PV系统培训资料
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3. 酸排气系统出现异常时（如末端负压下降等），也会引起真空泵的热继电器 保护跳机。
谢谢您花费时间
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PV真空泵的性能参数及所需动力源
排气
பைடு நூலகம்
PCW
PV真空泵所需动力源
PV系统的安全注意事项
• 以下几点可能会导致PV系统运行出现异常甚至停止供应： 1. 停电或市电波动时PV真空泵将停止运行，供电恢复正常后需在现场重新启动 真空泵恢复PV供应。
2. PCW系统供应异常时（流量、压力或温度异常），会引起真空泵的热继电器保 护跳机。
PV系统架构
FAB 1F PV真空泵区
PV系统架构
PV 真空泵
PV系统架构
PV 控制电盘
PV系统架构
FAB 2F PV主管及Submain 分布图
PV系统架构
FAB 3F PV Submain 分布图
PV真空泵的性能参数及所需动力源
• PV真空泵性能参数： - 抽气量：9000L/min/台 - Hookup take-off点设计真空度：–700 mmHg • 真空泵运行所需主要动力源包括PCW（工艺冷却水）和排气（酸排气），其中 对于PCW的供应有严格要求： - 送水压力: 2-4 bar - 送水流量: 大于12 L/min/台
PV系统培训资料
2011年11月
PV系统架构
• PV系统也称工艺真空或制程真空系统，是为FAB里生产机台提供用于吸附硅片 的动力源。 PV的制程发生装置位于FAB 1F东侧F5-F7/11-12之间（靠近5#楼梯），包括有 以下主要设备： 真空泵 13台 缓冲罐 2个 电控盘 1组 PV真空集管等 PV系统以目前10K产能，日常情况下运行3台真空泵，其余为后续产能扩充做 预留
• •
PV系统架构
PV 系统工作流程：
→ → → → → → FAB内生产机台 / 实验室机台等的PV工艺接口 Hookup管道 FAB 2F各PV Submain FAB 2F东西两侧PV主管（西侧200A，东侧150A） FAB 1F PV集管 FAB 1F PV真空泵
注：另外有一路主管专供3F CMP区域使用以及另一路共供1F实验室和3F南支持区 使用
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排气
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PCW
PV真空泵所需动力源
PV系统的安全注意事项
• 以下几点可能会导致PV系统运行出现异常甚至停止供应： 1. 停电或市电波动时PV真空泵将停止运行，供电恢复正常后需在现场重新启动 真空泵恢复PV供应。
2. PCW系统供应异常时（流量、压力或温度异常），会引起真空泵的热继电器保 护跳机。
PV系统架构
FAB 1F PV真空泵区
PV系统架构
PV 真空泵
PV系统架构
PV 控制电盘
PV系统架构
FAB 2F PV主管及Submain 分布图
PV系统架构
FAB 3F PV Submain 分布图
PV真空泵的性能参数及所需动力源
• PV真空泵性能参数： - 抽气量：9000L/min/台 - Hookup take-off点设计真空度：–700 mmHg • 真空泵运行所需主要动力源包括PCW（工艺冷却水）和排气（酸排气），其中 对于PCW的供应有严格要求： - 送水压力: 2-4 bar - 送水流量: 大于12 L/min/台
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2011年11月
PV系统架构
• PV系统也称工艺真空或制程真空系统，是为FAB里生产机台提供用于吸附硅片 的动力源。 PV的制程发生装置位于FAB 1F东侧F5-F7/11-12之间（靠近5#楼梯），包括有 以下主要设备： 真空泵 13台 缓冲罐 2个 电控盘 1组 PV真空集管等 PV系统以目前10K产能，日常情况下运行3台真空泵，其余为后续产能扩充做 预留
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PV系统架构
PV 系统工作流程：
→ → → → → → FAB内生产机台 / 实验室机台等的PV工艺接口 Hookup管道 FAB 2F各PV Submain FAB 2F东西两侧PV主管（西侧200A，东侧150A） FAB 1F PV集管 FAB 1F PV真空泵
注：另外有一路主管专供3F CMP区域使用以及另一路共供1F实验室和3F南支持区 使用