阵列式柔性薄膜压力传感器MF-3216
基于柔性压电薄膜的可穿戴脉搏传感器设计
基于柔性压电薄膜的可穿戴脉搏传感器设计目录1. 内容综述 (2)1.1 研究背景及意义 (3)1.2 现有脉搏监测技术现状及不足 (4)1.3 本文研究目标及创新点 (5)2. 基于柔性压电薄膜的脉搏传感器工作原理 (6)2.1 压电材料的特性及应用 (7)2.2 传感器结构设计 (9)2.2.1 传感器组成部分 (10)2.2.2 柔性压电薄膜的特性与选择 (12)2.2.3 信号采集和处理电路设计 (13)2.3 脉搏信号获取及分析 (15)3. 材料及器件 (16)3.1 主流柔性压电薄膜材料研究 (17)3.2 器件加工工艺 (18)4. 实验设计与结果分析 (19)4.1 实验平台搭建 (21)4.2 传感器性能测试及分析 (22)4.3 压力感知特性研究 (24)4.3.1 传感器响应曲线 (25)4.3.2 传感器线性度分析 (27)4.4 脉搏信号采集与分析 (29)4.4.1 实验数据采集 (31)4.4.2 脉搏信号处理与提取 (31)4.4.3 信号分析与结果展示 (33)5. 讨论与结论 (34)5.1 研究成果总结和分析 (36)5.2 存在问题及未来展望 (37)1. 内容综述随着物联网与智能穿戴技术的不断进步，健康监测与远程医疗系统的发展需求日益显现。
在这个背景下，基于柔性压电薄膜的可穿戴脉搏传感器设计成为了研究热点。
该设计旨在实现实时、连续、非侵入式的生理信号监测，特别是针对心血管健康的监测。
该设计以人体脉搏信号的精准检测为目标，结合了柔性压电薄膜技术与现代传感技术，为用户提供一种舒适且可靠的新型穿戴监测方式。
柔性压电薄膜作为一种新兴材料，具有灵敏度高、响应速度快、可弯曲等特点，适用于可穿戴设备的制造。
基于柔性压电薄膜的可穿戴脉搏传感器不仅可用于医疗领域的心率失常预警、心血管疾病诊断，还可在运动健身领域用于运动效果评估和运动损伤预防等方面。
其设计理念的革新性在于将传统的医疗检测手段与现代可穿戴技术相结合，为用户提供个性化的健康监测服务。
硅尖阵列—敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试
第 １ ７卷
第 １期
液
晶
与
பைடு நூலகம்
显
示
Ｖ０ ． ７ｍ １ 】１ Ｎ Ｆ ．． ０ ｅｂ ２０ ２
３ ０ ｆ 月 ０ ２ ｔ２
Ｃｈ ｎ ｓ ｏｕ ｎａ ｆ Ｌｉ ｉ ｙ ｔ ｌ ｎ ｓ ｌ ｙ ｉ ｅ ｅ Ｊ ｒ ｌｏ ｑｕ ｄ Ｃｒ ｓ ａｓ ａ ｄ Ｄｉｐ ａ ｓ
关
键
词 ：真 空 微 电 子 ；压 力 传 感 器 ｛ 拟 测 试 ；压 力 特 性 ；测 试 模 文 献 标 识 码 ：Ａ
中 圈 分 类 号 ：ＴＮ７ ３ ９ ８ ．５
１ 引
言
真空微 电子（ ＶＭ Ｅ） 力 传 感 器 出 现 于 ２ 压 ０世 纪 ９ Ｏ年 代 初 期 ， 新 兴 的 真 空 微 电 子 技 是 术 中的一种新 型传感 器 ， 有灵 敏度 高 、 高低 温 、 辐 射 、 积 小等 优 点 ； 航 空 、 天 、 具 耐 抗 体 在 航 汽 车 、 能 机 器 人 、 疗 等 领 域 有 着 广 泛 的应 用 前 景 。 智 医 针 对 真 空 微 电 子 压 力 传感 器 ， 们 在 进 行 了基 础 理 论 和 场 致 发 射 理 论 研 究 的 基 础 上 ， 我 提 出 了 台 阶 阵 列 、 尖 阵 列 一 敏 感 薄 膜 复 合 型 阴 极 ； 行 了计 算 机 模 拟 场 致 发 射 计 算 和 敏 硅 进 感 薄 膜 厚 度 的计 算 ｉ 制 了阴 极 一 敏 感 薄 膜 复 台 型 压 力 传 感 器 和 压 力 ／ 觉 传 感 器 ； 且 研 触 并 封 装 、 试 了 真 空 微 电子 压 力 传 感 器 的场 致 发 射 电 流和 压 力 特 性 。 测
《基于PDMS薄膜介电层电容式柔性压力传感器的研究》
《基于PDMS薄膜介电层电容式柔性压力传感器的研究》篇一一、引言随着物联网技术的飞速发展，柔性电子设备已成为研究的热点。
其中，柔性压力传感器作为一种重要的传感元件，广泛应用于人机交互、智能穿戴、健康监测等领域。
在众多压力传感器技术中，电容式柔性压力传感器以其高灵敏度、快速响应、低功耗等优点备受关注。
本文以PDMS（聚二甲基硅氧烷）薄膜作为介电层的电容式柔性压力传感器为研究对象，探讨其性能及优化方法。
二、PDMS薄膜介电层电容式柔性压力传感器PDMS薄膜因其优异的绝缘性、良好的柔韧性和化学稳定性，常被用作电容式压力传感器的介电层。
在电容式压力传感器中，当外界压力作用于传感器时，会导致介电层与电极之间的距离发生变化，从而改变电容值，实现压力的检测。
三、传感器的工作原理与性能分析本研究所采用的电容式柔性压力传感器，主要由上下两个电极和中间的PDMS薄膜介电层构成。
当外力作用于传感器时，PDMS薄膜会发生形变，导致上下电极之间的距离发生变化，从而引起电容的改变。
这种改变与外力之间呈现出良好的线性关系，使得传感器能够准确地检测压力变化。
在性能方面，该传感器具有高灵敏度、低检测限、快速响应等优点。
此外，PDMS薄膜的引入还提高了传感器的柔韧性和耐久性，使其能够适应各种复杂环境下的使用需求。
四、传感器的制备与优化为了进一步提高传感器的性能，我们通过优化制备工艺和材料选择来改善传感器的性能。
具体措施包括：1. 优化电极材料：选择导电性能良好、柔韧性高的材料作为电极，以提高传感器的灵敏度和响应速度。
2. 改进PDMS薄膜的制备工艺：通过控制薄膜的厚度、均匀性等参数，提高介电层的性能，从而提升传感器的整体性能。
3. 引入微结构：在PDMS薄膜表面制备微结构，如微金字塔、微孔等，增加传感器的有效面积和表面积，进一步提高灵敏度和响应速度。
4. 封装保护：对传感器进行封装保护，以提高其耐久性和稳定性，使其能够在各种复杂环境下长期稳定工作。
柔性压力传感器温度漂移补偿结构设计
柔性压力传感器温度漂移补偿结构设计温度漂移补偿结构设计主要包括两个方面：硬件设计和软件设计。
硬件设计方面，可以采用两种方式来实现温度漂移补偿：传感器模块
和信号处理模块。
传感器模块方面，可以选择具有温度补偿功能的柔性压力传感器。
这
种传感器能够在工作时自动对自身的温度进行监测，并输出温度补偿信号。
传感器模块与压力信号采集模块相连，通过传感器模块输出的温度补偿信
号来对压力信号进行补偿，从而实现温度漂移的补偿。
信号处理模块方面，采用高精度的模拟-数字转换芯片（ADC）来对传
感器模块输出的信号进行转换并进行处理。
在信号转换时，通过添加校准
系数进行温度漂移补偿，从而提高传感器的精度和稳定性。
软件设计方面，可以采用线性补偿算法对传感器输出信号进行处理。
具体方法是根据已知温度条件下的传感器输出信号和真实压力数据建立模型，得到传感器输出信号与温度之间的关系曲线，然后根据当前温度与模
型曲线进行比较，通过插值计算得到补偿系数，从而对传感器输出信号进
行补偿。
总结来说，柔性压力传感器温度漂移补偿结构设计主要包括硬件设计
和软件设计两个方面。
在硬件设计方面，采用具有温度补偿功能的传感器
模块和高精度的信号处理模块来实现温度漂移的补偿。
在软件设计方面，
采用线性补偿算法对传感器输出信号进行处理。
通过这样的结构设计，可
以有效地解决柔性压力传感器的温度漂移问题，提高其测量精度和稳定性。
3216对应的封装
3216对应的封装一、背景介绍二、3216封装的特点三、3216封装的优势四、3216封装的应用领域五、3216封装的制造工艺六、3216封装的市场前景七、总结一、背景介绍随着电子产品的不断发展，电子元器件的封装形式也在不断演变。
3216封装作为一种常见的封装形式，被广泛应用于各个领域。
本文将介绍3216封装的特点、优势、应用领域、制造工艺以及市场前景。
二、3216封装的特点3216封装是一种表面贴装技术(SMT)封装形式，其尺寸为 3.2mm × 1.6mm。
相较于其他封装形式，3216封装具有以下几个特点：1. 尺寸小巧：3216封装的尺寸小巧，能够在有限的空间内实现更高的集成度，满足电子产品对尺寸要求的同时提供更多的功能。
2. 高密度装配：由于3216封装的尺寸小，因此可以实现更高的元器件密度，提高电路板的集成度，减小电子产品的体积。
3. 适应性强：3216封装适用于多种电子元器件，如电容、电阻、电感等，可以满足不同电子产品对元器件的需求。
4. 良好的电性能：3216封装通过优化设计，能够提供良好的电性能，确保电子产品的稳定性和可靠性。
三、3216封装的优势3216封装相较于其他封装形式具有以下几个优势：1. 节省空间：由于3216封装的尺寸小巧，可以在有限的空间内实现更高的集成度，节省电子产品的空间。
2. 提高效率：3216封装通过优化设计，可以提高元器件的装配效率，降低生产成本。
3. 提高可靠性：3216封装具有良好的电性能，能够保证电子产品的稳定性和可靠性，减少故障率。
四、3216封装的应用领域3216封装广泛应用于各个领域，包括但不限于以下几个方面：1. 通信领域：3216封装适用于无线通信设备、基站设备、网络设备等，满足通信领域对小尺寸、高密度集成的要求。
2. 汽车电子：3216封装可以应用于汽车电子领域，如车载导航、智能驾驶、车载娱乐等，提供稳定可靠的电子元器件。
3. 工业控制：3216封装适用于工业控制设备，如PLC、传感器、工业机器人等，提供高密度、高可靠性的电子元器件。
一种阵列式小尺寸温度传感装置
项 目来 源 ： 国家“ 八六 三” 高技术研究发展计划 （ Ｏ ９ Ａ １ ３４ ； ２ Ｏ Ａ ０ ｚ １ ） 江苏省 自然科学基金 项 目（ Ｋ ０ ９７ ） 江苏省高校科 技成 Ｂ ２０ ２ ２ ；
果 产 业 化 推 进 项 目（Ｈ１ — ） 江 苏 省 “ ３ ” 程 项 目 Ｊ ０２； ３３ 工 收 稿 日期 ：０ １ ０ — ６ ２ １—４ ２ 修 改 日期 ：０ １ ０ — ０ ２ １ — ８ １
具 有一 定温度 的被 测物 体外形 进行 识别 。
图 ２ 单 个热 敏 电 阻的 分 压 法 检 测 原 理 图
当采 用交叉式 阵列结 构 ， 即阵列 中每一 个测 温 电
阻 一端 与所 在 的列线 相 连 ， 另一 端 与所 在 的行 线 相
１ 阵 列式 小 尺 寸 温 度传 感装 置 组成
Ｅ ＡＣ ７ ２ Ｇ；２ ０ Ｅ Ｃ：３ ０ ７ ３
ｄ ｉ１ ． ９ ９ ｊ ｉ ｎ １０ — ６ ９ ２ １ ． １ ０ ６ ｏ ：０ ３ ６ ／ ．ｓ ．０ ４ １ ９ ． ０ １ １ ． ２ ｓ
一
种 阵列 式 小 尺 寸 温 度 传 感 装 置 冰
吴 剑 锋 ， 王 蕾 ， 建 清 于 忠洲 李 ，
所 设 计 的 阵列 式温 度 感 知装 置设 有 主控 制器 、
连 ， Ⅳ× 个温度 传感 器 的连接 线数 目为 Ⅳ＋ 根 ， 则 可大大减少 电阻阵列 测量 所需 连线 数 目。但该 接 线
阵 温度传感器阵列及其测控 电路 ， 以温度传感器阵列 方式 同时也 给阵列 中所有 电阻的测量带 来 了问题 ， Ｔ＿ 、 ＾ 广 之 ｌ 凡 列 中相邻 电阻对 被测 电阻 的测量 产生影 响 ， 使得 该 电 作 为 温度感 知 的核心 ， 中 ： 其 温度 敏感单 元采 用微 小 尺寸 测温 型高精 度 Ｎ Ｃ电阻 ， Ｔ 单个 元件 的平 面尺 寸 不大 于 ２ｍ ｘ ｉ ２ｍｍ： 有 阵列 交叉 分 布 式 结 构 ， ｎ 具 共
柔性薄膜压力传感器规格书ZNX-01
力敏特性 以下为柔性薄膜压力传感器ZNX-01中一个点的压力-电阻值变化曲线图。图表显示了全部电阻范 围内的压力-电阻值关系。
注意： 图表中曲线是在特定的条件下测得的数据绘制而成，曲线关系仅供参考，实际数据请根据具体
应用情况安装后测试。
ZNX-01 规格书
REV2.1 Jan-19
2/3
参考电路
苏州能斯达电子科技有限公司
单位：mm
1/3
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
接口定义
苏州能斯达电子科技有限公司
性能指标
项目 型号 量程 厚度 外观尺寸 响应点 耐久性 初始电阻 响应时间 恢复时间 测试电压 工作温度 电磁干扰 EMI 静电释放 ESD
参数 ZNX-01 10 kg 小于 0.45 mm 41 码（其他尺寸大小可以定制） 400 g ＞100 万次 ＞10MΩ (无负载) < 1ms < 15ms 典型值 DC 3.3 V -20℃ - 60℃ 不产生 不敏感
ZNX-01 是基于电阻式传感器，输出电阻随着施加于传感器表 面压力的增大而减小，通过特定的压力-电阻关系，可以测量出压 力大小。将 ZNX-01 传感器置于鞋底，能够检测出人体站立和行走 时的足底压力，检测数据可用于足底压力分析。
尺寸规格
✓ 已通过 ROHS 认证
ZNX-01 规格书
REV2.1 Jan-19
图示电路中 ZNX-01 是以前文接口定义中的左脚传感器图示为例，本图中传感器座 1#~10#引脚 对应 A~J。输出信号 Vout 的标号 1~10 对应接口定义图中的 1~10 个检测点。
图中电路是用电阻分压原理测量传感器电阻值，根据测量到的 Vout 电压值和分压电阻值计算传 感器敏感点受力后的电阻值。再根据压力-电阻曲线可计算出压力值。
《基于PDMS薄膜介电层电容式柔性压力传感器的研究》范文
《基于PDMS薄膜介电层电容式柔性压力传感器的研究》篇一一、引言随着物联网和智能穿戴设备的飞速发展，对高灵敏度、高可靠性及良好柔韧性的压力传感器需求日益增长。
电容式柔性压力传感器因具有高灵敏度、快速响应、结构简单等优点，逐渐成为研究热点。
本文将探讨一种基于PDMS（聚二甲基硅氧烷）薄膜介电层的电容式柔性压力传感器，对其结构、性能及潜在应用进行深入研究。
二、材料与结构PDMS薄膜因其优异的绝缘性、柔韧性和化学稳定性，被广泛应用于柔性电子器件中。
本文所研究的电容式柔性压力传感器采用PDMS薄膜作为介电层，上下电极采用导电材料制备。
传感器结构简单，主要由PDMS薄膜、上下电极及基底等部分组成。
三、工作原理该电容式柔性压力传感器的工作原理基于电容器的原理。
当传感器受到压力作用时，PDMS薄膜发生形变，导致上下电极之间的距离发生变化，从而改变电容器的电容值。
通过测量电容值的变化，可以推算出所施加的压力大小。
此外，PDMS薄膜的柔韧性使得传感器能够适应各种曲面的压力测量。
四、性能分析1. 灵敏度：本文所研究的电容式柔性压力传感器具有较高的灵敏度，能够准确测量微小的压力变化。
2. 稳定性：PDMS薄膜的化学稳定性和机械稳定性使得传感器具有良好的长期稳定性。
3. 响应速度：传感器具有快速的响应速度，能够实时反映压力变化。
4. 柔韧性：由于采用PDMS薄膜作为介电层，传感器具有良好的柔韧性，可适应各种曲面的压力测量。
五、实验研究通过制备不同厚度的PDMS薄膜，探究其对传感器性能的影响。
实验结果表明，适当厚度的PDMS薄膜能够提高传感器的灵敏度和稳定性。
此外，还研究了传感器在不同环境下的性能表现，如温度、湿度等。
实验结果显示，该传感器在各种环境下均表现出良好的性能。
六、应用领域基于PDMS薄膜介电层的电容式柔性压力传感器具有广泛的应用前景。
在医疗健康领域，可用于监测生理信号，如脉搏、呼吸等；在智能穿戴设备中，可用于实现人机交互、姿势识别等功能；在工业领域，可用于监测设备的振动、压力等参数。
一种柔性阵列压力传感器[实用新型专利]
![一种柔性阵列压力传感器[实用新型专利]](https://img.taocdn.com/s3/m/7cdf5ac4ed630b1c58eeb51b.png)
专利名称：一种柔性阵列压力传感器
专利类型：实用新型专利
发明人：钟卫兵,王栋,蒋海清,丁新城,李唯昕申请号：CN201920597788.7
申请日：20190428
公开号：CN209841248U
公开日：
20191224
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本实用新型公开了一种柔性阵列压力传感器，其将导电布技术应用到柔性压力传感器技术中，使柔性压力传感器结构简单轻便，不易脱落，制作成本低，性能稳定可靠；本实用新型将若干导电布条作为阵列电极分别纵向和横向交叉排列，当有导电布按压到其交叉点时，纵向和横向排列的导电布被导通，实现传感功能，使得传感器的结构十分简单；本实用新型采用电极扫描芯片对交叉点进行扫描，以获得交叉点的实时电阻变化信息，并将电阻变化信息及交叉点的位置信息反馈给CPU，实现对按压信息的感知。
申请人：武汉飞帛丝科技有限公司
地址：430223 湖北省武汉市东湖开发区华师园路5号武汉华中师大科技园发展有限公司办公楼(1栋)5层518室
国籍：CN
代理机构：深圳汇策知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：梁超
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柔性薄膜压力传感器规格书-DF9-16
DF9-16@2kg
DF9-16 系列规格书
REV2.1 Jan-19
2/4
DF9-16@5kg DF9-16@10kg DF9-16@20kg
苏州能斯达电子科技有限公司
DF9-16 系列规格书
尺寸图 ✓ 已通过 ROHS 认证
标识 长度 敏感区外径 敏感区内径 Pin 脚距离 公差
尺寸（mm） 16.0 10.0 7.5 2.54 0.2
尺寸表
DF9-16 系列规格书
REV2.1 Jan-19
1/4
苏州能斯达电子科技有限公司
性能指标
型号 量程 厚度 外观尺寸 响应点 重复性 一致性 迟滞 耐久性 初始电阻 响应时间 恢复时间 测试电压 工作温度 电磁干扰EMI 静电释放ESD
参考电路二： 在分压测量的基础上，增加运算放大器电路， 可提高电压测量分辨率；增大驱动电流。 根据实际情况选择电路参数； 无压力时，传感器阻值在 10MΩ以上，等
效于断路。
注意事项
传感器使用时尽量使所受负载均匀，避免尖锐物体直接接触传感器； 超量程使用会降低传感器性能甚至破坏传感器； 力敏特性曲线仅供参考； 传感器端子为铜镀锡材质，可根据需求自行焊接引线。需注意，焊接温度不宜太高，建议不超过 300℃， 接触时间不超过 1 秒，以免高温使薄膜衬底融化变形。
苏州能斯达电子科技有限公司
柔性薄膜压力传感器 DF9-16 系列
产品特点
产品描述
超薄，厚度小于 0.3mm 响应速度快 寿命长，通过 100 万次以
上按压测试 检测电路简单，易于集成
一种柔性压力传感器阵列及其制备方法[发明专利]
![一种柔性压力传感器阵列及其制备方法[发明专利]](https://img.taocdn.com/s3/m/513aafc9fbb069dc5022aaea998fcc22bcd143d9.png)
(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201811269542.3(22)申请日 2018.10.29(71)申请人 北京大学第三医院地址 100191 北京市海淀区花园北路49号申请人 北京大学(72)发明人 余家阔 高成臣 孙泽文 程胜战 原福贞 陈有荣 毛子木 韩超 (74)专利代理机构 北京格允知识产权代理有限公司 11609代理人 周娇娇 李亚东(51)Int.Cl.B81C 1/00(2006.01)B81B 7/02(2006.01)B81B 7/00(2006.01)G01L 1/22(2006.01)(54)发明名称一种柔性压力传感器阵列及其制备方法(57)摘要本发明涉及一种柔性压力传感器阵列及其制备方法，其中方法包括：在SOI基片上通过光刻及刻蚀对硅电阻进行图形化；生长二氧化硅层；向二氧化硅层下图形化的硅电阻注入硼离子，并在两端位置进行重掺杂以形成欧姆接触区；在每根硅电阻条的欧姆接触区上方打开电极窗口；溅射导电材料，制备接触电极和下层引线；生长聚对二甲苯介质层；在聚对二甲苯介质层上对应第二接触电极的区域制备引线孔；溅射导电材料制备上层引线；在器件上表面旋涂形成第一聚酰亚胺包覆层；在第一聚酰亚胺包覆层上表面暂键合；去除器件下方SOI基片的埋氧层及衬底；旋涂第二聚酰亚胺包覆层；解除上表面暂键合。
本发明采用聚酰亚胺以及聚对二甲苯，保证柔性以及生物兼容性。
权利要求书2页 说明书6页 附图6页CN 109437094 A 2019.03.08C N 109437094A1.一种柔性压力传感器阵列的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：在SOI基片上通过光刻及刻蚀对硅电阻进行图形化；在光刻后的SOI基片上生长二氧化硅层，作为缓冲和保护层；向二氧化硅层下图形化的硅电阻注入硼离子，并在两端位置进行重掺杂以形成硅电阻条的欧姆接触区；通过光刻在每根硅电阻条的欧姆接触区上方打开电极窗口；溅射导电材料，在每根硅电阻条两端的欧姆接触区上制备接触电极，并制备与其中第一接触电极连接的下层引线；生长聚对二甲苯介质层以覆盖电阻条；通过光刻和刻蚀在聚对二甲苯介质层上对应第二接触电极的区域制备引线孔；溅射导电材料，并制备与第二接触电极连接的上层引线；在器件上表面旋涂聚酰亚胺，依次按温度梯度固化后形成第一聚酰亚胺包覆层；在第一聚酰亚胺包覆层上通过临时键合胶进行上表面暂键合；去除器件下方的SOI基片的埋氧层及衬底；在器件下表面旋涂聚酰亚胺，依次按温度梯度固化后在器件底面形成第二聚酰亚胺包覆层；解除上表面暂键合，获得柔性压力传感器阵列。
一种氧化锌基微纳米纤维阵列柔性压力传感器及其制备方法[发明专利]
![一种氧化锌基微纳米纤维阵列柔性压力传感器及其制备方法[发明专利]](https://img.taocdn.com/s3/m/fc56bae081eb6294dd88d0d233d4b14e85243e29.png)
(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201710290746.4(22)申请日 2017.04.28(71)申请人 青岛大学地址 266000 山东省青岛市崂山区香港东路7号青岛大学(72)发明人 张红娣 李照建 龙云泽 司文燕 刘燕杰 (74)专利代理机构 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105代理人 黄蓉(51)Int.Cl.G01L 1/18(2006.01)G01L 9/08(2006.01)(54)发明名称一种氧化锌基微纳米纤维阵列柔性压力传感器及其制备方法(57)摘要本发明公开了一种氧化锌基微纳米纤维阵列柔性压力传感器及其制备方法，所述的压力敏传感器以近场电纺制得的有序排列的PVDF/ZnO复合微纳米纤维阵列作为敏感材料，该敏感材料设置于柔性绝缘基底表面，敏感材料的两端分别设置电极，所述的电极垂直于PVDF/ZnO复合微纳米纤维轴向方向设置。
该压力传感器由微纳米材料制得，可制成小尺寸的微型传感器，且灵敏度高、力学性能好可任意弯曲，能耗低、制备方法简单，成本低，有较好的应用前景。
权利要求书1页 说明书4页 附图2页CN 107014526 A 2017.08.04C N 107014526A1.一种氧化锌基微纳米纤维阵列柔性压力传感器，其特征在于，所述的压力敏传感器以近场电纺制得的有序排列的PVDF/ZnO复合微纳米纤维阵列作为敏感材料，该敏感材料设置于柔性绝缘基底表面，敏感材料的两端分别设置电极，所述的电极垂直于PVDF/ZnO复合微纳米纤维轴向方向设置。
2.如权利要求1所述的一种氧化锌基微纳米纤维阵列柔性压力传感器，其特征在于，所述的柔性绝缘基底为PET胶片。
3.如权利要求1所述的一种氧化锌基微纳米纤维阵列柔性压力传感器，其特征在于，所述的敏感材料中PVDF和ZnO纳米颗粒的质量比为110:1。
4.如权利要求1所述的一种氧化锌基微纳米纤维阵列柔性压力传感器，其特征在于，所述的敏感材料的表面还覆盖有保护层。
《基于PDMS薄膜介电层电容式柔性压力传感器的研究》范文
《基于PDMS薄膜介电层电容式柔性压力传感器的研究》篇一一、引言随着科技的进步，柔性电子设备在日常生活和工业应用中扮演着越来越重要的角色。
其中，柔性压力传感器作为柔性电子设备的重要组成部分，其性能的优劣直接影响到设备的整体性能。
因此，对柔性压力传感器的研究显得尤为重要。
近年来，电容式柔性压力传感器因其高灵敏度、快速响应和良好的稳定性等特点，受到了广泛关注。
本研究主要探讨了一种基于PDMS（聚二甲基硅氧烷）薄膜介电层的电容式柔性压力传感器。
二、PDMS薄膜介电层电容式柔性压力传感器PDMS薄膜因其优良的绝缘性、柔韧性和化学稳定性，被广泛应用于电子设备的介电层。
我们通过将PDMS薄膜作为介电层，构建了一种电容式柔性压力传感器。
该传感器利用压力变化引起的介电层电容变化，实现压力的检测。
三、传感器的工作原理该传感器的工作原理基于电容器的原理。
当PDMS薄膜受到压力时，其形状和厚度会发生变化，从而导致介电层的电容发生变化。
这种变化可以被电路检测并转化为电信号，从而实现压力的测量。
此外，由于PDMS的柔韧性，该传感器可以适应各种形状的表面，具有良好的弯曲和拉伸性能。
四、实验研究我们通过实验研究了该传感器的性能。
首先，我们制备了不同厚度的PDMS薄膜作为介电层，并测试了其电容随压力变化的特性。
实验结果表明，随着压力的增大，电容值呈现出明显的增大趋势。
此外，我们还研究了该传感器的灵敏度、响应时间和稳定性等性能指标。
实验结果表明，该传感器具有高灵敏度、快速响应和良好的稳定性等特点。
五、结论本研究表明，基于PDMS薄膜介电层的电容式柔性压力传感器具有良好的性能。
该传感器具有高灵敏度、快速响应和良好的稳定性等特点，可以应用于各种需要检测压力的场景。
此外，由于PDMS的柔韧性，该传感器可以适应各种形状的表面，具有良好的弯曲和拉伸性能。
因此，该传感器在柔性电子设备、机器人、医疗健康等领域具有广泛的应用前景。
六、展望尽管基于PDMS薄膜介电层的电容式柔性压力传感器已经取得了显著的成果，但仍有许多问题需要进一步研究。
一种柔性压力传感材料、传感器及其制备方法[发明专利]
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专利名称：一种柔性压力传感材料、传感器及其制备方法专利类型：发明专利
发明人：李阳,张惠允,朱健,于金明,高嵩,刘建文,蔺庆辉,岳文静,阚皞,张春伟
申请号：CN202111595390.8
申请日：20211224
公开号：CN114216591A
公开日：
20220322
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明公开了一种柔性压力传感材料、传感器及其制备方法。
该柔性压力传感器由下至上依次包括：衬底层、一对微结构电极、压阻层以及疏水封装层。
衬底层包括生物相容性膜，以及涂覆在生物相容性膜上的第一导电物质，生物相容性膜涂覆有第一导电物质的一面朝向微结构电极；微结构电极朝向压阻层的一面，具有第一凸起阵列结构；压阻层的材料为柔性压力传感材料，柔性压力传感材料包括聚合物纤维膜、附着在聚合物纤维膜纤维表面的纳米线，以及第二导电物质；纳米线的材质为金属氧化物或金属；第二导电物质附着在纳米线上和/或聚合物纤维膜的纤维表面。
由于上述衬底层和压阻层的基底均为多孔纤维薄膜，因而本发明提供的柔性压力传感器具有良好的透气性。
申请人：济南大学
地址：250022 山东省济南市南辛庄西路336号
国籍：CN
代理机构：北京高沃律师事务所
代理人：刘芳
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阵列式柔性薄膜压力传感器 SSSSSMF-3216 系列
特点描述: 超薄，薄膜厚度不超过 0.6mm； 有效检测区域大，可测量 50 码以下的足底压力分布； 压力点分布密度大，压力敏感区域内有 492 个压力点； 响应速度快，响应时间小于 1ms，恢复时间小于 15ms，满足高速动态扫描需求； 检测压力范围大，单点最大可检测 1Mpa； 可定制化，根据用户需求，可对外形尺寸、压力点尺寸和密度、压力测量范围进行定制； 产品已通过 RoHS 认证。
6 10 32 5 8.7 16 492
接口规格描述： 行接口 列接口
背面补强，接触电极在正面。间距 1.0mm，推荐采用 32P-1.0mm-上接 FFC/FPC 座。
正面补强，接触电极在背面。间距 1.0mm，推荐采用 16P-1.0mm-下接 FFC/FPC 座。
压力范围： 3216 规格书
REV1.0 May-20
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苏州能斯达电子科技有限公司
整体尺寸
压力敏感区尺 寸
项目
整体宽度/W 整体高度/H 引线宽度/L
半径/R 阵列宽度/MW 阵列高度/MH
行宽/RW 行间距/RS
行数 列宽/CW 列间距/CS
列数 总压力点数
尺寸/mm
250 371 50 234.5 135.6 316
1Mpa 10Mpa
MF-3216 规格书
REV1.0 May-20
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