Harrick等离子清洗机操作规程

Harrick等离子清洗机使用说明

一、设置

1.连接真空泵电源到插座。

2.连接等离子清洗机电源到插座。

二、排除空气

3.将样品放入舱室内。

4.检查针阀和三通阀是关闭的。（处于垂直位置，如下图）

5.按住清洗舱舱门。

6.打开真空泵开关。大概几分钟后，舱室处于负压状态，真空状态会让舱门自

动关闭。

7.打开气体钢瓶上的阀门，将压力调节在5~10PSI。

二、通入气体

8.打开通向工艺气体的三通阀（针阀为水平位置，如下图）

9.轻轻地打开针阀让气体通入30-60秒。

三、产生等离子体

10.打开清洗机前面板的电源开关。

11.将射频发生器功率开关调至合适的功率。

12.通过舱门的玻璃窗观察舱内，当产生辉光放电现象时，证明等离子体已激发。

13.调节针阀直到等离子体明显最大，这大概相当于最佳等离子生成的条件

14.样品处理一定时间，处理结束后，将RF电源旋至OFF。

15.关闭清洗机开关。

16.关闭气体钢瓶阀门。

17.用1-3分钟的真空泵抽出残余的工艺气体从舱室。

18.关闭针形阀。

19.关闭真空泵。

20.按住等离子清洗机舱门门并慢慢将三通阀打开至排气状态（水平指向排气，

如下图）。

21.当舱室排气时，继续按住舱门。当达到常压后，离开舱门。

22.关闭三通阀。

23.取出样品