设备主要组成及技术指标

一、设备主要组成及技术指标

1、划片机系统主要组成部分、功能和随机清单：

1.1划片机系统主要由贴膜模块，高精度激光切割模块，裂片模块，工作气路，工作电路，控制系统、冷却系统等部分组成，适用于超净间安装；

1.2贴膜模块要能够在硅片切割前进行保护膜的手动贴附；

*1.3高精度激光切割模块不仅要满足单晶硅、多晶硅、非晶硅、锗、石墨、金刚石、碳化硅等四族半导体衬底材料，氧化铝、氮化铝、氧化锆、镀银陶瓷等陶瓷衬底材料，蓝宝石、氧化硅、氮化硅、铁氧体等脆性材料，还要满足不锈钢、铜、硅钢、铁钴合金、铝合金、钛合金等多种金属的切割、打孔，以及LED器件、MEMS器件、微流道芯片等微纳器件的加工工艺；

*1.4裂片模块要能够对划线的硅片(硅片尺寸≥6英寸)进行裂片。

2、主要技术指标：

*2.1贴膜模块：支持直径6英寸以内晶圆贴膜；

2.1.1允许晶圆厚度不低于150~800µm厚度区间；

2.1.2可贴膜种类：蓝膜、UV膜；

2.1.3晶圆收益：≥99.9%；

2.1.4贴膜质量要求：无气泡；

2.1.5要求产能：≥90片/小时；

2.1.6 双弹性压合，不易碎片；

2.1.7 轴承式圆周刀；

2.1.8 皮带式收料结构和抽取式换膜装置；

2.1.9 带无排式静音真空和可调式加热装置；

2.1.10 带机械式横切刀；相对省膜设计原理；

2.2高精度激光切割模块：包括光纤激光发生器、高精度大理石平台、专用切割头、专用切割软件，高精度直线电机，一体式机柜，真空吸附系统等主要组成部分，满足±0.015mm切割精度；

*2.2.1准连续光纤激光发生器：波长1064nm，功率不低于150w，连续输出能量偏差控制在≤3%，激光器性能与原装进口IPG等品牌相当，风冷模式制冷；

2.2.2光束传输系统：激光聚焦系统，同轴辅助吹气系统；

2.2.3高精度大理石平台基座：高精度花岗岩平台，尺寸1.3m×1.2m×0.18m重量不低于0.5吨，主要目的是为了提高设备自重，另外大理石受温度变化相对其它材料变化系数较小，能与直线电机更好的配合。

2.2.4专用切割头:高精度切割头，性能与原装进口普雷斯特品牌相当；

*2.2.5专用切割软件：PMAC控制卡配套专用激光切割软件，可识别调用CAD dxf 格式文件并进行加工，具有图形排样及尖角平滑处理功能，可实现高速打孔及标刻功能；

*2.2.6 XY轴配置高精度直线电机,切割幅面为400×400mm，定位精度不低于±0.004mm，重复定位精度不低于±0.003mm，Z轴可上下调节，调节范围0-100mm，调节精度0.02mm,电动调焦；

*2.2.7最小切割线宽不超过0.05mm，切割厚度：蓝宝石衬底不低于1 mm，碳化硅衬底不低于1mm，氮化铝软陶瓷不低于1mm；不锈钢不低于2mm，紫铜不低于0.3mm；银不低于0.3mm；有以上的材料的切割经验并提供相应的工艺报告；

*2.2.8 CCD定位：高清晰摄像头，像素不低于200万，性能与基恩士等品牌相当；

2.2.9采用一体式机柜，选用优质钢材料（性能不低于45号钢材）制造，氩弧焊接，表面进行防锈处理；

2.2.10带声光报警以及门磁保护功能，确保人员与设备使用安全；

2.2.11控制系统：采用进口工控机，配置不得低于双核

3.3Hz CPU；4G内存；500G硬盘；20寸液晶显示器，控制系统性能与西门子等公司同类产品性能相当；

2.2.12具有操作权限分级功能；

2.2.13设备设计要满足我实验室现有超净间安装空间要求，设备尺寸：长度1300±100mm，宽度1100±100mm，高度1650±100mm，并满足高层楼板承重需求，成套设备重量控制在1200± 50Kg，；

2.2.14设备颜色要满足主要设备整体美观要求；

2.3扩片模块：

2.3.1 采用双气缸上下控制；

2.3.2 恒温设计，膜片周边扩张均匀适度；

2.3.3 加热，拉伸，扩晶，固膜一次完成；

2.3.4 加热温度，扩张时间，回程速度均匀可调；

二、设备随机配件

1、标准工具1套

2、专用工具1套

3、专用夹具

4、喷嘴2个

5、金属名片10片（调光使用）

6、保护镜片2片

7、激光防护眼镜1副（波长1064nm）

三、交货期：30个工作日；

四、设备安装：设备供应商提供的设备运输、安装、调试、验收和培训等的费用均包含在本次采购价格中；

五、设备操作培训

1、设备培训包括设备调试、工艺培训等相关的操作、参数设定和数据编程，并提供各种典型工艺参数；

2、整机设备的软件控制操作、手动控制操作，图形处理；

3、常见故障原因及处理方法设备保修；

六、设备质保

1、提供壹年免费质保期，并提供终身维修服务；

2、质保期内在4小时内提供电话响应，在24小时内提供现场响应。质保期后提供在8小时内电话响应，在48小时内提供现场响应；

3、质保期后按成本价提供设备维修配件和服务；

4、投标厂家在中国大陆设有完善的售后服务机构和备件库，能够迅速及时地处理售后服务问题和提供售后所需要的备品备件，并提供江苏地区直属服务网点的相关证明材料；

七、其他要求

1、投标厂商要求有两年以内在大型研究所和大学公共实验平台有实际销售业绩；以上需提供相关证明材料；

2、投标厂家为了能配合我校对设备的进一步开发运用，需具备设备的核心知识产权、有demo实验室或者研究中心配合我校开发新材料工艺。

3、投标厂家必须对自己投标的产品的参数的真实性进行保证，并于投标当日提供相关产品的样册。

*为关键指标，必须满足。