SEM操作规程范本

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JSM-7800F扫描电镜操作规程

1、确认Maintenance界面内的GUN/AC内GUN参数(电流值稳定)和SIP1和SIP2的真空度正常方可运行!!

2、选择正确的样品座放置样品并固定,样品高度不要超过样品座上方10mm。

注意:接触样品座,取放样品时务必戴手套操作!!!

3、装样品前必须确认高压处于关闭状态。

4、点击SEM应用程序软件中Specimen窗口的Exchange Position按钮,使样品交换室控制面板EXCH POSN灯点亮,并确认样品台处于样品交换的位置(X:0.000mm,Y:0.000mm,Z=40.0mm,R:0.00,T:0.00)。

5、按下VENT按钮对Exchange chamber放气,直至VENT常亮,表示样品交换室处于大气状态。

6、松开交换室锁扣,打开样品交换室,将已固定好样品的样品座,按箭头方向置于样品座夹具内。

7、完全关闭样品交换室门,扣好锁扣。

8、按下EVAC按钮,开始抽真空,EVAC闪烁,待真空达到要求时,EVAC常亮。

9、手持样品交换杆,将样品杆放下至水平并向前轻推,将样品Holder 完全送进交换室中,注意当HLDR灯亮起后,再完全拉出样品杆,垂直立起放置,此时样品已正常放置于样品室内。

注意:在拉动样品杆时,若有警报声,应立即停止操作,将样品杆归位,检查操作步骤是否正确。

10、在SEM应用程序软件界面正确选择所使用Holder的类型,输入样品高度值,点击OK确认。

11、输入Z值10mm。

11、查看样品室真空度,确认真空度小于5.0×10-4 Pa时才可开始进行图像操作。

12、观察样品,获取图像。

(1)点击ON,打开高压,根据样品选择所需的电压。

(2)如果有多个样品,按下LDF按钮切换到低倍模式,选择要观察的样品位置,选好后按LDF按钮切换回高倍模式。

(3)确认Scanning Mode在Quick View状态,寻找样品表面的明显特征。先切换到较高倍率,转动FOCUS的旋钮进行聚焦,X、Y散光像差校正旋钮进行像散调整,调整亮度与对比度(可按ACB自动调整或手动调整),直至样品表面特征的图像清晰为止(低倍率时,利用AUTO键进行自动对焦)。然后切回所需之倍率进行图像观察。

a)如果聚焦时出现图像是模糊的,需要进行电子束对中调整。

b)按键盘上RDC IMAGE键,打开调整窗口,按键盘上WOBB 键,此时图像会来回摆动,旋转键盘上X、Y调整旋钮使图像停止摆动(X方向摆动调整X旋钮,Y方向摆动调整Y旋钮)。

c STIG

调整旋钮将图像调整清晰。

d

重复c步直到将图像调整清晰。

13、背散射(BEI detector)观察

1)点击,样品台回到样品交换的初始位置。

2)点击确认高压处于关闭状态!

3)在仪器状态区域将BEI勾选,BEI detector自动伸入样品室。

4)点击

5)找好要分析的样品位置,调整好倍率,聚焦及像散。

6)在图像显示区域选择图像信号为BEC

“Save”模式进行保存。。

8)使用完成后,先关闭高压,再将BEI打勾取消(即表示BEI detector

退回)。

14、结束观察:

1)将放大倍率调至最低倍。

2)点击确认高压处于关闭状态!

2)点击软件中Specimen窗口的

,样品台复位,处于样品交换的初始位置。

3)利用样品交换杆将样品Holder拉出样品交换室。

4)按下放气,直至。

5)打开样品交换室,按箭头方向取出样品Holder及样品,并检查样品交换室是否正常。

6)关闭样品交换室并按待观察结束。

注意事项

1、接触样品座,取放样品时务必戴手套操作,并确保样品在样品台上固定牢固;样品柱高度最好不要超过样品座上方10mm。样品高出样品台时,不要将Z值输入过小,造成镜头碰撞样品台。

2、注意:在拉动样品杆时,若有警报声,应立即停止操作,将样品杆归位,检查操作步骤是否正确。

3、拉出拉杆时,切记一定要将拉杆完全拉出后才可以立起,否则样品杆会弯折变形。

4、实验完成后只需关闭计算机显示器,其他任何页面及装置不予关闭。

样品操作按钮介绍

Specimen exchange chamber(样品交换室)控制面板

VENT:Exchange chamber放气按钮

EV AC: Exchange chamber抽真空按钮

EXCH POSN :显示样品台是否处于样品交换位置(灯亮表示处于该处)HLDR : 显示样品holder是否固定在样品载台上(灯亮表示已固定于该处

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