超声波清洗机工作原理及使用ppt课件
《elma超声波清洗机》PPT课件
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实物图
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实物图-铭牌照片
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北京汉达森总部在德国汉堡，是一家专门从事欧洲 工业品代购的公司，主要产品有：泵、电机、阀门、 开关、弹簧、联轴器、传感器、过滤器、滤芯、编 码器、减速机、继电器、控制器、拖链、报警器、 电缆、缓冲器、分配器等等，只要您提供具体的品 牌和型号，我们就能帮您询价，订货，运输，报关， 售后，欢迎您的询价
导者。 超声波和蒸汽清洗设备，模块化和客
户专用的清洗系统以及自主研发和生产的清
洗化学品的产品范围广泛，Elma服务于广泛
的行业和市场。
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Elma的应用
• Elma技术被广泛应用于：钟表业，珠宝业， 医生，牙医和医院的卫生领域，以及航空， 工具制造或光学等各个工业领域。
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医疗行业
• Elmasonic XL
• X-tra line Flex 1
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S系列
Elmasonic S系列包括16种尺寸（0.5至90升容量） 和微处理器控制功能（如扫描和脱气）。 同样， 温度和清洁时间可以手动选择并通过LED显示器 读取。
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P系列
该产品线包括6个单 元尺寸和37/80 kHz多 频率技术，适用于各 种应用。 标准的应用 程序发生在37千赫， 而在80千赫的高频率 更精细的清洁过程， 更长的清洁时间发生。 高频也几乎听不见 （即使盖子打开）。 扫描，脉冲和脱气等 特殊功能可单独切换 并完成设备。
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产品参数
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北京汉达森欢迎您的询价，请联系郜赛楠： 188*3711*3073，秋秋：2853*369*883*
超声波清洗简介ppt课件
交互性的高频变换方式向液体进行透射。在减压力作用时，液体中产
生真空核群泡的现象，在压缩力作用时，真空核群泡受压力压碎时产 生强大的冲击力，由此剥离被清洗物表面的污垢，从而达到精密洗净
目的。
1.超声波清洗原理
直进流作用：超声波在液体中沿声的传播方向产生流动的现象称为
直进流。声波强度在0.5W/cm2时，肉眼能看到直进流，垂直于 振动面产生流动，流速约为10cm/s。通过此直进流使被清洗物表
► ►
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清洗介质： 采用超声波清洗，一般有两类清洗剂即化学溶剂和水基清洗剂。清洗介 质的化学作用可以加速超声波清洗效果，超声波清洗是物理作用，两种 作用相结合，以对物件进行充分、彻底的清洗。 功率密度： 超声波的功率密度越高，空化效果越强，速度越快，清洗效果越好，但 对于精密的表面光洁度甚高的物件，采用长时间的高功率密度清洗会对 物件表面产生空化、腐蚀。 超声波频率： 超声波频率越低，在液体中产生的空化越容易，产生的力度大，作用也 越强，适用于工件粗、脏、初洗，频率高则超声波方向性强，适合于精 细的物件清洗。 清洗温度： 一般来说，超声波在 30℃～40℃时的空化效果最好，清洗剂则温度越 高，作用越显著，通常实际应用超声波清洗时，采用 40℃～60℃的工作 温度
► (4)清洗剂也溶解了污垢，产生乳化分散的化学力。
► 超声清洗的主要原理是超声空化作用，要获得良好的清洗效果，合理选择清 洗槽中声场的声学参数和清洗液的物理化学性质是十分重要的。
2018/10/22
广东金鼎光学机械有限公司
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既然空化是主要的，那么如何产生空化呢?一般来说，空化不仅由介质特 性决定，而且也与声场有关。空化阂的高低受到许多因素制约，主要有 如下几个因素： (1)空化阂与工作频率fa有关。频率越高，空化阂值越高，产生空化越难。 气泡在声场的作用下将进行振动，但不一定发生崩溃(破灭)，只有当声波的频 率低于气泡的谐振频率时才可能使气泡破灭，而当声波的频率高 于气泡的谐振频率时，气泡只进行复杂的振动，一般不发生气泡破灭。
清洗机原理及设备结构介绍PPT课件
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清洗工艺流程
WDT：预湿机 CLE1：输入传送带 CLE2：盘刷清洗 CLE3：超声波清洗 CLE4：二流体清洗1 CLE5：滚刷清洗 CLE6：二流体清洗2 CLE7：最终喷淋 CLE8：风刀干燥 CLE9：输出传送带
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WDT预湿机
生共振效果
玻璃基板干燥
除去表面液体
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清洗能动性能指标
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用水要求：①18MΩ（电导率）超纯水； ②TOC（有机碳总和）：
100PPb （十亿分之一）； ③SiO2：50PPb。
CDA：①温度：25+5℃， ②露点：-50℃不凝水， ③Particle：0.3um，30ea/cm2。
纯水循环利用：
最终喷淋 最终喷淋
二流体二 二流体二
滚刷 滚刷回水回水
二流体一 二流体一回水
输入传送带 输入传送带回水
预湿机
超声波 剂补给箱
水箱供给盘刷 超声波 盘刷各有一个清洗
水箱液位计：最高报警位、停止补水位、低位补水位、最低报警位
。
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抽雾系统示意图
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压差表 过滤器
阀门
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超声波传送带示意图
超声波 水槽
. 2019/12/31
注：水槽内有两 个液位器，以保 证水的液面超过 玻璃的表面，玻 璃浸泡在水中清 洗B面。
由超声波发生器发出的高频振荡信号，通过换能器转换成高频机械振荡而传播到介 质—清洗溶剂中，超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射，使液体流动而产生数以万 计的直径为50μm-500μm的微小气泡，这些气泡在超声波纵向传播的负压区形成、 生长，而在正压区迅速闭合，在这种被称续不断产生瞬间高压就像一连串小 “爆炸”不断地冲击物体表面，使物体的表面及缝隙中的污垢迅速剥落，从而达到物 件表面净化的目的。
超声波清洗机超音波清洗机ppt课件
三、超声波清洗装置
• 超声波清洗装置主要由超声波换能器、清洗槽及发生器三部分组成。 此外有的还附有清洗液循环装置（如泵、过滤器、加热器等）以及制 件的传送装置。 • 超声波换能器是超声波清洗装置的关键组成部分、其作用是将电气振 荡转换成弹性机械振动（超声振动）。常用的换能器由其工作原理而 言有磁致伸缩式换能器和压电式换能器两种。从工作频率来分有高频 换能器（一般工作在几百KHz）和低频换能器（一般工作在几十 KHz）。为了取得高的转换率，换能器均工作在其固有共振频率。 • 超声波清洗槽类似一个容器，内盛有清洗液及被洗制件。一般情况下， 换能器直接连接（粘接或焊接）在清洗槽的底部，将清洗槽作为超声 振动辐射板。为了是其有较好的耐腐蚀性，耐疲劳性和导声性能，清 洗槽或超声振动辐射板常用不锈钢制成。 • 超声波清洗装置空化强度的估计可采用铝箔法---测定铝箔的空化腐蚀； 化学法---用氯离子的释放；以及空化计法-比较
由于超声波的空化作用，其清洗效果远远优于其它传统清洗手段， 所能达到的清洗效果。在以往的传统清洗手段中费时又费工，清洁度 很难达到要求，因此产品质量上不去，严重地影响了企业的生产发展。 在当今社会高科技发展潮流中，各行各业竞争相当激烈。企业要能立 足于当今社会，那么产品质量一定要过硬，高品质的产品是离不开高 清洁度的零部件的。以往的传统清洗手段已无法适应于高清洁度的零 部件清洗需要。在七十年代中期，国内的超声波清洗机终于问世。它 的发展也经历了电子管式、闸管式、晶体管式、及VMOS管式等几个阶 段。电子管式超声波清洗机由于管子自身的弱点，已很少生产。目前 国内外生产的超声波清洗机多为晶闸管式，由于受到器件本身特性的 限制，这类清洗机多为2KW以下，工作频率也较低，约为20KHz而且其 效率仅达到80%左右，故障率也较高。晶体管及VM05管式超声波清洗 机由于受管子容量的限制，只适用于小功率的超声波清洗，且控制电 路也比较复杂。雷士超声波设备厂从事研制超声波清洗设备已有多年 的历史，从国外引进先进技术，采用进口元器件及原材料配套，率先 研制出系列电路频率自动跟踪的超高频、高功率、性能稳定的超声波 清洗机。该机体积小、重量轻，操作简便，效率可达90%以上，功率 因数达到0.95以上，从而满足了广大用户特定的情洗要求。
超声波清洗器的工作原理及使用【详细版】
超声波清洗应用原理及正确使用超声波设备超声波清洗的应用原理超声波清洗的应用原理是由超声波发生器发出的高频振荡信号，通过换能器转换成高频机械振荡而传播到介质，清洗溶剂中超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射，使液体流动而产生数以万计的微小气泡，存在于液体中的微小气泡（空化核）在声场的作用下振动，当声压达到一定值时，气泡迅速增长，然后突然闭合，在气泡闭合时产生冲击波，在其周围产生上千个大气压力，数百度的高温，利用闭合时的爆炸冲击波破坏不溶性污物而使它们分散于清洗液中，当团体粒子被油污裹着而粘附在清洗件表面时，油被乳化，固体粒子即脱离，从而达到清洗件表面净化的目的。
由于超声波固有的穿透力，所以可以清洗各种表面复杂，形状特异的物件，对小孔和缝隙都有很好的清洗效果，对不吸音或吸音系数小的物体清洗效果最佳。
正确使用超声波设备1、了解超声波用超声波可以分为三种，即次声波、声波、超声波。
次声波的频率为20Hz以下；声波的频率为20Hz~20kHz；超声波的频率则为20kHz以上。
其中的次声波和超声波一般人耳是听不到的。
超声波由于频率高、波长短，因而传播的方向性好、穿透能力强，这也就是为什么设计制作超声波清洗机的原因。
2、超声波如何完成清洗工作超声波清洗是利用超声波在液体中的社会化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用，使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的。
目前所用的超声波清洗机中，空化作用和直进流作用应用得更多。
（1）空化作用：空化作用就是超声波以每秒两万次以上的压缩力和减压力交互性的高频变换方式向液体进行透射。
在减压力作用时，液体中产生真空核群泡的现象，在压缩力作用时，真空核群泡受压力压碎时产生强大的冲击力，由此剥离被清洗物表面的污垢，从而达到精密洗净目的。
（2）直进流作用：超声波在液体中沿声的传播方向产生流动的现象称为直进流。
声波强度在0.5W/cm2时，肉眼能看到直进流，垂直于振动面产生流动，流速约为10cm/s。
超声波清洗机的原理和使用
超聲波清洗機的原理和使用一、 概述目前，國外技術先進的發達國家把超聲波清洗技術已應用到了各個領域及各個行業，這都是因為超聲波清洗具有速度快、效率高，對環境污染小等諸多的特點。
而我國現在也正在逐步推廣超聲波清洗這一革命化的技術。
部隊作為一個全國性的特殊機構，超聲波清洗幾乎可以應用到部隊裏的每一個領域，用來取代原有的原始化、繁雜化的清洗過程。
作為現代戰爭條件下軍事裝備、軍事設施的維護需要，超聲波清洗機必將成為部隊不可或缺的一種裝備。
二、超聲波清洗技術在部隊裏的應用部隊作為國防領域中的軍事力量，經常會在環境條件較差的地帶進行軍事訓練、演習，在這過程中，一些裝備免不了被塵埃、污垢的吸附和污染，設備的維護上肯定離不開清洗工作；而庫房中的裝備也需定期清洗保養，這同樣也能發揮超聲波清洗這一無可比擬的方式。
具體超聲清洗所涉及的應用範圍大致讓可分為以下幾個方面：1、各種電子設備：電子設備長時間使用或野外訓練使用後，很容易在集成塊的連腳間、元器件出腳間和印製電路板上吸附塵埃，而一些接插連件上，也容易被油污、塵埃污染，或是形成一層氧化膜。
這些情況對電子設備的正常使用肯定會留下較大的隱性故障，而導致電子設備的損壞。
超聲波清洗機則可簡潔、方便地清洗掉這些污染，以保證設備的完好使用。
2、兵器裝備：兵器裝備容易受到塵埃、油脂、油垢、研磨粉、鏽、氧化膜的污染，用人工清洗勞動強度大、時間長，而採用超聲清洗就可以很好解決以上問題。
3、機械設備：機械設備的範圍很廣，如汽車、裝甲車、坦克、飛機、艦船上所用的傳動設備以及各種類型的零部件等，這些設備或是零部件上如果被塵垢、油脂、油垢、研磨粉、鏽、氧化膜所污染，光靠手工清洗肯定不可能清洗乾淨，而超聲波清洗可以說是無孔不入，可以把每一個微小的孔、縫隙都能徹底清洗乾淨。
4、各種加工件的表面去汙處理。
5、醫用器具的清洗，藥劑的均勻混合。
6、廚房設備的清洗。
三、超聲波清洗機的原理1、什麼是超聲波：波可以分為三種，即次聲波、聲波、超聲波。
《elma超声波清洗机》课件
ELMA超声波清洗机的安装与调试
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安装环境
选择平整、干燥、通风良 好的地面或台面，确保电 源插座符合安全标准。
安装步骤
按照说明书逐步安装各部 件，确保稳固、安全。
调试步骤
检查电源是否正常，调整 清洗槽水位至合适位置， 开启电源，检查设备运行 是否正常。
ELMA超声波清洗机的操作步骤
清洗前准备
通过超声波的高频振动，有效去除各种顽固 污渍，提高清洁度。
延长使用寿命
能够彻底清洗精密部件，延长其使用寿命。
节省时间
与传统的手工清洗相比，ELMA超声波清洗 机大大提高了清洗效率，节省了大量时间。
安全可靠
在清洗过程中不会对物品造成损伤，安全可 靠。
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CATALOGUE
ELMA超声波清洗机使用方法
这种冲击力能够将物品表面的污垢、油渍等清洗干净，达到高效的清洗效果。
超声波清洗机的应用领域
电子行业
用于清洗电路板、电子元件等 ，去除松香、焊剂等残留物。
医疗行业
用于清洗手术器械、牙科工具 等，确保医疗器械的清洁卫生 。
机械行业
用于清洗各种机械零件、金属 制品等，去除油污、锈迹等。
光学行业
用于清洗各种光学镜头、眼镜 等，去除污垢、油脂等。
总结词：清洗效果不佳可能是由 于清洗液选择不当、清洗时间过 短或设备功率不足等原因引起的 。
根据清洗物品的材质和污渍程度 选择合适的清洗液。
检查设备功率是否调整至合适档 位，确保足够的清洗力度。
问题三
总结词
遇到故障时，应先了解故障现象，然后根据具体情况进行排查和处理。
了解故障现象
首先需要了解设备出现了什么问题，是否有异常声音、气味或指示灯等。
超声波清洗机设备结构,工作原理
超声波清洗机设备结构,工作原理1根据原理16：振动所设计得超声波清洗设备标准超声波清洗清洗原理：超声波清洗机就是通过超声波发生器将高于20KＨｚ频率得有震荡信号进行电功率放大后经超声波换能器(震头)得逆压电效应转换成高频机械振动能量通过清洗介质中得声辐射，使清洗液分子振动并产生无数微小气泡。
气泡沿超声传播方向在负压区形成、生长，并在正压区迅速闭合而产生上千个大气压得瞬间高压而爆破，形成无数微观高压冲击波作用于被清洗工件表面。
此即超声波清洗中得“空化效应”.超声波清洗机就就是基于“空化效应"得基本原理工作得，也因此,超声清洗对具有内外结构复杂、微观不平表面、狭缝、小孔、拐角、死角、元件密集等特点得工件均具有卓越得洗净能力，就是其她清洗方法无可比拟得。
随着超声频率得提高,气泡数量增加而爆破冲击力减弱，设备因此，高频超声特别适用於小颗粒污垢得清洗而不破环其工件表面.２设备由三部分组成：超声波发生器(又称超声波电源）、换能器及其它得辅助系统。
超声波发生器将工频电转变成 28ＫHZ以上得高频电信号，通过电缆输送到换能器上.一般超声波换能器就是固定在清洗槽得底板上,清洗槽内装满了液体，当换能器被加上高频电压后，它得压电陶瓷元件在电场作用下便产生纵向振动.ﻫﻫ超声波换能器(又称声头）就是一种高效率得换能元件，能将电能转换成强有力得超声波振动,在产生超声波振动时,仿佛就是一个小得活塞,振幅很小,约只有几微米.但这个振动加速度很大(几十至几千个）；槽上具有许多个换能器,施加相同得频率及相位得电能时，就合成了一个巨大得活塞进行往复振动，这种振动得现象，就就是平时我们所说得超声波.以下就是超声波得组成部分说明（１)换能器：采用特种锆酸钛酸铅PZT压电陶瓷片组成得三明治式得振动头具有效率高、寿命长、不易发生故障得优点。
换能器采用特种耐高温、耐振动、高粘度得树脂胶辅以特殊得方法加以固定绝不脱落，且可耐受１０0℃1５0℃得高温(２)超声波发生器(电源）：采用功率ＭOS管超声波发生器,电路先进，结构完整，辅以灵敏可靠得集成控制系统，保证了超声波清洗机在各种负载下稳定工作。
超声波清洗原理说明PPT课件
出口
2019/10/21
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超音波工作原理介绍
2019/10/21
绑定制程介绍
Loader
Laser Shorting Cut
Edge Cleaner
OLB Pre-Bond
OLB Main Bond
AOI
Dispenser
PCB Main Bond
PCBI
2019/10/r流程展开
V
V
超声波发生器
真空腔
V
真空腔
压力腔
压力腔
U
超声波发生器
U
超声波发生器
2019/10/21
基板移动方向
(VUV型)
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基板移动方向
(UVU型)
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超声波发生器内部结构
清洗头内的超声波是通过洁净空气高速流动产生的：
高速流动 的空气
入口
进入超声 波发生器
气体膨 胀压缩
气体出口出 迅速膨胀
形成超 声波
特点：
Mark识别 超声波 不织布 plasma
搬送至下游
酒精
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超声波清洗目的
目的及作用：清洁玻璃上particle，避免对EC单元后的制程造成影响。
超声波 particle
2019/10/21
CF TFT
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上偏光板 &上偏光 板保护膜
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超声波清洗系统工作流程
工作示意图：
转 换 器
控制操作 箱
超声波清洗机工作原理及使用
注意事项
6.考虑到设备持续运行时无人看管, 系统软件 将清洗时间设定为定时和不定时两种。定时 一般为3小时左右, 系统会自动停机。只要 重新启动超声即可。
滤芯清洗操作步骤
3.将振动子移动到水平位置一侧。 4.关闭电源, 全部系统停止供电。 5.关闭进水阀, 停止供水。打开出水阀, 放掉
水槽中清洗用水。
注意事项
1.振动子的主要部件是压电器件，工作时两 端电压峰-峰值超过1700V，绝不允许有 水滴进。否则，容易造成高压拉弧，陶瓷 片炸裂。（注意: 跟换工件时，若手上有 水，此时用手去扳动振动子外壳时，不要 使水从上面通风孔内进入）。
超声波清洗机的原理
2.超声波如何完成清洗工作？
超声波清洗是利用超声波在液体中的空 化作
用、加速度作用及直进流作用对液体和 污物
直接、间接的作用，使污物层被分散、 乳化、
剥离而达到清洗目的。目前所用的超声 波清
超声波结构图
编号 名称 主要功能 储存清洗介质；
1 清洗槽 安放振动子、工 件和机械传动装 置
将15.0±0.5 2 振动子 kHz电能转换
为声能
包含操作控制面 3 控制柜 板，发生器，连
接线接头
振动子结构及工作原理
1.振动子: 夹心式振子+变幅杆 2.聚能器
工作原理: 将高频电信号转化为高频振 动，耦合到水介质中产生超 声波。
滤芯清洗操作步骤
一、准备开机
1.将滤芯直接放在支架上, 根据滤芯的位 置, 调整限位开关位置, 使振动子行程 正好满足清洗要求。
超声波清洗机工作原理
超声波清洗机工作原理
超声波清洗机是一种利用超声波作用来清洗物体的设备。
其工作原理主要包括超声波发生器、超声波发射器、水槽和清洗液四部分。
首先，超声波发生器会产生高频的电信号。
这些电信号会被超声波发射器接收，并将其转换成超声波振动。
超声波波长通常为20kHz到100kHz。
这些超声波振动会传播到水槽中。
其次，在水槽中，超声波振动会引起水分子的高频振动。
这些振动会形成微小的气泡，称为空化现象。
这些空化现象会在液体中产生剧烈的液体流动，称为空化流。
空化流的瞬间形成和破裂会产生剧烈的冲击力和局部的高温和高压，从而有效地清洗物体表面和微小孔隙。
最后，物体被放入水槽中，超声波的振动从水槽底部向上传播，通过空化流的作用产生剧烈的液体流动和冲击力。
这些力量会彻底清洗物体表面的污垢和沉积物，包括难以清洗的细小缝隙。
总之，超声波清洗机通过超声波的振动和空化流的作用，利用液体的流动和冲击力来清洗物体表面和微小孔隙，从而达到彻底清洁的效果。
清洗机培训ppt课件
清洗专用水和药剂浓度
清洗机有两个水池，加入去离 子水。（去离子水在加热时不 会产生水垢）
1#池容积约600L, 加入药剂198# 约12L,和药剂086#3L. 2#池不加药剂。 清洗产品时需要将两个水池的 水温升高到65度。
清洗流程图
清洗仓放入待 洗产品 清洗仓内加入 1#池水
关好仓门
编辑新程序
• 选择空程序比如 program1 • 按 编辑键 • 输入高等级密码后显示 右图画面。 • 输入程序名称，选择用 哪个溶液箱的水，方法， 时间，压力运动方式等。 • 再按“下一步”，按 “ok”。
清洗方法或功能
• 冲洗功能主要是快速加水，不
排水。
• 喷射功能是小水柱从细孔内喷 出，同时在排水。 • 超声波是在仓内加水之后才能 开，作用是使油，固体颗粒从 产品表面脱离。 • 烘干就是用热风吹干。
清洗仓内加入 2#池水冲洗
排水回1#水池
开启超声波
喷射功能
烘干
超声波清洗机原理
对超声波清洗机原理由超声波发生器发 出的高频振荡信号，通过换能器转换成 高频机械振荡而传播到介质－－清洗溶 剂中，超声波在清洗液中疏密相间的向 前辐射，使液体流动而产生数以万计的 直径为50-500μm 的微小气泡，存在于液 体中的微小气泡在声场的作用下振动。 这些气泡在超声波纵向传播的负压区形 成、生长，而在正压区，当声压达到一 定值时，气泡迅速增大，然后突然闭合。 并在气泡闭合时产生冲击波，在其周围 产生上千个大气压，破坏不溶性污物而 使他们分散于清洗液中，当团体粒子被 油污裹着而黏附在清洗件表面时，油被 乳化，固体粒子及脱离，从而达到清洗 件净化的目的。在这种被称之为 从而达到物件表面清洗净化的目的。
人机界面的密码保护
超声波清洗机的原理和使用
超声波清洗机的原理和使用一、超声波清洗机的原理1、什么是超声波：波可以分为三种，即次声波、声波、超声波。
次声波的频率为２０Ｈｚ以下；声波的频率为２０Hz～２０ｋHz；超声波的频率则为２０ｋＨｚ以上。
其中的次声波和超声波一般人耳是听不到的。
超声波由于频率高、波长短，因而传播的方向性好、穿透能力强，这也就是为什么设计制作超声波清洗机的原因。
2、超声波如何完成清洗工作由超声波发生器发出的高频振荡信号，通过换能器转换成高频机械振荡而传播到介质--清洗溶剂中，超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射，使液体流动而产生数以万计的微小气泡。
这些气泡在超声波纵向传播的负压区形成、生长，而在正压区迅速闭合。
在这种被称之为“空化”效应的过程中，气泡闭合可形成超过1000 个气压的瞬间高压，连续不断地产生瞬间高压就象一连串小“爆炸”不断地冲击物件表面，使物件的表面及缝隙中的污垢迅速剥落，从而达到物件表面净化的目的。
在中间是一层一定厚度的不锈钢板，换能头沾结在这一层钢板下，通过超声发生源产生一定频率和电压的交流电信号带动换能头和不锈钢板一起做高频震动，当钢板向上震动时，将水向上推开，当钢板向下震动时，水跟不上钢板的震动速度，在水和钢板之间会形成一个空隙，这样反复震动就会有许多的气泡形成，如图所示：这种气泡就是由“空化效应”产生的，我们称之为空化泡。
空化泡顺着震动方向向水中传播，如果水中正好有工件，空化泡撞击到工件表面产生数千个大气压的撞击力，带动工件表面的污垢脱落。
超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用，使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的。
目前所用的超声波清洗机中，空化作用和直进流作用应用得更多。
● 空化作用：空化作用就是超声波以每秒两万次以上的压缩力和减压力交互性的高频变换方式向液体进行透射。
在减压力作用时，液体中产生真空核群泡的现象，在压缩力作用时，真空核群泡受压力压碎时产生强大的冲击力，由此剥离被清洗物表面的污垢，从而达到精密洗净目的。
超声波清洗原理说明PPT课件
Mark识别 超声波 不织布 plasma
搬送至下游
酒精
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2
超声波清洗目的
目的及作用：清洁玻璃上particle，避免对EC单元后的制程造成影响。
超声波 particle
2019/10/21
CF TFT
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上偏光板 &上偏光 板保护膜
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超声波清洗系统工作流程
工作示意图：
转 换 器
控制操作 箱
马达 风机
过滤器故 障检测器
尘粒过滤器
过滤器故 障检测器
空气过滤器
清洗头
马达 风机 空气过滤器
负压
正压
清洗头内 真空腔
尘埃过滤器
清洗头内超 声波压力腔
超声波
particle
2019/10/21
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超声波清洗头
原理：由喷嘴产生的超声波清除尘粒，将被吸附在panel上的微粒分 离出来最后吸至真空腔。
U
压力腔
真空腔VΒιβλιοθήκη V超声波发生器真空腔
V
真空腔
压力腔
压力腔
U
超声波发生器
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超声波发生器
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基板移动方向
(VUV型)
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基板移动方向
(UVU型)
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超声波发生器内部结构
清洗头内的超声波是通过洁净空气高速流动产生的：
高速流动 的空气
入口
进入超声 波发生器
气体膨 胀压缩
气体出口出 迅速膨胀
形成超 声波
特点：
1.结构简单易于维护； 2.超声波性能几乎永不衰减； 3.非接触式清洗，避免清洗工件划伤或损坏； 4.UVU型能去除99%的1.6um及以上的尘粒； VUV型能去除99%的3.0um及以上的尘粒；
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日常维护和保养
下来，磨去0.2~0.5mm再装上使用（这时共 振频率将会提高）。一般性磨4~5次后，即磨 去1mm左右为最后极限。当修磨到极限后发 现使用效果不佳时，为了保证清洗效果，此 时应更换新聚能器。
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日常维护和保养
修磨聚能器说明： 修磨聚能器前先记下工作频率，如正常工作时 超声波显示器会显示14.85KHz左右。此时如进 行修磨要先进行计算一下。当聚能器的高度缩 短0.01mm，此时工作频率会比修磨前的频率上
振动子位置调整好后，用手柄锁紧，防止意 外下滑，碰到工件。 5.振动子辐射面入水不能太多，以10mm~ 15mm为宜，如果水进入聚能器六条槽内， 会使电流突然上升，造成系统保护停机。
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注意事项
6.考虑到设备持续运行时无人看管，系统软件 将清洗时间设定为定时和不定时两种。定时 一般为3小时左右，系统会自动停机。只要 重新启动超声即可。
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注意事项
2.不得无水操作或将振头无故提出水面。虽 然系统有保护装置，但这样做易损坏振动 子。
3.不准向聚能器和振动子接合部位泼水（防 止接合部连接螺丝缝隙进水，受超声作用 发生腐蚀，引起螺丝松动或折断）。
4.聚能器不要调整过低，否则会碰到工件， 使系统电流突然过大，系统自动保护关机。
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注意事项
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日常维护和保养
升1KHz至1.5KHz之间，因为超声波清洗系统 已把起始频率设定为15.000KHz，所以当工作 频率超过起始频率时，超声波清洗机系统就 会保护，使超声波清洗机不能工作。 注：聚能器的修磨一般性采用磨床进行加工。
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超声波发生器是大功率电子设备，平时要 注意保养，工作环境要保持清洁干燥。定 期检查器件接触和相关插头的连接情况。
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日常维护和保养
四、聚能器的修磨及更换
聚能器又名振头，振头的材质是钛合金材质， 一般聚能器的实际使用寿命不低于2500小时。 当聚能器辐射面出现大量Φ0.5mm左右的小孔 时，超声波清洗效率开始下降，应将聚能器拆
超声波清洗机的工作原理及使用
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超声波清洗机的原理
1.什么是超声波？
波可以分为三种，即次声波、声波、超声波。 次声波的频率为20Hz以下；声波的频率为 20Hz~20KHz；超声波的频率则为20KHz以上。 其中的次声波和超声波一般人耳是听不到的。
超声波由于频率高、波长短，因而传播的方向性 好、穿透能力强，这也就是为什么设计制作超声 波清洗机的原因。
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超声波清洗机的原理
2.超声波如何完成清洗工作？
超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作 用、加速度作用及直进流作用对液体和污物 直接、间接的作用，使污物层被分散、乳化、 剥离而达到清洗目的。目前所用的超声波清 洗机中，空化作用和进流作用应用的更多。
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超声波结构图
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振动子结构及工作原理
1.振动子：夹心式振子+变幅杆 2.聚能器
3.选择启动“超声”，系统开始频率扫描，即 产
生超声波，开始清洗。
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滤芯清洗操作步骤
三、中间停机更换工件
1.清洗设定时间结束时，机械运转和超声波都 会停止。
2.将振动子移动到水平位置一侧，关闭控制柜 电源开关。
3.更换同样工件（若工件不相同，请按开机要 求重新调整）。
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滤芯清洗操作步骤
4.按下“电源”开关，上述1~3步骤，系统重 新 开始工作。
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滤芯清洗操作步骤
3.打开进水阀进水，调节溢水阀，使振 头入水约10mm~15mm。调节进水阀 使系统进出水平衡。
4.接通电源，确认电气控制柜内空气开 关合上，将面板开关合上，这时面板 上定时器指示灯亮。系统准备就绪。
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滤芯清洗操作步骤
二、开始清洗
1.根据清洗工件的要求，设定定时器清洗时间。
2.选择按下控制柜移动绿色开关，即为开，振 动子沿X轴方向往复移动。
7.不准带故障工作。
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日常维护和保养
一、机械保养
机械部分要保持运转灵活，三个月左右 要加一次油，如有松动，应作必要调整。
二、振动子保养
1.振动子应每月检查一次。机架的升降丝杆 应适当加油，使振动子上下移动轻松固定振动子与外壳的内六角螺钉松 动，经常检查拧紧。
三、发生器保养
工作原理： 将高频电信号转化为高频振 动，耦合到水介质中产生超 声波。
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滤芯清洗操作步骤
一、准备开机
1.将滤芯直接放在支架上，根据滤芯的位 置，调整限位开关位置，使振动子行程 正好满足清洗要求。
2.调节振动子前后位置，使振动子的辐射面 正好在工件中心。调节振动子前后高度使 振动子的辐射面与滤芯的最高点间隙保持 在2~4mm左右，不碰撞、不磨擦为宜。
四、关机
1.选择关闭“超声”，即超声波停止工作。
2.选择按下控制柜移动“关”，振动子停止沿 X轴方向往复移动。
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滤芯清洗操作步骤
3.将振动子移动到水平位置一侧。 4.关闭电源，全部系统停止供电。 5.关闭进水阀，停止供水。打开出水阀，放掉
水槽中清洗用水。
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注意事项
1.振动子的主要部件是压电器件，工作时两 端电压峰-峰值超过1700V，绝不允许有 水滴进。否则，容易造成高压拉弧，陶瓷 片炸裂。（注意：跟换工件时，若手上有 水，此时用手去扳动振动子外壳时，不要 使水从上面通风孔内进入）。