【CN209783529U】一种高精度激光测量系统【专利】

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201920523390.9

(22)申请日 2019.04.17

(73)专利权人 西安航天计量测试研究所

地址 710100 陕西省西安市15号信箱7分箱

(72)发明人 马车　常莹　赵米峰　张永攀　

杨建　

(74)专利代理机构 西安智邦专利商标代理有限

公司 61211

代理人 汪海艳

(51)Int.Cl.

G01B 11/06(2006.01)

(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

(54)实用新型名称

一种高精度激光测量系统

(57)摘要

本实用新型属于精密测量技术领域，公开了

一种高精度激光测量系统，可应用于包括液体火

箭发动机微小零部件在内的其他工件的厚度测

量。包括底座、紧固螺钉、下限位板、Z向滑块、立

柱、上限位盖、承重块、平移台、定位块、吸附平台

以及激光位移传感器。底座上安装有立柱和承重

块；立柱上分别是上限位盖、下限位板和Z向滑

块；Z向滑块和下限位板分别通过紧固螺钉进行

夹紧固定，而上限位盖通过自身的螺纹与立柱旋

紧；激光位移传感器通过Z向滑块支撑；平移台、

吸附平台和定位块通过螺钉与承重块相连接。本

专利装置具备高精度(测量不确定度U≤5μm)测

量工件厚度的能力。权利要求书1页 说明书4页 附图3页CN 209783529 U 2019.12.13

C N 209783529

U

权　利　要　求　书1/1页CN 209783529 U

1.一种高精度激光测量系统，其特征在于：包括激光位移传感器(1)和定位台(2)；

所述定位台(2)包括平移台(21)及固定在平移台(21)上表面的吸附平台(22)；

所述平移台(21)能够沿X、Y向平移及在XY平面内旋转；

所述吸附平台(22)为中空腔体，腔体上开有进气口(221)及抽气口(222)，所述进气口(221)位于吸附平台(22)上表面的中间部位；所述吸附平台(22)的上表面用于放置待测工件；

所述激光位移传感器(1)用于测量待测工件上表面及吸附平台(22)上表面距激光位移传感器(1)的距离。

2.根据权利要求1所述的高精度激光测量系统，其特征在于：所述定位台(2)还包括用于限制吸附平台(22)位移的定位块(23)，所述定位块(23)上设有固定待测工件的通孔。

3.根据权利要求2所述的高精度激光测量系统，其特征在于：所述定位块(23)与平移台(21)可拆卸连接，定位块(23)底部开有与吸附平台(22)匹配的凹槽，吸附平台(22)位于所述凹槽内，定位块(23)侧壁开有与吸附平台(22)抽气口相通的开孔(231)。

4.根据权利要求2所述的高精度激光测量系统，其特征在于：所述定位台(2)还包括位于平移台(21)底部的承重块(24)。

5.根据权利要求4所述的高精度激光测量系统，其特征在于：还包括底座(4)及立柱(3)，所述立柱(3)与承重块(24)固定在底座(4)上；

所述立柱(3)上安装有Z向滑块(25)，所述Z向滑块(25)用于固定激光位移传感器(1)。

6.根据权利要求5所述的高精度激光测量系统，其特征在于：所述立柱(3)上还安装有下限位板(26)与上限位盖(27)；

所述下限位板(26)位于Z向滑块(25)的下方，通过紧固螺钉(10)固定在立柱(3)上；所述上限位盖(27)位于立柱(3)的顶端。

7.根据权利要求5所述的高精度激光测量系统，其特征在于：还包括隔震平台，底座(4)设置在隔震平台上。

8.根据权利要求1所述的高精度激光测量系统，其特征在于：所述平移台(21)包括底板(211)、X向平移板(212)、Y向平移板(213)及旋转台(214)；

所述底板(211)上设有X向凹槽，所述X向平移板(212)底部设有凸起，所述凸起能够在X 向凹槽内滑动；

所述X向平移板(212)上表面设有Y向凹槽，所述Y向平移板(213)底部设有凸起，所述凸起能够在Y向凹槽内滑动；

所述旋转台(214)包括伺服电机(215)、小齿轮及大齿轮，伺服电机(215)的输出轴与小齿轮连接，所述小齿轮与大齿轮啮合；

所述吸附平台(22)固定在大齿轮的上表面。

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