生产流程培训

一我们的生产设备布置图及简介（用layout 图说明）1 预清洗

3 铝刻蚀线

4 ITO镀膜线

检查出货

5 检测设备

6 关于各仪器的说明

6.1 loader:升降输送机：用于将不同位置的基片框架中的玻璃（每个基片框架中有20片）自动送出并转

移到玻璃清洗机上，而且保证送出的玻璃位置、间隔恒定。

6.2铝膜蚀刻机：喷洒酸性腐蚀溶液到已曝光并显影的带有铝反射膜的玻璃上（起保护作用

的感光胶膜上已有图案），铝膜露出的地方与腐蚀液反应，从而形成需要的图案。

6.3缓冲：：用于传送玻璃、改变玻璃运行方向、并且生产线出故障时可暂时贮存玻璃的装置。

6.4铝膜去膜清洗机：喷洒碱性有机溶液到已经过铝膜蚀刻后的玻璃上，将铝膜上的一层起保护作用的感光

物质清洗掉，得到我们需要的只带有图案的铝反射膜的玻璃。

6.5铝膜坚膜电烘干机（POSTBAKE）：用于烘干去膜后的带有图案的铝反射膜的玻璃，铝膜高温烘考后，铝

膜表面性质改变，有利于后工序的生产。

6.6 un-loader:用于将经过不同工序生产后半成品玻璃自动从生产线装填到基片框架上，并且保证装填我

们设置的片数。

6.7 UV：专用于清洗玻璃基板表面的有机物；减少后工序“残渣”缺陷的产生。

6.8涂胶前清洗机：喷清洗液将玻璃表面的灰尘等脏物清洗干净，保证玻璃涂胶时不会因玻璃脏而

产生缺陷。

6.9红外线烘干机（IR）：清洗后的玻璃经风刀吹干后表面仍有水分，利用红外线将玻璃烘干，保证玻璃与

所涂感光胶层的粘附性。

6.10缓冲及冷却：用于传送玻璃，改变玻璃运输方向，并且生产线出故障时可暂时贮存玻璃的装置，另外

红外线烘干后的玻璃温度较高，采用其带有的冷却板将玻璃降至室温。

6.11玻璃曝光机：将玻璃基板上的部分区域感光胶曝光，改变曝光区域胶层的化学性质。

6.12显影机：喷洒显影液在曝光后的玻璃上，因曝光区域与未曝光区域的化学性质不同，经显影液作用而

形成所要的图案。

6.13 POST UV：将玻璃上的感光胶初步硬化，及让尚未完全反应的感光胶完全反应而变硬。

6.14 POST BAKE（CF）：将玻璃上初步硬化的感光胶在此高温烘炉中完全反应、固化变硬。

6.15 预清洗机：将最脏的来料玻璃清洗，去除表面粉尘后再进入净化车间及正式的生产线，以免污染。6.16 终清洗机CSG-4210R-FIN：镀完各种膜后的玻璃因要进行全检，有可能弄脏，进行清洗后包装出货。

6.17 光罩（MASK）清洗机：用于清洗曝光机处形成图案的光罩的清洗，以免因光罩脏而造成复制到玻璃

上的图案有缺陷。

6.18 基片框架清洗机（CASSETTE）：玻璃在装填或送出时与基片架摩擦，产生粉尘，造成基片框架脏，在

此机器上清洗基片框架，保证其清洁。

6.19：旋转涂胶机（SLIT到EBR）

玻璃冷却后，被刮涂上一层感光胶，后经高速旋转将感光胶均匀地涂满整个玻璃表面，形成一层厚度均匀的膜。

6.20：玻璃镀膜机

在各种颜色膜完成后，再在玻璃表面镀上二氧化硅膜和导电的氧化铟锡膜，最终得到我们所要的彩色滤光片。

6.21：彩色滤光片清洗机

在各种颜色膜完成后，为防止污染，在镀二氧化硅膜和氧化铟锡膜前再次清洗，保证玻璃绝对干净，避免在最后工序形成废品。

6.22高温试验炉（PVHC-231）

用于彩色滤光片玻璃高温烘烤试验，验证其高温时各种膜层与玻璃或各层膜间粘附的可靠性，保证其在高温工作时的可靠性。

6.23冷热冲击试验炉（TSE-11-A）

用于检测彩色滤光片玻璃的各种膜层与玻璃或各层膜间耐冷热温度冲击时的粘附性能，保证其在高低温工作时的可靠性。

6.24高低温交变湿热试验炉（PL-2KPH）

用于在温度和湿度不断变化的情况下对彩色滤光片玻璃的各种膜层与玻璃或各膜层间粘附性能的检查，保证其在高低温，高低湿度及他们不断变化时工作的可靠性。

6.25光学膜厚测试仪（FP-20A）

因玻璃上我们所加的各种膜的厚度要严格控制，其用于生产过程中测量玻璃上镀膜的厚度。

6.26 分光色度仪(LCF2100)

测量颜色在NTSC坐标系中的色度坐标值（x , y , Y ）及铝膜的反射率。

6.27 检查用高压汞灯（绿灯）、低压钠灯（黄灯）、白色荧光灯

在各种灯下易于检查到彩色滤光片的缺陷，挑出废品。

二我们的生产流程（用POWERPOINT图说明）

1 全透产品（使用无铝膜的玻璃）

清洗涂BM 胶曝光显影post UV post bake

ITO

镀膜

2 半透产品（使用带铝反射膜的玻璃）

清洗涂POSI胶曝光显影（POSTBAKE）铝刻蚀线清洗涂BM 胶曝光显影post UV post bake

ITO镀膜