4平面光波导工艺

2.平面光波导工艺

以上六种常用的PLC光波导材料中，InP波导、二氧化硅波导、SOI波导和聚合物波导以刻蚀工艺制作，铌酸锂波导和玻璃波导以离子扩散工艺制作，下面分别以二氧化硅波导和玻璃波导为例，介绍两类波导工艺。

二氧化硅光波导的制作工艺如图2所示，整个工艺分为七步：

1)采用火焰水解法（FHD）或者化学气相淀积工艺（CVD），在硅片上生长一层SiO2，其中掺杂磷、硼离子，作为波导下包层，如图2（b）所示；

2)采用FHD或者CVD工艺，在下包层上再生长一层SiO2，作为波导芯层，其中掺杂锗离子，获得需要的折射率差，如图2（c）所示；

3)通过退火硬化工艺，使前面生长的两层SiO2变得致密均匀，如图2（d）所示。

4)进行光刻，将需要的波导图形用光刻胶保护起来，如图2（e）所示；

5)采用反应离子刻蚀（RIE）工艺，将非波导区域刻蚀掉，如图2（f）所示；

6)去掉光刻胶，采用FHD或者CVD工艺，在波导芯层上再覆盖一层SiO2，其中掺杂磷、硼离子，作为波导上包层，如图2（g）所示；

7)通过退火硬化工艺，使上包层SiO2变得致密均匀，如图2（h）所示。

二氧化硅波导工艺中的几个关键点：

1)材料生长和退火硬化工艺，要使每层材料的厚度和折射率均匀且准确，以达到设计的波导结构参数，尽量减少材料内部的残留应力，以降低波导的双折射效应；

2)RIE刻蚀工艺，要得到陡直且光滑的波导侧壁，以降低波导的散射损耗；

3)RIE刻蚀工艺总会存在Undercut，要控制Undercut量的稳定性，作为布版设计时的补偿依据。

图2. 二氧化硅光波导的制作工艺

玻璃光波导的制作工艺如图3所示，整个工艺分为五步：

1)在玻璃基片上溅射一层铝，作为离子交换时的掩模层，如图3（b）所示；

2)进行光刻，将需要的波导图形用光刻胶保护起来，如图3（c）所示；

3)采用化学腐蚀，将波导上部的铝膜去掉，如图3（d）所示；

4)将做好掩模的玻璃基片放入含Ag+－Na+离子的混合溶液中，在适当的温度下进行离子交换，如图3（e）所示，Ag+离子提升折射率，得到如图3（f）所示的沟道型光波导；

5)对沟道型光波导施以电场，将Ag+离子驱向玻璃基片深处，得到掩埋型玻璃光波导，如图

3（g）所示。

图3. 玻璃光波导的制作工艺