超精密微机械制造技术研究进展
超精密加工技术在机械工程中的应用研究
超精密加工技术在机械工程中的应用研究近年来，随着机械工程领域的快速发展，对高精度和高效率的加工需求不断增加。
超精密加工技术作为一项先进的制造技术，正逐渐引起人们的关注和重视。
本文将探讨超精密加工技术在机械工程中的应用研究，并分析其对机械工程行业的影响。
首先，超精密加工技术指的是通过微细切削或电火花等方法，对工件进行超精细的加工过程。
这项技术以其高精度、高效率和高稳定性的特点，被广泛应用于机械工程领域中的精密零部件制造。
例如，在航空航天领域，利用超精密加工技术，可以制造出尺寸精度达到亚微米级的发动机轴承和航空仪表，从而提高了飞行器的性能和安全性。
其次，超精密加工技术在机械工程领域中的应用还可提升产品质量。
在制造过程中，超精密加工技术能够确保零部件的尺寸精度和表面质量，有效地避免了加工误差和缺陷的产生。
尤其是在微电子、光学和医疗设备等高精密产品的制造中，采用超精密加工技术可以大幅度提升产品的品质和使用寿命，满足了现代科学技术的要求。
另外，超精密加工技术也在机械工程中的研发和创新中发挥着重要作用。
通过对加工参数、材料选择和工艺控制等方面的研究，可以提高超精密加工技术的加工精度和加工效率。
同时，超精密加工技术也促进了机械工程的创新发展，推动了制造业的技术进步。
例如，通过引入激光加工和纳米加工等先进技术，不仅可以提高超精密加工的效率，还可以实现对各种复杂形状的加工，从而拓宽了机械工程领域的应用范围。
此外，超精密加工技术的应用还有助于节约资源和降低能耗。
在传统的机械加工过程中，由于切削阻力大、能量损耗高，导致了很大的能源浪费。
而超精密加工技术采用微细而无冲击的加工过程，不仅可以降低功耗和热变形的风险，还可以节约能源，并减少工件的材料消耗，从而达到节约资源的目的。
总之，超精密加工技术在机械工程中的应用研究具有重要意义。
通过提高加工精度和加工效率，保证产品质量，促进创新发展以及节约资源等方面的作用，超精密加工技术为机械工程领域带来了许多益处。
机械制造中的微加工技术研究
机械制造中的微加工技术研究随着科技的进步和社会的发展，人们对微加工技术的需求越来越高。
微加工技术是指对微细尺寸的物体进行加工和制造的一种技术。
它能够在微米级别下进行精密加工，因此在机械制造领域有着广泛的应用。
本文将探讨机械制造中的微加工技术研究的现状和未来发展趋势。
一、微加工技术的概述微加工技术是一种高精度、高效率的加工方式，通过使用微纳尺度工具对微米级别的物体进行制造和加工。
与传统的机械加工方式相比，微加工技术具有更小的加工尺寸、更高的精度和更少的能量损失。
同时，微加工技术还可以实现对复杂结构的加工，例如微型芯片、微型机械零件等。
二、微加工技术在机械制造中的应用1. 微型零件的制造微加工技术在制造微型零件方面具有重要的应用。
传统的机械加工方法往往无法满足对微型零件高精度和高质量的要求，而微加工技术则可以通过控制微纳尺度工具的运动轨迹和力的大小，来实现微型零件的精密制造。
2. 微纳加工技术的开发微纳加工技术是微加工技术的一种重要分支，它主要研究如何利用光、电、激光等技术对微米级别的物体进行加工和制造。
微纳加工技术的开发不仅可以满足对微型零件高质量加工的要求，还可以应用于生物医学、光电子、纳米材料等领域。
3. 微加工技术在测量仪器制造中的应用微加工技术在测量仪器制造中有着广泛的应用。
通过微加工技术可以制造出高精度的光学元件、传感器、微流控芯片等，在科研、医学和工业等领域起到了重要的作用。
三、微加工技术研究的挑战和发展趋势尽管微加工技术在机械制造领域有着广泛的应用，但在实际应用中仍面临着许多挑战。
首先，微加工技术的加工尺寸要求越来越小，这对加工设备和工具的精度和稳定性提出了更高的要求。
因此，需要不断研发和改进更精密和稳定的微加工设备和工具。
其次，微加工技术在加工过程中存在着较大的能量损失和热量积聚的问题。
这可能导致加工的不均匀性和加工表面的质量下降。
因此，需要研究更合理的加工策略来解决这些问题。
最后，微加工技术的应用领域日趋广泛，对加工材料的多样性和耐用性提出了更高的要求。
超精密加工技术发展研究及应用
超精密加工技术发展研究及应用超精密加工技术一直是制造业发展的重要领域之一。
其在半导体、光学、航空、能源等领域中的应用，无不体现其巨大的意义和价值。
超精密加工技术能够制造出高精度、稳定性好、无缺陷的精密零部件，这些零部件在各个领域中被广泛应用。
一、超精密加工技术的发展历程超精密加工技术的发展历程可以追溯到20世纪50年代。
当时，日本推出了一种新型加工技术，叫做“单晶加工”。
该技术利用光学原理和精密机械加工，将晶体材料完美地加工成单晶。
20世纪60年代，磁悬浮切割技术被充分研究，并应用于加工金属、玻璃等材料。
该技术可以将切割厚度控制在1微米以下，达到高精密度的切割要求。
20世纪70年代，有了激光切割技术，这种技术不同于传统机械切割方式，而是利用激光束进行切割。
由于激光光束的直线度高，可以实现极高的精度和稳定度。
20世纪80年代，微细加工技术逐渐兴起。
这种加工技术能够以微观尺度进行高效加工，其具有优异的表面粗糙度和防抖动性能，可以制造出高质量的零部件。
二、超精密加工技术的主要应用领域1. 半导体行业半导体行业是超精密加工技术中最为重要的应用领域之一。
由于半导体集成电路的尺寸越来越小，制造过程对零部件精度的要求也越来越高。
超精密加工技术能够在微观尺度上制造出高度一致且表面光滑的微处理器。
2. 光学行业光学行业也是超精密加工技术的主要应用领域之一。
利用超精密加工技术，可以制造出近乎完美的光学元件，其表面粗糙度可以达到亚微米级别，从而实现更高的光学性能。
3. 航空行业超精密加工技术在航空行业的应用也越来越广泛。
航空行业对零部件的精度和稳定性要求非常高，超精密加工技术能够制造出非常高精度的零部件，为飞行器的性能提升做出了很大的贡献。
4. 能源行业能源行业对零部件的精度要求也越来越高，特别是在制造核聚变反应堆等核能设备时，需要使用到超精密加工技术。
该技术能够制造出高精度的零部件，从而提高核反应堆的运行效率和安全性能。
精密和超精密加工技术的新进展.pdf
精密和超精密加工技术的新进展王广斐江苏科技大学摘要 : 精密和超精密加工技术的发展 , 直接影响尖端技术和国防工业的发展。
世界各国都极为重视 , 投入很大力量进行开发研究 , 故近年来发展迅速。
本文介绍了国内外精密和超精密加工技术各主要领域的最新进展 : 精密和超精密机床的新发展 , 超精密切削机理和金刚石刀具的研究 , 精密镜面磨削和研磨技术的新发展 , 非球曲面精加工技术的发展以及微型机械制造中的精微加工技术的发展 ; 提出我国应重视精密加工的研究 ,加大投入 ,加速提高我国精密和超精密加工技术水平。
关键词 : 精密和超精密加工技术,超精密切削,超精密机床,精密镜面磨削,精密研磨,微机械New Developments of Precision and Ultra 2 Precision Manufacturing TechnologyYuan ZhejunAbstract: Precision and ultra 2 precision manufacturing technology have great influence on the developments of national de 2fence industry and high technique , therefore many countries pay great attentionto its developments. In this paper , new develop 2ments in the main areas of precision and ultra 2 precision manufacturingtechnology are given: precision and ultra 2 precision machinetools , ultra 2 precision cutting mechnism with single point diamond tools , precision mirror surface grinding , precision lapping , pre 2cision machining of non 2 sphrical surfaces andfree 2 curved surfaces andprecision machiningof micro 2 machines. It has been pointedout that the precision and ultra 2 precision manufacturing technology are very important to our country , therefore we must pay greatattention to its developments.Keywords:Precision and ultra 2 precision manufacturing technology , ultra 2 precision cutting , ultra 2 precision machine tools ,precision mirror surface grinding , precision lapping , micro 2 machines1.概述精密和超精密加工技术的发展 , 直接影响到一个国家尖端技术和国防工业的发展 , 因此世界各国对此都极为重视 , 投入很大力量进行研究开发 , 同时实行技术保密 , 控制关键加工技术及设备出口。
微细结构超精密加工技术的研究
微细结构超精密加工技术的研究摘要：高精度是超精密加工永恒的主题，受国防和高端民用产品的需要牵引，对微细结构元件加工精度的要求日益提高；同时，高精度的微细结构元件，尤其是微细结构光学元件的需求量迅猛增长，需要适于批量生产的高效率低成本的微制造技术。
基于微细结构的超精密加工技术将综合应用其它领域的新技术，进行工艺集成化已成为一种发展趋势。
关键词：超精密；微细结构；分子动力学1引言我国超精密微细加工技术的研究略晚于国外，但由于长期科技投入不足和国外的技术封锁，与国外先进技术水平相比尚有较大差距。
国外的已经商品化了的超精密微细加工设备，对我国一直处于严格禁运状态。
而微小型结构件的微细超精密加工技术在国民经济与社会发展中具有重要的地位，因此，开展超精密微细加工技术的研究，对突破国外技术壁垒，形成我国自主创新的新产品、新技術和新装备具有重要意义。
针对微小型和具有微细结构的超精密零件，开展超精密加工机理的研究，将为实现微小型和具有微细结构零件的超精密加工技术产业化奠定良好的。
本文的仿真研究将为微细结构超精密加工技术提供理论支持。
2微细结构超精密加工技术面向微细结构的超精密加工技术的研究是现代高技术产品制造的核心技术之一；是先进制造技术领域的前沿课题和未来发展我国微电子产业的关键技术，在航空航天、汽车、信息技术、新能源、家电、医疗等许多高新技术领域有着越来越广泛的应用；它与一个国家的国防与国民经济的发展密切相关，是一个国家的国民经济、国防和科学技术综合实力的体现，已经成为许多国民经济领域的制造技术可持续发展的一个重要保障条件。
在精密工程应用领域，元件的几何形状精度经常需要控制在纳米量级，如：精密轴和孔的圆柱度、大规模集成电路使用的单晶硅片的平面度等等。
与此同时，元件还需要具有纳米级的表面质量，如表面平整性以及表面和次表面的损伤程度（包括微裂纹、物理结构的变化、大规模塑性变形和残余应力等）。
为满足这些指标要求，元件在加工过程中切削力的数量级必须控制在10-6N到10-9N的范围内，而相应的切削深度应该保持在10-6m到10-9m的范围内。
超精密微机械制造技术研究及进展
超精密微机械制造技术研究及进展前言超精密微机械制造技术是一种以计算机技术为基础、利用微纳加工技术制造微细结构的技术。
目前，随着微机械制造技术的不断发展，超精密微机械制造技术得到越来越广泛的应用。
本文将对超精密微机械制造技术的研究及进展进行综述。
超精密微机械制造技术的研究内容超精密微机械制造技术主要涉及到以下内容：微加工技术微加工技术是指采用微细切削加工、微细化学腐蚀加工、微细电解加工等加工方法，制造出微细的结构和器件。
微加工技术必须具有高精度、高效率、高成品率、低损伤等能力，才能满足超精密微机械制造的要求。
微动力学微动力学是指对微米级系统的物理过程和运动规律的研究，主要包括微型传感器、微型电机驱动、微流体控制和微力传感器等。
微动力学技术是超精密微机械制造技术中不可或缺的重要环节。
微纳机电系统微纳机电系统（MEMS）是一种能够感知环境、执行指令、传递信息和控制过程的微型化、高度集成化多功能微系统。
它主要包括传感器、执行器、驱动电路和信号处理器等模块。
目前，MEMS作为一种基础技术，已经广泛应用于医学、航空、航天、水利等领域。
超精密微机械制造技术的发展历程超精密微机械制造技术始于20世纪70年代，最初是为了制造高精度光学附属器材。
从20世纪80年代开始，加利福尼亚大学伯克利分校提出了MEMS技术，从而推动了微机械制造技术的发展。
此后，随着微纳技术、纳米技术的兴起，超精密微机械制造技术得到了迅猛发展。
超精密微机械制造技术的应用领域目前，超精密微机械制造技术已经应用到了众多领域，如：医疗保健领域在医疗保健领域，超精密微机械制造技术主要被应用于生物芯片、药物传输等方面。
航空航天领域在航空航天领域，超精密微机械制造技术主要被应用于制造微型仪器、传感器和执行机构等。
机械制造领域在机械制造领域，超精密微机械制造技术主要被应用于制造高性能陶瓷切削刀具、精密机械零件等。
光电子领域在光电子领域，超精密微机械制造技术主要被应用于制造微型光学器件，如光轴往复驱动器、纳米位移传感器等。
超精密加工技术在机械加工中的应用研究
超精密加工技术在机械加工中的应用研究一、引言机械加工技术在制造业中扮演着重要的角色，它的精度和效率直接影响着产品的质量和成本。
随着科学技术的不断发展，超精密加工技术应运而生，并在机械加工领域中逐渐得到应用。
超精密加工技术以其高精度、高效率和低成本的特点，改变了传统加工方式，成为了制造业不可或缺的一部分。
本文将重点研究超精密加工技术在机械加工中的应用。
二、超精密加工技术的概述超精密加工技术是一种以纳米级精度进行机械加工的技术。
它通过采用高功率激光、电子束等精确控制加工工具，使其在纳米级范围内进行切削、打磨、刻蚀等工艺，从而实现高精度的加工效果。
超精密加工技术广泛应用于半导体、光学、航天、医疗器械等领域。
三、超精密加工技术在机械加工中的应用案例1. 加工高精度模具超精密加工技术可以用于制造高精度模具，如塑料模具、金属模具等。
传统加工技术在模具制造过程中容易出现形状不一致、尺寸偏差大等问题，而超精密加工技术能够以纳米级精度进行加工，有效解决这些问题，提高模具的加工精度和质量。
2. 光学元件的加工光学元件是一种对光波进行传导、反射、折射和干涉的元件。
超精密加工技术在光学元件制造中具有独特的优势。
例如，在镜面的加工过程中，超精密加工技术可以确保光学元件的平整度和度数非常高，有效提高光学系统的工作效率。
3. 微机电系统（MEMS）的制造微机电系统是一种融合了微观结构和机电系统的微型设备。
超精密加工技术在MEMS制造中可以实现微小尺寸和高精度的要求。
例如，在MEMS传感器中，超精密加工技术可以以纳米级精度制造微机电结构，从而提高传感器的精确性和灵敏度。
四、超精密加工技术的发展趋势随着科学技术的发展，超精密加工技术在机械加工领域中也在不断演进。
未来，超精密加工技术将朝着以下几个方向发展：1. 多工艺融合超精密加工技术在机械加工中的应用需要结合多种加工工艺，如激光切割、电子束加工等。
未来，超精密加工技术将进一步发展，实现多工艺的融合，提高加工的精度和效率。
超精密微机械制造技术研究进展
万方数据
第３期
于化东：超精密微机械制造技术研究进展
３
成型机及精密微型零件产品等；欧盟自２００４年起 进行一项名为４Ｍ．Ｍｕｌｔｉ Ｍａｔｅｒｉａｌ Ｍｉｃｒｏ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅ Ｎｅｔｗｏｒｋ ｏｆ Ｅｘｃｅｌｌｅｎｃｅ的跨国性计划，整合了欧盟 各成员国的研发资源，在２００４－２００７年问已投入超 过１５亿欧元，以期能于最短的时间内获得最大的 技术与应用突破；韩国也于２００４年起投入６０００万 美元，进行名为Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ ｏｆ Ｍｉｃｒｏ－Ｆａｃｔｏｒｙ Ｓｙｓ· ｔｅｒｎ ｆｏｒ Ｎｅｘｔ Ｇｅｎｅｒａｔｉｏｎ的５年计划。美国在过去投 入了非常多的资源进行ＭＥＭＳ技术的研发，但自 ２００５年起．亦开始重视精密微机械制造技术的开 发，其国家智库单位ＷＴＥＣ和ＮＳＦ（Ｎａｔｉｏｎａｌ Ｓｃｉ· ｃｕｔｅＦｏｕｎｄａｔｉｏｎ）等机构于２００２年共同出资，针对 国际上Ｎｏｎ—ＭＥＭＳ微型加工技术研究发展现状与 趋势组成考察团，对全世界４７个微制造技术相关 研发机构进行调查。其调查报告指出，Ｎｏｎ－ＭＥＭＳ 超精密微机械制造技术将成为２ ｌ世纪重要新技术， 它是连接微观与宏观制造领域的桥梁技术，是改变 传统加工理念（加工时间、地点、方式）的技术， 是改变生产力分配方式的技术（微制造成为家庭手 工业）；它是增强美国竞争优势的战略性技术。自 ２００６年起，美国每年举办大型国际研讨会ＩＣＯＭＭ
来越高。本文着重对超精密微机械制造技术的内涵、国内外研究现状和发展动态进行整理和描述，并对超精密微机
械制造技术的未来发展趋势进行总结，为我国未来的先进制造技术研究与计划制订提供参考。
关键词：超精密加工；微制造；三维微小零件；微机械
中图分类号：ＴＨｌ６
文献标识码：Ａ
文章编号ｔ １６７２—９８７０（２００８）０３一０００１一０８
超精密微机械制造技术研究进展.doc
超精密微机械制造技术研究进展随着社会经济的不断发展，国防领域、微电子工业领域、生物工程以及太空机械领域也是步入了空前的发展阶段，对设备的的精密多维细微零件的要求也是日渐苛刻。
三维微小零件在结构、材料、尺寸和零件表面的特异性、多样性、高精度、高质感也是成为了三维细微零件和微型设备的装置最为标志性性的特征，在材料使用、功能鉴定、使用年限、可靠性等方面要求也是非常之高，笔者从超精密微机械制造技术的含义、国内研究成果、发展现状、动态对超精密生产技术进行整理和归纳，对超精密微机械制造技术做出大胆的未来趋势走向，为以后国家的超精密技术研究和生产提供一定的参考依据。
超精密微机械的主要发展时期还是集中于21世纪，微机械的不断进步在使得人们生活质量不断提高的同时它的迅猛发展将在21 世纪中后期促使所有工业领域产生一场革命性的变化。
超精密微机械又称作“三微制造技术”由微电子器件制造、微机电系统制造和微光电子器件制造三个领域构成，目前世界内的微型无人机、超速高空飞行器、四代机等均由三微技术在独立支撑，而且，微机电系统及微机电器件是机载设备发展的主要方向之一。
1. 超精密微机械制造技术的内涵和应用1.1 内涵超精密微机械制造（Micromanufacturing）系统是建立在以微小机械零件（以微米、纳米计）加工制造为研究对象的基础上，利用集成化、系统化的理论与技术，根据三维微小零件在结构、材料、尺寸和零件表面的特异性、多样性、高精度、高质感的要求进行有机的制造和组合优化，在较小的空间内完成整体机械的组装。
其目的就是实现“小机床加工小零件”的理念，是有别于MEMS 的微制造方法与技术。
美国WTEC（World Technology eva lua-tion Center）对其含义定义为：可加工各种不同材料（包括半导体材料以外的）、具高精度（10-3～10-5m）及微尺寸零件（10um～10mm）的3D 非光刻材料的加工；日本东北大学厨川研究室定义为：最小尺寸在亚毫米级（Sub-mili），精度约在亚微米级（Sub-micron）微小零件的加工。
超精密微机械制造技术研究及进展
超精密微机械制造技术研究及进展随着航空航天，国防工业，电子产业，现代医学和生物工程技术的快速发展，对于三维微小零件的精度迫切需求。
本文对内涵的整理和叙述，对超精密微机械制造技术国内外的研究现状和发展趋势，并对未来的超精密微机械制造技术的发展趋势进行了总结，为先进制造技术领域的研究和规划我们的未来发展方向。
超精密微机械制造技术领域是在第二十世纪80年代初期90年代逐渐发展的新兴科学领域。
它的迅猛发展将在二十一世纪为几乎为所有的工业领域带来翻天覆地变化。
微系统与微制造的产品广泛应用于军事，医疗，航空航天，电子等军用和民用领域。
本文对其内涵的整理和叙述，超精密微机械制造技术的国内外研究现状和发展趋势，为今后我国先进制造技术研究计划提供可参考的意见。
什么是超精密微机械制造技术微制造系统是针对微小机械零件这个特殊加工对象，采用系统的，集成的理论和技术，根据工件结构和具体要求把供料、加工、检测、搬运等步骤有效的融合起来，在狭小的空间内对微型零件进行制造。
它的目地是实现小零件用小机床加工的概念，不同于MEMS微制造技术和方法。
它必将成为非硅材料的加工的最有效的小零件的加工方式，可以从根本上解决了小型零件的加工难题。
超精密微机械制造技术重点研究的对象尺寸在10m~ 10mm，处理复杂的几何形状的小部件。
具有能耗低，体积小，生产灵活，效率高。
降低了制造系统及零件的尺寸，不仅节省能源，还节省了生产空间和资源，符合节能，环保的生产方式，是绿色制造业的发展方向。
国内及国外研究现状及发展趋势 2.1.微机械加工设备的技术目前，国内已有多所高校对微小制造系统，微小切削技术领域展开研究。
已获得一些令人可喜的成就。
哈尔滨工业大学精密工程研究所于2007开发的一个小型超精密三轴数控铣床，主轴最高转速160000 RPM，回转精度达到1米，工作台定位精度达到0.5米/75mm，重复定位精度达0.25m，刀具采用进口的刀具，最小可达到0.15mm。
超精密微机械制造技术研究
超精密微机械制造技术研究随着科技的快速发展，超精密微机械制造技术变得越来越重要。
这项技术对于现代科技的发展具有深远的影响，从半导体制造到生物医学工程，超精密微机械制造技术都发挥着关键作用。
本文将详细介绍超精密微机械制造技术的概念、关键技术以及未来发展趋势，并提出一些建议。
超精密微机械制造技术是一种能够在微米甚至纳米级别上制造和加工机械部件的技术。
这种技术可以制造出具有极高精度和复杂性的机械部件，如微型轴承、齿轮、发动机等。
这些部件在医疗、能源、信息等众多领域有着广泛的应用前景。
超精密微机械制造技术涉及的关键技术有很多，其中最重要的是精密机械制造、测量技术和材料科学。
精密机械制造是超精密微机械制造技术的核心，它涉及到微米甚至纳米级别的加工和制造技术。
测量技术则是保证制造精度的重要手段，它包括误差检测、精度控制等。
材料科学则关系着制造材料的选取和性能的优化。
未来，超精密微机械制造技术的发展趋势将朝着更高的精度、更广的应用领域和更低的成本方向发展。
随着科技的进步，超精密微机械制造技术的精度有望达到纳米级别，同时，其应用领域也将越来越广泛，包括能源、生物医学、航空航天等。
随着市场竞争的加剧，超精密微机械制造技术的成本也将逐渐降低。
对于超精密微机械制造技术的发展，我们提出以下建议：需要加大技术研发投入，不断提升超精密微机械制造技术的精度和稳定性。
需要重视人才培养，建立起完善的超精密微机械制造技术人才体系。
政府和企业应该加大对超精密微机械制造技术的资金支持，推动其快速发展和应用。
超精密微机械制造技术是现代科技领域中的重要组成部分，具有深远的应用前景和发展潜力。
我们需要充分认识到其重要性，加大投入力度，推动其快速发展和应用，以促进我国科技水平的整体提升。
随着科技的快速发展，超精密微机械制造技术越来越受到。
超精密微机械制造是指利用先进的制造技术和加工方法，在微米甚至纳米尺度上制造出高精度、高密度、高复杂度的微小零件和器件，具有重大的科学意义和实际应用价值。
精密机械制造技术的研究与应用
精密机械制造技术的研究与应用随着科技的进步和人们需求的不断提高，现代工业制造和生产领域越来越需要高精度和高效率的机械设备，这就要求我们不断研究和发展精密机械制造技术。
精密机械制造技术是指在机械制造过程中，为了满足产品的高精度要求而采用的一系列先进的制造工艺和工具。
本文将从三个方面探讨精密机械制造技术的研究和应用的现状和未来。
一、精密机械的制造技术精密机械的制造技术主要包括五个方面：机床、测量、工具、材料和加工工艺。
机床是实现制造精度的重要手段，而测量则是衡量产品精度的关键。
工具、材料和加工工艺则是实现加工精度和质量的基础。
现代机床制造技术已经很成熟，而测量技术和工具、材料、加工工艺则还需要不断研究和提高。
目前，各种机床的生产制造工艺和结构不断创新和进步，使得机床的精度、效率和可靠性都有了很大提高。
例如，数控机床的自动化程度已经很高，可以实现高速加工和高精度加工，同时大幅降低了人工操作的强度和劳动时间。
此外，还有一些功能专用的机床，如龙门加工中心、车铣复合加工机床等，这些机床在特定领域还是十分重要的。
在测量方面，一些高精度的测量仪器也在不断研究和创新。
例如，光学测量、电子显微镜、薄膜测量等技术的不断发展使得测量精度更高、更准确，同时还可以用于对微小尺寸物体进行非接触性测量。
在工具、材料和加工工艺方面，随着新材料的开发和应用，新的、高效的加工工艺也随之诞生。
例如，通过超声波、激光、等离子等方法改变材料表面状态，可以实现高精度的加工精度和质量。
现在人工智能、云计算和物联网技术也在不断地运用到精密机械的制造过程中来，可以实时监测和控制加工的进度和质量。
二、精密机械的应用领域精密机械在许多领域中都有巨大的应用前景，主要领域包括航空、航天、汽车、医疗、电子、石油等。
这些领域往往需要精密的仪器设备和零部件，因此对于精密机械制造技术的需求就很大。
在航空、航天领域，航空发动机的零部件如叶轮、叶片等都需要用到精密机械制造技术，确保在高速运转时的安全性、可靠性和持久性。
精密和超精密加工技术的新进展
精密和超精密加工技术的新进展精密和超精密加工技术是指不断追求更高精度、更细粒度、更小误差和更高效率的加工方法和技术。
这些技术广泛应用于航空航天、医疗器械、微电子、光学仪器等领域，对于产品的性能和质量有着至关重要的影响。
近年来，精密和超精密加工技术取得了许多突破性进展，本文将就此展开讨论。
精密加工技术是在传统机械加工的基础上发展起来的，通过精细的切削、研磨和抛光等手段，实现高精度、高光洁度的加工目标。
近年来，精密加工技术的发展取得了长足的进步，主要表现在以下几个方面：新型加工设备的研发和应用不断取得突破。
例如，五轴联动数控机床、激光加工机、电子束加工机等新型设备的出现，使得复杂零件的精密加工变得更加高效和准确。
新型加工材料的应用也取得了重要进展。
例如，工程塑料、陶瓷、复合材料等高性能非金属材料的广泛应用，使得精密加工的领域得以进一步拓展。
精密加工技术的智能化和自动化水平不断提升。
智能化加工设备能够实现自适应加工、无人值守加工等功能，提高加工效率和质量稳定性。
超精密加工技术是指比精密加工技术更为精细、精确的加工方法和技术。
随着科技的不断进步，超精密加工技术的应用越来越广泛，主要包括以下几个方面：超精密加工技术广泛应用于微电子领域。
微电子产业对于芯片的精度和光洁度要求极高，超精密加工技术能够实现高精度、高效率的微米级加工，对于提升微电子产业的发展水平和竞争力具有重要意义。
超精密加工技术在光学仪器领域也有着广泛的应用。
光学仪器对于透镜、反射镜等光学元件的精度和表面质量要求极高，超精密加工技术能够实现高精度、高稳定性的光学元件加工，对于提高光学仪器的性能和精度具有重要作用。
再次，超精密加工技术在航空航天领域也有着重要的应用。
航空航天领域对于零件的精度和可靠性要求极为严格，超精密加工技术能够实现高精度、高稳定性的零件加工，对于提升航空航天领域的产品质量和性能具有重要意义。
近年来，精密和超精密加工技术的研究和应用不断取得新的进展，在新型加工设备、新型加工材料和智能化加工等方面都取得了重要突破。
超精密机械制造技术研究
超精密机械制造技术研究一、引言机械制造技术是现代工业的基础，对于高精度、高效率、高质量的生产起着重要的作用。
超精密机械制造技术是机械制造技术的重要分支，为行业的发展带来了新的机遇与挑战。
本文将介绍超精密机械制造技术的研究现状、发展趋势以及一些关键技术。
二、超精密机械制造技术研究现状超精密机械制造技术是20世纪60年代左右开始出现的，其目的是要满足高科技产业对高精度制造的需求。
目前，国内外的超精密机械制造技术研究已经取得了很大的进展，如切削加工、非传统加工、自适应控制、光学加工等领域均有较深入的研究。
1. 切削加工切削加工是传统加工方法，其研究重点是提高切削精度和表面质量。
目前，切削加工的发展方向是高速切削和微米级切削。
高速切削主要应用于加工耐高温合金、钢、铝等材料，以提高生产效率和降低成本。
微米级切削则主要应用于超微型零部件的制造。
2. 非传统加工非传统加工是指采用激光、电火花、电解加工、化学加工等非传统方法进行加工的技术。
这些方法具有加工精度高、形状复杂、工件硬度高等优点，因此被广泛用于微机电系统（MEMS）、光学设备、半导体器件等领域。
3. 自适应控制自适应控制是指在机床加工过程中对加工条件进行自适应调节，以实现高精度、高效率的加工。
自适应控制的关键是实时采集加工过程中的信息，对加工参数进行调整以达到最优化的加工效果。
该技术适用于加工复杂曲面和超硬材料。
4. 光学加工光学加工是利用激光将能量聚焦在工件表面，以实现高精度的加工。
在光学加工中，激光的波长对加工精度有着非常重要的影响。
如在微细加工中，波长越小加工的精度越高。
目前，脉冲激光加工的加工精度已经可以达到亚微米级别。
三、超精密机械制造技术的发展趋势超精密机械制造技术的发展趋势是集成化、自动化、智能化、高速化和柔性化。
集成化技术是利用自动化技术将加工、检测、装备和控制等部分集成在一起，实现一条龙服务。
自动化技术是通过机器人等装备对加工过程进行监控和控制，以提高生产效率和加工精度。
超精密制造技术的应用研究
超精密制造技术的应用研究随着现代技术的不断进步，超精密制造技术越来越受到人们的重视。
超精密制造技术是一种高端制造技术，它的应用范围非常广泛，包括航空航天、电子、医疗设备、车辆等众多领域。
本文将从超精密制造技术的概念、应用案例、未来发展方向等多个方面对其进行探讨。
一、超精密制造技术的概念超精密制造技术是利用一系列超精密加工设备和工艺方法，使机械加工制品的加工精度达到亚微米或亚纳米级水平的制造技术。
它是一项高精度、高质量、高效率的制造技术，能够满足现代工业对精度、质量和效率的不断追求。
二、超精密制造技术的应用案例1. 航空航天领域航空航天领域对制造精度的要求非常高，超精密制造技术正好能够满足这一需求。
例如，一些高精度航空发动机零部件或航空航天器各种零部件的制造，都需要超精密制造技术的应用。
2. 电子领域电子领域对制造精度同样有着极高的要求。
例如，芯片、集成电路、液晶显示器等高精度电子产品的制造，都需要超精密制造技术的应用。
3. 医疗设备领域医疗设备对制造的精度也有很高的要求。
例如，人工关节、人工耳蜗、电子显微镜等医疗设备的制造，都需要超精密制造技术的应用。
4. 汽车领域汽车领域也需要超精密制造技术来提高汽车的制造精度和质量，例如一些高档汽车零部件的制造，需要超精密制造技术的应用。
三、超精密制造技术的未来发展方向超精密制造技术的未来发展方向主要包括以下几个方面：1. 发展云制造云制造是一种基于云计算技术的制造模式，可以实现制造资源的共享和重复使用，从而提高超精密制造的效率和质量。
未来超精密制造技术将不断发展和完善云制造技术，推动制造业的数字化转型。
2. 提高适应性和灵活性未来超精密制造技术将不断提高设备的适应性和灵活性，使其能够适应不同领域、不同产品的制造需求。
同时，超精密制造技术也将向着多种加工方式、多种材料加工、多种尺寸的方向发展。
3. 推动工业4.0发展超精密制造技术是工业4.0的重要组成部分，未来超精密制造技术将继续推动工业4.0的发展，促进制造业实现数字化、智能化和网络化。
超精密加工技术研究现状及发展趋势
超精密加工技术研究现状及发展趋势*简金辉,焦 锋(河南理工大学机械与动力工程学院,河南焦作 454000)摘 要:超精密加工是多种技术综合的一种加工技术,是获得高形状精度、表面精度和表面完整性的必要手段。
根据当前国内外超精密加工技术的发展状况,对超精密切削、磨削、研磨以及超精密特种加工及复合加工技术进行综述,简单地对超精密加工的发展趋势进行预测。
关键词:加工精度;超精密加工技术;超精密特种加工;纳米技术;复合加工中图分类号:TH 161 文献标识码:A 文章编号:1006-4414(2009)01-0004-051 引 言通常按加工精度划分,可将机械加工分为一般加工、精密加工、超精密加工。
在不同的历史阶段,不同的科学技术发展水平下,对超精密加工有不同的定义,由于生产技术的不断发展,划分的界限不断变化。
过去的超精密加工对今天来说可能已经是普通加工了,所以对其划分的界限是相对的,而且在具体数值上至今没有确切的界限。
现阶段通常把被加工零件的尺寸精度和形位精度达到零点几微米,表面粗糙度优于百分之几微米的加工技术称为超精密加工技术[1],也可以理解为超精密加工就是在超精密机床设备上,利用零件与刀具之间产生的具有严格约束的相对运动,对材料进行微量切削,以获得极高形状精度和表面光洁度的加工过程,其精度从微米到亚微米,乃至纳米。
超精密加工技术是现代高技术战争的重要支撑技术,是现代高科技产业和科学技术的发展基础,是现代制造科学的发展方向[2]。
超精密加工技术综合应用了机械技术发展的新成果及现代光电技术、计算机技术、测量技术和传感技术等先进技术。
同时,作为现代高科技的基础技术和重要组成部分,它推动着现代机械、光学、半导体、传感技术、电子、测量技术以及材料科学的发展进步。
超精密加工在现代武器和一些尖端产品制造中具有举足轻重的地位,是其它一些加工方法无可替代的,它不仅可以应用于国防,而且可以广泛地应用于比较高端的民用产品中,是衡量一个国家科学技术发展水平的重要标志。
超精密加工技术的研究与应用
超精密加工技术的研究与应用随着科技的不断发展，超精密加工技术作为一项高精度、高效率的加工手段逐渐成为工业生产的重要组成部分。
它在如电子、光学、航空航天等领域都发挥着重要作用。
本文将从超精密加工技术的发展背景、研究进展以及应用前景三个方面进行探讨。
超精密加工技术的发展背景随着科学技术的进步，越来越多的工业产品对精度的要求也越来越高。
在传统加工技术中，存在着无法解决的问题，比如无法实现高精度制造、无法保证加工表面的质量等。
因此，超精密加工技术的发展应运而生。
超精密加工技术是一种利用化学、光学或物理能量来实现高精度的加工手段，可在微米、甚至纳米尺度上进行加工。
超精密加工技术的研究进展为了实现超精密加工技术的应用，研究人员们在材料、工艺以及装备方面做出了大量的努力。
在材料方面，钢铁等传统材料已经无法满足高精度加工的需求，因此，出现了一系列的新材料，比如超硬材料、复合材料等。
这些材料具有高硬度、高强度以及良好的耐磨性能，非常适合超精密加工。
在工艺方面，激光加工、电火花加工、离子束加工等技术得到了广泛应用。
以激光加工为例，它利用激光束对工件进行加工，可以实现高精度和无接触加工。
激光加工不仅可以用于切割、打孔等常见工艺，还可以用于微细加工，比如制造微型芯片、微型器件等。
在装备方面，随着科技的不断进步，出现了一批高精密加工设备，比如超精密机床、激光切割机等。
这些设备具有高速、高精度和高稳定性等特点，可以满足超精密加工的要求。
同时，协调控制、自适应控制等智能化技术的引入，也使得设备的加工效率和质量得到了显著提高。
超精密加工技术的应用前景超精密加工技术的应用前景非常广阔。
首先，在电子领域，超精密加工技术可以用于制造微型芯片、集成电路等，提高电子产品的性能和可靠性。
其次，在光学领域，超精密加工技术可以用于制造高精度的透镜、棱镜等光学元件，提高光学仪器的分辨率和精度。
此外，在航空航天领域，超精密加工技术可以用于制造高精度的零部件，提高航空器的飞行性能。
超精密制造技术的进展与发展趋势
超精密制造技术的进展与发展趋势超精密制造技术是一种在纳米级尺度下进行加工和制造的技术，其应用范围广泛，包括光学、半导体、生物医学、航空航天等领域。
近年来，随着技术的不断革新和研究的不断深入，超精密制造技术也在不断发展和进步。
本文将探讨超精密制造技术的进展和发展趋势。
I、进展在技术的不断进步下，超精密制造技术也逐渐实现了从研究到实际应用的转化。
以下是超精密制造技术的一些进展：1. 纳米级加工能力的提高现在的超精密制造技术已经可以实现在纳米级尺度下的加工和制造，其加工精度可以达到0.1微米至0.01微米，最小加工量可以达到纳米级别。
这种加工能力的提高使得超精密制造技术在各个领域都有广泛的应用，尤其是在半导体、光学和生物医学等领域。
2. 加工的复杂度不断提高近年来，超精密制造技术在加工的复杂度上也有了很大的提高，之前只能加工一些简单的几何形状，现在已经可以制造出非常复杂的零件和器件，如微机电系统、光学棱镜、光栅和纳米器件等。
3. 非接触式加工技术的发展传统的加工技术需要机械接触加工，但是这种加工方式会对加工材料造成划痕和损伤。
随着非接触式加工技术的发展，如激光加工和电子束加工，加工时不需要接触加工，可以避免对材料的损伤。
II、发展趋势超精密制造技术的发展趋势主要包括以下几个方面：1. 改善加工精度虽然目前超精密制造技术可以在纳米级尺度下进行加工和制造，但是仍然存在一些难以解决的问题，如加工误差、表面粗糙度等。
未来的发展方向应该是更进一步地提高加工精度，将加工误差降到最低，同时也要解决表面质量的问题，使得制造出的产品亮度更高，表面更光滑。
2. 降低加工成本目前超精密制造技术的加工成本较高，这限制了其在工业领域的应用。
未来的发展方向应该是降低加工成本，提高生产效率和效益。
这可以通过改进生产工艺和材料、降低超精密设备的制造成本等方面实现。
3. 开发新的加工材料超精密制造技术的加工材料对材料的要求非常高，要求材料的均匀性和纯度都非常高。
超精密数控加工技术研究进展
超精密数控加工技术研究进展摘要：文章介绍了超精密数控加工的概念，综述了超精密数控加工技术特别是超精密磨削、超精密切削和超精密抛光的发展。
探讨了数控超精密度控制改进方案。
关键词：超精密磨削；超精密切削；超精密抛光引言目前我国数控技术日益成熟，精度逐渐提高，可以说，超精密加工能力是一个出国家发展实力的综合体现。
目前来看，超精密加工技术属于科技发展的尖端技术，更是数控技术发展过程中的难点。
由此可见，探讨数控超精密加工十分必要。
1数控超精密加工概述数控超精密加工是现代工业发展的重点，更是技术的核心，综合体现了国家综合实力。
尤其在信息技术发展时代，机械工程与信息技术深度结合，推动了机械工程的自动化发展，为超精密加工进一步发展提供了新的技术支持。
数控超精密加工主要体现在两方面，分别是软件与硬件，目前我国精密加工硬件与软件发展水平都得到了持续提升，尤其在数控机床编程方面，借助自动化信息技术，其精确度大幅度提升，实现了编程合理化、精确化与自动化。
2超精密数控加工基础研究的发展超精密数控加工是指每个局部加工点的微变形或材料去除效果的结合。
当硬脆性材料（如陶瓷、单晶硅）表面用硬切削头开槽时，会出现脆性损伤和大量微裂纹。
将材料去除量控制到一定程度，就可以实现仅由塑料开槽造成延性损伤的材料去除过程。
虽然在数控加工过程中可以在韧性区域获得光滑的表面，但不能忽视位错、滑移等亚表面损伤。
如果材料去除率可以在分子上进一步控制，当材料去除过程在纳米级时，会出现细观物理现象，如小尺度效应和量子尺寸效应。
宏观切削理论不足以描述数控加工过程和细观现象，难以解释表面生成机理。
要进一步研究机械加工过程，必须运用分子动力学、量子力学和原子物理学等现代基础理论。
然后，建立纳米级材料去除模型，指导实际超精密车削过程。
分子动力学仿真可以设置不同的加工参数、材料属性和刀具几何形状，而不受加工设备和条件的限制。
因此，基于分子动力学模拟的切削机理研究近年来受到越来越多的关注。
超精密加工技术在机械制造中的应用研究
超精密加工技术在机械制造中的应用研究近年来，随着现代科技的不断进步，超精密加工技术在机械制造领域中得到了广泛的应用。
超精密加工技术是一种能够达到亚微米级别精度的加工方法，它通过对工件进行高度精确的加工和控制，为机械制造业带来了许多先进的解决方案。
超精密加工技术在机械制造中的应用有很多方面。
首先，它可以用于制造高精度的零件和组件。
传统的机械加工方法往往很难达到亚微米级别的精度要求，而超精密加工技术可以通过先进的机床和工艺控制系统，实现对零件加工过程的高度控制和自动化。
这一技术的应用不仅为机械制造业提供了更高精度和更稳定的产品，还使得机械设备的性能得到进一步的提升。
其次，超精密加工技术可以用于制造微纳米级别的器件和元件。
随着纳米技术的快速发展，对微纳米级别器件和元件的需求也越来越大。
超精密加工技术以其高度精确的切削和加工能力，为微纳米技术提供了重要的支持。
通过使用超精密加工技术，可以制造出尺寸精确、表面光滑度高的微纳米级别产品，如光学元件、光学模具和生物芯片等。
这些产品在光学通信、生物医学和纳米电子等领域的应用前景广阔。
此外，超精密加工技术还可以用于制造高精密度的刻蚀模具。
刻蚀技术是一种基于化学反应的加工方法，它通过对材料进行刻蚀或腐蚀，实现对材料表面形貌的加工和改变。
超精密加工技术能够制造出高精度的刻蚀模具，通过对模具进行光罩或掩膜的投影，再进行刻蚀加工，可以生产出高精度的微电子器件和微流控芯片。
这些器件和芯片广泛应用于电子信息、半导体和生物医疗等领域。
虽然超精密加工技术在机械制造中的应用前景广阔，但也面临一些挑战和困难。
首先，超精密加工技术对设备和工艺的要求非常高。
目前，超精密加工技术所需的高精度机床和控制系统价格昂贵，且稳定性和可靠性要求较高。
此外，超精密加工技术对操作人员的要求也相对较高，需要具备较强的专业知识和技能，以确保加工过程的准确性和稳定性。
其次，超精密加工技术在工艺过程中还存在一些技术难题。
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超精密微机械制造技术
研究进展
集团企业公司编码：（LL3698-KKI1269-TM2483-LUI12689-ITT289-
超精密微机械制造技术研究进展随着社会经济的不断发展，国防领域、微电子工业领域、生物工程以及太空机械领域也是步入了空前的发展阶段，对设备的的精密多维细微零件的要求也是日渐苛刻。
三维微小零件在结构、材料、尺寸和零件表面的特异性、多样性、高精度、高质感也是成为了三维细微零件和微型设备的装置最为标志性性的特征，在材料使用、功能鉴定、使用年限、可靠性等方面要求也是非常之高，笔者从超精密微机械制造技术的含义、国内研究成果、发展现状、动态对超精密生产技术进行整理和归纳，对超精密微机械制造技术做出大胆的未来趋势走向，为以后国家的超精密技术研究和生产提供一定的参考依据。
超精密微机械的主要发展时期还是集中于21世纪，微机械的不断进步在使得人们生活质量不断提高的同时它的迅猛发展将在21 世纪中后期促使所有工业领域产生一场革命性的变化。
超精密微机械又称作“三微制造技术”由微电子器件制造、微机电系统制造和微光电子器件制造三个领域构成，目前世界内的微型无人机、超速高空飞行器、四代机等均由三微技术在独立支撑，而且，微机电系统及微机电器件是机载设备发展的主要方向之一。
1. 超精密微机械制造技术的内涵和应用
1.1 内涵
超精密微机械制造（Micromanufacturing）系统是建立在以微小机械零件（以微米、纳米计）加工制造为研究对象的基础上，利用集成化、系统化的理论与技术，根据三维微小零件在结构、材料、尺寸和零件表面的特异性、多样性、高精度、高质感的要求进行有机的制造和组合优化，在较小的空间内完成整体机械的组装。
其目的就是实现“小机床加工小零件”的理念，是有别于MEMS 的微制造方法与技术。
美国WTEC（World Technology eva lua-tion Center）对其含义定义为：可加工各种不同材料（包括半导体材料以外的）、具高精度（10-3～10-5m）及微尺寸零件（10um～10mm）的3D 非光刻材料的加工；
日本东北大学厨川研究室定义为：最小尺寸在亚毫米级（Sub-mili），精度约在亚微米级（Sub-micron）微小零件的加工。
主要分为磨料加工、切削加工以及其它加工三大类；
欧盟4M研发组的定义则简单很多，定义为：指可制作各种不同材料的各种微细加工及成形制造。
1.2 应用
超精密微机械技术及其产品被广泛应用于医疗、航空、航天、电子领域、国防领域等方面；医疗领域主要包括有：血管担架和支架、生物智能芯片、血管微生物、微小型外科手术、器官机器人等方面；航天航空领域的应用主要有：卫星的小部件制造、微卫星的制造、微机械能量推进系统、激光陀螺等方面；电子领域则包括有：微机械马达、电子封存、微型装配和微型夹持等技术方面；国防军事领域主要有：隔空的弹药引信、微型导弹定为发射系统、光学元件、微星传感设备、微光防控系统等方面。
从木目前的发展现状上来看，微机电系统制造技术是发展微型飞机的核心技术，想要进一步发展微型机械的制造技术和微机械的发展更新，就必须发展航空微机电系统制造技术, 建立相应的研究开发基地, 逐步形成航空微机电制造产业。
2. 发展动态
2.1 国内外的研究成果
超精密微机械加工设备技术上日本也是一直处于世界的前言地位，在2004年和2010年FANUC 公司分别推出了ROBOnano超高精密微加工机床，这一机床具备了3D多维自由曲面加工生产的能力，从系统上解决了超高精密微切削加工技术上的难题。
这一技术的实现加之该机床独配的摩擦驱动蠕动系统、电机驱动凸轮主轴和完美刀架，使得仪器的蠕动型微滑台实现摩擦力驱动，并精准度定为在24nm，通过优化机械的驱动模
式，也实现了400 m/s 的平滑进给，虽然主轴的电机耗能只有1.5W,但转速却依旧保持10，000rpm及以上。
国内众多学者通过研究ROBOnano超高精密微加工机床，也是取得了一定的、卓见成效的成果。
哈尔滨工业大学精密工程研究所在2008年研究制造出小型超精密三轴联动数控铣床，其主轴转数远超国内的一般水准最高转数高达160，000rpm，同时，工作台位置精度达±0.5 um /75mm、回转精度达1um、刀具的最小直径更是达到了0.15mm。
北京理工大学研发的超精密微小型车铣加工机械实现了超微小部件的三维加工和高频群脉冲电加工技术，铣头主轴的最高转速可达到60000rpm，还可以四轴联动，重复定位方面的精度定为超过国际同类水平。
长春理工大学通过细切削加工与微磨擦磨损机理不断的研究和努力，在2009年成功研制了微机械小部件微小切削功能的微摩擦磨损测试仪，主轴的最改好转速达到了6000rpm、进给精度达到±1 um、回转精度也是达到了世界水准±2u m。
与此同时，北京航空精密机械研究所、清华大学机械制造研究所、西北工业大学与香港城市大学也是在超精密微机械领域上下足了功夫，并取得一定的成果。
2.2 微切削基础理论
随着微机械的不断发展，切削加工方法加工介观尺度零件的工艺技术越来越受到广大学者的追捧和焦点；所以，如何深入研究微切削过程弄
清切屑形成机理、如何理解和剖析切屑形成的非线性动态过程等关键问题也是被广泛的提出，故而最小切削极限的概念也是应运而生。
最小切削极限的概念是指：切深或进给必须超过某一临界值，才能形成切屑，研究者们通过有限元法分析或利用切削实验来估计，然后利用有限元分析正交切削中刀具钝圆半径的影响。
3. 发展趋势
我国在超精密微机械制造基础理论、集成技术、加工技术、系统理论等方面与日本、美国等强国之间存在着一定的差距，还有很多需要去凾待研究解决的问题和矛盾，特别是在除去医药、防控、航天等方面外更加贴切实际的实用化微机械系统的设计和相关技术。
微机械的研究还应该投入更多的精力和资金，为最大程度的实现微机械的发展和进步做好雄厚的实力基础，笔者认为中国以后的微机械发展重点会慢慢转移到以下方面：微切削加工技术经济性和可靠性评价、微切削机理、微切削应用技术、微切削工艺研究、实用化微制造系统的设计原理方法与相关应用技术研究。
4. 结语
MEMS生产制造技术是近几年来被广泛关注的新兴科学，被广泛的营运与国家安全、国家交流和时代进步当中去，我们要清楚的认识到，因为
个国家之间的起步时间相差不大，所以在为我们打开国内外市场、加强国内外微机械制造知识的交流提供了良好的机遇。
超精密微机械的专用型非常强，固有的操作系统很长时间都可能不会产生变更，但是社会人士更加关注的是微机械的成品更多的应用于实际的生活当中。
技术是人类不断进步的结晶，我们要充分利用国内的优势, 在质量、性能、价格、维修等方面下功夫, 迅速占领国内市场, 并可能利用价格的优势打入国际市场。
相信在微机械的不断进步下，人类文明将掀开一片更加广阔的天空，中国的综合实力也会更加强劲一分。