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真空泵工作原理

真空泵工作原理真空泵是一种常见的设备，广泛应用于科研、工业生产和医疗等领域。

它的工作原理是通过抽取系统内部的气体，使其达到真空状态。

本文将介绍真空泵的工作原理及其应用。

首先，我们来了解一下真空泵的基本结构。

真空泵主要由驱动装置、泵体、进气口和排气口等部分组成。

驱动装置可以是电机、气动装置或手动装置，用于提供泵体的运动能量。

泵体内部通常有一个或多个叶轮，通过旋转或摆动的方式抽取气体。

进气口用于将气体引入泵体，排气口则将抽取的气体排出。

真空泵的工作原理可以分为干式和液环式两种。

首先，我们来看看干式真空泵的工作原理。

干式真空泵通过叶轮的旋转运动，将进入泵体的气体抽取出来。

叶轮的旋转产生一个虚拟的密封腔，气体在此腔内被抽取。

同时，泵体内部的气体也会被抽取到排气口，然后排出系统。

干式真空泵适用于抽取干净的气体，如空气、氮气等。

接下来，我们介绍液环式真空泵的工作原理。

液环式真空泵利用液体的旋转来抽取气体。

在泵体内部，有一个旋转的液环，通常是水或油。

当液环旋转时，它会形成一个密封腔，将气体抽取出来。

液环式真空泵适用于抽取带有水蒸气或其他液体的气体。

除了上述两种常见的真空泵工作原理，还有其他一些特殊的真空泵。

例如，根据工作原理的不同，还有根引导式真空泵、分子泵、根引导式分子泵等。

这些真空泵在特定领域具有独特的应用。

真空泵在科研、工业生产和医疗等领域有着广泛的应用。

在科研领域，真空泵常用于实验室中的真空系统，用于制备高纯度材料、进行物质表征等。

在工业生产中，真空泵被广泛应用于食品加工、电子制造、化工等行业。

例如，在食品加工中，真空泵可以用于包装食品，延长食品的保鲜期。

在医疗领域，真空泵常用于医疗设备中，如血液透析机、呼吸机等。

总之，真空泵是一种非常重要的设备，它通过抽取系统内部的气体，使其达到真空状态。

干式和液环式是两种常见的真空泵工作原理，它们分别适用于不同类型的气体。

除了这两种，还有其他一些特殊的真空泵。

真空泵在科研、工业生产和医疗等领域有着广泛的应用。

真空泵工作原理

真空泵工作原理一、引言真空泵是一种用于产生和维持真空的设备，广泛应用于科研、工业生产和医疗等领域。

了解真空泵的工作原理对于正确使用和维护真空泵至关重要。

本文将详细介绍真空泵的工作原理。

二、真空泵的分类根据工作原理和结构特点，真空泵可以分为以下几种类型：1. 机械泵：通过机械运动产生真空的泵，如旋片泵、齿轮泵等。

2. 分子泵：利用高速运动的分子对气体进行抽取的泵。

3. 涡轮分子泵：结合了涡轮泵和分子泵的特点，具有较高的抽取速度。

4. 扩散泵：利用气体分子的扩散作用进行抽取的泵。

5. 离心泵：通过离心力将气体抽出的泵。

三、机械泵的工作原理以旋片泵为例，介绍机械泵的工作原理：1. 泵体结构：旋片泵由泵体、旋片、进气口和排气口等组成。

泵体内部有一个椭圆形的腔，旋片位于腔内。

2. 工作过程：(1) 进气过程：当泵启动后，旋片开始旋转，通过离心力将气体从进气口吸入腔内。

(2) 压缩过程：旋片的旋转使得腔内的气体被压缩，气体的压力逐渐增大。

(3) 排气过程：当气体被压缩到一定程度时，排气口打开，气体被排出泵体。

(4) 循环过程：以上过程循环进行，不断将气体抽出，最终形成真空。

四、机械泵的性能参数1. 抽速：机械泵的抽速是指单位时间内泵抽取气体的体积流量，通常以升/秒或立方米/小时为单位。

2. 极限压力：机械泵能够达到的最低压力，通常以帕斯卡（Pa）或毫巴（mbar）为单位。

3. 压缩比：机械泵将气体压缩的程度，通常以压缩比（压缩后的气体体积与进气口气体体积的比值）表示。

五、机械泵的应用机械泵广泛应用于以下领域：1. 真空冷冻干燥：机械泵可以将冷冻干燥设备中的水分抽出，实现物品的干燥。

2. 真空包装：机械泵可以将包装袋内的氧气抽出，延长食品的保鲜期。

3. 半导体制造：机械泵用于半导体制造过程中的真空抽取。

4. 航空航天：机械泵用于航空航天领域的真空测试和模拟环境。

六、机械泵的维护与注意事项1. 定期更换润滑油：机械泵的旋片和泵体之间需要润滑油的润滑，定期更换润滑油可以保证泵的正常运转。

真空泵的工作原理

真空泵的工作原理一、引言真空泵是一种用于抽取气体或气体混合物，从而在封闭空间中产生真空的设备。

它在许多工业领域中被广泛应用，如化工、电子、医药等。

本文将详细介绍真空泵的工作原理。

二、真空泵的类型根据工作原理和结构特点，真空泵可以分为多种类型，包括离心泵、旋片泵、涡旋泵、根式泵、分子泵等。

不同类型的真空泵适用于不同的工况和需求。

三、真空泵的工作原理1. 压缩原理真空泵的工作原理基于压缩气体的原理。

当泵启动时，泵内的压力低于被抽空的容器内的压力，从而产生压力差。

气体会沿着压力梯度从高压区域流向低压区域，最终被抽取出来。

2. 转子运动真空泵的转子是实现气体压缩的关键部件。

转子通常由叶片或螺杆组成，通过旋转运动来改变泵内空间的体积，从而实现气体的压缩和排放。

3. 密封结构真空泵的密封结构对于泵的工作效率和抽取能力至关重要。

泵的密封结构可以分为静密封和动密封两种类型。

静密封通常采用O型圈、密封垫等，而动密封则采用机械密封或液体密封等。

4. 辅助装置为了提高真空泵的工作效率和抽取能力，通常会配备一些辅助装置，如冷却系统、油封、减震器等。

这些装置可以有效地降低泵的温度、减少振动和噪音，从而提高泵的可靠性和稳定性。

四、真空泵的应用领域真空泵在许多领域中都有广泛的应用。

以下是一些典型的应用领域：1. 化工工业：真空泵用于蒸馏、干燥、脱气等过程，帮助提高产品质量和生产效率。

2. 电子工业：真空泵用于半导体制造、真空镀膜等工艺，确保产品的高纯度和良好的表面质量。

3. 医药工业：真空泵用于制药过程中的干燥、浓缩、冷冻干燥等，确保药品的质量和稳定性。

4. 环境工程：真空泵用于废气处理、污水处理等过程，帮助减少环境污染。

5. 实验室研究：真空泵用于实验室中的真空系统，提供所需的真空环境。

五、真空泵的维护和保养为了确保真空泵的正常工作和延长使用寿命，以下是一些常见的维护和保养措施：1. 定期更换油封和润滑油，保持泵的润滑状态。

真空泵原理介绍_内部资料分析

3. 冷却作用
经过油冷却器，可以带走由于叶片与缸体、叶片与转子间的摩擦而产生的热量
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日期2010年6月2日
气镇阀的作用
油式真空泵应用在含有可凝性气体如水蒸气的环境或者吸入含可凝性气提比较多的气体。
为了提高真空泵处理可凝性气体的能力，通常通常在真空泵排气口处安装气镇阀。气镇阀是一种单向阀，当真空度小于40mbar时排气口的压强也会降到大气压以下，这时气镇阀自动打开吸入空气，将可凝性气体带走，从而提高油式真空泵处理可凝性气体的能力。
正处于排气过程。居中的空间的容积也是逐渐减小的，正处于压缩过程。由于进气口空间的容积是逐渐增大（即膨胀），气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间进气口内的压强，因此将气体吸入。当空间7 与吸气口隔绝时，即转至空间的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，最后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油雾过滤器层排至大气中。由泵的连续运转，达到连续抽气的目的。
润滑油只要符合DIN 51506或合成油皆可使用。而黏性需符合 ISO-VG 之 DIN 51519
页数7 日期2010年6月2日
真空泵润滑油的作用
1. 润滑作用
润滑油在缸体、叶片和转子表面形成一层油膜可以降低叶片与缸体、叶片与转子间的摩擦力
2. 密封作用
润滑油可以填满转子与端盖间、叶片与缸体间的间隙
页数3 日期2010年6月2日
VC系列内部结构
VC50, 75, 100, 150
VC200, 300
页数5
日期2010年6月2日
产品系列
• 小型泵：VC50~150 • 中型泵：VC200~300 • 大型泵：VC400~1300

各种真空泵的工作原理

各种真空泵的工作原理一、背景介绍真空泵是一种用于排除或减少容器内气体分子数量的设备，广泛应用于科研、工业生产和医疗等领域。

不同类型的真空泵根据其工作原理和结构特点可分为离心泵、旋片泵、分子泵、扩散泵等。

本文将详细介绍各种真空泵的工作原理。

二、离心泵的工作原理离心泵是一种利用离心力将气体分子排出的泵。

其工作原理如下：1. 离心泵由驱动装置、叶轮和泵壳组成。

当驱动装置启动时，通过轴将动力传递给叶轮。

2. 叶轮的旋转产生离心力，将气体分子推向泵壳的壁面。

3. 气体分子在泵壳内壁面上形成薄膜，然后被推向出口。

4. 出口处的气体分子被排出泵体，形成真空。

三、旋片泵的工作原理旋片泵是一种利用旋转叶片将气体分子排出的泵。

其工作原理如下：1. 旋片泵由驱动装置、旋转叶片和泵体组成。

当驱动装置启动时，通过轴将动力传递给旋转叶片。

2. 旋转叶片在泵体内形成离心运动，将气体分子推向泵体壁面。

3. 气体分子在泵体壁面上形成薄膜，然后被推向出口。

4. 出口处的气体分子被排出泵体，形成真空。

四、分子泵的工作原理分子泵是一种利用分子碰撞和蒸发凝结原理排除气体分子的泵。

其工作原理如下：1. 分子泵由驱动装置、转子和泵体组成。

当驱动装置启动时，通过轴将动力传递给转子。

2. 转子内部设置有许多分子运动方向相反的蒸发凝结板。

3. 气体分子进入分子泵后，在分子泵内的高速运动下，会与蒸发凝结板发生碰撞。

4. 碰撞后，气体分子可能被蒸发凝结板吸附或重新散射，从而减少气体分子的数量。

5. 经过多次碰撞和蒸发凝结过程后，气体分子被逐渐排除，形成真空。

五、扩散泵的工作原理扩散泵是一种利用分子碰撞和扩散原理排除气体分子的泵。

其工作原理如下：1. 扩散泵由驱动装置、扩散器和泵体组成。

当驱动装置启动时，通过轴将动力传递给扩散器。

2. 扩散器内部设置有许多细小的孔道，气体分子通过这些孔道进入扩散器。

3. 气体分子进入扩散器后，由于扩散器内部的高温和低压，分子之间发生碰撞并扩散。

真空泵的结构及工作原理

真空泵的结构及工作原理
一、真空泵的结构
真空泵主要由下列部件组成：
1. 泵体：泵体是真空泵的核心部件，其主要作用是将气体抽出真空泵的工作室。

2. 回油系统：回油系统主要是对泵体内的油进行处理，以达到延长泵体使用寿命的目的。

3. 操作阀门：真空泵操作阀门通常包括进气阀、出气阀、汽油阀等，用于控制气体的进出和泵体内的汽油。

4. 排气管：真空泵排气管在泵体应力过大时起到保护作用。

5. 电机：真空泵的电机是泵体的动力源。

二、真空泵的工作原理
1. 捕集式真空泵：捕集式真空泵利用波动分子撞击把气体吸附在固体表面的原理，将工作室内气体吸附到固体表面，并向机械泵排气。

2. 机械泵：机械泵有旋片、滑动叶片等，运转时泵腔内形成排气工作
室，气体由工作室进入泵内，一边叶片将气体吸入，另一边叶片则将
气体排出。

3. 分子泵：分子泵利用分子之间互相碰撞的原理，将气体分离成分子，并通过电离法将离子化。

4. 根式泵：根式泵是一种扩散泵，利用气体分子压缩时受到外部空气
的压力作用，从而达到压缩气体的目的。

5. 离心泵：离心泵利用旋转叶轮推进气体运动，提高气体的压力和流量，从而达到抽气的目的。

以上是真空泵的结构及工作原理，不同类型的真空泵其结构和原理也
有所不同。

使用真空泵时要注意安全，遵循使用说明，以免造成不必
要的损失。

真空泵结构、工作原理与维修

1-高级排气阀；2-通道；3-低级排气阀图2 双级旋片式真空泵工作原理图
排气阀浸在油里以防止大气流入泵中，油通过泵体上的间隙、油孔及排气阀进入泵腔，使泵腔内所有运动的表面被油覆盖，形成了吸气腔与排气腔的密封，同时油还充满了一切有害空间，以消除它们对极限真空的影响。
双级旋片式真空泵由两个工作室组成，两室前后串联，同向等速旋转，Ⅰ室是低真空级，Ⅱ室是高真空级，被抽气体由进气口进入Ⅱ室，当进入的气体压力较高时，气体经Ⅱ室压缩，压强急速增大，被压缩的气体不仅从高级排气阀排出，而且经过中壁通道，进入Ⅰ室，在Ⅰ室被压缩，从低级排气阀排出；当进入Ⅱ室的气体压力较低时，虽经Ⅱ室的压缩，也推不开高级排气阀排出，气体全部经中壁通道进入Ⅰ室，经Ⅰ室的继续压缩，由低级排气阀排出，因此双级旋片式真空泵比单级旋片式真空泵的极限真空高。
1-泵体；2-旋片；3-转子；4-弹簧；5-排气阀图1 旋片泵工作原理图
力紧贴在定子内壁的两块旋片，当转子旋转时，始终沿定子的内壁滑动。
两个旋片把转子、定子内腔和定盖所围成的月牙型空间分隔成A、B、C三个部分，当转子按图示方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积不断地增大，A空间的压强不断的降低，当A空间内的压强低于被抽容器内的压强，根据气体压强平衡的原理，被抽的气体不断地被抽进吸气腔A，此时正处于吸气过程。B腔的空间的容积正逐渐减小，压力不断地增大，此时正处于压缩过程。而与排气口相通的空间C的容积进一步地减小，C空间的压强进一步的升高，当气体的压强大于排气压强时，被压缩的气体推开排气阀，被抽的气体不断地穿过油箱内的油层而排至大气中，在泵的连续运转过程中，不断地进行着吸气、压缩、排气过程，从而达到连续抽气的目的。
维修的注意事项
分解下的零件要用适用的清洗剂清洗后再进行检查、修理，安装前要保证零件清洁。要注意如果清洗剂选择不当，清洗后会造成零件生锈。对分解下的O形圈及油封等密封件要仔细检查，如有破损、变形要更换为新品。不同厂家的真空泵的备件原则上不允许串用。在安装泵的壳体、端盖时，螺栓要按对角的顺序拧紧。

真空泵的工作原理PPT课件

强。气振的工作原理：进气---压缩---排气。
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三、真空泵的常见故障
故障泵无法启动
泵达不到极限压强
可能的原因电源线连接不正确；供给电机的电源电压与电机不匹配；
电机发生故障；泵油温度低于10摄氏度；
泵油太粘稠；排气过滤器或排气管道被堵塞
泵被卡死
测量方式或规管不合适
外部泄漏放返油阀失效
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三、真空泵的常见故障
故障
泵的抽速太慢
停泵以后，被抽容器中的压强上升过快
泵在运行中温度过高
可能的原因进气口或进气管道被堵塞
排气过滤器被堵塞连接的真空管直径太小或管道太长
真空系统有泄漏
防返油阀故障
检修清洗进气管道（预防：在进气口前安装一个
杂物过滤器）更换过滤器
使用直径足够大的管道或短的连接管道对系统进行检查
卡扣
密封圈
锁紧扣
锁紧环
卡扣铰链结构，一端固定在接头上，另外一端卡在套桶上，当卡扣被推向快速接头的接口时，带动接头、锁紧环向前推进，使得卡簧收紧锁住工艺管，接头前端的密封圈厚度主要密封工艺管与接头的间隙。
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四、快速接头的构造及密封原理
●快速接头的接口部分
※顶针靠连接头内的卡簧将其顶起。 ※锁紧环的上下移动将导致接头内小圆珠的凸起或下陷。
检修检查真空系统清洗或维修防返油阀清洗或维修进气口和防返油阀放掉多余的泵油对油进行脱气或换油并冲洗泵腔；预防：打
开气镇阀加油
清洗或更换消音孔部件降低进气口压强
清洗或更换油雾过滤器更换一个新的弹性联轴体
维修泵
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四、快速接头的构造及密封原理

真空泵工作原理

真空泵工作原理一、引言真空泵是一种用于抽取气体并产生真空的设备。

它在许多领域中被广泛应用，如科学研究、工业生产和医疗设备等。

本文将详细介绍真空泵的工作原理，包括不同类型真空泵的工作原理和关键组成部分。

二、真空泵的分类根据工作原理和结构特点，真空泵可以分为以下几种类型：1. 平衡式真空泵：通过平衡活塞和气室之间的压力差来产生真空。

2. 分子泵：利用高速旋转的转子将气体分子抛出真空室，从而产生真空。

3. 涡旋真空泵：通过离心力将气体分子抛出真空室，产生真空。

4. 漩涡真空泵：利用高速旋转的叶片将气体分子抛出真空室，形成真空。

5. 根式真空泵：利用旋转叶片的连续吸气和排气过程，产生真空。

三、真空泵的工作原理1. 平衡式真空泵工作原理平衡式真空泵由气室、进气口、出气口和平衡活塞组成。

当活塞向下移动时，气室内的气体通过进气口进入气室。

当活塞向上移动时，气室内的气体通过出气口排出。

通过不断重复这个过程，真空泵可以逐渐降低气室内的气体压力，从而产生真空。

2. 分子泵工作原理分子泵由转子、定子和扩散泵组成。

转子通过高速旋转，将气体分子抛出真空室。

分子泵内部的定子形成一个漏斗形的结构，使分子泵只能将气体分子向一个方向排出。

扩散泵通过不断吸入和排出气体，将气体分子从分子泵中排出，从而产生真空。

3. 涡旋真空泵工作原理涡旋真空泵由离心轮、进气口和出气口组成。

当离心轮高速旋转时，离心力将气体分子抛出真空室。

气体分子通过进气口进入涡旋真空泵，然后被离心力推向出气口排出。

通过连续旋转和排气过程，涡旋真空泵可以形成真空。

4. 漩涡真空泵工作原理漩涡真空泵由叶片、进气口和出气口组成。

当叶片高速旋转时，气体分子被离心力抛出真空室。

气体分子通过进气口进入漩涡真空泵，然后被离心力推向出气口排出。

通过不断旋转和排气过程，漩涡真空泵可以产生真空。

5. 根式真空泵工作原理根式真空泵由旋转叶片、进气口和出气口组成。

当旋转叶片旋转时，气体分子被吸入真空室。

真空泵工作原理

真空泵工作原理引言概述：真空泵是一种用于抽取气体或液体中的气体分子的装置。

它在许多领域都有广泛的应用，包括科学研究、工业生产以及医疗设备等。

本文将详细介绍真空泵的工作原理。

一、真空泵的基本原理1.1 真空泵的作用真空泵的主要作用是通过减压将容器内的气体分子抽出，从而形成低压或者真空环境。

这样可以实现对气体的分离、净化、干燥等处理。

1.2 真空泵的工作原理真空泵的工作原理基于两个主要的原理：机械泵原理和分子泵原理。

机械泵通过机械运动将气体抽出，而分子泵则利用分子间的碰撞将气体分子抽出。

1.3 真空泵的工作流程真空泵的工作流程可以分为四个阶段：压缩阶段、扩散阶段、分子流阶段和抽气阶段。

在每个阶段，真空泵都会采取不同的方式将气体分子抽出。

二、常见的真空泵类型2.1 旋片真空泵旋片真空泵是一种常见的机械泵，它通过旋转的叶片将气体抽出。

它具有结构简单、可靠性高的特点，广泛应用于实验室和工业领域。

2.2 涡轮分子泵涡轮分子泵是一种高真空泵，它利用高速旋转的涡轮将气体分子抽出。

它具有高抽气速度、低抽气压力和低噪音的优点，适用于高真空环境。

2.3 磁悬浮离心泵磁悬浮离心泵是一种新型的真空泵，它利用磁力悬浮技术实现无接触运转。

它具有无摩擦、无泄漏和无振动的特点，适用于对环境要求较高的场合。

三、真空泵的应用领域3.1 科学研究真空泵在科学研究领域中广泛应用，如物理实验、化学实验和材料研究等。

它可以为实验提供低压或真空环境，以便进行精确的测量和分析。

3.2 工业生产在工业生产中，真空泵常用于真空干燥、真空冷冻、真空蒸馏等工艺过程。

它可以提供稳定的真空环境，提高生产效率和产品质量。

3.3 医疗设备在医疗设备中，真空泵用于吸引和输送液体、气体或固体物质。

例如，它可以用于吸引血液、气体和污物，以及输送药物和营养液等。

四、真空泵的维护与保养4.1 定期检查定期检查真空泵的运行状态，包括电机运转、密封性能和泵体温度等。

如有异常情况，及时进行修理或更换零部件。

真空泵的工作原理

真空泵的工作原理一、引言真空泵是一种用于产生和维持真空的设备，广泛应用于科研、工业生产和医疗等领域。

本文将详细介绍真空泵的工作原理，包括真空泵的分类、工作过程、工作原理以及常见故障排除等内容。

二、真空泵的分类根据工作原理和结构特点，真空泵可以分为以下几类：1. 机械泵：机械泵是最常见的真空泵类型，通过机械运动产生真空。

常见的机械泵有旋片泵、齿轮泵和液环泵等。

2. 分子泵：分子泵利用高速运动的分子撞击气体分子，将气体排出真空室。

分子泵具有高真空度和高抽速的特点。

3. 扩散泵：扩散泵通过扩散作用将气体分子从高浓度区域扩散到低浓度区域，从而实现真空抽取。

4. 吸附泵：吸附泵利用吸附剂吸附气体分子，将气体分子从真空室中去除。

5. 陶瓷泵：陶瓷泵是一种新型的真空泵，利用陶瓷材料的特殊性能实现真空抽取。

三、真空泵的工作过程真空泵的工作过程可以分为以下几个阶段：1. 压缩阶段：真空泵开始工作后，通过机械运动或其他方式将气体压缩，使气体分子间距减小，从而增加气体分子的密度。

2. 排气阶段：当气体被压缩到一定程度后，真空泵将气体排出真空室，使真空度得到提高。

3. 抽取阶段：真空泵继续工作，不断抽取气体，使真空度进一步提高。

4. 维持阶段：当真空度达到所需水平后，真空泵维持真空度，保持系统的稳定运行。

四、真空泵的工作原理不同类型的真空泵有不同的工作原理，下面以常见的机械泵为例进行介绍：1. 旋片泵的工作原理：旋片泵由一个旋转的偏心轴和若干个旋转的旋片组成。

当旋片泵开始工作时，偏心轴带动旋转的旋片，使气体被吸入泵腔。

随着旋片的旋转，泵腔体积逐渐减小，气体被压缩并排出泵腔。

旋片泵通过连续的吸气和排气过程，实现对气体的抽取和排除，从而产生真空。

2. 齿轮泵的工作原理：齿轮泵由两个相互啮合的齿轮组成，其中一个齿轮为驱动齿轮，另一个为从动齿轮。

当齿轮泵开始工作时，驱动齿轮带动从动齿轮旋转，使气体被吸入泵腔。

随着齿轮的旋转，泵腔体积逐渐减小，气体被压缩并排出泵腔。

真空泵及其工作原理介绍

真空泵及其工作原理介绍真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。

通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。

为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。

1、真空泵的种类随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。

随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求。

常用真空泵包括：干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。

近年来，伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。

2、真空泵的总体结构式与传动方式真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构：1)、立式结构：进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。

但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵；2)、卧式结构：泵的进气口在上，排气口在下。

有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。

此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。

这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。

一般大、中型泵多采用此种结构。

泵的两个转子轴与水平面垂直安装。

这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。

但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。