玻璃的减薄技术及不良影响(研究运用)
我国平板显示器光电玻璃减薄现状及趋势
0 引 言随着信息技术发展和消费者消费需求的升级，人们对移动终端轻薄化要求日益提高，也是未来平板显示产品的发展趋势。
轻薄化的TFT-LCD、OLED或其它平板显示技术的各类终端消费电子产品，具有诸多优点，对于零售商来说，轻薄的设备等同于更少的包装材料和运输浪费；对于终端市场消费者来说，更为轻薄的设备意味着更好的便携性和多功能性。
所以普遍采用减薄平板显示器（FPD）光电玻璃，来实现平板显示产品轻薄化的目的，成为目前业界主要的核心竞争要素。
1 平板显示器光电玻璃薄化的技术途径及分析1.1 光电玻璃薄化的技术途径目前，平板显示器光电玻璃薄化的主要技术途径有两个：一是采用不同的玻璃制备方法直接制成超薄玻璃或极超薄玻璃；二是在TFT与彩色滤光片制程完成后，通过化学刻蚀或物理方法进行研磨等方式进行玻璃基板减薄。
1.2 光电玻璃薄化的技术途径分析（1）直接使用超薄玻璃，影响生产成本目前，平板显示器制造商如直接使用超薄玻璃生产平板显示器光电玻璃，虽然可以消减由蚀刻时间和化学蚀刻剂的节省带来的潜在成本，但由于较薄的玻璃基板价格较高，反而会影响平板显示器制造商的盈利能力。
（2）平板显示器生产设备受生产良率及成本制约，很难加工更薄的玻璃基板一方面，由于平板显示器世代线投资规模较大，其生产平板显示器面板时使用的超薄玻璃一般为0.5mm或0.4mm的标准尺寸，虽然对生产线进行改造使其能加工更薄的超薄玻璃，但是设备的改造成本很高。
另一方面，大片轻薄玻璃在传送过程中容易出现漂浮效应，同时，受玻璃自身重量等方面的影响，当白玻璃厚度小于0.3mm条件下，平板显示器高世代线使用机械手对大片白玻璃加工时，玻璃会发生弯曲变形，两块玻璃难以准确贴合，会影响产品良率，提高成本。
（3）平板显示器生产设备改进，增加生产成本如果直接使用超薄玻璃基板，面板生产商为了防止玻璃基板的漂浮效应，需要使用载板搭载超薄玻璃基板进行传送，对平板显示器生产设备改进的相关投资、时间成本，以及直接采购超薄玻璃基板增加的原材料成本，远超过使用常规白玻璃（0.4mm或0.5mm）生产平板显示器光电玻璃后再进行薄化的成本。
在手机玻璃的减薄过程中发生蚀刻不良原因与改善措施
• 玻璃脱齿条重叠在一起，蚀酸或清洗不到的玻璃面会出现条纹； • 酸液液面不能完全覆盖玻璃，蚀刻后严重的条纹；
4、表面脏污
原因分析：
• 玻璃在蚀刻前表面受到污染，如：油脂、手指印等污物粘在玻璃表面，形成表面污；
一、四大主要问题点描述
1：凹凸点和白点 2：表面划伤 3：表面脏污 4：流水纹或酸刻条纹
1、凹凸点和白点
原因分析：
•玻璃内有杂质和气泡，蚀刻后脱落形成凹点，如有化学物质、金属氧化物、硝酸钾等杂质，造成不 反应或反应不完全时，导致不脱落，则形成凸点； •玻璃表面的硝酸钾颗粒没有及时清理，蚀刻后颗粒脱落，与颗粒接触处不被蚀刻从而突出形成凸点；
来料玻璃表面凹凸点放大和示意图
来料玻璃中的气泡或金属氧化 物等异物脱落示意
在显微镜下查看用纯HF和添加（HF:HCI 10:1）比例的两种情况下“康宁5380 玻璃”蚀刻后表面情况图片
改善方案： • 加强来料管控和蚀刻前的检验。 • 依据客户检验要求，对有气泡或杂质的来料玻璃进行相应清洁或研磨等预处理工
改善方案： • 加强蚀刻前的检验管理，改善 • 通过“人机法料环”分析脏污改善因素；
作。
2、表面划伤
原因分析：
• 玻璃产品含有杂质，蚀刻后脱落成划痕； • 玻璃在蚀刻前受到划伤，蚀刻后划痕变大且带有酸刻条纹； • 擦拭玻璃的布条多次使用，会导致布条硬化，布条有胶粒或玻璃碎直接与玻璃发生摩擦导致划伤
而出现划痕；
3、流水纹或酸刻条纹
原因分析：
• 改善方案：
• 酸液浓度过高，速度出现不均匀情况，蚀刻完成的玻璃没及时进入清洗槽清洗，残留于玻 璃表面的酸液继续蚀刻玻璃表面会出现直线酸刻条纹；
浅谈超薄玻璃的发展与应用问题及措施
浅谈超薄玻璃的发展与应用问题及措施面对我国经济发展的新形势，工业的不断发展与进步对原材料的需求不断地增长，所以，我国要不断地加强对原材料的生产和制造。
我国玻璃工业的不断发展和壮大在很大程度上是得益于我国国民经济的快速稳定发展和人民生活水平的不断提高，还有就是我国政策、法规的不断推动，为其发展营造了良好的环境。
这几年我国对超薄玻璃的需求量不断地增长，在其发展和应用过程中也逐渐的出现了一系列的问题，本文对这些问题做了相关的探讨，并且还根据具体的实际情况提出了相关的建议和意见，希望可以为我国玻璃工业的发展开辟更加广阔的道路。
1.新形势下我国对玻璃工业发展的新要求随着我国改革开放的不断推进，我国的经济得到了快速的发展，人民生活水平不断地提高，从而也促使了我国玻璃工业迅速发展和壮大。
时代在发展，社会在进步，对于玻璃工业的发展要求也在不断地提高。
并且，现如今我国工业发展过程中对玻璃的要求有所转变，人民为了更好的改善自己的生活水平，追求更高的生活质量，在对家用装修材料的需求也发生了转变，总之，我国对超薄玻璃的需求越来越大。
2.我国玻璃工业发展的现状虽然这些年我国的玻璃工业得到了迅速的发展，但是，在其快速发展的同时也存在这很多问题。
首先，我国玻璃工业的发展存在着很大的盲目性。
这主要是因为我国的玻璃企业在发展的过程中对于市场的分析不够清楚，不能够正确的把握市场的方向，没有摸清楚消费者的喜好与倾向，从而导致了许多玻璃制造业大规模的盲目生产，没有具体的方向性，也没有企业自身的看法和主见。
其次，我国玻璃工业生产不集中，不利于工业资源的有效利用。
我国有很多小规模的玻璃工业生产企业，这些企业在玻璃生产上各有各的优势，但他们的发展各行其道，没有加强企业与企业之间的合作，所以没有实现企业之间合作，也没有实现大规模的生产。
最后，我国玻璃制造企业的创新能力不强，技术较为落后。
由于我国玻璃制造企业的创新能力不够强大，所以，这些玻璃生产企业发展受到了很大的限制。
高铝玻璃减薄优化工艺研究
高铝玻璃减薄优化工艺研究摘要：以化学蚀刻薄化技术为基础，对高铝玻璃进行减薄优化研究．主要讨论最佳减薄溶液下，不同温度，不同减薄溶液的pH值，不同时间对玻璃减薄速率的影响．对减薄后的玻璃基板表面通过SME、EDX检测品质分析．在光刻胶和边框的保护下，配制出最优减薄溶液，选择的工艺条件为pH＝2，温度55℃，减薄时间45min。
结果表明：在最佳条件下，玻璃基板减薄速率明显提高，表面的粗糙度得到有效的降低，并减少了表面白色附着物的沉淀。
这为平板玻璃、显示屏等行业的制造，提供了一条可行性方案。
关键词：高铝玻璃；减薄；优化工艺一、实验部分1、实验仪器与试剂（1）实验仪器：S－4800型环境扫描电子显微镜，日本日立公司；TD分析天平，姚市金诺天平仪器有限公司；Ｘ射线能谱仪，美国FORMATJEOL公司；紫外－分光光度计，上海谱元仪器有限公司；101－1干燥箱，上海市仪器有限公司；85－2数控恒温磁力搅拌器，上海浦东物理光学仪器厂；0－25螺旋测微仪，河北京城实验仪器科技有限公司。
（2）实验试剂：氟化铵（AR），天津华达化有限公司；乙二胺四乙酸二钠（AR），天津市河东区红岩试剂有限公司；四硼酸钠（AR），天津市科密欧化学试剂有限公司；98%浓硫酸（AR），国药集团化学试剂有限公司；去离子水等。
2、实验材料实验所用高铝玻璃由深圳金鸿桦烨电子有限公司提供，厚度为0.5mm，其玻璃基片组成为：Sio2，Al203，Mgo，Na2o，K2o，Cao＋Bao等。
将此平板玻璃裁成300mm×300mm的实验片。
3、实验预处理3.1玻璃基板表面预处理对玻璃基板，先用丙酮、乙醇各清洗5min，去除玻璃表面的油污，再用去离子水冲洗并浸泡10min，之后放入100℃的烘箱烘30min，以增强玻璃基板表面的活性。
3.2玻璃面板涂保护层为防止减薄液渗进玻璃内部，在玻璃侧面涂布边框胶，当烘箱加热至100℃时，放入烘箱中，烘30min，使边框胶固化。
不良定义及图解
修订记录文件名称不良定义及图解文件页次 2 / 6日期2012-3-10 1、减薄不良图解序号不良名词定义/不良原因图片/实物判定缺陷分类1 表面划伤定义：玻璃基板表面被划伤。
原因：1、玻璃基板含有杂质，蚀刻后脱落成划痕。
2、玻璃在蚀刻前受到划伤，蚀刻后划痕变大且带有酸刻条纹。
3、擦拭玻璃的无尘布多次使用，会导致无尘布硬化，无尘布有胶粒或玻璃碎直接与玻璃发生摩擦导致划伤而出现划痕。
宽W（mm），长L（mm）当0.03<W≤0.05；L≤3时，允许1条；注：两条刮花间距须大于5mm。
2 表面污定义：玻璃表面受到污染。
原因：1、玻璃在蚀刻前表面受到污染，如：油脂、手指印等污物粘在玻璃表面，形成表面污。
2、玻璃表面有残留酒精痕迹（丙酮痕迹）蚀刻后形成表面污。
参照限度样品3 破裂定义：裂痕延伸进入玻璃表面。
原因：1、玻璃与硬物形成猛撞造成；2、插篮、倒边过程中，拿取玻璃不当，造成玻璃夹破；3、测玻璃厚度时，千分尺操作不符造成玻璃破裂；4、擦拭玻璃时，桌面不平整或用力不均，导致边缘缺口延伸裂入。
不可有4 角崩边崩定义：玻璃边有、角部出现崩缺。
原因：1、插篮、插箱时，与邻边玻璃碰撞，造成崩边或崩角；2、玻璃与硬物形成碰撞，造成崩边崩角。
不可进入整片玻璃的外围切割标的外边线内。
文件名称不良定义及图解文件页次 3 / 6日期2012-3-105凹凸点、白点定义：玻璃表面有小坑点或有突出的圆点。
原因：1、玻璃基板内有杂质和气泡，蚀刻后脱落形成凹点，如有化学物质，造成不反应或反应不完全时，导致不脱落，则形成凸点；2、玻璃表面的胶粒没有及时清理，蚀刻后胶粒脱落，与胶粒接触处不被蚀刻从而突出形成凸点；3、蚀刻时由于玻璃粉粘在玻璃表面没有及时清洗或清洗不到位，则形成凸点。
Φ=（长+宽）/2当0.1≤Φ≤0.2；允许1个。
当Φ≤0.1，允许多个。
注：Φ≤0.1出现2个时必须距离5mm以上。
6 酸刻条纹定义：蚀刻后玻璃表面出现凹凸不平的条状波纹。
减小浮法玻璃厚薄差的实践
2# 330 1300
1
90t 的基础上扩建的, 日熔化能力为 300t, 浮 法锡槽全长为 4817m , 采用前宽后窄形式, 即 通常所说的大小头。受资金和厂房的限制, 锡 槽宽段内宽为 4160m , 这就为“宽板慢速”操 作法带来了困难, 也不利于玻璃厚薄差的减 小。 自 1995 年元月投产以来, 我厂浮法玻璃
侧挡边轮的节流与展薄作用, 会使玻璃板的 这种抛物线形的流速分布会维持相当长一段
14
玻璃 25 卷 4 期
© 1994-2007 China Academic Journal Electronic Publishing House. All rights reserved.
两边与中间存在厚度差, 两边薄中部厚, 这是 使用拉边机的必然结果。 由于拉边机的节流
挡边轮, 致使南侧为一定边, 不随玻璃液流量 的变化而改变。 采用偏置操作法的显著优点 是可以有效地预防玻璃板的摆动, 但由于南
作用, 边部玻璃液的流速低于中部, 由于玻璃 液在高温区的流变特性符合牛顿流体, 当在 层流时, 这种横向的流速分布呈抛物线形状,
(1) 在布置。根据我厂实际 情况, 我们取消了粒度粗、含 A l2O 3 量高的旭 口硅砂, 选用了粒度适宜, 含 SiO 2 量高的东 山砂, 由于东山砂进货环节管理不善, 导致成 分时有波动, 而且价格较高, 我们就对旭口硅 砂进行破碎、浮选, 既保证了粒度合乎要求、 成分稳定, 又降低了成本。现在使用的小型投 料机, 料层较厚, 不利于熔化, 待将来资金到 位, 用大型斜毯式投料机, 来提高熔化效果。 2 技改后的效果
南
4190 4189
(5) 为延长玻璃液在高温区的摊平时间, 我们将高温区水包后移, 使摊平距离适当延 长, 改善了摊平效果。
玻璃减薄技术.
玻璃液的拉薄
施。实践证明，温度范围883～769℃，有利于 玻璃带的拉薄，同时，玻璃带在拉薄区内获得了 展薄。为了得到并维持玻璃带在拉薄区内所获得 的宽度，在拉薄区玻璃带的两边，可根据工艺要 求安置若干个拉边机。
7
影响成型质量的因素
影响成型质量的因素 浮法玻璃成型需要多方面的配合，任何一方面出 现问题均会造成玻璃质量的下降，严重者可导致 停产，其中影响成型质量的因素主要包括 锡槽温 度制度、气氛制度、压力制度等项。
优点： 1.表面最光滑，甚 至可以不用抛光
15
减薄流程
清洗 Text in here
蚀刻
Slimming
清洗
16
减薄设备
Loader 单元 其余组件： 供酸装置 HF酸浓度计 预清洗单 元
蚀刻单元
清洗单元
干燥单元
Unloader 单元
温度控制器
洗气装置
17
减薄工艺参数
1.反应时间与玻璃质量损失的关系
SEM对TFT端子部的表面和断面的观 察分析
31
End
谢谢！
32
图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系
18
减薄工艺参数
2.反应速率与反应温度的关系
图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系
19
减薄工艺参数
3.反应速率与HF酸浓度的关系
图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之 间的关系
说明： (HF)2是HF酸溶液中的最主 要活性成分，因为以氢键形式存在 的H－F键比HF分子中的H－F键更 脆弱，与SiO2反应时更容易断裂。
LOGO
玻璃减薄 技术
材科112 贺文杰 201101524215
薄化工艺介绍及不良案例分析
Nozzle堵塞造成玻璃局部蚀刻液更新不及时，间接降低药液浓度，从而降低蚀刻速率，形成表 面不匀。
玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析
12共十六/页。
薄化表面不匀对显示(xiǎnshì)的影响
光线透过玻璃表面，在表面不匀处形成折射，造成光的垂直分量减弱(jiǎnruò)，与周围 正常相比产生亮度的差异。
玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析
图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系 5 /共十六页。
2.反应速率(sùlǜ)与反应温度的关系
图2.玻璃(bō lí)在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系
玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析
6 /共十六页。
3.反应速率与HF酸浓度(nóngdù)的关系
图3.玻璃在HF酸中反应速率(sùlǜ)与HF酸浓度之间的关系
Unloader单元。温度(wēndù)控制器
HF酸浓度计。2.反应速率与反
应温度(wēndù)的关系
共十六页。
测量(cèliáng)
系统 检查方法
检查工具
材料
胶的黏度
无尘布去污性能
X3
人
工作技能
酒精浓度
X4 识别脏污能力
温度
照度
环境 (huánjìn
g)
无尘布更换频度
X2
湿度
擦拭方法
X1
工艺方法
接触次数
清洁度
接触位置
工具
设备
玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析
11共十六/页。
产生脏污
2.薄化表面(biǎomiàn) 不匀
0.0289
1.0491
0.0446
2.2803
0.0569
TFT_LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介
玻璃本身含有杂质.
玻璃表面
1. 除胶未干净，有残留 2. PT等未清洗干净
工艺设备
1. 设备故障（Conveyer） 2.瀑布流分叉（瀑布流蚀刻方式） 3.Nozzle堵塞（喷淋式蚀刻方式）
17
Slimming后划伤
Human eye invisible Slimming前发生轻微Scratch
Slimming
13
减薄清洗单元（后）
DI浸泡 碱浸泡 酸浸泡 DI浸泡
a. DI水 b. 常温 C. 5min
a. 5-10% NaOH b. 45℃鼓泡 C. 10min
a. 3% HCl b. 或常温 C. 1min
a. DI水 b. 常温 C. 5min
清洗
14
研磨
Reject
外观检查
Item
Picture
适应产品 可修复不良
CAPA
Polishing
自动研磨
清洗
外观检查
手动研磨
无破损产品 不良率高发，严重不良 Q-panel抛光，效率高
所有产品 不良率较低的轻微不良 针对单点不良修复，效率低
15
减薄工艺自身不良
1.不可擦拭脏污
2.薄化不匀
16
减薄工艺自身不良
玻璃本身
玻璃被蚀刻 时局部蚀刻不一 致
Slimming后Scratch程度加重
18
Slimming后划伤
1. Lift Pin 凹点
19
Slimming后划伤
2.Robot吸盘凹点
20
Slimming后划伤
3.轮印
21
造成B-ITO不良
1.水渍酸印 现象： ADS产品做完B-ITO后，产品与BOX接触的位置ITO被严重 腐蚀 ，类似产品表面水干燥后残留的印记。 原因： BOX在Slimming车间长期周转，slimming车间内酸气长期在 BOX表面附着，从而使BOX表面呈现酸性
玻璃减薄技术.[文字可编辑]
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玻璃减薄 技术
?浮法减薄技术 ?TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及
不良简介
2
浮法减薄技术
1
浮法玻璃成型的定义
2
浮法玻璃成型原理
3
玻璃液的拉薄
4
影响成型质量的因素
3
浮法玻璃成型的定义
? 浮法玻璃成型的定义 浮法玻璃成型工艺过程为熔化、澄清、冷却的优 质玻璃液在调节闸板的控制下经流道平稳连续地 流入锡槽，在锡槽中漂浮在熔融锡液表面，在自 身重力的作用下摊平、在表面张力作用下抛光、 在主传动拉引力作用下向前漂浮，通过挡边轮控 制玻璃带的中心偏移，在拉边机的作用下实现玻 璃带的展薄或积厚并冷却、固型等过程，成为优 于磨光玻璃的高质量的平板玻璃。
玻璃本身含有杂质.
玻璃表面
1. 除胶未干净，有残留 2. PT等未清洗干净
工艺设备
123...瀑N设o布备zz流故le分堵障叉塞（（ （Co瀑喷n布淋ve流式ye蚀蚀r）刻刻方方式式））
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Slimming后划伤
Human eye invisible Slimming 前发生轻微Scratch
Slimming
获得光亮、平整的 表面。止强酸破坏 Cell封框胶以及进入 Cell 内部
1. 加盖遮光垫
一般在这之前 还会进行检查。
2.涂胶
涂胶后静置 1min。
3.擦胶
清除多的UV胶。
4. UV固化
UV固化后检查
破坏构TFT结
12
封胶
加盖遮光垫
GLS
边框胶
涂胶
灯 UV
UV 固化
涂胶后检查
8
TFT-LCD面板 玻璃减薄
1
减薄的作用
玻璃的减薄技术及不良影响
出的脉冲激光束聚焦成直径很小的光斑, 并
调节到适当的能量密度,对于处在真空环境 中的待减薄膜层进行高速扫描,使膜层汽化,
从而达到减薄膜层的目的。
8
技术二：真空激光减薄
系统原理：
激光束经过聚焦、偏转后, 经
由石英窗口, 照射放置在真空度为
10- 3 Pa 高真空环境中的待加工
晶片, 以实现对晶片表面银电极层
的激光减薄。
系统工作原理图如图。
9
技术二：真空激光减薄
优点：( 1) 可以实现对膜层的精确减薄, 且减薄后的膜层不存在性能漂移现象; ( 2) 工作在真空环境下,膜层减薄过程
中不会出现对膜层污染、氧化等问题,
加之激光加工为非接触加工, 不会对膜 层产生机械损伤; ( 3) 利用激光移动灵活的特点, 可以实 现快速的多片薄膜大面积的薄膜减薄。
合理配置好
纵向和横向
控制好锡液 流动
控制好玻璃
拉边机进行 双向拉薄
液的温度
12
技术五：逐级渐开拉薄法
1、是在试验的基础上建立起来的； 2、是在超薄浮法玻璃的实际生产当中, 通过参照普通浮法玻璃的拉薄方法, 对 原有的拉薄方法( 强冷重热拉薄法、徐 冷拉薄法和双向展薄法) 进行了试验探索； 3、其整板厚度、厚薄差、微观波纹度均能满
2.蚀刻溶液依 靠重力下流， 蚀刻玻璃基材 表面 。
5
技术一：蚀刻 减薄流程
清洗 Text in here
蚀刻
Slimming
清洗
6
减薄设备
Loader 单元 其余组件： 供酸装置 HF酸浓度计 预清洗单 元
蚀刻单元
清洗单元
干燥单元
玻璃减薄技术
TFT-LCD面板 玻璃减薄
1
减薄的作用
2
减薄工艺简介
3
常见的减薄不良
9
减薄的作用
1.减少占有的空间 2.使Glass达到一定的柔性
10
减薄工艺简介
封胶
减薄
研磨
防止酸碱溶液从边 缘处进入液晶盒内 ，破坏封框胶，进 入Cell内部，影响 产品性能。
用酸碱对Glass进 行刻蚀，从而达到 减薄的目的。
29
其它不良
1.电阻超标 原因： 酸残留
30
ห้องสมุดไป่ตู้
与减薄有关的性耐性
▪ 对LCM进行冲击和跌落。 ▪ 对LCM进行显示检查和外观检查
牢固度确认
玻璃基板表面蚀刻状况确认
▪ 将其放入冷热交替的冷热槽中 ▪ 对LCM进行显示检查和显微镜
Glass外观检查
TFT端子部腐蚀状况的确认
▪ 高温高湿的老化槽内进行的持续老化。 ▪ SEM对TFT端子部的表面和断面的观
获得光亮、平整的 表面。
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封胶
UV胶
封胶工艺
防止强酸破坏Cell封框胶以及进入Cell内部
1. 加盖遮光垫
一般在这之前 还会进行检查。
2.涂胶
涂胶后静置 1min。
3.擦胶
清除多的UV胶。
4. UV固化
UV固化后检查
破坏TFT结 构
12
封胶
加盖遮光垫
GLS
边框胶 涂胶
UV灯 UV固化
涂胶后检查
察分析
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End
谢谢！
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图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系
18
减薄工艺参数
2.反应速率与反应温度的关系
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2.蚀刻溶液依 靠重力下流， 蚀刻玻璃基材 表面 。
专业应用
5
技术一：蚀刻 减薄流程
清Te洗xt in here
蚀刻
Slimming
清洗
6
专业应用
减薄设备
Loader 单元
预清洗单 元
蚀刻单元
清洗单元
干燥单元
Unloader 单元
其余组件： 供酸装置 HF酸浓度计 温度控制器 洗气装置
专业应用
7
专业应用
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技术二：真空激光减薄
所谓真空激光减薄技术, 是指利用激光器发 出的脉冲激光束聚焦成直径很小的光斑, 并 调节到适当的能量密度,对于处在真空环境 中的待减薄膜层进行高速扫描,使膜层汽化, 从而达到减薄膜层的目的。
专业应用
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技术二：真空激光减薄
系统原理： 激光束经过聚焦、偏转后, 经
由石英窗口, 照射放置在真空度为 10- 3 Pa 高真空环境中的待加工 晶片, 以实现对晶片表面银电极层 的激光减薄。 系统工作原理图如图。
专业应用
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减薄工艺自身不良
1.不可擦拭脏污
2.薄化不匀
专业应用
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减薄工艺自身不良
玻璃本身
玻璃被蚀刻时 局部蚀刻不一致
玻璃本身含 有杂质.
玻璃表面
1. 除胶未干 净，有残留 2. PT等未清 洗干净
工艺设备
专业应用
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Slimming后划伤
Human eye invisible
Slimming前发生 轻微Scratch
专业应用
9
技术二：真空激光减薄
优点：( 1) 可以实现对膜层的精确减薄, 且减薄后的膜层不存在性能漂移现象; ( 2) 工作在真空环境下,膜层减薄过程 中不会出现对膜层污染、氧化等问题, 加之激光加工为非接触加工, 不会对膜 层产生机械损伤; ( 3) 利用激光移动灵活的特点, 可以实 现快速的多片薄膜大面积的薄膜减薄。
纵向和横向 控制好锡液 流动
控制好玻璃 液的温度
合理配置好 拉边机进行 双向拉薄
专业应用
12
技术五：逐级渐开拉薄法
1、是在试验的基础上建立起来的； 2、是在超薄浮法玻璃的实际生产当中, 通过参照普通浮法玻璃的拉薄方法, 对 原有的拉薄方法( 强冷重热拉薄法、徐 冷拉薄法和双向展薄法) 进行了试验探索； 3、其整板厚度、厚薄差、微观波纹度均能满 足用户的质量指标要求。
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玻璃的减薄（Slimming） 工艺
.
专业应用
1
Contents
1
减薄的作用
2
减薄工艺简介
3
常见的减薄不良
专业应用
2
减薄的作用
1.减少占有的空间 2.使Glass达到一定的柔性
专业应用
3
减薄工艺简介
减
蚀刻
激光
离子
薄
方
稳流
渐开
法
专业应用
4
技术一：蚀刻
蚀刻工艺
以HF溶液作为蚀刻溶液
1.以固定流速 沿玻璃基材 垂直下流
专业应用
10
技术三：离子减薄技术
两个离子枪 1 从真空室两侧插入
离子束以一定的 2 掠射角(连续可调)
从样品的两侧轰击样品。
当样品出现微孔时 停止减薄。 4
11
3 聚光灯从样品 背面照明
专业应用
技术四：双向稳流拉薄法
关键点：围绕玻璃厚薄差和微观波纹度， 在“ 稳” 字上采取有效的技术措施。 适用范围：超薄玻璃的生产。
Slimming
Slimming后 Scratch程度加重
专业应用
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Slimming后划伤
1. Lift Pin 凹点
专业应用
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Slimming后划伤
2.Robot吸盘凹点
专业应用
18
Slimming后划伤
3.轮印
专业应用
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其它不良
电阻超标 原因： 酸残留
专