常见的化学清洗

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纯水设备化学清洗方案

纯水设备化学清洗方案

纯水设备化学清洗方案1. 背景在实验室中,经常需要对实验装置、仪器仪表等设备进行清洗。

对于一些需要高纯度水的实验,例如制备半导体材料,使用纯水进行清洗是必不可少的。

但是,单纯使用纯水进行清洗可能无法完全去除设备表面的污染物,因此需要采用化学清洗方案。

2. 纯水设备化学清洗方案以下是一种常见的纯水设备化学清洗方案,可用于清洗各种类型的设备,包括氧化铝膜、硅片、石英仪器等。

2.1 准备材料•氢氟酸(HF)•氢氧化钠(NaOH)•硝酸(HNO3)•磷酸(H3PO4)•纯水2.2 清洗步骤1.使用纯水将设备表面的杂质和残留物清洗干净,并将设备放入化学清洗槽中。

2.使用氟化氢酸进行清洗。

将HF和纯水按照1:10的比例混合。

然后将混合液倒入化学清洗槽中,并浸泡设备2-5分钟。

3.清洗HF混合液。

将装有HF混合液的化学清洗槽拆卸并清洗干净,以去除设备表面残留的HF。

4.碱洗。

将NaOH与纯水按照1:10的比例混合,然后将混合液倒入化学清洗槽中,并浸泡设备2-5分钟。

5.清洗NaOH混合液。

将装有NaOH混合液的化学清洗槽拆卸并清洗干净。

6.酸洗。

将HNO3与纯水按照1:10的比例混合,然后将混合液倒入化学清洗槽中,并浸泡设备2-5分钟。

7.清洗HNO3混合液。

将装有HNO3混合液的化学清洗槽拆卸并清洗干净。

8.磷酸清洗。

将H3PO4与纯水按照1:10的比例混合,然后将混合液倒入化学清洗槽中,并浸泡设备2-5分钟。

9.清洗H3PO4混合液。

将装有H3PO4混合液的化学清洗槽拆卸并清洗干净。

10.最终清洗。

使用纯水将设备表面的化学残留物彻底冲洗干净,并使用干净的空气将设备表面吹干。

3. 结束语纯水设备化学清洗方案可以高效地去除设备表面的污染物,从而保证后续实验的精度和稳定性。

但是,在进行化学清洗的过程中需要注意安全,避免对人员和环境造成伤害。

化学清洗预膜方案

化学清洗预膜方案

化学清洗预膜方案化学清洗和预膜是工业中常用的表面处理方法,用于清除材料表面的污垢和氧化物,为后续涂装、电镀等工艺做好准备。

本文将介绍化学清洗和预膜的原理、常用方法以及其在不同材料上的应用。

一、化学清洗的原理和方法化学清洗是利用化学反应的原理去除材料表面的污垢和氧化物。

常见的清洗方法有酸洗、碱洗、电解洗等。

1.酸洗酸洗是指使用酸性溶液去除材料表面氧化物和污垢的方法。

酸洗一般采用浸泡法,将材料放入酸性溶液中,通过化学反应去除表面氧化物和污垢。

常用的酸洗剂有盐酸、硝酸、硫酸等。

2.碱洗碱洗是使用碱性溶液去除材料表面有机物和油污的方法。

碱洗一般也采用浸泡法,将材料浸泡在碱性溶液中,通过溶解和乳化等作用去除表面有机物和油污。

常用的碱洗剂有氢氧化钠、氢氧化钾等。

3.电解洗电解洗是利用电解作用去除材料表面污垢的方法。

将材料作为阳极或阴极,通过电解反应去除表面污垢。

电解洗具有清洗效果好、操作简单等优点,但需要设备和电解液的配套。

二、预膜的原理和方法预膜是指在材料表面形成一层保护膜,用于增强材料的耐腐蚀性和润滑性。

常见的预膜方法有化学氧化、溶液渗碳、溶液氮化等。

1.化学氧化化学氧化是利用氧化反应在材料表面形成一层氧化膜的方法。

常见的化学氧化方法有硫酸氧化、阳极氧化等。

通过化学氧化可以提高材料的耐腐蚀性和硬度。

2.溶液渗碳溶液渗碳是将含碳溶液浸泡在材料表面,通过渗碳反应在材料表面形成一层含碳层的方法。

溶液渗碳一般适用于低碳钢等材料,通过渗碳可以提高材料的硬度和耐磨性。

3.溶液氮化溶液氮化是将含氮溶液浸泡在材料表面,通过氮化反应在材料表面形成一层氮化层的方法。

溶液氮化一般适用于不锈钢等材料,通过氮化可以提高材料的耐腐蚀性和硬度。

三、化学清洗和预膜的应用化学清洗和预膜广泛应用于汽车、航空航天、电子电镀等领域。

1.汽车领域汽车生产过程中,需要对汽车外壳、发动机零部件等进行清洗和预膜处理。

化学清洗可以去除材料表面的油污和氧化物,预膜可以提高汽车零部件的耐腐蚀性和润滑性。

化学里玻璃洗涤的方法

化学里玻璃洗涤的方法

化学里玻璃洗涤的方法
玻璃洗涤是一项必要的化学实验操作,以下是几种常见的方法:
1. 直接水洗法:将玻璃仪器放入洗涤盆中,用自来水先将表面沾附的污物冲洗干净,然后用去离子水冲洗几遍再晾干即可。

2. 酸碱清洗法:用1%的盐酸或5%的碱性溶液浸泡玻璃仪器20-30分钟,然后再用自来水冲洗干净后,用去离子水冲洗几遍再晾干即可。

3. 硝酸清洗法:用浓硝酸浸泡玻璃仪器30分钟,再用自来水冲洗干净后,用去离子水冲洗几遍再晾干即可。

此方法适用于玻璃表面有极难去除的污垢的情况。

需要注意的是,在使用时要注意安全,避免硝酸溅到皮肤上。

4. 酒精清洗法:将玻璃仪器用纯酒精浸泡一小时,再用自来水冲洗干净后,用去离子水冲洗几遍再晾干即可。

此方法适用于需要去除有机污染物的情况。

在进行玻璃洗涤时需要注意以下几点:在清洗过程中,要避免使用有铁锈或氧化性的金属设备,以免对玻璃仪器造成损害;需要对洗涤盆和清洗工具进行定期的清洗和消毒,以避免交叉污染;需要严格遵守安全操作规范,保证自身安全。

如何进行膜的化学清洗

如何进行膜的化学清洗

如何进行膜的化学清洗?
由于大量的有机污染物附着在膜表面,其黏性较大,常规物理清洗效果较差时,还需定期进行化学清洗。

主要的化学清洗药剂有盐酸、氢氧化钠、双氧水、次氯酸钠、甲醛、柠檬酸和草酸等。

对于不同材料的膜,要慎重选择化学药剂,防止化学清洗剂对膜的损伤。

氢氧化钠对以有机物为主的膜污染有显著的恢复作用,碱洗后再酸洗,膜通量可以迅速上升。

无机物在膜表面上的吸附速度大于有机物,无机物首先沉积到膜表面,沉积层外侧为有机物质。

如果先使用酸洗,附着在膜表面上的有机物质不能被酸溶解,而碱液对有机物质有一定的溶解作用,当其溶解了膜表面的有机物质后,沉积在膜表面的无机物质暴露出来,有利于其后的酸洗,从而使膜通量得到有效的恢复。

如果再经过柠檬酸清洗,膜通量可以得到更好的恢复。

双氧水和次氯酸钠不仅可以溶解膜表面的有机物,还可以有效地清除微生物的污染,使膜通量的恢复率更高。

对蛋白质污染严重的膜,可用含0.5%蛋白酶的氢氧化钠溶液清洗,效果较佳。

化学清洗方案

化学清洗方案

化学清洗方案化学清洗是一种有效的清洗方法,通过使用化学试剂可以彻底清除各种表面污垢和污染物。

本文将介绍几种常见的化学清洗方案,包括应用场景、操作步骤和注意事项。

清洗方案一:酸洗酸洗是一种常用的化学清洗方法,适用于金属表面的污垢清除。

在钢铁、铜、镍等金属的加工过程中,常常会有一些铁锈、氧化物和其他有机物附着在表面。

酸洗可以有效地去除这些污垢,并恢复金属的光洁度。

操作步骤:1. 准备酸洗液。

常用的酸洗液包括盐酸、硫酸和硝酸等。

根据需要选择合适的酸洗液。

2. 将待清洗的金属件放入酸洗槽中,确保金属件完全浸入酸液中。

3. 保持一定的酸洗时间。

酸洗时间根据金属类型和污垢程度而定,一般在10-30分钟之间。

4. 取出金属件,用水冲洗干净。

酸洗后一定要彻底冲洗,以防止酸液残留对金属产生腐蚀作用。

注意事项:1. 使用酸洗液时要注意个人防护,戴上化学防护手套和安全眼镜。

2. 酸洗液应放置在通风良好的地方,避免吸入有害气体。

3. 废酸液需要经过处理后再排放,以免对环境造成污染。

清洗方案二:碱洗碱洗适用于一些有机物表面的清洗,如油污、脂肪和染料等。

碱洗可以将这些污染物转化为水溶性物质,从而容易被清洗掉。

操作步骤:1. 准备碱洗液。

常用的碱洗液有氢氧化钠和氢氧化钾等。

根据需要选择合适的碱洗液。

2. 将待清洗的表面放入碱洗槽中,确保被清洗表面完全浸入碱液中。

3. 保持一定的碱洗时间。

碱洗时间根据污染程度而定,一般在30分钟到数小时之间。

4. 取出被清洗表面,用水充分冲洗干净。

碱洗后一定要彻底冲洗,以防止碱液残留对表面材料产生腐蚀作用。

注意事项:1. 使用碱洗液时要注意个人防护,戴上化学防护手套和安全眼镜。

2. 碱洗液应放置在通风良好的地方,避免吸入有害气体。

3. 废碱液需要经过处理后再排放,以免对环境造成污染。

清洗方案三:溶剂清洗溶剂清洗适用于一些无法用酸洗或碱洗的材料,如塑料、陶瓷和光学设备等。

溶剂清洗能够迅速溶解和清除表面的污染物。

化学清洗的方法

化学清洗的方法

化学清洗的方法1.有机溶剂法有机溶剂法是利用油性污垢可溶于有机溶剂的原理来进行清洗的。

常用的溶剂有甲苯、二甲苯、汽油、酒精、四氯乙烷和松节油等。

有机溶剂对油脂的溶解力比较强,只需要使用少量溶剂即可清除大量的油脂污垢。

清洗操作方便,如果除油剂选择正确,能迅速去除油性污垢,一般混合溶剂比单一溶剂洗涤效果好,清洗范围也更广。

但大多数有机溶剂易挥发、易燃烧,甚至会爆炸。

在生产、运输和使用过程中存在着一定的危险性;有机溶剂大多存在一定毒性,人体长时间接触会使某些功能在一定程度受到损害,尤其是毒性较大的卤代烃、甲醇、乙醚等溶剂。

而且不适合在工业生产中大范围使用,因为其清洗成本较高。

2.碱性洗液法碱性洗液法是以碱性物质为主的化学清洗方法,因清洗成本低所以早期就被广泛使,碱性洗液法除油效果显著,清洗成本低,过去在多种行业内用于清洗油污。

但碱性洗液对洗涤物品和操作人员的皮肤都有较强的腐蚀性,碱性洗液对非皂化性油脂不起作用,不能清除矿物类油脂,具有一定局限性;而且经碱性洗液清洗过的物件,需要大冲洗量的水才能清洗干净,比较费水,一般用于在一定浓度范围内洗涤无明显腐蚀作用的黑色金属和某些非金属材料。

3.水基型表面活性剂清洗法水基性表面活性剂清洗法,是利用配有表面活性剂的水溶液以及多种洗涤助剂对油污进行清洗的方法。

表面活性剂的水溶液具有润湿、乳化、分散、渗透、剥离、增溶等作用,可使多种油性污垢乳化剥离在清洗液中,达到完全溶解和脱除的目的。

添加多种助剂既可显著增强洗涤能力,又能降低洗涤成本。

工业生产中的油垢大都为混合型油污,有机溶剂及一般的碱性清洗剂对于这类混合型污垢清除效果差,对碱液不能起皂化作用的矿物性油垢,水基性表面活性剂清洗剂的清洗效果比较好。

水基型表面活性剂清洗法是目前化学清洗法中非常简便、安全的清洗方法,不会产生剧烈的化学反应,通常在冷水或温水中进行,不容易挥发,对工件和皮肤不会产生腐蚀,清洗成本低,方便运输,易于储存,非常适合在工业清洗中使用。

家里的化学用品有哪些用途

家里的化学用品有哪些用途

家里的化学用品有哪些用途家里常见的化学用品有很多种,它们在不同领域有着各种各样的用途。

下面将列举一些常见的家用化学用品以及它们的用途:1. 氨水:氨水是一种弱碱性溶液,主要用于清洁和消毒。

它可以用于清洗玻璃、镜子和不锈钢,去除水垢和油脂,并且还能消除异味。

2. 漂白粉:漂白粉是一种氧化剂,可以去除衣物上的污渍和黄色污迹。

将漂白粉加入温水中,然后浸泡衣物,可以使衣物恢复洁白。

3. 氢氧化钠:氢氧化钠是一种强碱性化学品,常用于除去管道中的堵塞物。

将一定量的氢氧化钠加入水中,然后倒入需要清理的管道中,可以分解和清除堵塞物,保持管道的通畅。

4. 醋酸:醋酸是一种酸性物质,可以用于去除水垢、清洁金属表面和陶瓷器具。

将醋酸加入水中,然后用来擦拭需要清洁的表面,可以有效去除污渍。

5. 洗衣粉:洗衣粉是一种含有洗涤剂、助剂和漂白剂的粉末,可以用于洗涤衣物。

洗衣粉能够去除污渍、消除异味,使衣物恢复洁净。

6. 洗洁精:洗洁精是一种含有表面活性剂的清洁剂,主要用于洗涤厨房用具和餐具。

洗洁精具有去油脂、去污渍的能力,能够将厨房和餐具洗净。

7. 硼酸:硼酸是一种有机酸,可以用于防虫,减少家中的蟑螂和白蚁。

将硼酸撒在角落和墙角,可以有效驱赶虫类。

8. 香水:香水是一种芳香化合物的混合物,可以用于给衣物、房间和身体带来香气。

喷洒香水可以提升家中的氛围和个人的气味。

9. 柠檬酸:柠檬酸是一种有机酸,可以用于去除水垢和清洗家具。

将柠檬酸加入水中,用来清洁饮水机、水壶和家具,可以使其恢复亮光。

10. 酒精:酒精是一种溶剂,可以用于清洁和消毒。

它可以用来擦拭金属表面、消毒家具和清洁电子产品。

11. 氧漂剂:氧漂剂是一种氧化剂,可以用于洗涤衣物和清洁厨房。

氧漂剂可以去除顽固污渍,提升洗涤效果。

12. 棉签:棉签是一种家用常备品,可以用于清洁耳朵、擦拭眼睛以及涂抹药膏。

棉签柔软且吸水,非常方便实用。

13. 防蚊液:防蚊液是一种驱虫剂,可以用于驱避蚊虫。

常见的化学清洗

常见的化学清洗

常见的化学清洗许多清洁工作需要使用化学清洗剂来去除污渍和污垢。

在一些情况下,化学清洗剂比传统的物理清洗方法更有效,更简单。

在下面的文章中,我们将讨论一些现代化学清洗剂的应用,以及它们如何工作。

氢氧化钠(NaOH)氢氧化钠,也称为苛性碱,是一种强碱性清洗剂。

它常用于清洗金属制品和厨房表面,可去除油污、脂肪和其他污垢。

但要注意的是,氢氧化钠是一种剧毒物质,应小心使用。

在使用时应佩戴手套和护目镜,并避免与皮肤和眼睛接触。

它也不能与酸性物质混合,因为这样的话可能会产生危险的气体。

洗涤剂洗涤剂是最常用的化学清洗剂。

它包含表面活性剂和其他清洗化学品,以去除污垢和污渍。

除了常规的洗衣剂和洗碗液外,还有许多其他类型的洗涤剂,例如:•多用途清洁剂。

这种清洁剂可以用于清洗许多不同的表面和材料,如瓷器、金属、塑料和玻璃等。

•瓷砖、浴室和厨房清洁液。

这种清洁剂具有除污、除菌和防霉的功能。

•玻璃清洁贴。

它可以去除窗户和其他玻璃表面上的污垢和水渍。

洗涤剂通常是安全的,但还是要在使用时遵循建议和警告。

例如,一些洗涤剂可能会对敏感皮肤造成刺激,而另一些洗涤剂可能会损坏某些材料。

异丙醇(IPA)异丙醇是一种常用的有机溶剂,可以溶解和清除许多有机化合物。

由于其挥发性和低毒性,它也被广泛用于医药和化妆品行业。

在工业清洗中,异丙醇通常用于去除油漆、树脂和其他有机材料的残留物。

但是,它有可能对某些塑料和弹性橡胶材料造成损坏,因此在使用时需要谨慎。

漂白剂漂白剂含有氧化剂,可去除色素、染料和其他污渍。

它通常用于清洗衣物和其他织物,以及漂白厨房和浴室表面。

常见的漂白剂有氯漂白剂和过氧化氢漂白剂。

氯漂白剂常用于白色和浅色织物的漂白,而过氧化氢漂白剂通常用于彩色织物的漂白。

然而,漂白剂也可能会损坏一些织物和表面,因此在使用时应遵循建议和警告。

总结化学清洗剂是现代清洗的重要工具。

通过选择适当的清洗剂,可以去除污垢和污渍,使表面更干净、更卫生。

但是,在使用化学清洗剂时应小心谨慎,并严格遵循产品标签和使用说明。

铝合金化学清洗方案

铝合金化学清洗方案

铝合金化学清洗方案铝合金是一种常见的材料,由于其具有轻、强、耐腐蚀等特点而广泛应用于航空、汽车、建筑等领域。

在生产和加工过程中,铝合金表面常常会受到污染和氧化磨蚀等因素的影响,为了保证其质量和表面光洁度,需要进行化学清洗。

本文将介绍铝合金化学清洗的基本方法和注意事项。

化学清洗方法铝合金表面污染和氧化磨蚀主要是由油脂、灰尘、氯化物和硫化物等污物引起的。

因此,化学清洗的主要目的是去除这些污物,达到清洁和光洁的表面效果。

下面介绍几种常用的化学清洗方法:碱性清洗碱性清洗是铝合金表面清洗的基本方法,通常使用钠、钾、钙等碱性物质的溶液清洗。

其特点是清洗速度快、效果好、成本低,但对铝合金材料易造成腐蚀,因此需要掌握清洗时间和浓度的适宜范围。

酸性清洗酸性清洗是清除氧化物、锈蚀和划痕等较难去除的污染物的有效方法。

常用的酸性清洗溶液有硝酸、盐酸和草酸等,可根据不同情况选择不同的溶液进行清洗。

酸性清洗需要注意控制清洗时间和浓度,以免腐蚀和损坏铝合金材料。

氧化清洗氧化清洗是将铝合金表面进行氧化处理,将清洗溶液中的杂质转换为溶解的铝氧化物,并在表面形成致密的氧化膜。

氧化清洗的优点是处理速度快,效果好,可以增强铝合金表面的耐腐蚀性和硬度。

注意事项在使用化学清洗方法时,需要注意以下事项:•选择合适的清洗方法和清洗剂;•控制清洗的时间和浓度,避免腐蚀和损坏铝合金材料;•在清洗前和清洗后对铝合金材料进行检查和测试,以确保清洗效果和表面质量;•在清洗时佩戴个人防护装备,避免化学物质的接触和损伤。

结论铝合金化学清洗是保证铝合金表面质量和光洁度的重要方法。

使用正确的清洗方法和适当的清洗剂,注意控制清洗时间和浓度,可以获得良好的清洗效果和表面质量。

化学清洗剂

化学清洗剂

化学清洗剂概述化学清洗剂是一种用于去除污垢和污染物的化学物质。

它们在各个行业,如工业、汽车、家庭等领域都有广泛应用。

化学清洗剂通过化学作用将污垢和污染物溶解、分散或反应,从而实现清洗的效果。

常见的化学清洗剂类型1. 酸性清洗剂酸性清洗剂主要由酸性物质组成,例如硫酸、盐酸等。

它们通常用于去除金属表面的氧化物、锈蚀和污垢。

酸性清洗剂具有良好的腐蚀性,因此在使用时需要注意安全措施,并避免与皮肤或眼睛接触。

2. 碱性清洗剂碱性清洗剂主要由碱性物质组成,例如氢氧化钠、氢氧化钾等。

碱性清洗剂常用于去除油脂、润滑剂和有机污染物。

它们具有较强的去污能力,但同样需要注意使用时的安全措施。

3. 酶清洗剂酶清洗剂是一种生物清洗剂,由酶类物质组成。

这些酶类物质具有生物催化作用,可以有效降解污垢和污染物。

酶清洗剂常用于去除生物污染,如血液、蛋白质等。

它们具有较好的环境友好性和生物降解性。

4. 氧化剂清洗剂氧化剂清洗剂主要由氧化剂组成,如过氧化氢、高锰酸钾等。

氧化剂清洗剂能够与有机物发生氧化反应,分解有机污染物。

它们常用于去除有机色素、染料等污染物。

5. 温和清洗剂温和清洗剂一般由非离子表面活性剂、溶剂等组成。

它们具有较低的腐蚀性和刺激性,适用于一些敏感材料的清洗。

温和清洗剂常用于家庭清洗、电子产品清洗等领域。

化学清洗剂的应用化学清洗剂在各个行业都有广泛应用,下面列举几个典型的应用领域:1. 工业清洗工业中常常需要对机械设备、管道、工作台等进行清洗。

化学清洗剂能够高效地去除油脂、润滑剂、焊渣等污染物,保持设备的正常运行和生产效率。

2. 汽车洗涤汽车表面的污垢和油脂会影响汽车的美观和使用寿命。

化学清洗剂可以通过化学反应和表面活性剂的作用,去除汽车表面的污垢和油脂,使汽车焕然一新。

3. 家庭清洁化学清洗剂在家庭清洁中有着广泛的应用。

例如,洗涤剂可以用于衣物的清洗,清洁剂可以用于家具、地板等的清洁,漂白剂可以用于漂白衣物等。

4. 医疗器械清洗医疗器械的清洗对于医疗行业来说非常重要。

清洗剂的主要成分化学式

清洗剂的主要成分化学式

清洗剂的主要成分化学式
清洗剂的主要成分化学式因不同类型的清洗剂而有所不同。

以下是几种常见的清洗剂成分及其化学式:
1. 酸性清洗剂:酸性清洗剂主要用于去除水垢和金属氧化物。

它们通常含有盐酸(HCl)和硫酸(H2SO4)等强酸,其化学式分别为HCl 和H2SO4。

2. 碱性清洗剂:碱性清洗剂主要用于去除油脂和蛋白质等有机物。

它们通常含有氢氧化钠(NaOH)和氢氧化钾(KOH)等强碱,其化学式分别为NaOH和KOH。

3. 衣物清洗剂:衣物清洗剂一般包含表面活性剂、碱性物质、酵素和香精等成分。

表面活性剂可帮助去除污渍和提高清洁效果,碱性物质可中和硬水中的钙和镁离子,酵素可分解有机物,香精则可提供清新的气味。

常见的表面活性剂有十二烷基苯磺酸钠(LAS)和脂肪基醇聚氧乙烯醚硫酸钠(AES),其化学式分别为C12H25C6H4SO3Na和C12H25O(CH2CH2O)nSO3Na。

4. 洁厕剂:洁厕剂一般含有强酸或强碱,可去除马桶表面的污垢和细菌。

常见的主要成分化学式包括盐酸(HCl)、氢氧化钠(NaOH)
等。

其它附加成分还包括蓝色的染料和清新的气味。

总之,清洗剂的成分化学式因产品种类和用途的不同而有所不同,但通常都含有一些强酸或强碱,表面活性剂以及其它助剂。

化学清洗知识点总结初中

化学清洗知识点总结初中

化学清洗知识点总结初中一、化学清洗的定义化学清洗是指利用化学反应原理,通过化学品来清除污垢、去除氧化、锈斑等,使被清洁物表面恢复干净、亮丽的过程。

在日常生活和工业生产中,我们常常需要用到化学清洗的方法来清洁各类物品,这不仅可以提高清洁和美观度,还可以延长物品的使用寿命。

二、常见的化学清洗方法1. 碱清洗碱清洗是指使用碱性清洗剂来清洁物品表面的一种清洗方法。

碱性清洗剂一般是氢氧化钠、氢氧化钾等碱性物质,可以去除油污、脂肪、灰尘等杂质,具有去污力强的特点。

碱清洗适用于清洗金属制品、玻璃制品等表面,但对于一些易被碱性溶液腐蚀的物品需谨慎使用。

2. 酸清洗酸清洗是指使用酸性清洗剂来清洗物品表面的一种清洗方法。

酸性清洗剂一般是盐酸、硫酸等酸性物质,可以去除金属表面的氧化物、锈斑等,具有去锈力强的特点。

酸清洗适用于清洗生锈的金属制品、石材等表面,但需谨慎使用,避免对物品表面造成损害。

3. 氧化清洗氧化清洗是指利用氧化剂来清洗物品表面的一种清洗方法。

氧化剂一般是过氧化氢、双氧水等,可以氧化分解有机物、漂白污渍等,具有漂白去污的特点。

氧化清洗适用于清洗白色布料、玻璃制品等表面,但需注意避免氧化剂与还原剂混合使用,以免产生有害物质。

4. 酶清洗酶清洗是指利用酶类物质来清洁物品表面的一种清洗方法。

酶类物质可以加速有机物的分解,去除污渍、异味等,具有分解去污的特点。

酶清洗适用于清洗衣物、器皿等表面,但需注意对酶的稳定性和适用范围进行选择。

5. 表面活性剂清洗表面活性剂清洗是指利用表面活性剂来清洗物品表面的一种清洗方法。

表面活性剂可以改善清洗剂与污垢间的相互作用,降低表面张力,使污垢容易被清洗剂包裹,具有去污力强的特点。

表面活性剂清洗适用于清洗衣物、器皿、洗涤剂等表面,但需注意对表面活性剂的选择和配比。

6. 生物清洗生物清洗是指利用微生物来清洗物品表面的一种清洗方法。

微生物可以分解有机废物、去除异味等,具有分解去污的特点。

化学清洗有哪些方法及原理

化学清洗有哪些方法及原理

化学清洗有哪些方法及原理1. 碱浸清洗碱浸清洗是一种使用碱性溶液来去除油脂、污渍等有机物的方法。

常用的碱性溶液包括氢氧化钠(NaOH)、氢氧化钾(KOH)等。

碱浸清洗的原理是碱性溶液能够与有机物发生化学反应,将其转化为溶于水中的碱盐,从而达到清洗的目的。

碱具有去除污渍的强力,但需注意清洗时间和浓度,过高的浓度可能会腐蚀被清洗物体的表面。

2. 酸洗清洗酸洗清洗是一种使用酸性溶液来去除金属表面氧化物和其他污染物的方法。

常用的酸性溶液有稀硫酸(H2SO4)、稀盐酸(HCl)等。

酸洗清洗的原理是酸性溶液对污染物具有腐蚀作用,在物体表面形成一层可溶的酸盐,从而去除表面的污染物。

酸洗清洗通常在高温下进行,以增强清洗效果。

由于酸具有强腐蚀性,操作时需注意安全。

3. 发泡清洗发泡清洗是一种利用发泡剂来清洁物体表面的方法。

发泡剂通常是表面活性剂,可以形成稳定的泡沫。

发泡清洗的原理是泡沫能够覆盖整个被清洗物体的表面,使清洗剂充分接触污染物,从而将其分散、乳化或溶解。

发泡清洗方法适用于复杂表面或孔隙结构的物体,有效地清洁难以到达的部分。

4. 溶剂清洗溶剂清洗是一种使用溶剂来溶解和去除有机污染物的方法。

常用的溶剂包括乙醇、丙酮、二甲基甲酰胺等。

溶剂清洗的原理是溶剂能够与有机污染物发生相互作用,并将其溶解。

溶剂清洗方法适用于清洗不耐酸碱或高温的物体,可以高效地去除有机污染物。

5. 超声波清洗超声波清洗是一种利用超声波波动产生的微小气泡来清洁表面的方法。

超声波清洗装置通过超声波振动产生的压力变化,将溶剂中的气体快速扩张和塌缩,形成超声波波动。

波动产生的气泡瞬间坍塌时会释放出巨大的能量,使附着在物体表面的污垢脱离。

超声波清洗方法适用于表面细小尺寸物体或复杂形状的物体,可以高效去除附着在表面的污垢。

综上所述,化学清洗是一种常见的清洗方法,应用广泛。

不同的清洗方法适用于不同类型的污染物和被清洗物体。

在进行清洗时,需要根据具体情况选择适合的清洗剂和工艺条件,并注意操作安全。

石材的化学清洗方法与清洗剂配方

石材的化学清洗方法与清洗剂配方

石材的化学清洗方法与清洗剂配方前言石材是一种常见的建筑材料,但随着时间的推移,石材表面上会产生污垢、霉斑、油污等污染物,影响建筑外观和使用寿命。

对于有强烈氧化作用的污染物,如锈迹和石棉质地的污物,则通过物理方法难以彻底清除。

因此,化学清洗成为目前解决石材清洗难题的重要手段。

本文将介绍石材的化学清洗方法和清洗剂配方。

石材的化学清洗方法酸洗法酸洗法是一种常用的石材清洗方法,适用于石灰岩、砂岩、大理石和花岗岩等腐蚀性较小的石材。

酸洗法的原理是通过酸性溶液对污垢进行化学反应,将污垢溶解或疏松,使其能够被冲刷或擦拭掉。

常用的清洗剂为稀酸性溶液,例如稀硫酸、稀盐酸、稀醋酸等。

碱洗法碱洗法适用于表面积沉的石材,如水泥石、混合石和砂质石,因为这些石材表面沉积物通常是由碳酸盐、硫酸盐、硝酸盐、氯化物等等物质所组成,可以通过碱洗法进行去除。

碱洗法的原理是通过碱性溶液对污垢进行化学反应,将污垢中的附着物溶解或疏松,使其能够被冲刷或擦拭掉。

常用的清洗剂为氢氧化钠、烧碱等碱性溶液。

水洗法水洗法是一种简单的物理清洗方法,特别适用于表面积沉的石材。

这种方法不需要任何化学清洗剂,只需要使用清水进行清洗即可。

一般来说,使用高压水枪可以更好的清洗石材表面的污垢,但也需要注意水压是否合适,过高的水压会对石材表面造成伤害。

溶剂法溶剂法适用于有机溶剂和油污的清洗,可以使这些污染物迅速分离从而达到清洗的目的。

常用的溶剂为石油醚、甲苯、乙酸乙酯等。

石材的清洗剂配方在对石材进行清洗时,除了使用常见的化学清洗剂,还可以自行制定清洗剂。

下面提供几种制作清洗剂的方法:醋酸清洗剂醋酸清洗剂制作方法如下:•将150毫升醋酸稀释至1L的容积,称为醋酸清洗剂水溶液;•使用前将醋酸清洗剂水溶液再稀释成1%的稀溶液。

磷酸清洗剂磷酸清洗剂制作方法如下:•将500克磷酸二氢钾或磷酸二氢铵加入1L水中,称为磷酸清洗剂水溶液;•使用前将磷酸清洗剂水溶液再稀释成1-2%的稀溶液。

化学清洗方案

化学清洗方案

化学清洗方案化学清洗是一种常见而高效的清洁方法,广泛应用于各个领域,包括工业、医疗、食品加工等。

化学清洗方案的设计与实施对清洗效果和工作安全至关重要。

本文将介绍化学清洗方案的基本原理、常见的清洗剂及其应用,以及一些应该注意的安全事项。

一、化学清洗的原理化学清洗通过利用化学反应来去除表面的污垢、油渍等附着物。

其基本原理主要包括以下几种:1. 酸性清洗:采用酸性溶液来去除水垢、氧化物和金属表面的污垢。

常见的酸性清洗剂有盐酸、硫酸等。

2. 碱性清洗:采用碱性溶液来去除油脂、有机物和一些金属氧化物。

常见的碱性清洗剂有氢氧化钠、氢氧化钾等。

3. 氧化清洗:利用氧化剂来清洗表面,如过氧化氢、高锰酸钾等。

4. 融解清洗:采用熔融盐来溶解金属表面的氧化膜或污垢,常见的融解盐有氯化钠、氯化钙等。

二、常见的化学清洗剂及其应用1. 酸性清洗剂酸性清洗剂主要用于清洗金属表面的氧化物和水垢,例如清洗不锈钢设备、铁制零件等。

常见的酸性清洗剂有盐酸、硫酸等。

在使用过程中应注意稀释剂的加入和浓度的调整,避免过度腐蚀金属表面。

2. 碱性清洗剂碱性清洗剂主要用于清洗油脂、有机物和一些金属氧化物,如清洗橡胶制品、塑料制品等。

常见的碱性清洗剂有氢氧化钠、氢氧化钾等。

在使用过程中需要注意防止溶液溅到皮肤或眼睛,使用后应及时彻底清洗。

3. 氧化清洗剂氧化清洗剂主要用于清洗表面的有机物和一些金属氧化物,例如清洗食品加工设备、医疗器械等。

常见的氧化清洗剂有过氧化氢、高锰酸钾等。

在使用过程中应注意消防安全,避免与可燃物接触或混合。

4. 融解清洗剂融解清洗剂主要用于溶解金属表面的氧化膜或污垢,例如清洗铝制品、铜制品等。

常见的融解盐有氯化钠、氯化钙等。

在使用过程中应注意溶解温度和适用金属的选择,避免过度腐蚀。

三、安全注意事项1. 了解材料特性:在选择清洗剂时,应了解被清洗物体的材料特性,避免选择对其具有腐蚀性的清洗剂。

2. 保护个人安全:在进行化学清洗操作时,应戴上个人防护用具,如手套、防护眼镜等,避免溶液接触皮肤或眼睛。

储罐化学清洗方案

储罐化学清洗方案

储罐化学清洗方案储罐是工业生产中常见且重要的设备,广泛用于储存各种化工原料和终端产品。

长期的使用会导致储罐内壁积累各种沉淀物和污垢,这些污垢不仅会降低储罐的容量和效率,还可能对产品质量产生负面影响。

因此,定期对储罐进行清洗是必不可少的。

储罐清洗的过程涉及到选择合适的清洗剂和使用适当的方法。

化学清洗是常见的一种清洗方式,其通过使用化学物质来分解和去除储罐内的沉积物。

下面将介绍几种常见的储罐化学清洗方案。

一、酸洗方案:酸洗是一种采用酸性溶液来清除铁锈、水垢和其他金属氧化物的方法。

常用的酸性清洗剂包括盐酸、硝酸和稀硫酸等。

清洗过程中,将酸性清洗液注入储罐内,并通过循环泵将清洗液反复循环使之与储罐内壁接触,以便溶解和去除垢层。

酸洗过程需要控制酸液的浓度和清洗时间,以避免对储罐内壁造成腐蚀。

二、碱洗方案:碱洗是一种使用碱性溶液来清除油污、脂肪和其他有机污垢的方法。

常用的碱性清洗剂包括氢氧化钠、氢氧化钾等。

清洗过程中,将碱性清洗液充分与储罐内壁接触,并通过循环泵将清洗液在储罐内循环往复,从而溶解和去除污垢。

碱洗前需要将储罐内的油脂等易燃物质进行清理,以避免洗涤过程中产生火灾危险。

三、溶剂清洗方案:溶剂清洗是使用有机溶剂来溶解和清除储罐内的油污、胶粘物和其他有机污垢的方法。

常用的有机溶剂包括丙酮、苯、酮类等。

清洗过程中,将溶剂注入储罐内,并通过搅拌、震动或刷洗的方式使其与储罐内壁充分接触,以便彻底清除污垢。

在使用有机溶剂进行清洗时,需要注意安全事项,如保证通风良好,避免溶剂进入眼睛或皮肤。

四、搅拌清洗方案:搅拌清洗是通过机械搅拌来分散和清除储罐内的污垢的方法。

清洗过程中,将清洗剂和清洗颗粒物注入储罐内,通过搅拌器或刮板将其搅拌均匀,以便彻底清除污垢。

搅拌清洗方案适用于一些较大的储罐和粘稠度较高的污垢。

需要注意的是,根据储罐内积累的污垢类型和程度,选择合适的清洗方案非常重要。

在实施储罐化学清洗时,需要对清洗剂的浓度、温度、清洗时间进行合理的控制和监测。

除油除锈方案

除油除锈方案

除油除锈方案1. 引言油污和锈蚀是常见的问题,特别是在工业领域和车辆维修中。

它们不仅影响设备和工具的外观,还可能导致设备性能下降甚至损坏。

因此,除油除锈的方案是至关重要的。

本文将介绍几种常用的除油除锈方案,包括化学清洗剂、机械除锈方法和电化学除锈方法。

2. 化学清洗剂化学清洗剂是一种常用的除油除锈方法,它使用化学物质来溶解或分解油污和锈蚀。

具体的清洗剂可以根据情况选择,常见的化学清洗剂包括溶剂、碱性清洗剂和酸性清洗剂。

2.1 溶剂溶剂是一种常见的除油剂,它可以通过溶解油污来清洁表面。

常见的溶剂包括煤油、酒精和丙酮。

使用溶剂时,可以将溶剂直接涂抹在油污上,然后用刷子或布擦拭,最后用清水冲洗。

2.2 碱性清洗剂碱性清洗剂适用于一些难以去除的油污和锈蚀。

碱性清洗剂具有较强的去垢能力,可以迅速溶解油脂和杂质。

使用碱性清洗剂时,需要注意保护好皮肤和眼睛,避免直接接触。

2.3 酸性清洗剂酸性清洗剂主要用于除去金属表面的锈蚀。

酸性清洗剂可以有效地溶解锈蚀,并恢复金属表面的光亮。

常见的酸性清洗剂包括盐酸和硝酸。

使用酸性清洗剂时,需要注意安全防护,避免直接接触皮肤和眼睛。

3. 机械除锈方法除了化学清洗剂外,机械除锈是另一种常用的除锈方法。

机械除锈主要依靠机械力来去除锈蚀物。

下面介绍几种常用的机械除锈方法。

3.1 手动刮除手动刮除是最常见的机械除锈方法之一。

使用刮刀或钢丝刷等工具,在锈蚀表面上刮除锈层。

这种方法适用于小面积的锈蚀,并且可以用于多种材料表面。

刮除时要注意不要对材料表面造成二次伤害。

3.2 机械磨擦机械磨擦是用机械设备对锈蚀表面进行磨削的方法。

这种方法适用于大面积的锈蚀,并可以迅速去除锈层。

常见的机械磨擦设备包括砂轮、砂纸和磨削机。

4. 电化学除锈方法电化学除锈是一种利用电解原理去除锈蚀的方法。

它是将金属材料作为阳极,通过电解液中的电流来去除锈蚀层。

电化学除锈方法可以去除极细微的锈蚀,并且对金属表面没有损害。

用化学方法清洗血迹

用化学方法清洗血迹

用化学方法清洗血迹引言血迹是一种常见的证据,它可以提供犯罪现场的关键信息。

清洗血迹的目的是为了恢复原有物体的外观,以便进行进一步的研究和分析。

化学方法已经成为清洗血迹的一种常用手段,在这篇文章中,我们将介绍一些常见的化学方法以及它们在清洗血迹中的应用。

1. 过氧化氢过氧化氢(H2O2)是一种常见的氧化剂,它能够迅速分解释放出氧气。

在清洗血迹中,过氧化氢可以通过氧化反应去除血迹。

由于过氧化氢的氧化作用,血液中的蛋白质和铁离子等成分被氧化为溶解于水的化合物,从而实现了清洗的效果。

使用过氧化氢清洗血迹需要注意以下几点:- 应当掌握合适的过氧化氢浓度和清洗时间,以免对物品或表面造成损伤。

- 需要避免过氧化氢的不当使用,以免引发危险。

- 清洗后需要及时清除过氧化氢残留,以免对后续分析产生干扰。

2. 漂白剂漂白剂是一种含有氯化物或过氧化物的化学物质。

在清洗血迹中,漂白剂的作用是通过氧化反应去除血迹。

常见的漂白剂有漂白粉和漂白水。

使用漂白剂清洗血迹需要注意以下几点:- 应当选择适当浓度的漂白剂,以免对物品或表面产生不可逆的损坏。

- 漂白剂使用后,应当及时用清水冲洗,以防漂白剂残留留下明显的痕迹。

3. 碱性溶液碱性溶液常常被用来清洗血迹,主要通过中和酸性物质的作用去除血迹。

常见的碱性溶液包括氨水和碱性洗涤剂。

在使用碱性溶液清洗血迹时需要注意以下几点:- 碱性溶液不能用于金属等容易被氧化的物品,以免引起不可逆的损坏。

- 使用后应当及时冲洗干净,以防碱性溶液残留破坏物品表面。

4. 酶类清洁剂酶是一类具有特定催化作用的蛋白质,可以加速生物化学反应的进行。

在清洗血迹中,酶类清洁剂可以通过催化作用降解血液中的蛋白质,从而实现清洁效果。

常见的酶类清洁剂包括蛋白酶和淀粉酶等。

使用酶类清洁剂时需要注意以下几点:- 应当选择适当的酶类清洁剂,以免对物品或表面产生不可逆的损坏。

- 清洗时间和温度需要根据具体情况进行调节,以获得最佳的清洗效果。

常用的生活去污原理

常用的生活去污原理

常用的生活去污原理
常用的生活去污原理包括物理去污、化学去污和生物去污。

1. 物理去污:利用物理原理以物理力量去除污垢。

常见的物理去污方法包括刷洗、摩擦、挤压、吸附等。

例如,用刷子刷洗瓷器或衣物、用橡皮擦除墙壁上的污渍、用纸巾吸除桌面上的液体等。

2. 化学去污:利用化学物质的性质来溶解或分解污垢。

常见的化学去污方法包括使用洗涤剂、溶剂、去渍剂等。

例如,用洗衣液清洗衣物、用清洁剂擦洗厨房用具、用漂白剂去除衣物上的污渍等。

3. 生物去污:利用生物体的活性成分来分解或降解污垢。

常见的生物去污方法包括使用酵素清洁剂、微生物(如细菌)处理废水等。

例如,使用含有酵素的洗涤剂来去除血渍、使用含有细菌的废水处理装置来降解有机废物等。

以上是常用的生活去污原理,不同的去污方法可以根据污垢的性质和表面的材质选择合适的去污原理和方法。

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常见的化学清洗常见的化学清洗硫酸。

一种常见的清洗溶液是热硫酸添加氧化剂。

它也是一种通常的光刻胶去除剂(见第8章)。

在90~125 OC的范围中,硫酸是一种非常有效的清洗剂。

在这样的温度下,它可以去除晶片表面大多数无机残余物和颗粒。

添加到硫酸中的氧化剂用来去除含碳的残余物,化学反应将碳转化成二氧化碳,后者以气体的形式离开反应池:C + O2 à CO2 (气体)一般使用的氧化剂有:过氧化氢(H2O2),亚硫酸氨<(NH4)2S2O8>,硝酸(HNO3),和臭氧(O3)硫酸和过氧化氢。

过氧化氢和硫酸混合制成一种常见的清洗液,用于各个工艺过程之前,尤其是炉工艺之前晶片的清洗。

它也可用作光刻操作中光刻胶的去除剂。

在业内,这种配方有多种命名,包括Carro’酸和Piranha刻蚀(Piranha是一种非洲的食人鱼)。

后者证明了这种溶液的进攻性和有效性。

一种手动的方法是在盛有常温的硫酸容器中加入30%(体积)的过氧化氢。

在这一比例下,发生大量的放热反应,使容器的温度迅速地升到了110~130OC的范围。

随着时间发展,反应逐渐变慢,反应池的温度也降到有效范围内。

这时,往反应池中添加额外的过氧化氢或者不再添加。

往反应池中不断添加最终会导致清洗效率降低。

这是因为过氧化氢转化为水,从而使硫酸稀释。

在自动的系统中,硫酸被加热到有效清洗的温度范围内。

在清洗每一批晶片前,再加入少量(50~100毫升)的过氧化氢。

这种方法保证清洁池处于合理的温度下,同时由过氧化氢产生的水可通过气化离开溶液。

基于经济和工艺控制因素的考虑,一般选用加热硫酸这一方法。

这种方法也使两种化学物质的混合比较容易自动实现。

臭氧。

氧化剂添加剂的作用是给溶液提供额外的氧。

有些公司将臭氧的气源直接通入硫酸的容器。

臭氧和去离子水混合是一种去除轻微的有机物污染的方法。

32典型的工艺是将1~2 ppm 的臭氧通入去离子水中,在室温下持续10分钟。

33氧化层的去除我们已经提及了硅片氧化的容易程度。

氧化反应可以在空气中发生,或者是在有氧存在的加热的化学品清洗池中。

通常在清洗池中生成的氧化物,尽管薄(100~200Å),但其厚度足以阻止晶片表面在其它的工艺过程中发生正常的反应。

这一薄层的氧化物可成为绝缘体,从而阻挡晶片表面与导电的金属层之间良好的电性接触。

去除这些薄的氧化层是很多工艺的需要。

有一层氧化物的硅片表面叫做具有吸湿性。

没有氧化物的表面叫做具有憎水性。

氢氟酸是去除氧化物的首选酸。

在初始氧化之前,当晶片表面只有硅时,将其放入盛有最强的氢氟酸(49%)的池中清洗。

氢氟酸将氧化物去除,却不刻蚀硅片。

在以后的工艺中,当晶片表面覆盖着之前生成的氧化物时,用水和氢氟酸的混合溶液可将圆形的孔隙中的薄氧化层去除。

这些溶液的强度从100:1到10:7(H2O:HF)变化。

对于强度的选择依赖于晶片上氧化物的多少,因为水和氢氟酸的溶液既可晶片上孔中的氧化物刻蚀掉,又可将表面其余部分的氧化物去除。

既要保证将孔中的氧化物去除,同时又不会过分地刻蚀其它的氧化层,就要选择一定的强度。

典型的稀释溶液是1:50到1:100。

如何处理硅片表面的化学物质是一直以来清洗工艺所面临的挑战。

一般地,栅氧化前的清洗用稀释的氢氟酸溶液,并将其作为最后一步化学品的清洗。

这叫做HF-结尾。

HF-结尾的表面是憎水性的,同时对低量的金属污染是钝化的。

然而,憎水性的表面不轻易被烘干,经常残留水印。

34另一个问题是增强了颗粒的附着,而且还会使电镀层脱离表面。

35RCA清洗。

在二十世纪六十年代中,Warner Kern,一名RCA公司的工程师,开发出了一种两步的清洗工艺以去除晶片表面的有机和无机残留物。

这一工艺被证明非常有效,而它的配方也以简单的“RCA清洗”为人们熟知。

只要提到RCA清洗,就意味着过氧化氢与酸或碱同时使用。

第一步,标准清洗-1(SC-1)应用水,过氧化氢和氨水的混合溶液的组成,从5:1:1到7:2:1变化,加热温度在75~85OC之间。

SC-1去除有机残余物,并同时建立一种从晶片表面吸附痕量金属的条件。

在工艺过程中,一层氧化膜不断形成又分解。

标准清洗-2(SC-2)应用水,过氧化氢和盐酸,按照6:1:1到8:2:1的比例混合的溶液,其工作温度为75~85 OC之间。

SC-2去除碱金属离子,氢氧根及复杂的残余金属。

它会在晶片表面留下一层保护性的氧化物。

化学溶液的原始浓度及其稀释的混合液均列在图5.26中。

多年来,RCA的配方被证实是经久不衰的,至今仍是大多数炉前清洗的基本清洗工艺。

随着工业清洗的需求,化学品的纯度也在不断地进行改进。

根据不同的应用,SC-1和SC-2前后顺序也可颠倒。

如果晶片表面不允许有氧化物存在,则需加入氢氟酸清洗这一步。

它可以放在SC-1和SC-2之前进行,或者在两者之间,或者在RCS清洗之后。

在最初的清洗配方的基础上,曾有过多种改进和变化。

晶片表面金属离子的去除曾是一个问题。

这些离子存在于化学品中,并且不溶于大多数的清洗和刻蚀液中。

通过加入一种整合剂,例如ethylenediamine-tetra-acetic酸,使其与这些离子结合,从而阻止它们再次沉积到晶片上。

稀释的RCA溶液被发现具有更多的用途。

SC-1稀释液的比例为1:1:50(而不是1:1:5),SC-2的稀释液的比例为1:1:60(而不是1:1:6)。

这些溶液被证明具有与比它们更浓的溶液配方同样的清洗效果。

而且,它们产生较小的微观上的粗糙,节约成本,同时容易去除。

36--------------------------------------------------------------------------------室温和氧化的化学物质理想的清洗工艺是应用那些完全安全、易于并比较经济地进行处理的化学品,并且在室温下进行。

这种工艺并不存在。

然而,关于室温下化学反应的研究正在进行。

其中一种37是将臭氧与另外两种浓度的氢氟酸溶液(图5.27)在室温下注入盛有超纯净水的清洗池。

超声波作为辅助以提高清洗的有效性。

喷洒清洗。

标准的清洗技术是浸泡在湿法清洗台或全自动机器中的化学池中进行的。

当湿法清洗被应用到0.35到0.50微米的技术时代时,也相应出现了一些顾虑。

化学品越来越多,浸泡在池中会导致污染物的再次沉积,而且晶片表面越来越小,越来越深的图形阻碍了清洗的有效性。

多样的清洗方法于是开始结合。

喷洒清洗具有几个优越性。

化学品直接喷到晶片表面而无需在池中保持大量的贮备,导致化学品的成本降低。

化学品用量的减少也使得处理和除去运化学废物的花费降低。

清洗效果也有所提高。

喷洒的压力有助于清洗晶片表面带有深孔的很小的图形。

而且,再次污染的机率也变小。

喷洒的方法由于晶片每次接触的都是新鲜的化学品,使允许清洗后立即进行清水冲淋,而无需移至另外的一个清水冲洗台上进行。

干法清洗。

关于湿法浸泡方法的考虑拒绝了对于气相清洗的想法和发展。

对于清洗,晶片暴露在清洗液或刻蚀液的蒸汽中。

氢氟酸/水的混合蒸汽经证实可用来去除氧化物,以过氧化物为基础的清洗液的气相取代物也有存在。

38这一工业最终的梦想是完全的干法清洗和干法刻蚀。

目前,干法刻蚀(等离子体,见第9章)已经很完善得建立起来。

干法清洗正在发展之中。

紫外臭氧可以氧化并光学分离晶片表面形成的污染物。

低温清洗。

高压的二氧化碳CO2,或雪清洗,是一种新兴的技术。

(图5.28)CO2从一个喷嘴中直接喷到晶片表面。

当气体从喷嘴中喷出时,其压力下降从而导致快速冷却,然后形成CO2 颗粒,或叫雪花。

相互撞击的颗粒的压力驱散表面的颗粒并由气流将其携带走。

表面的物理撞击提供了一种清洗作用。

氩气的喷雾是另外一种低温清洗。

氩气相对较重。

它的较大的原子在压力下直喷到晶片表面可以除去颗粒。

一种结合了氧气和氩气的综合的方法,称为Cryokinetic。

在压力下将气体预冷使其形成液气混合物并流入一个真空反应室中。

在反应室中,液体迅速膨胀形成极微小的结晶将颗粒从晶片表面击走。

39水的冲洗每一步湿法清洗的后面都跟着一点去离子水的冲洗。

清水冲洗具有从表面上去除化学清洗液和终止氧化物的刻蚀反应的双重功效。

冲洗可用几种不同的方法来实现。

未来的焦点集聚在提高冲洗效果和减少水的用量上。

1997年的NTRS声称,到2010年争取实现在尺寸为50纳米的器件上(水用量由目前的30 加仑/每平方英寸硅片减少到2加仑/每平方英寸硅片)。

每平方英寸硅片的水用量由目前的30 加仑减少到2010年的2 加仑。

溢流式清洗器。

自动的表面清洗并不是单独地将晶片浸泡在—池水中。

完全的彻底的冲洗需要晶片表面有清洗的水不断地流过。

其中一种方法叫溢流式清洗器。

(图 5.29)它通常是嵌入清洗台面板内的一个池子。

去离子水从盒子的底部进入从晶片周围流过,再经过一个闸门从排水系统排出。

从下部的底盘进入冲洗器的一般氮气的气泡加强了流水的冲洗作用。

由于氮气的气泡从水中从下向上通过,有助于晶片表面化学品和水的混合。

这一类型称为气泡式。

另一不同类型为平行式下流冲洗器。

在这一设计中,水从冲洗池外部进入竖直向下流过晶片。

(图 5.30)由经验得出的法则是,充分的冲洗要以流速为每分钟等于冲洗池体积的五倍的流量(每分钟的水更换次数)持续冲洗至少5分钟(取决于晶片的直径)。

如果冲洗池的体积为32,则流量应至少为15升/分钟。

冲洗的时间长短是由测量排出冲洗池的水的电阻率决定的。

化学清洗液在冲洗的水中是带电的分子,它们的存在可由水的电阻率推知。

如果进入冲洗池的水的电阻为18MΩ 的水平,那么在清洗池的出口处水的电阻为15到18兆欧时说明晶片已经清洗并冲淋干净。

由于清水冲洗至关重要,所以通常至少要进行两种冲洗,而总共的冲洗时间要设定为由电阻率测量而确定的最小冲洗时间的2到5倍。

通常在冲洗池出口处安装一个水电阻率测量表以不断地测量出口处水的电阻率,并在冲洗完成时给出信号。

--------------------------------------------------------------------------------喷洒式冲洗。

流动的水通过稀释的机械原理将晶片表面水溶性的化学物质除去。

最表层的化学物质溶解于水并被水流携带走。

这种动作在一次一次不间断地进行。

较快的水的流速可以更快地将化学物质溶解从而使冲洗速度提高。

水的更换次数直接决定了冲洗的速度。

这可以通过想象以一个非常快的水流速度在一个非常大的冲洗池中进行的冲洗来理解。

从晶片表面去除掉的化学物质会均匀地分布在冲洗池中因此一部分也将仍然会附着在晶片表面。

只有通过足够多的水流进和并携带着化学物质流出冲洗池,才可将化学物质最终从池中排出。

另一种冲淋速度较快的方法是利用水喷淋的方法。

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