干菲林各岗位操作细则

干菲林各岗位操作细则

一、收板

1、核对Lot Card上有无上工序QC Pass章,无QC PASS章拒收。

2、收板必须看清型号收板，防止混板。

3、核对Lot Card型号与板是否一致。

4、核对板数量与Lot Card数量是否一致，以及板面有无明显品质问题（如：断板、露纤维等）。

5、检查Lot Card上工艺流程有无走错。

6、如以上均无问题，签收Lot Card并做好收板记录。

7、报工时认真检查Lot Card与报工纸上填写的型号、数量、版本是否一致；每2小时报工一次。

8、将已收板搬到放板架上，要求不同工艺的板放在各自存放架，同型号的板要集中放置在一起。

9、根据Lot Card认真填写流程纸上型号、版本、数量等相关栏目，并将写好的流程纸放置在相应的板上。

二、磨板

1.磨板时必须根据MEI要求控制各项工艺参数以及做磨痕、水膜测试（具体做法见MEI），磨痕及水

膜测试OK后方可批量生产，并按要求认真填写记录表。

2.接触板必须戴手套。

3.双手执板检查板面有无铜粒、露纤维、胶渍等品质问题，并且应检查板的型号和Lot号有无混乱，如

有以上问题须处理后磨板。

4.放板时板的尾孔必须一律朝左上方，板交错放置在磨板区内，板与板间隔一寸左右。

5.磨板放板桌上叠板高度不可超过70Pnls，桌面物品摆放整齐。

6.放板时要注意压膜处生产情况，如有捡板的情况要放慢磨板速度或暂停磨板，避免压膜处捡板过多影

响品质。

7.认真填写流程纸及生产报表。

8.板搬运板时注意轻拿轻放，正常生产板板厚≥1。0MM每次搬运不超20 PNL，板厚＜1。0MM板每

次搬运不超35 PNL。注意避免板与板有相互搓擦。搬板时先将要搬的一叠板与其它板分开然后取出，放板时垂直下落轻放或先放一角然后以此角为轴下落轻放。

9.所要磨的板Lot Card数量与板的数量必须一致，且Lot Card要提前15min送入压膜房。

10.注意维护机身及周围环境清洁，做到机身无污染、地上无杂物、无积水，并保持岗位保持环境清洁。

11、严格按MEI要求进行设备保养与维护。

三、压膜

1、严格按MEI要求控制各项工艺参数，并认真做好相关记录。

2、压膜前检板员工戴手套和口罩,两手拿着板边认真检查板面的磨板情况以及有无胶渍、垃圾、铜粒、油

渍、氧化、水渍、板材不良（易损坏热压辘）等问题，如有以上问题的板必须处理后返磨。

3、检查OK的板必须按尾孔方向一致的原则放板进压膜机。

4、压膜前检板员检板时须注意压膜机整板和进板情况，并注意调整板间距离，防止整板不到位以及叠板进

压膜机的情况。

5、接板员工接板时应将板垂直拿起，严禁在机器上拖板，并认真检查有无起皱、气泡、垃圾、板边留铜大

小是否合适等质量问题，不允许有质量问题的板流往下一生产流程。

6、检查OK的板必须按尾孔方向一致的原则放板插架.(注意:要检查插架时板边是否会造成定位露铜)

7、板冷却后收板存放在待对位放板架上，要求不同工艺的板放在各自存放架上，同型号的板要集中放置在

一起.

8、认真填写流程纸并放置在相应板上，且Lot Card数量要与板的数量必须一致。

9、换干膜时，注意检查两卷干膜型号、尺寸是否一致，并注意调整干膜位置，使干膜能封住板边工艺孔（正

片工艺板须注意）。

10、次换干膜时必须用酒精清洗热压辘；对所换下之干膜不能长时间垂直放在地上；长时间不用之干膜必

须用黑胶袋包好放在干膜架上。

11、干膜存放必须遵循同型号同尺寸放置在一起，严禁混放，存放时标明存放时间与尺寸,且使用时必须

遵循先领先用的原则；

12、注意维护机身及周围环境清洁，做到机身无污染、地面无杂物和干膜碎，并保持岗位环境清洁。

13、严格按MEI要求进行设备保养与维护。机器设备异常时及时停机，处理OK后才可继续生产。

四、曝光

1.按MEI要求做曝光尺，测试并调整能量，并及时做好记录。(注：记录上的各框能量参数值要和实际使

用值一致)

2.做好曝光机玻璃及MYLAR的清洁，每架曝光1次用粘尘胶辘清洁玻璃及MYLAR，每架曝光30分钟

3.用清洁剂清洗玻璃及MYLAR一次。

4.曝光员工一律戴胶面手套操作。

5.放板到框中时要注意平放于玻璃盘上避免板角擦伤MYLAR及玻璃。

6.放板进曝光框架时注意板不可放到玻璃边上粘Mylar的双面胶上。板与板的菲林不可有重叠。

7.曝光时智圣机须等抽真空稳定在690mm/Hg、ORC机在≥88Kpa及以上时才可进行擦气动作，擦气

时擦气板倾斜450—750角均匀在整个板面赶气至少三个来回以上，不可有部分遗漏。曝好光的板放

在放板架已曝光处，注意放板整齐，防止板从架滑落。

8.使用物品（如粘尘辘、GP吸尘纸、曝光尺、菲林水、无尘布等）按区标示摆放整齐。

9.严格按MEI要求进行设备保养与维护。(具体保养事项见MEI制作指示)

10.板厚相差0.6MM的板不可在同一框架内同时进行曝光。

11.使用粘尘辘清洁MYLAR及曝光盘时必须在粘尘纸上进行清洁后使用.

12.QDI、密集线路板必须在4#、5#、6#（优先安排）曝光机上生产，赶气至少六个来回以上。

五、搬运板

1、及时将待对位的板运给对位员工，将对好位的板运到显影处。

2、搬运板时注意轻拿轻放，注意避免板与板有相互搓擦。

3．搬板时先将要搬的一叠板与其它板分开，然后取出搬到放板架或运板车上。

4、搬运板时要注意看清板的型号且Lot Card与板要同行。相似的生产板、返洗板要特别注意混板。

5、运送待对位以及待显影的板时，须检查流程纸填写是否完整。

六、对板

1、对板员工不可戴戒指、留长指甲，手表、手链不可露出衣袖外。

2、在巡检处领取菲林时须询问对板锡圈要求。

3、对板前，应先确认菲林型号、版本号是否与流程纸的型号、版本一致，如不一致须询问菲林巡检员工是

否符合MI要求。还要确认所拍的正片菲林（或者负片菲林）要与所拍的正片板（或者负片板）相对应。

4、检查周期是否有涂改，没有按相应周涂改的须退回菲林巡检，检查菲林是否配套，以及检查对板胶纸粘

贴位置是否合适（正片菲林红胶纸不允许贴进菲林透光区，白胶纸不允许贴进单元图形内，且距离线路不可太近；负片菲林红胶纸不允许贴进单元透光区，白胶纸不允许贴进单元图形内线路上）。

5、在菲林的C/S面做对板代号和生产日期，在S/S面做曝光代号，做代号注意胶纸不允许贴进单元（做代

号时先用单面胶贴在代号字符上，然后用笔涂去代号数字（笔水不能涂入透光区）再在其上贴一层。

6、拿待对位板时，先将板和其它板分开再取出。放已曝光板时注意避免撞到前一块板板，防止板面擦花或

擦伤造成甩干膜。

7、板在对位前须用清洁刷清洁板面要全面无遗漏，刷板方向朝对板台外。

8、对板员工每对一块板用粘尘辘清洁菲林一次，辘菲林时注意先将辘在粘尘纸上清洁后再用手按住菲林的

左（右）下（上）角用粘尘辘辘菲林上（下）半部分，然后用手按住菲林的左（右）上（下）角用粘尘辘辘菲林下（上）半部分，辘菲林时注意菲林边不可遗漏，同理清洁菲林另一面；每半小时用菲林清洁剂清洗菲林一次，清洁时先将菲林水到在菲林上，然后用手拿无尘布适当用力擦洗菲林，洗完一面后同理清洗菲林的另一面。

9、对板时先对准长边左下角，再对右下角，如此顺时针转动板对位，并用十倍镜检查四角对位孔是否对位

准确，确认后的板放在放板架待曝光处。

10、每个型号对好第一块板后要检查板与菲林的各孔位是否完全对应并确认拍板方向,防止批量性对反位。

需做首板的首板做好后注意提醒做首板人员做首板.

11、注意检查尾孔和板边曝光后是否会产生干膜碎，如会产生干膜碎，要知会巡检人员用红胶纸封排孔或板

边,贴胶纸及改代号注意胶纸不能进单元内；

12、曝光后撕菲林时先将板斜靠在桌面上，一手托板一手撕下菲林放在桌边，然后将板换到另一手托住板，

用先前托板的手将另一面菲林撕下并应防止板面保护膜撕起，如有保护膜撕起，应用手抹平; 撕下的菲林药膜面朝上放置，再将板放到运板车内，动作要轻柔，注意保护好菲林，防止菲林擦花和折伤; 13、待对位的板朝远离对板台的方向放置，已曝光的板朝靠近对板台的方向放置，，放板尾孔方向要求一致，

板靠在车的位置须放置垫板。

14、1 Lot板对好后认真填写流程纸上相关栏目。

15、桌面及抽屉物品摆放整齐。

七、菲林巡检

1、巡检员工不可戴戒指、留长指甲，手表、手链不可露出衣袖外。

2、旧菲林做板前先对照菲林结存表检查有无镀孔、周期、加工板的菲林层次、版本、锡圈要求等问题。

3、新菲林做板前必须核对MI ：检查有无镀孔、周期、加工板的菲林层次、版本、锡圈要求、工艺流程等

问题及检查核对菲林结存表各相关栏目填写是否正确及完整。

4、检查菲林周期有无按MI要求涂改，并用十倍镜检查确认每个周期无针孔、残缺、错漏等问题。

5、检查菲林是否配套，然后检查菲林结存表上记录所测菲林光密度是否符合MEI要求，再用三倍镜检查菲

林有无擦花、垃圾、红点、掉药膜等外观问题，检查时应特别注意菲林边上划箭头所指位置修理的地方是否有笔水渗透现象，如有以上问题送菲林组处理，菲林本身问题（如：红点、红线等）需对其它菲林是否是定位问题，并做菲林组漏波记录。

6、检查好后先用菲林水清洁菲林，然后更换胶纸，更换胶纸时注意正片菲林红胶纸不允许贴进菲林透光区，

白胶纸不允许贴进单元图形内，且距离线路不可太近；负片菲林红胶纸不允许贴进单元透光区，白胶纸不允许贴进单元图形内线路上。

7、检查光台上工具摆放整齐，不可有残留胶纸碎屑，避免粘到菲林上形成定位。

8、生产中巡回检查对板员工正生产的菲林，用三倍镜检查菲林有无擦花、垃圾、菲林折伤等问题，也可用

菲林以对反位的方法对相应显影后的板，然后检查有无露铜情况来确认菲林擦花、菲林上垃圾、红点等严重品质问题。也可背光检查有无保护膜堆积、拆伤等问题。

9、巡检时如检到菲林有问题，必须根据《定位问题处理程序》进行跟进处理。

10、菲林对完板后，应根据每套菲林对板数量做好菲林结存记录，并核对菲林是否配套，然后和结存表一起

放入菲林袋中及时送菲林组作对板后检查。(注意确认菲林型号与结存表一至防止装错菲林)

11、爱护菲林，待检、已检菲林分开整齐存放，标识清楚。

八、菲林制作

1、菲林组员工不可戴戒指、留长指甲，手表、手链不可露出衣袖外，检查光台上使用的工具摆放整齐。

2、接收黑菲林先检查菲林的型号版本号是否正确、菲林是否配套、菲林药膜面是否为正字面以及菲林边字

符是否完整。

3、每张菲林花10分钟初步检查外观是否有擦花问题。

4、做好黑菲林接收记录。

5、用百倍镜检查黑菲林线宽、线隙是否符合MI要求，并做相应记录。

6、用45倍镜或10倍镜分区检查菲林有无擦花、黑点、黑线、沙孔、修理不良、间隙过小等品质问题，如

有按相关程序退QAE处理或自行修理，自行修理时要遵循《修菲林检查操作程序》，黑菲林检查确认OK后签QAE菲林发放记录。

7、检查OK的黑菲林才可用于复制黄菲林，复制前先按MEI要求做曝光尺调整曝光能量，然后用菲林水清

洁曝光玻璃，再用粘尘辘清洁菲曝光玻璃和Mylar（清洁到用粘尘辘辘过后检查粘尘辘上洁净无尘埃或其它垃圾方可），清洁好后用眼睛对光斜视检查曝光玻璃上是否清洁干净，如有重复上叙动作。

8、用于复制黄菲林的黑菲林在复制前必须用菲林水擦洗，先将菲林水倒在菲林上，然后用手拿无尘布适当

用力擦洗菲林，洗完一面后同理清洗菲林的另一面，然后用粘尘辘清洁菲林两面（先清洁药膜面后清洁光面），辘菲林时注意先用手按住菲林的左（右）下（上）角用粘尘辘辘菲林上（下）半部分，用粘尘辘辘菲林上（下）半部分，再用手按住菲林的左（右）上（下）角用粘尘辘辘菲林下（上）半部分，辘菲林时注意菲林边不可遗漏，如此重复两次（辘过后检查粘尘辘上洁净无尘埃或其它垃圾方可，如有重复上叙动作），再同理清洁菲林光面。

9、将清洁好的黑菲林放置在已清洁好的曝光玻璃的中央，菲林药膜面朝上（正字面朝上），用单面胶将黑菲

林两对角固定在玻璃上。

10、按黑菲林大小裁好的重氮片用粘尘辘作清洁，清洁方法如同清洁黑菲林，只是清洁重氮片先清洁光面后

清洁药膜面。

11、将清洁好的重氮片放到黑菲林上（在放重氮片前先用粘尘辘再清洁黑菲林药膜面一次），重氮片药膜面

对黑菲林药膜面，重氮片必须完整覆盖黑菲林。

12、放好重氮片后在重氮片上盖上垫板，合上曝光框架抽真空，然后用擦气板擦气，擦气时擦气板倾斜300

—750角均匀在整个菲林区上赶气五个来回以上，最后盖上黑胶袋和黑遮光板方可进框架曝光。

13、曝完光的重氮片需静止10分钟后拿到氨水房显影。氨水机开机时先开加热，加热到距MEI要求的设定

温度5℃时再开氨水泵至设定温度，过2分钟左右方可显影。

14、重氮片显影时药膜面朝下，显影中横向竖向交错各过几次至重氮片充分显影，菲林红度均匀。

15、显影好的重氮片静置20分钟后到曝光机上曝600指数两次，然后静置20分钟左右测光密度，光密度必

须满足MEI介定要求。光密度合格的菲林再进行黄菲林检查（测光密度前先将菲林按套数编好号，编号按连续递增的方法进行；负片菲林先辘保护膜再检查，辘保护膜操作见下叙）。

16、黄菲林检查必须用用45倍镜或10倍镜分区检查，检查菲林有无开路、缺口、线突、红点或其它品质问

题，如有品质问题贴红标签作标记，待菲林检完后相互对定位，然后修理，并按《修菲林检查操作程序》进行处理，做相应检查记录。

17、检好的菲林用菲林水做清洁，先将菲林水到在菲林上，然后用手拿无尘布适当用力擦洗菲林，先洗药膜

面然后同理清洗菲林的光面，再用粘尘辘清洁菲林两面（先清洁光面后清洁药膜面），辘菲林时注意先用手按住菲林的左（右）下（上）角用粘尘辘辘菲林上（下）半部分，用粘尘辘辘菲林上（下）半部分，再用手按住菲林的左（右）上（下）角用粘尘辘辘菲林下（上）半部分，辘菲林时注意菲林边不可遗漏，如此重复两次（辘过后检查粘尘辘上洁净无尘埃或其它垃圾方可，如有重复上叙动作），再同理清洁菲林光面。

18、清洁好的黄菲林将药膜面朝上过保护膜，注意保护膜必须能完全盖住菲林线路区。

19、辘好保护摸的菲林用三倍镜检查有无保护膜下垃圾，如有进行修理（负片菲林因先辘保护膜再进行菲林

检查故此项略），然后按照MI认真填写菲林结存表，做菲林存放档案（菲林挡案必须填写清楚便于查找）。

20、新菲林做板前须拿板对照菲林，在菲林的透光区打菲林排气孔，排气孔不可打到板上有孔的地方，不可

太靠近线路。打好排气孔后再打对板胶纸孔，打胶纸孔注意不可打掉菲林边工艺孔封孔窗。

21、曝光组使用后的菲林退还时需检查菲林是否与结存表一致、菲林是否配套、结存表填写是否完整，如有

问题退巡检处理。

22、生产后的菲林用三倍镜检查有无擦花、垃圾等品质问题，如有按《定位问题处理程序》跟进处理，并修

理好菲林（遵照《修菲林检查操作程序》）。

23、检查好的生产后的菲林与相应结存表装入菲林袋中，然后按菲林存放档案存入菲林柜中，存放时必须认

真核对菲林存放档案，严禁存放错误。

24、酸性菲林密集线路区禁止修理，不良菲林报废处理。

九、显影

1、严格按MEI控制各项工艺参数和进行日常保养，并认真做好相关记录。

2、开机前先检查各开关、阀门是否按要求开启或关闭，并检查各项工艺参数是否在MEI介定范围内。

3、按MEI要求做显影点，确认正常显影参数。

4、开始显影时须检查待显影板流程纸填写是否完整，如有填写不完整情况将流程纸退回相关岗位补填。

5、用胶纸将显影板两面的保护膜撕掉，注意检查保护膜是否撕净，保护膜未撕净的板不可显影。

6、将撕好保护膜的板按尾孔朝左上方的方向放板，板与板之间间隔2寸左右。

7、显影不同干膜的板，应按相应干膜做显影点时确定的速度冲板，显影时注意调节显影速度。

8、显影接板时双手（戴胶面手套）垂直将板拿起，不可将板在显影机里拖出，然后检查板面有无显影不净

和保护膜未撕净的问题，如有以上问题需返洗处理。

9、显影接板员工还应监控显影放板是否按尾孔朝左前方以及显影板距离是否过近的问题，如有以上问题必

须通知相关员工改善。

10、显影接板插板时必须一手拿板边一手托板，防止擦花干膜，插架时按从远离显影机的方向往靠近显影机

的方向插板，板边有G—Ⅱ号的方向向上钻有板型号的边向外。

11、认真填写流程纸，流程纸填写OK后要放置相应的板上。

十、执漏

1、拿板必须戴胶面手套。

2．取板和插板时必须一手拿板边一手托板，防止擦花干膜。

3．双手拿板在靠近灯光处检查板面有无开路、短路、缺口、线突、崩孔、曝光不良等品质问题，对能修补的问题进行修补，对不能修补的问题板挑出返洗，并做好相关修理和返洗记录，不可虚报敷衍。

4、用黑油修补时注意检查黑油是否有粘到板面其它地方，塞胶粒时注意将胶粒拉紧并将胶粒周围的干膜外

观的菲林碎清理干净，用擦胶笔修理时注意清除线路边及孔内的碎末，用红胶纸封孔时注意红胶纸不可粘贴到铜面上。

5、检板时发现有定位问题必须按《定位问题处理程序》处理。

6、检好的板拿Lot Card一起给QC抽查，抽查有问题的返工板必须再认真重检一次，并做好相关记录。

7、检好的板加板时必须认真检查所加板，严禁有红胶纸等问题漏出本部。

8、检板桌面、刀片、修补油等物品摆放整齐，桌面保持洁净，不可残留有黑油。

9、插板车摆放整齐。

10、严禁有一手拿几块板的现象。

十一、出板

1、出板前先检查Lot Card有无QC Pass章，检查有无混板问题，不允许有混板问题出板。

2、认真检查板数量与Lot Card型号、数量是否一致，不允许有多板少板的情况出板。

3、检查OK后将板按Lot Card上流程顺序拉到下工序指定收板位置，找下工序收板员工收板，并将出板记

录和Lot Card给下工序收板员工签收。

4、将已签收的Lot Card拿回本部填写过数纸，过数纸填写必须正确，要确认板与Lot Card数量、型号、

版本等无误后给到下工序拿到过数组过数。

5、出板需转架时严禁一手拿几块板的现象。

十二、显影配药

1、将配药缸的药水抽到储药缸。

2、将配药缸加水到4000L处（加水时必须在旁看护，避免加水溢出进入电梯内将电梯浸坏），然后加Na2CO3

一包（开包时不可用刀片直接将包装袋划开，需解开包装线开包），待搅拌30分钟后取样到化学实验室分析浓度，化验浓度不合格，可根据化验情况加适量水或加适量Na2CO3后再进行分析，化验浓度在MEI 范围内的药水方可用于生产。

3、保持缸体清洁，按要求更换过滤棉芯。

4、认真做好相关记录。

十三、返洗板

1、拿板必须戴胶面手套。

2、返洗板前先做好返洗记录，记录返洗板型号、数量、返洗原因以及返洗责任人。

3、将返洗板拿到退膜机按正常退膜速度略低的速度退膜二次，放板前检查板面有无红胶纸、胶粒，如有先

处理后再退膜。

4、过退膜机的板需检查有无退膜不净的问题，有退膜不净的问题需重过退膜机返退。

5、返洗板退膜二次后不需过幼磨机幼磨，直接拿回本部返做。

拍板前检查事项

1、检查菲林的型号、版本号是否与流程纸上的型号、版本号一至;

2、检查周期是否涂改正确及检查菲林套数是否配套;

3、检查所拍的正片菲林（或者负片菲林）要与所拍的正片板（或者负片板）是否对应;

4、检查曝光、拍板代号及日期是否涂改完整正确;(注意:胶纸不允许贴进单元内及笔水不能涂

入透光区).

5、查看流程纸上有无两次工艺流程要求并核对生产正确性;

6、检查对板胶纸粘贴位置是否合适;（正片菲林红胶纸不允许贴进菲林透光区，白胶纸允许贴

进单元图形内，且距离线路不可太近；负片菲林红胶纸不允许贴进单元透光区，白胶纸不允许贴进单元图形内线路上）。

7、第一块板曝光出来后必须检查有无偏孔、菲林与板的各孔位是否完全对应,有问题及时上报。