特纯气体管道施工组织设计

西安微电子技术研究所长安园区

高纯气体管道施工工艺标准

拟稿单位：西安天建装饰工程有限公司编制：赵刚

审核：王睿

二O一四年七月二十日

目录

1、总则----------------------------------------------------------------------------------1

2、高纯气体的三个主要参数-------------------------------------------------------1

3、管道材料选择----------------------------------------------------------------------2

4、施工程序----------------------------------------------------------------------------4

5、图纸会审----------------------------------------------------------------------------5

6、工程测定----------------------------------------------------------------------------5

7、绘制管段图-------------------------------------------------------------------------5

8、设置预制洁净房-------------------------------------------------------------------6

9、材料检查确认----------------------------------------------------------------------6

10、保护气体的供给和管理---------------------------------------------------------9

11、管段预制--------------------------------------------------------------------------11

12、现场配管施工--------------------------------------------------------------------13

13、压力试验--------------------------------------------------------------------------19

14、系统吹扫--------------------------------------------------------------------------20

15、系统测试--------------------------------------------------------------------------21 附录1 露点、含湿量、绝对湿度换算表---------------------------------------24 附录2 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级------------------------26 附录3 EP/BA管自动氩弧焊接钨棒尺寸表------------------------------------27

1.总则

1.1本标准适用于洁净厂房高纯气体管道配管施工。

1.2气体管道的干管，应敷设在上下技术夹层或技术夹道内，当与水、电管线共架时应设在其上部。

1.3当采用碳素钢支吊架、碳素钢管卡时必须是镀锌件，且不锈钢管道与其接触处应采用不产尘的非金属材料隔离。

1.4高纯气体管道的设计应符合下列要求：

a. 按气体流量、压力或生产工艺需要确定管径，气体管道最小管径不小于φ6×1mm；

b. 管道系统应尽量短；

c. 不应出现不易吹除的盲管、死角；

d. 管道系统应设必要的吹除口和测试取样口。

1.5气体管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施，并用装饰板封堵。

1.6可燃气体和氧气管道的末端或最高点应设放散管。放散管引至室外应高出屋脊1米，并应有防雨、防杂物侵入的措施。可燃气体和氧气管道还应符合《洁净厂房设计规范》8.4安全技术措施的有关要求。

1.7高纯气体终端过滤器应设在靠近用气点处。

2.高纯气体的三个主要参数

所谓高纯气体管道的洁净技术控制，主要是指气体纯度、干燥度、洁净度的控制（即三度控制）。

2.1气体纯度指气体中杂质气氛的含量，通常用气体纯度的百分数表示，如99.9999%（俗称6个9），也可用杂质气氛含量的体积比ppm、ppb表示。

洁净厂房高纯气体管道系统建成的各个环节必须做到上流的合格气体流经厂房管道系统到达用气点的气体纯度仍能满足工艺对用气纯度的要求。

2.2干燥度气体中微量水分的含量，通常以露点表示，如露点-70℃，或以含湿量ppm表示，如含湿量2.584ppm。（两者的转换见附录1）

2.3洁净度指气体中含有污染物粒子的数量，粒径为μm的粒子的个数，pc/m3。高纯气体管道通常使用在洁净的生产环境当中，对应的洁净环境等级，在《洁净厂房设计规范GB50073-2001》中，直接采用国际标准ISO14644-1（详见附录2）

对高纯气体洁净度的控制，当设计未加特别注明时，施工中对洁净度的控制应与使用空间的洁净度等级保持一致，严防气体中的污染物粒子超过规定值，而造成管路系统或洁净生产空间的污染。

洁净厂房高纯气体管道的设计、施工管理，不同于一般工业气体管道，任何一个环节稍有失控，就可能影响输送气体的质量，从而导至无法生产出合格的产品。

3.管道材料选择

将高纯洁净气体输送到各用气点而不被污染，在很大程度上受管路诸多因素的影响，其中管材的选择显得十分重要。

3.1用于输送高纯气体的管道应具备以下性能

a. 管材的透气性要小；

b. 管材内表面吸附解吸气体的作用要小；

c. 内壁光滑、耐磨损；

d. 有良好的抗腐蚀性能；