多线切割机操作规程-20130417

PV800H是2010年上半年上市的机型，机床采用的是法那克操作系统，在操作上比富士系统更有实用性和便捷性。作业指导书的目的是便于操作工进行规范化操作避免在工作中出现设备事故和人为事故。下面将对机床在切割前、切割中、切割后的检查进行讲解。

1. 切割前的检查

1.1. 导轮

1.1.1.硅片切割完毕后会在导轮上面存留一些碎硅片和胶条，这些杂物被线网压在了导

轮上，如果没有及时清理干净，在切割中容易造成大面积跳线，增加断线机率。

1.1.

2.错槽数目是否正确将影响硅片表面的精度和出片率，增加断线机率。

1.1.3.导轮在高速运动中有异常颤动，证明导轮在安装中存在问题或是轴承出现了问题，

应把导轮重新安装或让维修人员进行检查。

1.1.4.新开槽的导轮容易在“V”字槽内残存杂物，应用压缩空气或刷子对其进行清理，

使沟槽内干净避免切割中引起跳线。

1.1.5.导轮在使用一段时间后容易在进线和出线出现“深槽”，深槽是因为磨损的原因造

成的，如及时发现并错开深槽，将降低断线率提高安全切割系数。（出线错槽时间大约在100小时左右，错槽时间以100小时为单位，）

1.1.6.导轮因为断线后在表面缠绕很多钢线使导轮变形，如果这样切割会影

响硅片表面的精度，应及时更换新导轮(如图1所示）。

1.2. 绕线室

1.2.1.检查钢线是否绕在导向轮的内侧，如果没有及时把线调整到内测，如果钢线有绕

在外侧和内侧的会增加断线机率。

1.2.2.检查导向轮主体上是否存在断掉的钢线头缠绕在上面，如果有应及时清理，未切割

状况下会产生接地报警或者在切割中报警造成紧急停机，影响硅片表面质量。 1.2.3.检查钢线是否绕在规定的导向轮上面，如果绕线位置错误将会导致断线。 1.2.4.还有一种情况当导轮错槽数目3≥个槽时就需要对移动架的位置进行调整，保持移

动架上导向轮内的钢线与导轮的进线或者出线平行。当不平行时将会增加断线机率。

1.2.5.检查横移架的气管是否有割断或者折弯现象，如果存在这种情况应立即更换，如

果更换不及时会严重损坏导向轮主体使轴承报废。

1.2.6.检查紧固线轮的主轴是否存在松动现象，如果出现此情况应及时紧固或让维修人

员检查装线轮装置是否存在问题。

1.2.7.检查横移架是否与线轮上面的钢线平行，如果没有手动调节好位置，保证钢线在

两个接触辊的中间位置。当横移架与钢线不平行时将会增加钢线对接触辊的磨损减少使用寿命。

1.2.8.检查导向轮深槽情况，因为材质的不同在使用寿命上也存在差异，原装进口的可

以使用寿命在250小时左右，国产可以使用寿命在200小时左右。当看到V 字槽变为Y 槽时应及时更换新导向轮防止Y 槽夹线造成断线。 1.3. 切割室

1.3.1.检查工作台加紧板上面是否存在沉淀的砂浆，如果存在及时用抹布清理干净。当

图1

图1

加紧板存有砂浆时会影响加紧的限位传感器表示为为完全加紧。

1.3.

2.接地报警杆是否有松动迹象，如果存在及时紧固，防止报警失灵。

1.3.3.核对单晶随工单：再次查看单晶类

型是否是本机床要求加工的单晶，

防止误切割非本机加工的单晶造成

不必要的损失。并且要查看几根单

晶是否是同一类型的单晶，当有不

同类型的单晶同时切割，在切割完

成后在与清洗交接时要说明单晶类

型不同防止在清洗环节中造成混片。

图2

1.3.4.工作台复位位置：单晶应降到与线网距离在0.2―

束后能把单晶完全切割透彻(如图2所示）。

1.3.5.当把晶托装入工作台卡槽内时一定要把晶托推到底部，当晶托不在底部时容易出

现TTV超标片造成硅片报废。

1.3.6.把砂浆供给泵打开查看砂浆管流出的砂浆是否有断流现象，如果存在把砂浆管卸

下用水把管内沉淀的砂浆清洗干净，用气枪把管内吹干，再把砂浆管装上。

1.4. 砂浆缸

1.4.1.用眼查看搅拌机和供给泵的叶轮是否在运转状态，或者用手感觉搅拌机和供给泵

是否在运转。

1.4.

2.查看搅拌机的搅拌频率是否在3—

3.5赫兹。

1.4.3.查看砂浆缸连接电源线是否接好。

1.4.4.查看管道的阀门是否在打开或者关闭的位置。

1.4.5.用杠杆再次检查砂浆过滤器

上面的4个螺丝是否紧固牢实。

1.4.6.检查管道交界处的卡锁是否

完全卡好。

1.4.7.检查回流泵是否有砂浆沉淀，

如果存在用小铲把底部砂浆清除掉

(如图3所示）。

1.5. 气压、油压

1.5.1.检查气压值是否在达到0.4兆帕，如果低于数值要求查看气源阀门是否完全打开

或者让维修人员查看原因，当气压低于数值要求时不能进行屏蔽自动切割这样会损坏轴承。

1.5.

2.查看油压流量在10L/m，如果低于10L要对阀门进行调整。

1.6. 空调

1.6.1.查看空调温度是否设定在12℃。

1.6.

2.查看空调冷却进水与出水阀门是否完全打开。

1.7．工艺调取与核实

按照生产的要求进行相应工艺的调取，并模拟数据查看是否存在问题。

1.8. 关掉屏蔽项目

只保留“门”的屏蔽其余全部去掉，防止当意外情况产生后机器不能产生报警造成重、特大损失。

1.9. 供线方向与反转

1.9.1.查看新线供给方向是否正确。

1.9.

2.设定正确反转数值，防止在自动切割中使用旧线切割造成损失。

1.10. 钢线绕线间距

查看钢线间距的数值是否正确，防止排线不均匀的情况出现。

1.11. 程序与预热

查看程序中途重开与预热无效两个功能是否在关闭状态。

1.1

2. 温控、回流泵、油泵

查看温控是否在自动状态，查看回流泵是否打开，查看油泵是否打开。

2. 切割中

2.1. 切割室

2.1.1.查看线弓是否存在异常，正常线弓数值应该4—5mm，把当时的数值记录在切割记

录上面。

2.1.2.查看砂浆管是否有断流现象，如果存在应把机床停下把管内沉淀的砂浆清理再继

续切割（一般不会出现此种情况）。

2.2. 绕线室