Quanta 200扫描电镜实验室安全操作规程
场发射扫描电子显微镜安全操作及保养规程
场发射扫描电子显微镜安全操作及保养规程电子显微镜是一种高精度的仪器,操作时需要遵循一定的安全规程和保养措施,以确保仪器的正常运行和使用者的安全。
下面是电子显微镜的安全操作和保养规程,供参考。
一、电子显微镜的安全操作规程:1.进入实验室前,要穿戴好实验室专用工作服,并佩戴好相应的防护用品,如手套、眼镜和口罩等。
2.在操作电子显微镜之前,应先了解设备的基本知识,熟悉仪器的使用方法和操作步骤。
3.在使用电子显微镜之前,要确保仪器的电源已经关闭,并检查仪器的相关连接线是否牢固。
4.在进行样品准备时,应使用专用工具进行操作,避免直接用手触摸样品和仪器部件。
5.在开机之前,应确认好样品装载台、真空系统和冷凝系统等设备是否运行正常。
6.在启动电子显微镜之前,要确保室内的温度和湿度适宜,尽量避免环境中的尘埃和静电干扰。
7.在启动电子显微镜后,应根据实际需要进行相关参数的调整,如电子束强度、放大倍数和对比度等。
8.在放大和观察样品时,要注意不要过度放大或观察过长时间,以免对样品和仪器造成损坏。
9.在操作电子显微镜时,要保持室内环境的安静和稳定,避免不必要的震动和干扰。
10.在关闭电子显微镜之前,要先将相关参数调整到初始位置,然后将电源关闭,并检查仪器是否有异常情况。
二、电子显微镜的保养规程:1.每天使用电子显微镜之前,要先清理设备外部的尘埃和杂物,并定期清洁仪器的内部部件,如样品台和镜筒等。
2.定期检查电子显微镜的电源线和电源插头是否有损坏或老化现象,并及时更换或维修。
3.定期检查仪器的真空系统和冷凝系统,保持其正常运行状态,如有异常情况,应及时修理或更换相关部件。
4.定期检查仪器的操作系统、数据存储系统和软件程序等,确保其正常运转和更新。
5.定期校准电子显微镜的各项参数和功能,以确保仪器的精度和准确性。
6.在仪器长时间不使用时,要将其储存在干燥、清洁和稳定的环境中,以免仪器受潮、腐蚀或受损。
7.在操作电子显微镜时,要避免使用尖锐或硬物品接触样品、仪器内部或镜筒,以免划伤或损坏仪器。
扫描电镜(Quanta200FEG)操作规程
环境扫描电镜(Quanta200FEG)操作规程一.在Standby状态时:1.确认Chiller的水温、水压及Air compressor的气压正常;2.开启显示器;3.开启电镜控制器(主机),进入Windows2000操作系统,在提示下输入用户名及密码并确认;4.按下镜筒前面板上的绿色按钮,亮为开启状态;5.在Windows2000操作界面下,鼠标左键双击“XT Microscope Server”图标,进入Server界面;6.等待Gun&Vacuum、Optics、Motion及Imaging等四个信号灯全都变绿以后,鼠标左键单击“Start”,使系统开始进行初始化。
待操作界面(UI)出现后,鼠标左键单击XT Microscope Server界面右上角的“×”将该界面最小化至Windows2000操作界面的右下角(双击绿色近圆形图标可将其再次打开);7.根据提示,输入用户名及相应的密码并确认,然后做“Home Stage”;8.确认Gun Pressure正常(≤3e-7Pa)后,鼠标左键单击操作界面右上角的“Alignments”按钮,打开下拉菜单,选“5-Emitter Control”,鼠标左键依次单击“Start”、“Next”、“Emitter ON”等,以点燃灯丝。
这过程约需40分钟,然后鼠标左键单击Finish以结束该过程。
待Emission Current的数值稳定后(大约需要2-10小时)可以进行下一步的工作。
二.在Over night状态时:1.确认水温水压及气压正常;2.拉开样品室门,放入测试样品,用专用规尺测量样品的高度,一般应在10mm刻度线以下;3.轻轻关紧样品室门,同时须注意样品上表面与极靴要有一定距离,鼠标左键单击“Pump”,使样品室抽真空(这时真空信号指示灯由红变黄);4.当真空信号指示灯由黄变绿后,可以加高压开始测试(为保护TMP,一般应到5e-3Pa 以后再加高压)。
电子显微镜设备安全操作规定
电子显微镜设备安全操作规定一、前言随着科技的不断进步,电子显微镜已经成为了科学研究和教育的重要设备之一。
由于其对样本的高分辨率成像能力,使得其在物质结构、生物细胞、纳米材料等领域得到了广泛应用。
然而,由于其使用极度复杂而精细,操作人员需要具备丰富的经验和知识,才能做到安全操作。
为确保使用电子显微镜的人员安全和设备的正常运行,本文档旨在制定电子显微镜设备的安全操作规定,以供参考。
二、安全操作规定1.操作前1.1 入门培训新手必须接受电子显微镜使用的入门培训,了解设备的基本构造和操作流程。
并由专业技术人员进行指导,确保初次操作的安全。
1.2 准备工作在使用之前,应进行设备的相关准备工作。
* 清理工作区域,保持设备周围清洁。
* 检查设备是否处于正常运行状态。
* 检查信号缆、高压电缆、水冷硅片等是否连通正常。
* 检查标本是否放置合适。
1.3 穿戴防护服装使用电子显微镜前必须穿戴防护服装,包括实验室大衣、手套、护目镜和口罩等。
重要的是,穿戴的衣物应与设备本身无电子噪声干扰以保证观察结果的可靠性。
2.操作中2.1 强电安全电子显微镜是高电压设备,对操作人员的电气安全具有非常高的要求。
在电子显微镜使用期间,操作人员必须做到以下几点: * 禁止使用湿手进行操作。
* 禁止在设备外部表面涂抹物质,如止滑剂、绝缘剂等。
* 禁止使用金属物质与设备接触。
* 在使用设备之前,必须先接地防止静电干扰。
2.2 样本安全如在操作样本时不当,可能会破坏样本结构或者制造噪音,影响观察效果。
为避免发生这种情况,操作人员需要保证: * 尽量避免样品干涸。
* 在样品为生物材料时,必须加入正确的缓冲液和试剂。
* 避免用水清洗样品。
* 确保样品尺寸恰当,并且粘贴完整。
2.3 设备安全•请勿贴任何标签和纸张(包括贴纸、纸条等)在仪器表面。
•请勿在机械部件上堆放物品。
•设备间隔一段时间亮度会发生变化时,不要立即进行强制照射,以免照耗它件。
扫描电镜操作手册
扫描电镜操作手册扫描电镜操作手册一、目的本操作手册旨在为使用扫描电镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)的用户提供操作步骤和指南,以确保仪器的正确使用和延长其使用寿命。
二、操作步骤1、准备样品:根据SEM的要求,准备需要观察的样品。
确保样品具有足够的稳定性和导电性。
2、打开仪器:按顺序打开SEM的电源开关,并确保仪器稳定运行。
3、选择工作模式:根据样品的特性选择适当的工作模式(如高分辨率、低分辨率等)。
4、调整工作参数:根据需要,手动设置电子束加速电压、扫描速率、扫描分辨率等参数。
5、安装样品:将样品固定在样品台上,确保其稳定不动。
6、聚焦和校准:通过操作台面上的按钮或软件界面,调整电子束的聚焦位置和校准参数,确保图像的清晰度和准确性。
7、观察和记录:启动扫描过程,观察样品的微观结构,并使用计算机软件记录观察到的图像。
8、调整和优化:根据需要,对扫描参数进行调整和优化,以获得更好的图像质量。
9、关闭仪器:在完成观察后,按顺序关闭SEM的电源开关,并确保仪器完全停止运行。
三、注意事项1、在操作SEM之前,请务必阅读并了解仪器的操作手册和安全规范。
2、确保SEM的工作环境干燥、清洁,并避免强磁场、振动的干扰。
3、在安装和移动样品时,请避免与仪器碰撞,以免损坏设备。
4、在操作过程中,请勿将身体任何部位置于仪器内部,以防意外伤害。
5、若遇到任何操作问题,请及时联系专业人员进行处理。
四、维护与保养为了保持SEM的性能和延长其使用寿命,建议定期进行以下维护与保养工作:1、清洁真空系统:定期清洗或更换真空系统的组件,以确保仪器在高真空状态下运行。
2、检查电子枪:定期检查电子枪及其组件,确保其正常工作。
如需要,请更换老化的组件。
3、校准和调整:定期进行仪器的校准和调整,以保证图像的准确性和清晰度。
4、更换消耗品:根据需要,更换老化的真空泵油、过滤器等消耗品。
5、软件更新:定期更新SEM的软件系统,以确保其兼容性和稳定性。
电子扫描电镜安全操作及保养规程
电子扫描电镜安全操作及保养规程前言电子扫描电镜是一种高科技仪器,具有高分辨率、高增大比、高放大倍数等优点,在各种领域都有着广泛的应用。
然而,电子扫描电镜的操作也存在一定的安全风险,不当的使用可能会导致损毁设备或造成人员意外伤害。
因此,正确的操作及保养规程对于电子扫描电镜的长期使用和维护至关重要。
一、安全操作规程1.1 机器准备与开机操作电子扫描电镜作为一种极其精密的仪器,在使用前必须进行必要的准备。
操作员应该先检查仪器和周围环境是否符合使用标准,如: 确认设备电源、水、电和气路的接线是否可靠,确认仪器与支撑平稳等。
同时,操作员需戴上手套,确保不会在接触样品及移动零件时出现过多灰尘或指印,影响到扫描的效果。
开机操作前,操作员需先观察高压放电柜是否在正常发光,监测是否同步达到负高斯模式、屏摆及粗定。
然后才能打开高压电源,开启设备。
1.2 样品准备与安装样品的准备和安装是电子扫描电镜最容易出现问题的环节之一。
在样品准备前,应先对样品进行必要的处理,去除对扫描影响的杂质。
在样品安装环节中,需要操作员核实室温是否稳定,待机气压足够,样品把手是否被限位。
并确认样品在探测器视野范围内,避免安装后还需要重新调整样品位置、从而导致数据不准确的情况。
1.3 扫描操作在扫描操作中,要注意保持平稳的检测条件:检测室内含氧量与组成避免发生意外的振荡以及温度的波动。
同时,要保持各种参数的稳定——如: 扫描倍率、工作电压、倍增电压等。
在开始扫描之前,先进行调焦、对焦及像仪对中调整等,最后开始电子束击中样品以便获得所需要的影像。
1.4 关机与设备维护使用完毕的电子扫描电镜,操作员应及时将仪器关机。
对于已经使用过的样品,要立即清洗干净并予以冷冻塞入样架内保存。
对于设备的维护,保养工作也要及时进行——如: 对各种零部件进行清洗、润滑,检查机器结构,和保证周边环境的干净整洁。
在检修和更换设备部件的时候,一定要按照操作工序进行执行,避免任何擅自的修改。
FEI Quanta 200扫描电子显微镜操作标准操作规程说明书
Standard Operating ProcedureFEI Quanta 200 Scanning Electron Microscope This document is intended as a guide to the operation of the FEI Quanta 200ESEM by certified users. It provides details on sample loading, bringing the microscope up to operating conditions, normal operation procedures, sample removal, and returning the microscope to a powered down state. This guide is not intended for novice users.*Please fill out the log sheet before beginning using the microscope.1. Specimen Preparation and HandlingThe Quanta 200 has three operating vacuum modes to deal with different types of samples. High Vacuum (HiVac) is the conventional operating mode associated with all scanning electron microscopes. High Vacuum mode typically requires that the sample be conductive or properly mounted and coated for conduction. Coating reduces beam penetration and allows for a sharper image; however, it may mask elements of interest forX-ray analysis. The two other operating modes are Low Vacuum (LowVac) and ESEM.In these modes the column is under high vacuum and the specimen chamber is at higher pressures of 0.1 to 30 Torr. Observation of outgassing or highly charging materials can be made using one of these modes without the need to coat the sample with a conductive material. In some cases, a PLA (Pressure Limiting Aperture) cone placed on the conical objective maybe useful in LowVac mode because the gas in the chamber may cause “skirting” of the incident beam. ESEM mode is used primarily for any specimens that are considered “wet” and contain volatile components such as water or oil.The microscope is currently used in High Vacuum (HiVac) mode. If you want to use Low Vacuum please contact before Claudia Ojeda-Aristizabal or Rick Behl.Specimens should be clean, fixed, and properly mounted before loading them onto the specimen stage. The specimen must be electrically grounded to the sample holder with conductive tape or paint to minimize specimen charging.2. Computer User Interface (UI)The SEM is controlled by means of a Windows-based user interface (UI) program, calledxT Microscope Control.The primary SEM controls are accessed via the consoles on the right hand side of the screen. There are various tabs at the upper right hand side corresponding to different“pages”. The Work Page(Figure 1) contains the “Vacuum”console, the “Electron Column”console, the “Detectors”console, and the “Stage”console, with maps, coordinates, and tilt correction tabs, and finally, the “Status” console. The Options Page (Figure 2) contains the “Imaging” console. The various pages are accessed by selecting the desired tab from the top of the console.Images are displayed in the main window on the computer screen. The main windowis divided in to 4 quadrants (quads). The bottom right quadrant, quad 4, shows an infrared camera view of the inside of the SEM chamber. The upper right quadrant, quad 2, is typically used to display the secondary electron image. Quadrant 1 (upper left) may be used for the backscatter detector, and quadrant 3 (lower left) may be used to mix images from quad 1 and2.The SEM can be controlled by making selections from the Menu, clicking icons onthe Toolbar (Figure 3), or with keyboard commands (Figure 4). The mouse is also used tocontrol various functions on the SEM. The controls are discussed in detail in the following sections.Figure 1. The Work Page, located on the right side of the xT Microscope Control window.Figure 2. The Options Page, located on the right side of the xT Microscope Control window.Figure 3. The Toolbar, located on the top of the xT Microscope Control window.Figure 4. Keyboard shortcuts.3. Start up Procedure*Users must wear latex gloves when handling detectors or loading specimens.1.Fill out the Logsheet. Fill out the Date, User, Supervisor, Sample material,Acceleration Voltage, Time In, Time Out and any comments regarding the SEM (for ebeam lithography include spot sizes used and measured currents). Refer to the previous entry on the Logsheet to confirm the SEM status.2.From the xT microscope control user interface (UI), enter your Username andPassword. The general username is “supervisor”, and the password is “supervisor”.3.The column and specimen chamber are kept under vacuum when not in use to preventcontamination therefore first the system must be brought to atmospheric pressure to open the specimen chamber. First bring the stage to “Home stage” while watching the camera image, checking that the stage will not hit anything. In case of doubt, click “Stop”. Vent via the computer interface by clicking the “Vent” button on the “Vacuum” console. The program will display a prompt asking “Really vent the chamber?”. Click yes to vent the chamber.4.As the system vents, the Vacuum Status Indicator on the “Status” console willchange from green, to yellow while venting, and finally to red when vented. At this point, as you watch the camera image, open the chamber door by pulling the door carefully straight out. Check in the camera image that the stage is far from the eyepiece.5.After mounting your specimen to a specimen stub, insert the pin on the underside ofthe specimen mount into the opening in the top of the stage (see Figure 5). Use gauge to test the height of the sample before closing the door of the chamber.6.Close the chamber door as you watch the camera image and click the “Pump” buttonon the Vacuum console in the computer interface.7.Wait for 15min.During this time a green light will appear next to the vacuumpressure on the “Status” console. After 15min pumping, the accelerating voltage may be turned on by clicking on the “HV” button on the “Electron Column” console.(Even if the software allows to click “HV” before the 15min have passed, please wait.We suspect that the pressure gauge is not reading an accurate pressure in the chamber)Figure 5. Inserting the specimen stub into the stage.4. Adjusting Working Distance, Accelerating Voltage and Spot Size1.Set the highest point on the specimen to a working distance of approximately 10 mmby adjusting the z-axis on the stage. The z-axis can be changed by clicking on the camera view window or in quad 4, then clicking and holding the middle scroll button up or down over the yellow bar which will appear on the screen. It can also be changed by changing the relative coordinates in the stage menu. Approach to the 10mm mark on the screen little by little. Be prepared to stop the stage in case it gets too close to the eyepiece. Do a rough focusing on the highest point of the specimen.Once on focus, click on the icon . This couples the specimen height to the working distance.2.The accelerating voltage can be set between 0-30 kV via the “Electron column”console however, 10 kV will be adequate for most materials. For polymer and glass samples 2-6kV works well and for metals or highly conductive surfaces 30kV will provide high resolution.3.To obtain an image, click on the desired quadrant, 1, 2 or 3, and then click the rabbiticon on the toolbar for fastest render.4.Demagnify as far out as possible when setting up an image by pressing the “-“ key5.Adjust the magnification, focus, stigmator, contrast and brightness to desiredlevels as described below.6.Adjust the contrast and brightness, located on the “Detectors” console, to thedesired levels, or press F9 for the auto contrast brightness (ACB) function.7.Once the brightness and contrast have been adjusted, increase the magnificationusing the “+” key on the keyboard. Other magnification adjustments are• Higher/Lower = (+/-on num pad)• Coarse control = (Crtl key + mouse wheel up/down)• Fine control = (Shift key + mouse wheel up/down)• Round value = (*on num pad)• Select preset value from Magnification menu on the Option page8.Focus the image by holding the right mouse button and moving the mouse left orright.9.The “Spot size” on the “Electron column” console should be adjusted to improvethe image quality; however, in turn the brightness and contrast will need to be readjusted. In general, smaller spot sizes are used for high magnification/resolution while larger spot sizes are more suitable for low magnification and X-ray analysis.10.An area of interest can be moved to the center by locating the mouse pointer over itand double-clicking. To move the sample, the arrow keys, the center scroll button, the stage console, or the x, y and z knobs on the SEM chamber door can also be used.11.To optimize very high magnification imaging, the stigmator can be adjusted byholding the “Shift” key and the right mouse button simultaneously.5. Image Capture1.To capture an image, click on the desired quadrant, 1, 2 or 3.2.By clicking the “-“ button in between the “turtle” and “rabbit” buttons on the toolbarthe render speed can be decreased, thereby increasing the image quality shown on the screen and allowing for a better idea of how the final image will actually look. It is good technique to adjust the brightness and contrast a few times while switching back and forth between fast and slow raster speeds until the extremely bright regions are minimized and muddy looking regions show detailed contrast.3.To have good resolution in your saved image, the image size, located to the rightof the rabbit button, should be 1024x884. This results in an image of around 900kB.4.Now click the “camera” button on the toolbar to initiate a slow scan and capture afinal image.5.File – Save As… to save the image to the “Data” folder.All pictures should besaved under a subfolder with your Supervisor’s name.6.Transfer your images through the internet using the DELL black computer on theground (at the far left). Never insert a USB memory to the SEM computer8. Shut-down Procedure1.Reduce the magnification to its lowest value and turn off the accelerating voltage byclicking the “HV” button on the “Column” console.2.Bring the stage to home while you watch the camera image, checking that the stagewon’t hit anything inside the chamber. In cause of doubt, click “Stop”3.Once the accelerating voltage has been turned off, click the “Vent” button on the“Vacuum” console to bring the system back to ambient pressure.4.Once the system is fully vented, the “Vacuum Status” on the “Vacuum” consolewill display a red box.5.The specimen chamber can now be opened and the sample can be removed. Open thedoor carefully as you watch the camera image to check that the stage won’t hit anything, in particular the eyepiece. Remember user must wear latex gloves when unloading specimens or handling detectors.6. Remove the specimen stub from the socket.7.Now that the sample has been unloaded shut the specimen chamber door. The systemis kept under high vacuum when not in use, so click the “Pump” button on the “Vacuum” console as the door is hold closed. (If the system is in LowVac or ESEM mode, the environmental backing valve(EBV) should be shut when prompted by the computer)8.Wait until the vacuum indicator on the “Vacuum” console has turned green, a fewminutes after pump down has commenced, and record the pressure on the log sheet.9.Under File, log off from the system.1.Close the XT Microscope Control Program and click STOP UI. Shut down thecomputer by clicking the Windows Start button, then selecting Shut Down.puter. Don’t turn off the monitor, as it has a delicate switch.11.Make sure that the door is left locked when you leave9. Troubleshooting9.1 Shut Down Procedure for the SEMIf the program becomes unstable (for example the xT Microscope Control program windowis not updating, or the program crashes), you may need to shut down and restart the computerand/or the SEM. If you are unsure about any of these procedures, contact the Tom Douglass before proceeding.2.Close the xT Microscope Control program, click File, and select Exit. Stop UI.3.Shut down the computer by clicking the Windows Start button, then selecting ShutDown.4.Turn on the computer by pressing the power button.5.Log on. The user name is “supervisor” and the password is “supervisor”6.Double click the shortcut “xT microscope Server”7.Press Start on the xT microscope Server8.Press Start UI9.Again enter “supervisor” as both the user name and password9.2 Blown FilamentIf these is no picture with the HV on, check the Status console. If the filament or emission current reads zero, then the filament may be blown. Contact SEM manager (Tom Douglass)for replacement.9.3 Venting (currently the system is vented with air. A nitrogen dewar will be hooked up in the close future)The system is hooked up to a nitrogen dewar, which provides a clean, dry gas which is letinto the SEM chamber during venting. The gas pressure should be not more than 1-2 psi, to prevent damage to the EDS system. If the dewar is empty, then the vacuum may not be released completely after the system has been vented. In this case, the nitrogen tank pressurewill read zero (or close to zero), and the tank level may show empty (or close to empty).In this case, take an adjustable wrench and remove the plastic hose from the gas regulator fitting. This will allow a path for room air to enter the chamber. Click “pump” and wait untilthe system begins pumping. Then, click “vent” to vent the system. The chamber door should open easily when the vent cycle is completed.Do not force the door. Should you continue to have problems, contact the SEM Manager.9.4 Help FileFurther information is available in the help file. Press F1 to access the online help file, or open the pdf file shortcut on the desktop.10. References10.1 Print referencesScanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis, Goldstein, J., Springer (2003). Scanning Electron Microscopy: A Student's Handbook, Postek, Michael T., et al., Ladd Research Industries (1980).Scanning Electron Microscopy, X-Ray Microanalysis, and Analytical Electron Microscopy: A Laboratory Workbook, Lyman, C., et al, Springer (1990).Electron Optics, Grivet, P., Pergamon Press (1972)10.2 Electronic references for Electron Microscopy/Resources/StudentLearning/tabid/91/language/en-US/Default.aspx/wiki/Scanning_electron_microscope/microscopy/home.html/CMRAcfem/em.htm/CMRAcfem/em.htm/microscopy/guide.aspxPlease contact Prof. Rick Behl (**********************) for Low Vacuum mode or ESEM modeAppendix A – Low Vacuum ModeLow vacuum mode allows a non-conductive or “wet” sample to be imaged by creating a water-vapor-containing atmosphere in the SEM chamber. The pressureallowed range from 0.8 to 1 torr. To operate in LowVac mode the Large Field Detector(LFD), shown in Figure A1, must be installed. The LFD is inserted into the blackconnecter in the rear of the specimen chamber, as shown in Figure A2. The LFD isnormally left in the microscope to enable the user to switch between low and high vacuummode without venting the chamber. When using LowVac mode a PLA cone can be used,if desired. The PLA is installed onto the conical objective (Figure A3).After installing the LFD and PLA and closing the chamber, select “Low Vacuum”on the Vacuum console area of the computer interface. Set the desired starting pressure(0.8 to 1.0 torr), and click “Pump”. Before pumping down, the computer will ask if anycone accessories are being used. Click beside the picture of the accessory being used sothat the system is aware of it presence.The environmental backing valve (EBV), located on the left side of the SEM column, must also be opened (see figure A4). The computer interface will display aprompt when it is time to open this valve.Figure A1. Underside of the Large Field Detector (LFD).Figure A2. Installing the LFD or GSED into the connector in the rear of the chamber can be awkward; be sure to match up the slots in the card with the connector properly.Figure A3. Inserting the GSED or PLA aperture into the conical objective opening where the beam is emitted.Figure A4. Open the environmental backing valve (EBV) only when prompted by the computer system.Appendix B – ESEM ModeESEM mode is used when a higher water vapor pressure than is allowed in low vacuum mode is needed. The pressure in this case can go up to 30 torr. When using ESEM mode the Gaseous Secondary Electron Detector (GSED)must be installed.The GSED has an integrated flexible pc board that must be inserted into the signal connector behind the conical lens (Figures B1 and B2) and an aperture that must be plugged into the conical objective opening were the beam is emitted. This aperture is inserted over the conical objective in the same way a PLA is in Low Vac mode (see figure A3 in the previous section).When using ESEM mode, select “ESEM” on the “Vacuum”console area of the computer interface. The environmental backing valve (EBV) located on the left side of the column must also be opened (see Figure A4 in the previous section). The computer interface will display a prompt when it is time to open this valve.Installing the Gaseous Secondary Electron Detector (GSED)Figure B1. Gaseous Secondary Electron Detector (GSED).Figure B2. Inserting the GSED card into the connector slot.。
操作规程如何正确操作电子显微镜
操作规程如何正确操作电子显微镜电子显微镜是一种非常重要的科学仪器,广泛应用于材料科学、生物科学、环境科学等领域。
正确的操作规程对于获得准确且有效的实验结果至关重要。
本文将介绍如何正确操作电子显微镜,并提供一些操作技巧和注意事项。
一、准备工作在正式操作电子显微镜之前,必须做好一些准备工作。
首先,确保电子显微镜周围的环境干净、整洁,防止其受到灰尘、污染物等的干扰。
其次,检查设备的电源和电缆,确保其正常工作。
最后,准备好所需的样品,并确保其表面光洁无尘。
二、操作步骤1. 开机准备:1. 将电子显微镜连接到稳定的电源,并打开电源开关。
2. 打开冷阱以确保真空质量。
3. 打开水冷却装置以保持温度稳定。
2. 调整显微镜参数:1. 选择适当的倍率和放大倍数,根据样品的特点和需要进行选择。
2. 调节对比度、亮度和聚焦等参数,以获得清晰的图像。
3. 如有必要,通过调节对焦杆和电子束对位,确保样品和探测器的正确对准。
3. 放置样品:1. 将样品放置在样品台上,并确保其稳定固定。
2. 如有必要,可以使用导电剂或金属涂膜来增强样品在电子束下的导电性。
4. 扫描样品:1. 点击扫描按钮,开始样品的扫描。
2. 观察样品在屏幕上的图像,并调整参数以获得最佳图像质量。
3. 如有必要,可以使用不同的检测器来观察样品的不同性质。
5. 数据处理:1. 使用相应的图像处理软件,如ImageJ等,对获得的图像进行分析和处理。
2. 可以测量样品的尺寸、形状、成分等参数,并生成相应的图表和数据结果。
3. 如有必要,可以进行图像的后期处理,如对比度调整、滤波等,以改善图像质量和可视化效果。
三、操作技巧和注意事项1. 避免触摸和碰撞:在操作过程中,尽量避免触摸和碰撞显微镜和样品。
2. 定期清洁:定期对电子显微镜进行清洁和维护,包括镜头、样品台和电子束通道等部分。
3. 正确保存:正确保存样品和数据,并在实验结束后关闭电子显微镜、冷阱和水冷却装置等设备。
环境扫描电镜安全操作及保养规程
环境扫描电镜安全操作及保养规程前言环境扫描电镜是一台高度复杂的仪器,它需要谨慎、仔细地进行操作和保养。
本文介绍了环境扫描电镜的相关安全操作和保养规程,以确保扫描电镜能够保持最佳性能,同时确保使用者在操作过程中安全。
安全操作安全措施•环境扫描电镜必须操作在一个安全的、干燥的、洁净的、受控制的环境中。
•操作人员必须在仪器操作和检查过程中佩戴干净、耐化学药品的手套,不要穿着任何带有金属结构或功能的衣服。
•在操作前必须熟悉扫描电镜的基本操作程序,并按照操作流程进行操作。
•在操作过程中,必须严格遵守操作规程,不得随意拆卸和更换仪器部件,以免对仪器造成损坏。
样品准备•样品需完全干燥,不能有液体或气态成分,以免对仪器造成损坏。
•样品表面需平整光滑,并且不能带有粉尘和污染物,以确保样品准确被探测。
•为了避免对操作人员造成危害,应避免测试含放射性的样品。
操作程序•打开电源,开启仪器,并根据操作手册进行仪器初始化。
•根据所需分辨率进行优化参数设置,并进行样品扫描。
•操作完成后,关闭电源并进行仪器清洁。
保养规程保养周期•建议每年对环境扫描电镜进行一次全面维护和清洁。
•在每次使用仪器后,必须对仪器进行及时清洁。
保养步骤1.仪器清洗•使用清洁棉和纯水或乙醇进行清洁。
保证清洁棉摸起来干爽,不含任何有害元素。
•清洁前必须关闭电源并拔掉电缆。
•清洗仪器内外的各个部件,包括玻璃窗口和涂层,注意不要损坏高压电极、扫描电极等部件。
2.保养•定期检查并更换碳线和电极,确保维护维持正常运转。
•定期更换与仪器运作相关的机械零件(如马达、滑轨等)。
3.存储•环境扫描电镜不用时存放在一个干燥、温度适宜、没有任何粉尘的仪器存放室内。
•电镜头等部件存放时应注意防潮、防尘等,避免存放在潮湿及易携带灰尘的地方,以免造成腐蚀或电气短路。
结语在使用环境扫描电镜时,必须严格遵守操作规程,注意对仪器进行正确的保养和维护。
正确操作和保养可以确保高效地使用环境扫描电镜,并延长仪器的使用寿命。
扫描电镜操作规程
扫描电镜操作规程扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种将电子束聚焦在样品表面,通过扫描方式来获得样品高分辨率3D表面形貌和成分信息的仪器。
为了确保SEM操作的有效性和安全性,以下是SEM操作规程。
一、设备准备:1.认真阅读并了解SEM操作说明和安全规范。
2.检查SEM主机和附件是否处于正常工作状态,包括真空度、电源和冷却系统。
3.确保SEM试样台和样品夹具是干净的,无油污和灰尘。
二、样品处理:1.样品制备前,需要了解样品性质和要求,选择合适的样品制备方法。
2.对于生物样品,应优先使用冷冻切片等方法固定样品形态,以避免形变。
3. 样品尺寸应适合SEM观察,常规样品尺寸为10mm×10mm。
三、真空系统操作:1.打开SEM干净室门前,请先关闭室门内的LED灯进行暗室操作。
2.打开真空系统电源,并调节抽真空系统排气阀门,观察真空度是否达到工作要求。
若真空泄漏现象,请通知维修人员。
3.室外样品台安装完成后,请确保样品台和附件干净,并将样品固定到样品夹具上。
4.朝样品夹具上的固体样品均匀喷涂金属薄层来提高导电性。
四、SEM主机操作:1.打开SEM主机电源开关,仪器会进行自检程序,确认系统启动正常后才能进行操作。
2.将SEM控制软件打开,并加载上一次使用的配置文件,确认加热丝和工作功能正常。
3.调节电子枪电流和加速电压,以达到最佳分辨率和清晰度。
4.运用选择二级电子或回散二级电子来实现图像形成,根据具体需求调整像素率和扫描速度。
五、SEM样品观察:1.在获得清晰的样品图像之前,调整样品和悬臂梁的位置,以保证电子束准确的投射到样品表面。
2.调节电子束扫描范围、分辨率和时间,以获得高质量的SEM图像。
六、SEM样品操作结束:1.操作完成后,关闭SEM主机电源开关和控制软件。
2.关闭系统真空排气阀门,并观察真空泵的运行情况,确保真空度恢复正常。
3.清理和保养SEM主机和附件,如清除样品夹具上的残留物。
电子显微镜安全操作及保养规程
电子显微镜安全操作及保养规程前言电子显微镜是一种高端科学实验设备,具有非常高的分辨率和准确度。
在使用电子显微镜时,我们必须要了解相关安全操作和保养规程,以确保设备的正常使用和延长设备的寿命。
本文将介绍了电子显微镜的安全操作和保养规程。
安全操作规程1. 使用限制电子显微镜需要在特定的实验环境中才能正常工作,这些环境通常是无尘、干净和温度适宜的实验室。
在使用电子显微镜时,需要注意以下限制:•只有经过培训和授权的人员可以使用电子显微镜,不得进行个人的试验和研究。
•必须遵守实验室的规定,按照实验室内部的安全程序进行操作。
•非必要情况下不要将设备移动,并确保设备的平稳和稳定。
2. 注意事项在使用电子显微镜时,需要注意以下事项:•使用前,确保所有连接线都已经插好。
•不要在电子显微镜周围存放任何物品或容器,以免影响设备的正常工作并修理。
•不要进行过度重的按键操作,也不要随意拆卸和组装设备。
•使用设备后,应该进行良好的清理和保养。
3. 安全操作流程操作电子显微镜需要遵守以下流程:1.打开仪器2.调试并等待常规的预热时间(通常为10分钟-30分钟)3.寻找要观察的样本,并将其置于样本台上,并使用必要的显微镜底座进行定位和卡住样本。
4.调整对焦和放大系数,观察样本。
5.获得所需数据后,整理和保存数据,并关闭仪器,离开实验室。
保养规程1. 清理保养维修和保养是电子显微镜正常运作的关键。
因此,电子显微镜的保养标准应是:坚持定期清洗维护。
以下是保养步骤:•使用吸尘器对电子显微镜内外部进行吸尘;•使用电子灰尘擦拭机或类似产品轻轻擦拭电子显微镜的表面,确保不受到任何划痕。
2. 基本的维护和保养•对设备的运转进行日常监督,并在必要时调整设备;•定期清理灯和反射器;•定期更换电子显微镜底座的灯球;•在维护和保养之前需要切断电源。
结论本文介绍了电子显微镜的安全操作和保养规程,旨在确保设备的正常使用和延长其寿命。
电子显微镜是一个非常精密的设备,任何违反操作规程的错误行为都可能对设备造成很大的损害,因此在对设备进行操作之前,必须要了解相关的规程。
国检检测扫描电镜操作规程
国检检测电子扫描显微镜操作规程一.启动系统1、开启设备总电源开关2、启动主机后面板上的电镜电源开关MAIN ELB。
3、在主机前面板上的EV AC真空控制面板上将钥匙转动到START位置,然后放手,系统开启。
4、等待计算机进入操作界面,按确定键启动软件。
二、安装样品1、在控制面板上按AIR按钮,系统开始放气。
2、等到放气结束电脑显示可更换样品时,带上清洁手套,测量安装在样品托上的整个样品的高度,然后打开样品室,将安装有样品的样品托放入样品室。
3、关上样品室,按EV AC键1~2秒,设备开始抽真空,约两分钟后可开始观察样品。
三、样品扫描1、待控制面板显示抽真空结束时,按操作软件左上角的ON按钮,开始加载加速电压。
2、加速电压加载完毕后,可开始扫描操作。
四、更换样品1、按操作软件左上角的OFF按钮,开始卸载加速电压。
2、按HOME键,将样品调整至最初位置。
3、按AIR键按1~2秒,样品室开始放气,待放气完毕即可开始更换样品。
五、关闭设备1、关闭设备前,要保持样品室是真空状态。
2、直接点击操作软件右上角的关闭键,关闭软件。
3、关闭电脑4、将前控制面板上的钥匙旋转至OFF位置。
5、关闭主机后面板上的电镜电源开关MAIN ELB。
6、关闭设备总电源开关六、注意事项1、样品在放入样品室之前必须要干燥、清洁。
2、更换样品须带上清洁手套,不允许用赤裸的手握样品或样品托。
3、开关机顺序和更换样品顺序都必须按照规定步骤进行。
4、测量样品高度时,误差不得超过4mm,否则会导致镜头损坏。
七、维护保养1、一个星期对空压机进行排水,以保证空压机的性能。
2、一个星期检查压力计、压力开关和安全阀一次。
3、一个月对螺栓、螺钉、螺母的进行拧紧一次。
扫描电镜安全操作规程
扫描电镜安全操作规程扫描电镜安全操作规程一、设备安全操作环境要求:环境温度:17℃—24℃相对湿度: < 80%场地磁场:同步:<3x10-7T异步:<1x10-7T振动:对于主动式电磁减振: <10um/s 低于30HZ<20um/s 高于30HZ噪声:小于60dBC海拔:低于3000m二、设备硬件主要由UPS 、氮气瓶、真空泵、电镜主机部分组成1. 电镜用电安全:a) 只有工程师才能对电镜的主电源,UPS 电源线和UPS 开关进行维修操作。
b) 用户负责熟悉设备保养和安装。
电镜工作所需要的高电压是有危险性的。
2. 电镜使用UPS 时:a) 开机:首先确认市电是否正常,电池开关处于闭合状态。
按面板上的开关键(3—5秒)后放开,待UPS 内部自检完毕开机。
换样品时卸至标准气压UPS 供电电镜主机供电电脑开启真空泵开启氮气瓶更换样品换好样品后抽真空软件控制真空状态b)关机:首先确认电源负载设备断掉。
按面板上的开关键(3—5秒),此时UPS处于旁路状态。
依次关闭蓄电池组开关及市电开关。
3.电镜使用氮气时:a)使用时不可将钢瓶内的气体全部用完,一定要保留0.05MPa以上的残留压力。
b)使用时要把钢瓶牢牢固定,以免摇动或翻到。
c)开关气门阀要慢慢地操作,切不可过急地或强行用力把它拧开,防止压力过大造成损伤。
4.电镜使用nXDS10i完全无油干式涡旋泵时:a)注意防止液体侵入;b)注意防止灰尘堆积;c)注意环境不当的温度波动。
5.电镜样品室开关操作:a)样品室内标准气压时可以直接开启;b)样品室内真空状态需要先开启氮气瓶准备通入氮气,在软件内选择卸压,设备允许时进行开仓操作。
扫描电镜操作流程
扫描电镜操作流程操作扫描电镜是一项需要仔细操作和准确实施的过程。
以下是一份详细的扫描电镜操作流程,请按照顺序操作。
1. 准备工作在进行扫描电镜操作之前,您需要做一些准备工作。
首先,确保扫描电镜的工作环境整洁,没有灰尘或杂物。
然后,检查电镜的供电情况和仪器状态,确保电源正常连接并处于稳定状态。
2. 样品制备选择您要观察的样品,并进行适当的制备。
具体制备步骤会因不同的样品类型而有所不同,但一般包括固定样品、切片和上样。
确保样品处理过程中遵循相应的安全规范,并使用适当的工具和试剂。
3. 装载样品将制备好的样品装入扫描电镜样品室。
这一步需要小心操作,以免损坏样品或者导致其他问题。
确保样品正确而稳定地安装在样品台上,并避免触碰到样品表面。
4. 调整仪器参数在开始观察前,您需要调整扫描电镜的一些参数,以获得最佳观察效果。
首先,调整电子束的加速电压。
根据您的样品类型和需要观察的细节,选择适当的加速电压。
然后,调整电子束的聚焦和对准,以确保电子束能够准确地照射到样品表面。
5. 图像获取调整好仪器参数后,您可以开始进行图像获取。
使用扫描电镜软件控制图像采集过程。
在获取图像前,确保样品所在区域是清晰可见的,并根据需要选择适当的放大倍数。
同时,确保在图像获取过程中保持仪器的稳定性,避免外部干扰。
6. 数据分析与保存当您获得一组满意的图像后,可以对这些图像进行进一步的分析。
使用扫描电镜软件可以进行图像增强、测量、标记等操作。
根据您的需要,对图像进行必要的分析,并将结果进行记录和保存。
7. 清理与关闭当完成扫描电镜操作后,确保对实验环境进行清理。
处理好使用过的化学试剂和样品残留物,并将仪器内外部进行清洁。
断开电源,并依据实验室的相关规定进行仪器关闭。
通过遵循以上流程,您可以顺利进行扫描电镜操作,并获得准确可靠的结果。
请确保在操作过程中保持耐心和仔细,以确保实验的成功进行。
扫描电镜操作规程
扫描电子显微镜操作规程1. 打开墙上配电箱里的空气开关(见标签上开下关)2. 打开变压器电源(正常电压应为100v)3. 打开主机电源:钥匙拧到START位置,停两秒松手,钥匙回到I位置。
4. 打开电脑电源5. 点击桌面图标,等待6. 当HT图标显示蓝色后,点VENT排气(排气时vent闪,排完气vent不闪),排完气方可打开样品室7. 正确选择Z轴高度(需要估计样品高度,Z轴大于样品高度放入样品,关闭样品台,点击EV AC抽气,抽气时推着样品室门,听到机械泵响声后松手8. 打开HT图标(此图标在非真空下是灰色,真空位蓝色,打开灯丝拍照为绿色)9. 选择扫描模式、加速电压(0.5-30KV之间选择,一般微生物类样品选10左右)、WD工作距离(10-15之间选择)、SS电子束斑(一般选30-40)10. 在SCAN2下调焦、调整对比度及亮度、调消象散(放大时照片晃动、或者样品变形、或者整体移动可点WOBBLE(一般10000倍左右调节有效果)调节光缆使照片不晃动)11. 高倍下调清晰度,低倍下拍照,拍照选择photo(曝光40秒)或者SCAN4(曝光80秒),拍完选择FREEZE并保存照片12. 拍完照后关闭灯丝,点VENT排气(排气时vent闪,排完气vent不闪),排完气方可打开样品室,取出样品台;关闭样品台,点击EV AC抽气,抽气时推着样品室门,听到机械泵响声后松手13. 依次关闭软件、电脑、主机电源、变压器、空开注意事项1.注意Z轴的距离要足够高不要让样品碰到探头2.慢慢调节光缆,防止调节过快看不到被观察物3.取、放前一定要卸真空,再抽真空4.关机的时候,要在真空状态下关机5.拍完照后要及时关闭灯丝6.请不要使用UBS接口,要拷贝数据请使用一次性光盘,光盘插入直接复制数据即可7.实验前后都要填写仪器使用登记表,实验完成后填写仪器使用记录;8.正确操作仪器,使用过程中如发现仪器出现异常情况,应及时与实验室管理人员联系;9.要求用托盘盛放药品,避免药品直接放在实验台上,实验结束及时清洁实验台,带走所有实验试剂及样品;10.仪器使用人员有义务打扫实验室卫生;11.仪器使用人员有义务和责任负责实验室内实验仪器的安全;12.仪器使用人员有义务和责任负责实验室内水、电安全。
Quanta-200扫描电镜实验室安全操作规程
Q u a n t a-200扫描电镜实验室安全操作规程-CAL-FENGHAI-(2020YEAR-YICAI)_JINGBIANQuanta 200扫描电镜实验室安全操作规程1.开机前的检查1.1室温:18℃~25℃;1.2湿度:<80%;1.3Quanta 200 真空泵PVP1和PVP2的油面指示应在规定位置,油要干净,无色透明,无污染,每月检查一次;2.试样制备2.1微细和超细粉体(粒度<10m)样品,取少量样品直接放在烧杯中,用无水乙醇做溶剂,超声分散,用干净滴管吸取少量液滴置于铜托上,并用红外灯照射干燥;2.2粗颗粒样品,取少量粘在铜托上的导电胶带上,用无毛纸轻压,使样品颗粒牢牢粘住,并清楚粘在铜托侧面上的粉样;2.3块状样品,高度应在15mm以下,要用无水乙醇浸泡,清洗干净,放在超声波水槽中处理,以除去油脂、灰尘、赃物和水分;2.4试样一定要无水、无油,观察前要用红外灯照射干燥。
3.开机严格按开机顺序操作,开机抽真空5分钟内,系统真空应达到要求(<10-4Torr),如果系统真空不能达到要求,应检查样品室门是否关好、样品室密封圈垫圈及密封平面是否干净或其它连接处是否有漏气现象。
如果不能解决应及时报告,并与厂商联系。
4.试样观察4.1按仪器说明步骤操作,选择合适工作参数;4.2注意样品高度,样品的高度要小于卡尺的长度,千万不要使样品观察面碰触物镜下方的背散射电子探测器;4.3更换样品时,一定要先切断灯丝高压,待灯丝冷却5分钟以后再放气。
开关样品室门,手扶住门下侧的拉杆,轻轻地向外或向里推。
勿抓X、Y、Z、R调节杆来开关门,门要拉到合适的位置,才能更换试样。
要带手套取放样品架,手千万不要伸到样品室内,以防止碰伤各种探测器;4.4更换样品时,开关门动作要轻,不使镜筒产生过大振动。
更换样品后要及时关门,样品室放大气的时间不宜过长,一般不得超过20分钟;4.5样品室内如果脏了,用无尘纸(布)擦拭,注意不要碰触探测器;4.6仪器观察过程中,若暂时停止观察,应立即切断灯丝高压;4.7仪器观察过程中,若突然发生断电事故,应立即切断计算机电源开关再切断服务器电源开关,最后切断总电源开关。
扫描电镜操作规程
扫描电镜操作规程
开机操作:
1.开变压器电源
2.开主电源
3.开真空(VACSW1键点亮)
4.开水箱电源
5.开操作系统(右手OPESW1键点亮)
6.开电脑(账户和密码均为SEMUSer)
7.开软件(桌面PjSEM)GUeSt账户,无密码
8.仪器进行自检,等待5分钟后,所有自检变绿通过,初
始化样品台,主机上EXCHPoSN灯亮起。
9.推入样品,EXCHPoSN以及H1DR灯亮起
10.开电子枪Maintance-Gun-Starup 电源会持续增加
Fi1amentCurrent至2.29ExtractVo1tage至3.0
11.半个小时后电子枪稳定,SIP-1<9E-8,SIP-2<2E-6
12.若真空读数稳定低于至5.0E∙4后,则可进行实验
关机操作:
1.关闭主屏上观察OBSERATIONOFF
2.关电子枪M AINTANENCE-G UN-S HUTDOWN等待
Fi1amentCUrrent慢慢变为0
3.打开Camera,确认所有探头均退出样品舱,将样品取出或
退到准备舱
4.关软件操作系统Fi1e-exit-exit
5.关闭电脑
6.关闭电镜操作系统(控制台右下方OPESW上0键点击变
亮其中I键为开启)
7.关闭真空系统(控制台左下方VACSW。
键)
8.关水箱(控制台右后方的白色箱子MAIN阀门拉下)
9.5分钟后,关闭主电源(控制台左下方M1ANSWo键
点亮)
10∙确定备用电源处于工作状态(控制台面上左上方,白色盒子,工作时绿灯亮起,电流超过20UA)
I1关闭变压器(机器后,最左侧蓝色箱子,阀门拉下)。
扫描电镜安全操作规程
扫描电镜安全操作规程一、设备安全操作环境要求:环境温度: 17℃—24℃相对湿度: < 80%场地磁场: 同步:<3x10-7T异步:<1x10-7T振动:对于主动式电磁减振: <10um/s 低于30HZ<20um/s 高于30HZ噪声: 小于60dBC海拔: 低于3000m二、设备硬件主要由UPS 、氮气瓶、真空泵、电镜主机部分组成1. 电镜用电安全:a) 只有工程师才能对电镜的主电源,UPS 电源线和UPS 开关进行维修操作。
b) 用户负责熟悉设备保养和安装。
电镜工作所需要的高电压是有危险性的。
2. 电镜使用UPS 时:a) 开机:首先确认市电是否正常,电池开关处于闭合状态。
按面板上的开关键(3—5秒)后放开,待UPS 内部自检完毕开机。
换样品时卸至标准气压UPS 供电电镜主机供电 电脑开启真空泵开启 氮气瓶 更换样品换好样品后抽真空 软件控制真空状态b)关机:首先确认电源负载设备断掉。
按面板上的开关键(3—5秒),此时UPS处于旁路状态。
依次关闭蓄电池组开关及市电开关。
3.电镜使用氮气时:a)使用时不可将钢瓶内的气体全部用完,一定要保留0.05MPa以上的残留压力。
b)使用时要把钢瓶牢牢固定,以免摇动或翻到。
c)开关气门阀要慢慢地操作,切不可过急地或强行用力把它拧开,防止压力过大造成损伤。
4.电镜使用nXDS10i完全无油干式涡旋泵时:a)注意防止液体侵入;b)注意防止灰尘堆积;c)注意环境不当的温度波动。
5.电镜样品室开关操作:a)样品室内标准气压时可以直接开启;b)样品室内真空状态需要先开启氮气瓶准备通入氮气,在软件内选择卸压,设备允许时进行开仓操作。
扫描透射电子显微镜设备安全操作规定
扫描透射电子显微镜设备安全操作规定前言扫描透射电子显微镜是一种高端的电子显微镜设备,因其能够观察微观结构,被广泛应用于生物学、物理学、材料科学等领域。
为了更好地保护使用者和设备的安全,建立一套高效且规范的安全操作流程是必不可少的。
本文将介绍扫描透射电子显微镜设备的安全操作规定。
操作前的准备•身体状况检查:身体状况不佳者禁止操纵设备;•着装要求:操作者需要穿戴实验室工作服、实验室鞋,并系好安全带;•清洁要求:保持操纵台面洁净,放置操作需要的工具和样品,并保证实验室内干燥。
着手准备操作前,还要将转台和上下方向的移动平台进行全面检查,确保设备的稳定性。
设备开启与校准•倒数设备和系统运行:请先将电子显微镜系统处于暂停状态,确保安装完整并打开设备的电源;•低压扫描模式:在开启高压之前,要确保设备处于低压扫描模式。
开启模式后,请调整电子能量,直至达到最佳工作状态;•校准:校准前,请先打开设备内置的校准程序。
在进行显微镜操作之前,请进行清洁和校准。
操作过程•样品标记:在进行扫描透射电子显微镜的操作前,请先将样品置于标记位置,进行标识并记录;•样品环境:在观测和拍摄过程中,请务必采取相应的样品环境控制措施,例如利用微焊接和除尘器,确保在操作显微镜时,样品周围发生的其他反应不会影响到观察和拍摄的效果;•观测和拍摄:操作者应该严格遵守相关的安全操作规程,看到目标物体之前,请设置好所需的扫描模式,然后进行观测和拍摄。
为了避免辐射和EMI干扰,请使用好防护器,并考虑使用避免辐射的样品支架。
操作完成后的处理•数据保存:在进行完扫描透射电子显微镜操作之后,一定要以标准的格式保存数据。
保存好后,请彻底关掉设备并清理操纵区;•节能环保:请将实验室清洗干净,并做好节能措施;•设备保养:在操作完成后,还需要对设备进行保养和维护,以保证下一次操作的顺利进行。
注意事项扫描透射电子显微镜是一种非常高端的电子显微镜设备,通过本文的介绍,我们可以知道在使用扫描透射电子显微镜时,我们需要做好以下几方面:•在进行操作前,需要做好身体状况检查,并进行清理和校准;•在操作过程中,请遵守相应的安全操作规程等保证对身体以及设备的安全;•在操作结束后,请做好数据保存、节能环保以及设备保养工作等等。
扫描电镜的使用流程
扫描电镜的使用流程1. 准备工作在使用扫描电镜之前,需要进行一些准备工作,以确保设备的正常运行和样品的质量。
•将扫描电镜放置在稳定的平台上,并连接电源线。
•检查设备是否处于正常状态,保证电镜和屏幕功能正常。
•准备好需要观察的样品,并确保样品表面干净、平整。
2. 扫描电镜的打开和预热在正式使用扫描电镜之前,需要进行打开和预热的操作。
•按下电源按钮,启动扫描电镜。
•等待设备完成启动程序,通常需要几分钟的时间。
•在设备预热的过程中,可以将样品放置在样品架上准备观察。
3. 样品装载样品装载是使用扫描电镜的重要步骤,需要注意一些细节。
•打开样品室的门,并使用工具小心地将样品放置在样品架上。
•关闭样品室的门,确保样品安全。
•确保样品架和样品室的接触良好,以避免扫描电镜运行时的异常情况。
4. 图像获取和观察使用扫描电镜进行图像获取和观察是主要的操作步骤。
•打开扫描电镜软件,并选择合适的观察模式。
•调整图像的对比度、亮度和聚焦等参数,以得到清晰的图像。
•通过镜头调节观察范围和放大倍数,选择合适的视野。
•使用扫描电镜的操作杆或按钮,移动和调整样品的位置和角度,以获取更多的信息。
5. 数据保存和分析在观察完样品并获得需要的图像后,需要进行数据保存和分析。
•将观察到的图像保存到计算机或其他存储设备中。
•根据需要,对图像进行后续的操作和分析,如测量、计数、拼接等。
•将分析结果整理并保存,以备将来参考和报告使用。
6. 关闭扫描电镜使用完扫描电镜后,需要进行关闭和清理的操作。
•关闭扫描电镜软件。
•关闭扫描电镜设备,并断开电源线。
•清理样品架和样品室,确保下次使用时的卫生和安全。
•将设备和周围环境归位,保证实验室的整洁。
以上就是使用扫描电镜的基本流程,希望能对你在使用扫描电镜时有所帮助。
记得在操作过程中遵守安全规范,保护好设备和样品的安全。
扫描电镜(Quanta200FEG)操作规程
扫描电镜(Quanta200FEG)操作规程环境扫描电镜(Quanta200FEG)操作规程一.在Standby状态时:2.开启显示器;3.开启电镜控制器(主机),进入Window2000操作系统,在提示下输入用户名及密码并确认;4.按下镜筒前面板上的绿色按钮,亮为开启状态;5.在Window2000操作界面下,鼠标左键双击“某TMicrocopeServer”图标,进入Server界面;6.等待Gun&Vacuum、Optic、Motion及Imaging等四个信号灯全都变绿以后,鼠标左键单击“Start”,使系统开始进行初始化。
待操作界面(UI)出现后,鼠标左键单击某TMicrocopeServer界面右上角的“某”将该界面最小化至Window2000操作界面的右下角(双击绿色近圆形图标可将其再次打开);7.根据提示,输入用户名及相应的密码并确认,然后做“HomeStage”;8.确认GunPreure正常(≤3e-7Pa)后,鼠标左键单击操作界面右上角的“Alignment”按钮,打开下拉菜单,选“5-EmitterControl”,鼠标左键依次单击“Start”、“Ne某t”、“EmitterON”等,以点燃灯丝。
这过程约需40分钟,然后鼠标左键单击Finih以结束该过程。
待EmiionCurrent的数值稳定后(大约需要2-10小时)可以进行下一步的工作。
二.在Overnight状态时:1.确认水温水压及气压正常;2.拉开样品室门,放入测试样品,用专用规尺测量样品的高度,一般应在10mm刻度线以下;3.轻轻关紧样品室门,同时须注意样品上表面与极靴要有一定距离,鼠标左键单击“Pump”,使样品室抽真空(这时真空信号指示灯由红变黄);4.当真空信号指示灯由黄变绿后,可以加高压开始测试(为保护TMP,一般应到5e-3Pa以后再加高压)。
选择合适的高压(HighVoltage)及束斑(SpotSize);5.按住鼠标右键调聚焦,然后鼠标左键单击“CoupleZtoFWD”,建立Z轴高度与焦距的关联(需在由低至高的不同放大倍率下反复多次);6.选择合适的对比度和亮度和观察区域,反复聚焦及消像散(一般在3000倍以下不须要消像散)。
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Quanta 200扫描电镜实验室安全操作规程
1.开机前的检查
1.1室温:18℃~25℃;
1.2湿度:<80%;
1.3Quanta 200 真空泵PVP1和PVP2的油面指示应在规定位置,油要干
净,无色透明,无污染,每月检查一次;
2.试样制备
2.1微细和超细粉体(粒度<10μm)样品,取少量样品直接放在烧杯中,用无水乙醇做溶剂,超声分散,用干净滴管吸取少量液滴置于铜托上,并用红外灯照射干燥;
2.2粗颗粒样品,取少量粘在铜托上的导电胶带上,用无毛纸轻压,使样品颗粒牢牢粘住,并清楚粘在铜托侧面上的粉样;
2.3块状样品,高度应在15mm以下,要用无水乙醇浸泡,清洗干净,放在超声波水槽中处理,以除去油脂、灰尘、赃物和水分;
2.4试样一定要无水、无油,观察前要用红外灯照射干燥。
3.开机
严格按开机顺序操作,开机抽真空5分钟内,系统真空应达到要求(<1.0⨯10-4Torr),如果系统真空不能达到要求,应检查样品室门是否关好、样品室密封圈垫圈及密封平面是否干净或其它连接处是否有漏气现象。
如果不能解决应及时报告,并与厂商联系。
4.试样观察
4.1按仪器说明步骤操作,选择合适工作参数;
4.2注意样品高度,样品的高度要小于卡尺的长度,千万不要使样品观察面碰触物镜下方的背散射电子探测器;
4.3更换样品时,一定要先切断灯丝高压,待灯丝冷却5分钟以后再放气。
开关样品室门,手扶住门下侧的拉杆,轻轻地向外或向里推。
勿抓X、Y、Z、R调节杆来开关门,门要拉到合适的位置,才能更换试样。
要带手套取放样品架,手千万不要伸到样品室内,以防止碰伤各种探测器;
4.4更换样品时,开关门动作要轻,不使镜筒产生过大振动。
更换样品后要及时关门,样品室放大气的时间不宜过长,一般不得超过20分钟;
4.5样品室内如果脏了,用无尘纸(布)擦拭,注意不要碰触探测器;
4.6仪器观察过程中,若暂时停止观察,应立即切断灯丝高压;
4.7仪器观察过程中,若突然发生断电事故,应立即切断计算机电源开关再切断服务器电源开关,最后切断总电源开关。
5.关机
关机顺序:
1)切断灯丝高压;
2)将SEM放大倍数调至最小
3)等待灯丝冷却5分钟后,放大气;
4)关SEM程序,退出XT server;
5)关闭计算机;
6)关闭服务器电源;
7)关闭房间内总电源。
6.维护
6.1粉体样品易污染样品室和镜筒,制样时使用量尽量少,样品托上样
品层厚度要非常薄,不要“起皮”;
6.2更换试样时,开关门动作要轻,防止造成粉末样的飞溅,污染样品
室;
6.3SEM系统从安装起就应一直保持真空,所以在长期不用或放假时,
要求每隔五天抽真空一次;
6.4更换样品过程中,要等软件控制面板上的VENT键变成黑色后才可
以打开样品室的门,SEM样品室通大气的时间不宜过长,一般不超过20分钟;
6.5样品室内的探头,千万不要用气球吹,尤其是二次电子的闪烁体;
6.6每季度检查一次涡轮分子泵油的颜色和液位,及时更换或补充专用
真空油;
6.7保持实验室的清洁,擦拭仪器时,要切断整个仪器的电源,用柔软
的湿布擦,切忌用溶剂擦拭;
6.8系统真空达不到要求时,重点检SEM样品室门和电子枪的密封垫圈,
密封平面是否干净,若有灰尘或粉体样颗粒,用无尘纸擦拭干净,并涂少量真空密封油脂;
6.9更换灯丝时,揭开电子枪,取下灯丝后,马上将电子枪还原盖好,
以防止脏物进入镜筒;
6.10仪器工作时,尤其在进行高倍数(>10,000X时)照相时,禁止
手扶或靠压在电镜系统上;
6.11仪器通电时,禁止电子枪的高压电缆线,以防发生危险。
Quanta 200 扫描电镜实验室
2005.1.17。