及线路，尤其丝印油墨线路的单面板要特别注意（注：生产油墨线路的单面板，丝印好后，必须保证室温下放置3小时以上，让油墨充分固化）。
6.2放板员工放板时将板子斜成30-45度的角度放在传动轴上，板距不小于一寸，不得有叠板之现象，且板子不得超出传动范围内。
随时注意有否发生叠板，塞机之现象，一旦发生立即关机处理后，方可继续生产。
6.3生产前，先试蚀一张以检查蚀刻效果，以蚀刻干净，又无较严重的侧蚀、过蚀为宜，发现油墨异常，立即停止生产，并报告上司或主管，细幼密集线路的板，则须将蚀刻后线路对照生产片线路，幼线率不得大于20%。
6.4根据首板蚀刻效果，调整蚀刻传送速度，使之保持最佳状态，随时掌握判断侧蚀情况。
6.5若需返蚀之板，要集中返蚀，速度以5-6m/min 为宜，间隙开启蚀刻液上喷，每次维持2-3秒，2-3次为宜。
刻蚀机安全操作及保养规程
刻蚀机安全操作及保养规程随着科技的不断进步，刻蚀机得到了广泛的应用，但是同时也带来了一定的安全隐患。
为了确保工作人员的安全以及设备的正常运行，制定一套刻蚀机安全操作及保养规程是非常必要的。
一、刻蚀机安全操作规程1.1 设备操作前的准备工作•在操作刻蚀机前，请确保自己已经熟悉并掌握了设备的操作手册。
如果不确定操作流程或者遇到问题，请及时向技术人员寻求帮助。
•刻蚀机通常需要运转一段时间才能正常使用，所以在启动设备前要先检查设备是否处于正常状态。
检查是否存在故障，如内部损坏或短路。
•设备应该配置好防护设备，如安全窗、保护盖等，并确保其完好无损，确保安全操作。
1.2 工作时的注意事项•操作人员必须按照规定穿戴好必要的防护设备，如手套、口罩、护目镜等，确保身体不受到刻蚀剂、化学品等的伤害。
•切勿在工作时贸然离开设备。
如果需要暂时离开，请关闭设备或者交接给其它操作人员。
•切勿将刻蚀剂和水混合使用。
相反，应将水倒入刻蚀剂中，避免刻蚀剂爆炸等安全问题。
•不要将任何物品放置在刻蚀机上或周围。
地面也应该整洁干燥。
1.3 设备关机后的安全措施•如果不再使用设备，请关闭刻蚀机电源，并将设备从电源上拔出。
•将所有设备元件归位，并将刻蚀剂、化学品等储存在专门的安全储存区域内，确保其完好无损。
二、刻蚀机保养规程2.1 日常保养•结束工作后，请仔细清洁设备并确保所有防护设备处于正常状态。
•周期性地对设备进行检查，确保其正常工作。
如果发现设备本身或其任何零部件存在故障，请及时向技术人员寻求帮助。
•每次使用刻蚀机前，请检查刻蚀剂、化学品及工具是否完好无损，并遵循正确的添加或更换程序。
2.2 保养过程中的注意事项•在清洗设备时，所有防护设备必须保持完好无损。
•周期性地清洗设备，并更换刻蚀剂等消耗品。
•对刻蚀机进行维护时，请遵循操作手册中的规定。
•对设备进行任何形式的调整和维护前，请先切断电源，并等到设备正常冷却后再进行操作。
三、结论刻蚀机是高技术的设备，它的操作需要严谨、慎密的操作流程。
湿法刻蚀机安全操作及保养规程
湿法刻蚀机安全操作及保养规程前言湿法刻蚀机是一种用于制作微电子器件的重要设备，广泛应用于半导体、集成电路、光电等领域。
然而，如果操作人员不遵守安全操作规程，在使用过程中出现问题，不仅会影响设备性能，还会对操作人员造成伤害。
因此，制定湿法刻蚀机安全操作及保养规程，对于设备的正常使用和保护操作人员安全至关重要。
一、安全操作规程1.1 操作前准备在操作之前，应仔细阅读《湿法刻蚀机说明书》，了解设备性能、结构和操作注意事项。
在操作之前，还要做好以下准备：•充分了解刻蚀样品的性质和要求；•清洁好工作台和设备周围环境；•检查设备各部位是否运转正常；•确认工艺参数的设定是否符合刻蚀要求；•穿戴好防护装备。
1.2 操作注意事项•操作人员应严格按照《湿法刻蚀机说明书》和工艺要求进行操作；•在操作过程中不要随意更改设备的工艺参数；•使用刻蚀液时，应注意防护装备的完好性，以免溅入眼睛或皮肤；•操作结束后，应及时清理设备内部和周围环境。
1.3 废液处理刻蚀废液是一种有害物质，不可直接排放到排水管道中，必须进行专门处理。
废液处理应遵守当地环境保护法规，并且由专业的废液处理公司进行处理。
二、保养规程2.1 定期检查刻蚀机的每个部位都应该进行定期检查，以确保其功能正常。
检查内容包括检查各液体管路是否堵塞、橡胶管是否破损，同时还要定期清理设备内部和周围环境。
2.2 维护保养•设备定期清洗，包括机器内部和外部。
内部清洗可以使用去离子水或气体进行清洗，外部可用干净的抹布进行擦拭；•经常检查刻蚀液是否充足，及时更换刻蚀液；•对于刻蚀机中的部件，应定期更换滤芯和阀门，以确保设备正常运行。
2.3 日常维护•操作结束后，应及时清理设备内部和周围环境，并确保设备干燥；•不要长时间不使用设备，以免设备部件损坏；•不要擅自更改设备部件或参数，以免影响设备性能。
三、安全事故处理如果发生刻蚀机安全事故，应立即采取应急措施，并及时报告相关负责人，按照相关程序进行事故处理。
蚀刻线操作规范1
2.2±0.3kg/cm2
蚀刻
1/3oz
80-120HZ
2.2±0.3kg/cm2
只开两组蚀刻段
H/Hoz
80-120HZ
2.2±0.3kg/cm2
三段蚀刻全开
1/1oz
50-80HZ
2.2±0.3kg/cm2
三段蚀刻全开
2/2oz
40-70HZ
2.2±0.3kg/cm2
三段蚀刻全开
9.2若遇塞机紧急情况，按紧急停车，有板在蚀板机内，迅速打开窗口门，用水管冲洗板面，并将板取出泡洗于1%稀释氨水中，再处理其它塞机地方，并寻找塞机原因及时修正，退膜后板必须烘干后插架。如遇停电紧急情况，有板在蚀刻线内，迅速打开窗口门，用水管中洗板面，并将板取出泡洗于1%稀氨水中，来电后第一时间处理。
退锡缸
90L
退锡水A、B液
100%
90L
开缸用100%原液配制
每升工作液生产1.0-1.2平方米后更换A液，B液生产2倍面积后更换。温度:常温,浸泡时间:30秒-2分钟
酸度
4-4.5N
比重
22-26 Be°
各段速度控制表
项目
类别
速度
压力
注意要点
机退膜
干膜
100-200HZ
2.2±0.3kg/cm2
湿膜
6.4停电时，应立即取出蚀刻段板子，并用清水冲洗干净，褪膜后测其铜厚，符合要求则做重工处理，若铜厚达不到要求则报废处理。
6.5发生药水泄漏时，少量泄漏液可将水贴着地面缓慢稀释，然后清扫干净，禁止直接将水喷洒于药水上；大量泄漏时及时用沙土堵住并立即知会上级处理。
7.0 设备保养:
7.1 每班保养：
(完整word版)蚀刻检验作业指导书Q022
目录一．目的二．范围三．职责四．内容五．缺陷定义、允收水准及判定六．相关文件与记录1．目的：制订电镀/蚀板首（抽）检作业方法、允收水准，使电镀/蚀板检验监控工作有所依据。
2．范围：适用於本司电镀/蚀板检验监控工作3．职责：QA组PQA负责工序首检、抽检以及判定生产部工序负责检验、检修或返工处理4．内容：4.1 蚀板工序首件板检查4.1.1检验设备及工具：80×放大镜、10×放大镜、3M胶纸、灯台4.1.2PQA人员须用10×放大镜检测蚀刻后的首件板线宽、线距是否符合MI要求；若为电镀（镍、金）板时，不需测量线宽、线距，但需用“3M”胶纸做抗拉试验，检验镀层结合力是否符合要求。
4.1.3借助灯台目视检查线路及板面外观是否符合要求；有无蚀板不净、过蚀、退膜不净等现象，必要时辅以10×放大镜进行检查。
4.1.4PQA员将首件板检验结果记录在“蚀板首检记录表”中，并依结果进行判定。
4.1.5若判定合格时，则可知会生产部继续生产，若判定不合格，则要求生产部立即做出相应措施处理，并处理后对品种首板进行重检直至合格为止，PQA员经对不能处理及判定的问题，立即呈报上级管理人员进行处理，并对已发现之不良品作标识、隔离等处理。
4.1.6首件板检查当日生产的每型号进行一次，如在设备暂停或修理后则要重做检查一次。
4.2 蚀刻抽检方法4.2.1检验所用的设备及工具：灯台、10×放大镜、标签纸、80×放大镜4.2.2蚀刻成形后依据AQL正常检验II级C=0，抽样计划从待验板区内抽取适当之样品进行检验，曝光板每架抽5PNL，C=0 进行判定，每架不足5PNL进行全检。
4.2.3借助灯台目视检查板面外观、线路、孔环等处理是否有缺陷；特别注意手指位及IC位，若是电镀板，还必须每批抽3-5PCS做3M胶纸抗拉试验，检查镀层结合力是否正常，并将检验结果记录在“附着力试验记录表”上，并依检验结果进行判定。
半导体SLR 零部件清洗作业规范
SLR 零部件清洗作业规范
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分发部门总
经
办
管
代
行
政
部
人力
资源
部
生
产
一
部
生
产
二
部
生
产
三
部
品
检
部
研
发
部
市场
营销
部
采
购
部
财
务
部
项
目
部
动力
保障
部
文
控
中
心
档
案
室
分发范围分发份数
1、目的：规范ICP刻蚀制程中零部件清洗操作规范
2、清洗作业流程图
1)清洗托盘、螺丝
2)清洗反应室
3、标准作业流程
1)托盘、螺丝等清洗
A:用DI水喷淋托盘（底盘和盖子）、耐高温橡皮条（7根）、螺丝；
B:用N2吹干；
C:螺丝使用一次后清洗；托盘和橡皮条使用三次后清洗；当天全部声波清洗。
2)反应室清洗操作如下图：
升降开关
3)清洗步骤：
A:打开反应室（同时按住2个上升开关向右推开腔体）
B:用DI水清洗反应室（包括底座、腔壁、夹具）
C:用吸尘器吸走遗留的尘埃和水分子
D:用异丙醇清洗反应室
E:用真空硅脂涂抹真空密封橡皮条，再用无尘布擦均匀
F:放置真空密封橡皮条（对角放置压平整）
G:关闭反应室（向左推腔体回原位同时按住2个下降开关）。
热压和蚀刻水洗作业指导书
热压和蚀刻水洗作业指导书蚀刻水洗作业规范一.目的：规范工艺,确保蚀刻产品品质二.范围：ITO蚀刻三.定义：四.权责：蚀刻作业员严格按本规范操作五.作业内容：1.生产设备的设定1.1.生产设备导电膜蚀刻及除油墨设备生产线分酸蚀、水洗、退膜、检查、超声波纯水清洗、强风吹干六段。
酸蚀、碱蚀段带水洗部分。
蚀刻线设备分别用于蚀刻ITO Film及ITO Glass。
蚀刻线酸蚀段分一槽，ITO Film、ITO Glass酸蚀刻仅使用第一槽酸槽，碱蚀段分一槽, ITO Film、ITO Glass碱洗使用第三槽,各主要参数见下表。
1)酸洗次（具体时间：上午8：00-9：30、下午13：30-14：00，生产中参照实测浓度的变化去调整时间。
并配合碱段同时测试电阻。
电阻用万用表仪器测试，绝缘阻抗符合规格要求为标准。
b.酸液量要适中；c.酸液的浓度和酸槽时间参数的设定由于受到设备条件的限制，并非理想状态；d.使用过程中以实际品质检验为准2) 碱洗(Glass)泡相配,比酸洗相同或稍快1.2.到设定温度后(约30分钟),测试酸液及碱液的浓度,在规定范围内可进行生产。
2.溶液配制2.1.酸液1)Film蚀刻线：酸液配制方法:配制比例: HCL盐酸 (36-38%) : H2O (纯水)1 : 22) Glass蚀刻线酸液配制方法:配制比例: HCL (36-38%) : H2O (纯水)100 : 1003)酸液的注意事项:a.不能将水加入酸中,否则极易爆炸。
b.HCL、不慎沾到皮肤上,应立即用水冲洗。
c.酸加入水中,速度不能快,必须慢慢加入。
d.整个过程在通风良好的环境中进行,并必须配带耐酸、碱手套、戴口罩及防护眼镜.2.2.碱液1)配制比例:氢氧化钠 : 纯水NaOH (g) : H2O (ml)(分析纯)2 : 50 (约2.0%)注意:a)先将固体氢氧化钠(NaOH)尽量捣碎, 再用适量纯水溶解。
b)整个过程中, 需不停搅拌, 尽可能不让氢氧化钠沉淀结块。
碱性蚀刻液萃取电解铜操作规范
碱性蚀刻液萃取电解铜设备操作规范深圳市宇众环保科技有限公司二O一三年4月1日固定电话：86-0755-******** 传真：*************移动电话：180****6488办公地址：广东省深圳市宝安区沙井镇上寮5区新沙路丰盛大厦808网址： ;邮箱：***************目录1.清洗 (3)2.测试搅拌、泵、过滤器的运行情况 (3)3.调配电解槽电解液的酸度 (3)4.调配水洗液的酸度 (4)5.调节好萃取缸1、2、3、4的液位 (4)6.设备的启动、操作及注意事项 (5)7.停机 (7)8.参数检测方法 (8)9.蚀刻液循环系统保养细则 (9)10.了解氨气及其防范措 (10)11.附表 (11)1.清洗1.1先用毛巾清理安装时缸里的灰尘和胶丝；1.2再用自来水清洗2~3次，直至把各个缸清洗干净为止；1.3清洗干净后，试水，往各个缸注自来水（至每个缸容积的3/4），检查各个缸的性能，是否有漏夜；2.测试搅拌、泵、过滤器的运行情况2.1到电控箱的【泵浦界面】把搅拌、泵逐个逐个打开，逐个检查各搅拌、泵是否反转异常等；2.2如果发现异常，立刻停止启动，及时处理异常后才能试运；2.3检查各个过滤器的运行情况，查看其是否压力过大等问题，及时做好处理措施，防止压力过大损坏泵；2.4检查各管道是否通畅，是否接好，是否漏液；2.5检查完各个设备正常工作后，准备下阶段的工作。
3.调配电解槽电解液的酸度3.1把电解槽里的自来水调至约8m3，把试水时多余的自来水排掉（如有杂物用水瓢捞出来，以防堵泵和管道）；3.2把AC缸的循环泵P7开启、打开冷凝水阀门（把阀门开到最大）；3.3穿戴好防化服、水鞋、手套等劳保，加入纯度较高的硫酸（约2.8吨、浓度98%），加硫酸时，不能单独进行，旁边一定要有人监视（由于加的量比较多，可多人轮换添加）3.4在添加的过程中，隔着十几分钟，用烧杯取少量的电解液，拿温度计测量是否过热，如果温度过高（高于40℃），停止添加，待冷却后再添加；3.5添加完后，循环15—20分钟后，取少量到化验室化验，酸度控制在170—220g/L；（一般刚开始调试时先把酸度调到170，具体要看反萃取效果来调酸度，在反萃取效果、油液分层效果好的基础上尽量减低酸度。
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10)清洗投料时ITO面朝上，大角在右下，材料之间间距保持在400mm以上。
3.2 Film蚀刻作业顺序
1)根据《工程流程卡》确认来料的型号和数量，
2）蚀刻Film一般需两个人完成，一个副手一个蚀刻作业。
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文件类别
作业规范
版号
V1.0
文件编号
YZ-WI-002
制定部门
生产部
生效日期
2009年10月29日
蚀刻水洗作业规范
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图1图2图3
3.3材料蚀刻首件需测试其绝缘阻抗，蚀刻完毕后填写流程卡和材料一起流入下工序。
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4.注意事项
1)配制前,所用容器、工具必须洁净干燥,每次使用完毕,应立即清洗。
蚀刻线纯水每天作业前更换一次槽液并清洗水槽.
注:不足规定时间,浓度不足可添加。
10)一个月没生产,则槽液需排放,不能留在槽中。
11)纯水每次开机前及连续工作每3.5-4.0小时需测试,混床电阻率≧1MΩ,纯水PH=6.5-7.0方可生产。
12）蚀刻房无关人员严禁进入，不相关的物品禁止带入。
13)任何产品不允许在蚀刻房停留超过半个小时。
b.碱液流量要适中
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3)超声波（Glass）
材料
浓度
侵泡时间
(分)
超声波能量
备注
Glass
纯水
3
5格
4)水洗
材料
第一槽(水压及速度)
第二槽(水压及速度)
第二槽(水压及速度)
5）右手垂直将Film取出,先在清洗槽-1上停留几秒（如图3），然后分别在水洗槽-1与水洗槽-2中间至少停留至少15秒，然后放入超声波槽中。
6)过超声时间到将Fim垂直取出依次放入水洗槽-3，水洗槽-4中各30秒，然后放入清洗机中清洗。
7)清洗投料时ITO面朝上，大角在左上，材料之间间距保持在400mm以上
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一.目的：规范工艺,确保蚀刻产品品质
二.范围：ITO蚀刻
三.定义：
四.权责：蚀刻作业员严格按本规范操作
五.作业内容：
1.生产设备的设定
1.1.生产设备
导电膜蚀刻及除油墨设备生产线分酸蚀、水洗、退膜、检查、超声波纯水清洗、强风吹干六段。酸蚀、碱蚀段带水洗部分。蚀刻线设备分别用于蚀刻ITO Film及ITO Glass。蚀刻线酸蚀段分一槽，ITO Film、ITO Glass酸蚀刻仅使用第一槽酸槽，碱蚀段分一槽,ITO Film、ITO Glass碱洗使用第三槽,各主要参数见下表。
2)工作桌面保持清洁、整齐。
3)使用完的试剂,必须立即将瓶盖拧紧,避光放于阴凉处。
4)配制溶液,所需用水必须采用纯水,溶液配制完后用塑料勺加入槽中。
5)溶液配制必须在通风处进行,操作人员需配戴耐酸、碱手套、口罩、防护眼镜及穿雨鞋。
6)配制酸液时,不能将水注入酸中,否则极易产生爆炸。
7)酸、碱不慎沾到皮肤上,应立即用水清洗。
8)每次生产前,酸液、碱液的浓度必须测试。连续生产时,每3.5-4.0小时需测试槽中酸、碱液浓度,若浓度不足,需添加。当生产量大,应适当增加测试频率,以确保溶液浓度在要求范围内。
9)碱液:每工作24小时换一次槽液并清洗碱槽;
酸液:每工作1个月换一次槽液并清洗酸槽;
水洗机纯水、自来水每工作周换一次槽液并清洗水槽.
3)蚀刻作业员戴好耐酸碱手套和防水鞋。
4)副手从待蚀刻区网车双手按拿取Film动作要求取出Film放在待蚀刻平台上，ITO面朝上。
5)蚀刻作业员双手从待蚀刻平台取Film（ITO面朝上，大角在左下）放入清洗槽-1中然后松开左手，右手提住让Film没入酸液中，让Film保持垂直。
注：右手拿Film时不要太紧，在不影响蚀刻前提下尽量靠边，绝对不能进入印刷有效区
2.溶液配制
2.1.酸液
1)Film蚀刻线：酸液配制方法:
配制比例: HCL盐酸(36-38%): H2O (纯水)
1:2
2) Glass蚀刻线酸液配制方法:
配制比例: HCL (36-38%) : H2O (纯水)
100 : 100
3)酸液的注意事项:
a.不能将水加入酸中,否则极易爆炸。
b.HCL、不慎沾到皮肤上,应立即用水冲洗。
4)将整栏玻璃垂直放入清洗槽-1中，玻璃需完全放入酸液中，记录其时间。
5）蚀刻时间到将玻璃取出，放在清洗槽-1边缘至少20秒让酸液滴干净(如图2)。
6)将整栏玻璃垂直放入水洗槽-1中，30秒后拿出，再放入清洗槽-2中过碱。
7)等脱膜时间到，将玻璃拿出放在清洗槽-2边缘至少20秒让碱液滴干净。
8)将玻璃放入水洗槽-2中，30秒后拿出，然后将玻璃放入超声波槽中。
Glass
1.2(kg/cm2)；20档
1.2(kg/cm2)；20档
1.2(kg/cm2)；20档
Film
0.7~0.8(kg/cm2)；10档
0.7~0.8(kg/cm2)；10档
0.7~0.8(kg/cm2)；10档
1.2.到设定温度后(约30分钟),测试酸液及碱液的浓度,在规定范围内可进行生产。
1)酸洗
表一、蚀刻线酸槽的参数的设置（ITO Film蚀刻）
类别
温度
浓度(N)
浸泡时间（秒）
Film
30-35
6.50-6.70
4秒
表二、蚀刻线酸槽参数的设置（ITO Glass蚀刻）
类别
温度
浓度(N)
浸泡时间(分)
Glass
30-35
6.40-7.0
2分
a.蚀刻线酸液的设置温度、酸液的浓度随时间而调节。酸液的浓度每四个小时检测一次（具体时间：上午8：00-9：30、下午13：30-14：00，生产中参照实测浓度的变化去调整时间。并配合碱段同时测试电阻。电阻用万用表仪器测试，绝缘阻抗符合规格要求为标准。
b)整个过程中,需不停搅拌,尽可能不让氢氧化钠沉淀结块。
c)搅拌速度适中,不宜过快，防止液体飞溅。
2.3.纯水
1启排水阀及进水阀正洗水质电阻率(即混床电阻率)≧1MΩcm(1μs/cm),方可生产.
受控文件管制章
文件类别
作业规范
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c.酸加入水中,速度不能快,必须慢慢加入。
d.整个过程在通风良好的环境中进行,并必须配带耐酸、碱手套、戴口罩及防护眼镜.
2.2.碱液
1)配制比例:
氢氧化钠:纯水
NaOH (g) : H2O (ml)
(分析纯)
2 : 50 (约2.0%)
注意:
a)先将固体氢氧化钠(NaOH)尽量捣碎,再用适量纯水溶解。
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3.蚀刻作业顺序
3.1玻璃蚀刻作业顺序
1)根据《工程流程卡》确认来料的型号和数量，
2）戴好耐酸碱手套和防水鞋。
3)从待蚀刻区双手拿住栏具两边提取整栏玻璃（如图1）
注：装蚀刻玻璃的栏具必须是能耐酸的朔料栏具。
b.酸液量要适中；
c.酸液的浓度和酸槽时间参数的设定由于受到设备条件的限制，并非理想状态；
d.使用过程中以实际品质检验为准
2)碱洗(Glass)
表三碱槽的参数设置
材料
碱液浓度
侵泡时间
(秒)
设置
温度
备注
Glass
0.72-1.16N
50s
35±5℃
a.浸泡时间,随碱液的浓度调节。以将材料上之耐酸油墨洗脱干净为原则。时间要与酸泡相配,比酸洗相同或稍快