拉晶常见问题分析精华版

拉晶常见问题

一、单晶用石英坩埚内壁的黑点和气泡等现象是怎么形成的？与石英坩埚的制造工艺有关吗？黑点和气泡具体对单晶硅的生长有什么影响？

黑点和气泡都是由坩埚在生产过程中产生的在晶体生长中国内的硅在高温下可以和干过发生反应如果黑点和气泡距坩埚内表面较近时通过反应黑点可能会进入到硅液当中导致单晶生长遭到破坏。气泡可能导致硅与坩埚反应加剧严重时可造成穿孔导致渗硅或漏硅另外如果原料杂质较多或料中有腐蚀液残留时就会更大的加快反应速率增加渗硅漏硅速度所以在生产对坩埚检验时黑点气泡的数量个体大小及分布区域都有一定的规定。内壁要求都是没气泡或者杂质黑点的，外部的中部和上沿可以有少数，不过有些厂家要求完全没有

黑点的成分主要有以下几种情况:.

1.碳——生产坩埚时使用的石墨;

2.金属杂质——生产坩埚过程中的环境引入

3.石英砂原料中其他杂质

气泡也有好多种情况

.碳氧化合物，这个不用说了!

2.O2，怀疑是存在于石英砂原料中的长石产生。

一般黑子在内表面，气泡较大不建议用，黑子，气泡在坩埚壁中间，却不大是可以使用

二、晶棒晃动原因

1、那要看是机械部分造成的，还是埚位跟的太高的。机械方面有可能是钢丝绳太细，与阻尼套有间隙。

2、还有就是水平对中不好。

3、我这里一般都是锅位跟的太高了的原因造成的，你看一下你的锅位呢，还有炉子本身也有可能有问题，以前我们这出现过锅位不高也晃的现象，他们的处理方式往往是降C/R,S/R。

4、还有个可能就是稳定补温补够，拉速过快。建议查看下参数设定

第一个问题再说的清楚点。

晶棒晃动：

这种现象俗称" 棒摆"

棒摆会发生在整个拉晶的各个阶段：引晶/生长/收尾"

棒摆的原因有很多，不是单单一个方面引起的。曾经美国****公司花巨资专门研究这个为题。也没有得出明确结论。但主要方面有以下几点。

1.软轴（钢丝绳）

提拉头，减速机构/旋转机构。

3.热场。

.氩气（流量/气流在炉内的流动）

炉子机构

热场设计/分布

真空系统（泵/管道）

8.冷却系统（水流/水温）

9.硅料（如拉电子级棒，不同型号的棒子

10.重锤（形状/重量/精度

液面抖动原因：

1 下轴机械部分：有死点/杂物/欠缺润滑/轴弯了。

2下轴传动部分，减速器故障。如蜗轮断齿。

3.下轴和炉体之间有杂物。（已发生在漏硅后,没有清理干净）

4.检查电机驱动部分。伺服电机不会出现这种现象。直流电机经常发生。

2012-4-23