石墨舟的清洗及保养
石墨舟清洗作业指导书
1.石墨舟作业次数达到100次或连续出现较多色差片，须拆卸清洗。
2.组长把要清洗石墨舟交到石墨舟清洗处,领取新的石墨舟使用;同时清零旧石墨舟号生产记录,建立新的石 3. 墨舟号生产记录。 3.设备部接收石墨舟安排人员清洗: 4. 5. 6. 7.
工序目的： 规范PE器具件清洗作业
1).拆舟操作:a.准备好3个泡沫盒和花篮,贴上舟号标签纸 b.用专用的力矩扳手拆开石墨舟上的固定石墨螺母,放入泡沫盒中。
样式编号：AAAE02
月
日
改定
确认
承认
备 考
一次性手套
劳动防护用品： 4)装舟操作:
c.时间达到后关闭电源,取出石墨片进行安装。 a.装舟前把陶瓷棒、石墨棒用异丙醇清洗干净,如有不干净的可用5%HF酸浸泡1小时。 b.按拆舟的逆顺序装好石墨石墨棒、陶瓷棒依次装入石墨片和石墨块,注意石墨电石墨电极
手套（PVC),石棉手套,口 的位置。 罩 c.旋上石墨螺母将石墨片固定,锁紧螺母,把石墨舟放入存储柜中。 改定履历 年 1 2 3 4 5 格式编号：HCZY 01
页码信息： 总 第 1 页 1 页
文书编号
HCBZZZ043 01 年 年 月 月 日 日
承认确认作成 Nhomakorabea石墨舟清洗作业指导书
作业手顺·遵守事项
● 作业手顺
版
本
作成日期 修改日期
设备名/设备编号： 1、石墨舟清洗机 2、 3、 4、
应遵守的要点及注意事项 1.如果不戴石棉手套，则有可能会出现手部烫伤。 2.
c.取出石墨片依次放入清洗花篮,取出陶瓷棒、陶瓷套管放入泡沫盒中,石墨棒入石墨螺母泡 8. 使用部品材料： 单晶硅片。 沫盒中。 d.将石墨螺母放入清洗罐中,将花篮放到清洗槽挂钩上。 2).清洗操作 :a.将清洗花篮放到机械挂钩,吊入10%的氢氟酸槽中。 使用夹具、 工具： b.浸泡9-10小时后移入纯水槽,5min后将纯水排空又加纯水浸泡30min,再将纯水排空又加 纯水浸泡30min后将花篮提起晾水。 c.10min后把花篮拿下用压缩空气将石墨片吹干放至烘干架,装入烘干小车上。 扳手,清洗篮,烘干架,内 3).烘干操作: a.把烘干小车推进烘干箱中,关紧烘箱门。 六角 b.设置加热120℃开电源烘干10小时。 1. 2. 3. 管理要点 管理項目 测定法 频度样品数 规定资料及判定标准 9. 10. 11. 12. 定位置管理说明
石墨舟维护规程
PECVD石墨舟维护规程石墨舟使用达到一定次数，石墨舟表面及氮化硅层严重影响整舟均匀性和使用寿命，为保证PECVD产品表面颜色均匀，特制定本规程。
本规程适用于石墨舟清洗、烘干、镀舟及表面处理。
一、石墨舟清洗、烘舟1.清洗槽配酸比例：纯水加到25CM高（约168L），加入HF4瓶（16L），开鼓泡5分钟。
2.补酸：每洗完一次石墨舟后向酸槽中加入2LHF保证槽中HF酸浓度，开鼓泡5分钟。
注：加酸、补酸操作时必须穿戴好防服用品，保证安全操作。
3.洗舟：泡酸：将待洗石墨舟拆下电极叉，并将舟石墨螺母拧松放入空槽中，将另一侧酸液抽到放好舟的槽中，检查液位必须完全淹住石墨舟。
根据舟的使用次数必须在酸槽中放置6~10小时，待石墨舟表面黄色氮化硅完全被酸分解，可以将槽中的酸液抽到另外一侧。
为提高洗舟效率可在准备抽酸前，将其他待洗石墨舟放入另一侧，当酸抽入时补酸后继续循环洗舟。
如与漂洗时间冲突时可延长泡酸时间。
漂洗：待洗舟槽中酸液抽完后，打开排液阀并打开喷淋阀，冲洗1小时后关闭排酸阀，当纯水液位到槽溢流位时关闭喷淋阀并打开鼓泡阀。
当舟在纯水中漂2小时后，关闭鼓泡阀并打开排水阀，将槽中纯水全部排完后关闭排水阀并打开进水阀，当液位到达淹没到石墨舟后将进水阀关闭，继续漂洗6小时以上。
当完成以上时间后将槽中纯水排干净，将石墨舟提出用气枪将石墨舟表面水份吹干。
注：吹时注意气流方向必须与石墨舟极板保持平衡，吹气角度不得大于45度，防止因气压过大造成极板损坏。
4.烘舟：烘箱温度设定为120度，将待烘石墨舟放入烘箱，关好箱门打开加温开关，保持烘舟12小时以上。
注：在烘舟中途不允许关闭加温和打开箱门。
烘箱每半月用吸尘器将内部吸干净，内部腐蚀严重时必须使用酒精擦拭干净才能使用。
二、表面处理当石墨舟使用和清洗到一定次数后表面开始出现凹坑，严重影响到产品表面均匀性和石墨舟使用寿命，为保证使用效果特规定石墨舟在清洗后必须进行表面磨光处理。
将烘干降温的石墨舟送到指定维护地点拆散，在磨光处理前用专用工具将工艺卡点拆下，待磨完后装上工艺卡点（注意调整卡点磨损方向，卡点磨损严重时必须更换），完成以上步骤后按方向装好石墨舟送回车间。
一种石墨舟清洗方法
石墨舟清洗方法包括以下步骤：
1.打开酸槽排水阀，待废酸排尽，用水枪对酸槽进行冲洗。
2.关上阀门，将石墨舟放进酸槽中，打开进水阀门，往酸槽里
放入纯水直到水能够淹没石墨舟为止，关闭水阀。
然后在酸槽加入HF酸（4瓶），把清洗机的窗户关好，开始清洗（要在酸中浸泡6个小时左右）。
清洗过程中戴好防酸碱手套，将石墨舟从酸槽中取出查看是否清洗干净，如果到时间还未洗干净，再继续清洗，直到干净为止。
3.清洗干净之后，放入水槽，用水枪冲洗后关上排水阀，放水，
以水没过舟为准，漂洗一般需2个小时。
4.清洗完毕后，将石墨舟从水槽中取出，用气枪吹掉表面明显
的水珠。
5.将石墨舟抬入专用烘箱，关上烘箱门锁紧；打开电源开关—
风机开关—升温开关—报警开关；温控表设定温度80度。
石墨舟在烘箱烘干6—8小时（经过测试石墨舟在烘箱烘干后与使用前的石墨舟无差别方可取出）。
6.设定温度20度，一般降温半个小时烘箱里的石墨舟达到常
温，可以取出。
7.将石墨舟上的所有螺母扭紧并检查石墨舟所有的陶瓷件，需
要更换工艺点的石墨舟，取出后需要入维修间专用货架等待维修。
石墨舟清洗机保养作业流程和安全注意事项。
石墨舟清洗机保养作业流程和安全注意事项。
石墨舟清洗机是半导体制造工艺中用于清洁PECVD（等离子增强化学气相沉积）设备所使用的石墨舟的重要设备。
保养作业流程及安全注意事项如下：石墨舟清洗机保养作业流程：1. 准备工作：清洁工作区域，确保无尘环境。
检查电源、水源和气体供应是否正常。
佩戴好防护装备，如防静电手套、防化学品护目镜、防尘口罩等。
2. 设备检查：检查石墨舟清洗机的机械部件是否有磨损或损坏。
检查电气控制系统、温控系统以及压力调节装置是否正常运行。
3. 拆卸与装载石墨舟：根据规程将待清洗的石墨舟放入清洗槽内，确保位置正确且固定稳固。
4. 清洗操作：设置清洗程序，包括清洗剂种类、温度、时间、循环次数等参数。
开始清洗过程，可能涉及酸洗、碱洗、超声波清洗及纯水漂洗等多个步骤。
5. 冲洗与干燥：清洗完毕后用大量去离子水彻底冲洗石墨舟，去除残留清洗剂。
使用烘干程序或者自然晾干方式使石墨舟达到干燥状态。
6. 维护保养：更换滤网：定期更换清洗设备内部的过滤网，保证清洗液的纯净度。
清理腔体：按照规程对设备腔体进行清理，避免积垢影响效果。
检查泵体功能：确认气动隔膜泵或其他输送泵的工作状况，并在必要时进行维护或更换。
润滑和紧固：对所有运动部件进行润滑处理，紧固松动的螺丝。
7. 记录与审核：记录每次清洗及保养过程中的重要参数及结果，便于追溯和质量控制。
审核保养情况，由操作人员和监督人员签字确认。
安全注意事项：在整个过程中严格遵守ESD（静电放电）防护措施，防止静电损害精密设备。
使用化学品时应确保良好的通风条件，避免直接接触皮肤和眼睛，若不慎接触立即用清水冲洗并就医。
在设备运行过程中严禁触碰运动部件，以防夹伤。
设备停用后应及时关闭电源和水源，防止意外开启。
清洗后的废液要妥善收集，按照环保法规要求处理，不得随意排放。
执行任何维修或保养工作前，必须先切断设备电源，并悬挂“正在维修，禁止启动”等警示标识。
石墨舟的清洗及保养
石墨舟清洗及使用维护舟的清洗:1: 新舟在第一次使用前建议使用去离子水+10%（体积比）的氢氟酸进行清洗约3~5小时；再用去离子水进行漂洗8~12小时；直到确认舟体没有酸性成分，可在漂洗后用PH试纸测试用过的水或洗过的舟，以确认清洗结果。
然后按照要求进行烘干。
2：使用后石墨舟的清洗：SHF的石墨舟一般在使用100-150次左右需要对其表面的氮化硅进行清洗。
建议使用浓度15-25%的氢氟酸溶液，分三轮次来清洗，每次4-5小时，并在浸泡清洗的过程中进行周期性氮气鼓泡，加半小时左右的清洗；注意：鼓泡不建议直接使用空气作为气源。
酸洗后用纯水漂洗10小时左右，并确认舟已经彻底清洗干净，请在清洗结束后检查舟的表面、石墨卡点和舟片结合处、以及其它部位是否还有氮化硅的残余。
然后按照要求进行烘干。
清洗注意事项：A）由于HF酸属于强腐蚀性物质并有一定的挥发性，对操作人员有一定的危险性。
因此清洗岗位操作人员必须做好安全防护，并进行专人管理。
B）建议在清洗时将舟拆开后只对石墨部位进行清洗，这样能将各个接触部位清洗的更彻底。
目前国内很多厂家采用整体清洗，虽然方便，但由于HF酸对陶瓷部件有一定的腐蚀性，整体清洗会缩短相应部件的使用寿命。
舟的烘干：1、建议使用有定时功能和循环排风的烘干箱，这样烘烤的水蒸气可直接被抽掉，以避免水蒸气因无法排出而妨碍石墨舟彻底烘干。
2、清洗后的石墨舟应先进行风淋或至少吹干一段时间，确保舟表面没有水滴或水痕，再放进烘干箱。
请勿直接将刚清洗完的石墨舟放进烘干箱。
3、将烘干箱温度设定在100-120摄氏度，运行和保持时间为10-12小时，可结合生产周期确定一个固定的烘干时间段。
舟的预处理（饱和）：进入PE炉管前应再次检查石墨舟是否完好。
建议预处理（饱和）正常时间在200-240分钟；随着石墨舟清洗次数的增多及时间的增加，其饱和时间需要相应延长。
建议不在空舟状态下进行预处理，最好装上假片或废片；虽然操作程序较长，但可缩短预处理时间，并可延长舟的使用寿命。
PECVD石墨舟
4.售后服务：
在质量保证期内发现问题包括在客户使用时发现，接到客 户通知，弘竣实业在24小时内派维护人员赶到现场处理， 因此所产生的费用自行承担。在客户使用期内若有不良产 生，弘竣实业会及时调货或退货.
二、产品介绍
共7大系列产品：
1.PECVD石墨舟 2.PECVD石墨舟配件 3.燃料电池石墨电极板
上海弘竣实业有限公司
石墨舟介绍
一、企业介绍
1.公司成立时间
创建于2008年
2.企业定位
从事太阳能用PECVD石墨舟的开发、生产和销售，石墨电极、燃料电 池板、半导体的生产和销售
3.主要产品
PECVD石墨舟、石墨舟配件、燃料电池石墨电极板、电子烧结模、石 墨模具、石墨电极、高纯石墨制品、石墨异型件加工,根据客户要求 订做的其他石墨产品等等.
PECVD石墨舟清洗及使用维护
PECVD石墨舟清洗及使用维护
石墨舟的维护 ：
1.石墨舟的存放：石墨舟应存放在干燥清洗的环境中。由于石 墨本身的空隙结构而使其具有一定的吸附性，潮湿或污染的 环境会使得清洗烘干后的石墨舟容易再次污染或受潮。 2.石墨舟组件陶瓷、石墨部件均属易碎材质，在搬运或使用过 程中应尽量避免碰擦；若发现组件有断裂、裂纹、松脱等现 象应及时预以更换和重新锁紧。 3.石墨工艺卡点更换：根据使用频率及时间，以及电池片实际 阴影面积的要求，应对石墨舟工艺卡点进行周期性更换。推 荐使用上海弘竣提供的专用更换卡点设备进行拆卸及安装。 该设备的操作有利于提高装配的速度和一致性以及减少舟片 破损的风险。
PECVD石墨舟清洗及使用维护
4.建议对石墨舟进行编号管理，指定和执行定期 的清洗、烘干、维护、检查，并指定专人管理； 保持石墨舟的管理及使用的稳定性。整体清洗的 石墨舟应定期对陶瓷组件进行更换。 5.石墨舟维护时，组件、舟片及工艺卡点建议由 石墨舟供应商提供，以免因组件精度无法匹配原 舟而导致在更换过程中产生损坏。 6.石墨舟使用过程中任何问题及建议，请及时与 我们联系。
石墨舟的使用和清洗流程
石墨舟的使用和清洗流程I. 简介石墨舟是一种常用于化学实验室中的实验仪器，用于加热试管、烧瓶等容器的工具。
它具有高温稳定性、加热均匀性好等特点，因此被广泛应用于化学实验中。
本文将介绍石墨舟的使用和清洗流程。
II. 石墨舟的使用流程使用石墨舟需要注意以下几个步骤：1.准备工作–检查石墨舟的表面是否有划痕或损坏，如有，不得使用。
–检查石墨舟的清洁度，如有污垢，应先清洗再使用。
2.将样品放入石墨舟–将待加热的试管或烧瓶等容器稳固地放在石墨舟中心位置。
–确保容器与石墨舟的接触面积大，以提高加热效果。
3.设置加热温度–根据实验需要，选择适当的加热温度。
–打开石墨舟的控温面板，根据指示设置加热温度。
4.加热样品–将石墨舟接通电源，启动加热过程。
–观察样品的加热情况，确保加热过程稳定和均匀。
5.注意安全–加热过程中，注意手部远离石墨舟表面，以免烫伤。
–使用工具时，注意石墨舟的高温，避免碰撞和损坏。
III. 石墨舟的清洗流程石墨舟在使用完毕后需要进行清洗，以下是清洗流程的具体步骤：1.关闭电源–在清洗前，先将石墨舟断电，确保清洗过程的安全。
2.倒去残留液体–将石墨舟倾斜，将残留液体倒入废液容器中。
–注意不要将液体倒到其他地方，以免造成污染。
3.温水清洗–将石墨舟放在水槽中，用温水冲洗石墨舟的内外表面。
–使用软毛刷轻刷石墨舟的表面，去除顽固的污垢。
4.水龙头清洗–打开水龙头，让水流冲洗石墨舟，确保石墨舟表面干净。
5.酸洗–准备稀盐酸溶液，浸泡石墨舟10-15分钟。
–将石墨舟放入酸洗溶液中，用搅拌棒轻轻搅拌。
–定期检查酸洗溶液的pH值，确保清洗效果。
6.水洗–将石墨舟取出，用大量的清水冲洗。
–多次清洗，直到酸洗液全部冲洗干净。
7.干燥–将石墨舟放在通风处晾干，或用纸巾擦干。
8.检查–检查石墨舟的清洗情况，确保没有残留污垢。
IV. 注意事项在使用和清洗石墨舟时需要注意以下事项：•在使用前，检查石墨舟的表面是否有损坏，并保持清洁。
石墨舟清洗机操作方法
石墨舟清洗机操作方法石墨舟清洗机是一种常用于实验室清洗的设备，它能够快速高效地清洗石墨舟，减轻实验人员的工作负担。
下面将为您详细介绍石墨舟清洗机的操作方法。
1. 设备准备首先，确保石墨舟清洗机已经接通电源，并与水源连接良好。
检查水管和电源线有无异常，确保设备正常工作。
同时，确保设备的底部没有杂物，保持清洁。
2. 加入清洗液在开始清洗之前，需要将清洗液倒入石墨舟清洗机的清洗槽中。
一般来说，我们可以选择使用酸性或碱性清洗液，具体使用哪一种清洗液，可以根据具体的需求来确定。
在加入清洗液之前，需要确保清洗槽没有污渍和杂质，以免影响清洗效果。
3. 调节清洗时间和温度根据具体的需要，我们可以调节石墨舟清洗机的清洗时间和温度。
一般来说，较短的清洗时间和较高的清洗温度能够取得更好的清洗效果。
但是，需要根据具体的清洗对象来确定，以防止石墨舟被损坏或者清洗不干净。
4. 放入石墨舟当准备工作完成后，我们可以将需要清洗的石墨舟放入石墨舟清洗机的清洗槽中。
放入石墨舟时，要注意确保石墨舟的正确认放，以免在清洗过程中发生倾倒或者碰撞，造成石墨舟损坏。
5. 开始清洗当石墨舟放入清洗槽中后，我们可以按下石墨舟清洗机的启动按钮，开始清洗。
在清洗的过程中，我们需要注意观察，确保清洗的效果。
如果发现清洗液不够或者需要更换清洗液，可以按下停止按钮，进行相应的操作。
6. 清洗完成当清洗时间到达设定的时间后，石墨舟清洗机会自动停止。
此时，我们可以取出已经清洗完成的石墨舟。
取出石墨舟时，要小心操作，避免石墨舟倾覆或者受伤。
7. 清洗槽清理在清洗完成后，需要对石墨舟清洗机的清洗槽进行清理，以保持设备的清洁。
可以倒掉清洗液，并用清水彻底冲洗清洗槽，清除残留的污渍和清洗液。
同时，还要检查设备的其他部位，如输液管路和过滤器等，确保其干净无污渍。
8. 关闭设备当一次清洗任务完成后，我们需要将石墨舟清洗机关闭，并断开电源和水源。
同时，还要将各个部件归位，并进行必要的维护工作，如清洗和擦拭清洗机的外壳，检查设备是否有损坏或者松动的部位，及时进行维修和更换。
清洗石墨舟的工艺原理
清洗石墨舟的工艺原理清洗石墨舟的工艺原理主要包括物理清洗和化学清洗两个方面。
1. 物理清洗原理物理清洗是指利用物理力学原理和工艺设备进行清洗的过程。
其原理主要包括以下几个方面：(1) 溶解污垢：通过在清洗过程中使用溶解剂，将石墨舟表面的污垢溶解或软化，以便更好地去除。
(2) 摩擦力：通过机械刷或喷枪等工具，运用摩擦力对石墨舟表面进行刷洗或冲洗，以去除粘附在表面的污垢。
(3) 冲击力：利用冲洗水流或气流，使其以一定的速度和压力对石墨舟表面进行清洗，以清除表面的污垢。
(4) 梯次法则：根据不同的清洗工艺和要求，按照一定的顺序和步骤，进行清洗工作。
比如先采用强力清洗，再进行中度清洗，最后使用弱酸或碱性介质进行清洗，以达到最佳清洁效果。
2. 化学清洗原理化学清洗是指通过化学药剂对石墨舟表面进行溶解、活化、去除污垢的过程。
其原理主要包括以下几个方面：(1) 溶解作用：利用酸、碱、盐等化学药剂与污垢发生化学反应，溶解部分表面污垢，如酸性溶液可溶解金属氧化物和有机物等。
(2) 氧化反应：在清洗过程中，一些高效的清洗剂能与污垢表面发生氧化反应，彻底去除污垢，如氧化酶清洗剂等。
(3) 扩散效应：化学清洗剂在清洗过程中，通过扩散作用将溶解的污垢带走，使得污垢与金属表面分离，达到清洁的效果。
(4) 离子交换：化学清洗剂中的一些化学物质可与污垢表面的离子发生离子交换反应，将污垢离子溶解或去除。
总的来说，清洗石墨舟的工艺原理是通过物理力学和化学作用将污垢从表面溶解、摩擦、冲洗等方式去除，在保证石墨舟表面不受损害的前提下，达到清洁、干净的效果。
不同的清洗工艺和药剂的选择会根据具体的石墨舟材质、污垢性质和清洗要求等不同因素进行选择和调整。
石墨舟清洗、烘舟工艺说明书
⽯墨⾈清洗、烘⾈⼯艺说明书exact深圳市捷佳伟创微电⼦设备有限公司Shenzhen S.C Exact Equipment Co., Ltd⽯墨⾈清洗、饱和⼯艺说明书⼀、清洗⼯艺：1、配液：HF浓度⼤约为15%~20%。
2、酸洗：酸浸泡6~8 ⼩时，每1⼩时设定⿎泡5~6分钟。
3、⽔洗：⽤清⽔透，3~4⼩时，常时间不停地⿎泡，每1⼩时换⽔⼀次。
(⽤PH试纸测试，⽆酸中和后将清⽔排掉。
)4、吹扫：⽤N2或CAD将⽯墨⾈表⾯⽔分吹扫。
5、烘⼲：烘箱设定温度100℃~150℃，烘⼲时间⼀般为8~10⼩时。
⼆、烘⾈⼯艺：（附图为右⼿机烘⾈⼯艺，为外控温）三、饱和后异常现象：1、陶瓷杆灼伤痕迹2、局部外层灼伤痕迹以上两种异常灼伤现象都是由饱和⼯艺温度过⾼引起，建议将其局部温度减少30~40度，由于饱和⼯艺时间周期较长，如果温度设定太⾼的话，⽯墨⾈就会被灼伤。
串级控温的设备做饱和⼯艺时温度设定为：炉⼝440、430、420、420、420炉尾。
⼀般情况下，外控温的设备做饱和时温度设定为：炉⼝460、450、440、440、440炉尾。
（外控温要根据实际拉恒温区温度来设定，建议温度不宜过⾼。
）四、⾊差⽚分析1、⽯墨⾈卡点损坏：⽯墨⾈卡点使⽤寿命⼀般为3~5个⽉，当⼤量产⽣⾊差⽚，更改清洗、饱和⼯艺后，都⽆明显改善，请及时更换⽯墨⾈卡点。
2、⽯墨⾈与电极杆接触不好：应定期检查⽯墨⾈与电极杆接触的位置，检查电极头是否灼伤、变形，⽯墨⾈电极孔也应定期⽤⼲燥的⽆尘布擦抹。
3、⽯墨⾈损坏：检查⽯墨⾈陶瓷杆、⽯墨杆螺母是否松动，检查⽯墨⾈⾈⽚是否损坏。
4、管内碎⽚：管内有⼤量的碎⽚也会产⽣许多⾊差⽚，它会导致管内⽓体流通障碍，影响其均匀性，有时还会导致⽯墨⾈瞬间短路，建议⼀个星期清理⼀次炉管碎⽚。
为什么用氢氟酸清洗石墨舟原理
为什么用氢氟酸清洗石墨舟原理
使用氢氟酸清洗石墨舟的原理主要基于氢氟酸的特性和石墨舟的组成。
以下是对这一原理的详细解释：
首先，我们需要了解氢氟酸（HF）的特性。
氢氟酸是一种强酸，具有强烈的腐蚀性和挥发性。
它能够与多种物质发生反应，其中包括与石墨的反应。
具体来说，氢氟酸能够与石墨中的碳原子反应，生成四氟化碳气体，这个反应过程可以表示为：4HF + C = CF4 + 2H2O。
其次，我们需要了解石墨舟的组成。
石墨舟是由石墨材料制成的，用于承载和运输高温和高纯度的材料，例如硅晶体。
然而，在长期使用过程中，石墨舟会受到污染和侵蚀，这会导致其表面的平滑度和纯度下降，影响其使用性能。
这些污染物和侵蚀可能来自于反应物、残留物、环境因素等。
基于上述原理，使用氢氟酸清洗石墨舟可以清除其表面的污染物和侵蚀痕迹。
具体来说，氢氟酸能够与石墨表面的碳原子反应，将污染物和侵蚀物转化为气体（如四氟化碳）和废水，从而清除石墨舟表面的污渍和杂质。
这个清洗过程不仅能够恢复石墨舟的光滑度和纯度，还能够提高其使用性能和寿命。
需要注意的是，氢氟酸是一种强酸，具有强烈的腐蚀性和挥发性，因此在使用过程中需要采取安全措施。
例如，需要穿戴防护服、手套、眼镜等个人防护装备，确保工作环境良好，并遵循相关操作规程。
此外，清洗完毕后需要将废水和废气妥善处理，避免对环境和人员造成
危害。
总之，使用氢氟酸清洗石墨舟的原理是基于氢氟酸的特性和石墨舟的组成。
通过与石墨表面的碳原子反应，氢氟酸能够清除石墨舟表面的污染物和侵蚀物，恢复其光。
光伏电池石墨舟清洗技术要求
光伏电池石墨舟清洗技术要求光伏电池作为新能源领域的重要组成部分，其效率和寿命对于发电系统的运行至关重要。
然而，由于长期暴露在室外环境中，光伏电池表面常常会积累灰尘、污垢等杂质，影响其发电效率。
因此，对光伏电池进行清洗是必不可少的操作。
石墨舟清洗技术作为一种高效、环保的清洗方法，被广泛应用于光伏电池清洗中。
石墨舟清洗技术利用石墨舟在光伏电池表面形成的薄膜，通过引入气泡和液体的作用，将灰尘和污垢从光伏电池表面彻底清除。
石墨舟清洗技术要求使用高纯度的石墨舟。
石墨舟应具有良好的耐热性、耐腐蚀性和导热性能，以确保清洗过程中不会对光伏电池造成任何损害。
此外，石墨舟的尺寸和形状也需要与光伏电池表面匹配，以确保清洗效果最佳。
石墨舟清洗技术要求使用适当的清洗液。
清洗液应具有良好的去污能力，同时不会对光伏电池造成腐蚀或损坏。
常用的清洗液包括去离子水、纯净水、酒精溶液等，可以根据实际情况选择合适的清洗液。
在进行石墨舟清洗之前，需要先将光伏电池表面的灰尘和污垢进行预处理。
这可以通过使用软毛刷或高压水枪进行表面清洗来实现。
预处理的目的是将大颗粒的杂质清除，以便石墨舟清洗技术更好地发挥作用。
接下来，将预处理后的光伏电池放置在石墨舟上，然后加入清洗液。
清洗液的浓度和温度可以根据实际情况进行调整。
一般情况下，较浓的清洗液可以更好地去除污垢，而适当的温度可以加快清洗速度。
在清洗过程中，可以通过控制气泡的产生和流动来增加清洗效果。
气泡的产生可以通过在石墨舟中通入气体实现，而气泡的流动可以通过控制清洗液的流动来实现。
气泡的作用是在光伏电池表面产生微小的冲击力，从而将污垢从表面剥离。
清洗时间的长短可以根据实际情况进行调整。
一般情况下，较长的清洗时间可以更彻底地清除污垢，但也可能增加清洗过程中对光伏电池的损伤。
因此，在确定清洗时间时，需要平衡清洗效果和光伏电池的安全性。
清洗完成后，需要对光伏电池进行彻底的冲洗和干燥。
冲洗的目的是将清洗液残留物从光伏电池表面冲洗干净，以避免对发电效率的影响。
PECVD清洗石墨舟作业指导书
山东力诺PECVD石墨舟清洗作业指导书2008.2.2
PECVD石墨舟清洗作业指导书
1.目的
清洁舟表面的氮化硅
2.适用范围
PECVD工序
3.职责
3.1 向清洗机一侧的槽内配液10%的氢氟酸溶液，使液面高度大约在30—40cm，并向另一侧的槽加入纯水。
3.2 把需要清洗的石墨舟进行拆卸,在拆卸的过程中要注意:石墨舟片要轻拿轻放;石墨舟的零部件不能丢失。
3.3 将石墨舟片放入专用清洗花篮中，用小车推到清洗机旁，放进配好液的槽里。
3.4 10—12h后取出花篮，放进纯水槽内，用纯水反复冲洗直至石墨舟表面干净。
3.5 把清洗完的石墨舟片放入烘干箱，温度设定到80℃，烘干4—6h。
3.6 在这段时间内，把清洗机内的废液排出并对槽进行清洗。
3.7 将电极泛白的涂层打磨掉,可以用专业砂纸打磨,打磨时要轻柔,打磨后用气枪对其清理。
3.8 把石墨舟片按照原来的位置组装。
完成石墨舟的清洗。
4. 仪器/工具/材料
仪器：石墨舟清洗机
工具：防护眼镜防酸工作服防酸手套砂纸气枪螺丝刀专用清洗花篮小车
材料: 氢氟酸
5. 注意事项
5.1 石墨舟是易碎品,要轻拿轻放;零部件不能丢失。
5.2 将花篮放入酸槽时反映比较剧烈,必须要佩带好防护工具。
5.3 在拆卸的过程中需要当心舟上的电极。
1。
石墨舟清洗流程
石墨舟清洗流程
嘿，朋友们！今天咱就来唠唠石墨舟清洗流程那些事儿。
你想想看，这石墨舟就好比咱家里常用的锅碗瓢盆，用久了不清洗那可不行，会影响使用效果呀！那怎么给石墨舟好好洗个澡呢？听我慢慢道来。
首先，得把石墨舟小心翼翼地取出来，就像对待宝贝一样，可别磕着碰着啦！然后把它带到专门的清洗区域。
接下来，就该给它来个全面的“大扫除”啦！
咱先用水冲一冲，把表面那些明显的脏东西给冲掉，这就像是给它先洗把脸，把灰尘啥的都洗掉。
然后呢，加点专门的清洗液，就好像给它抹上洗面奶，要把那些深藏不露的污渍都给揪出来。
用刷子轻轻刷一刷呀，可别太用力，不然把石墨舟弄伤了咋办？这就好比给它搓搓澡，得温柔点。
把那些边边角角都刷干净，一点脏东西都别放过。
刷完了再用水冲干净，哇，看着石墨舟变得干干净净的，是不是心里特舒服？就像自己刚洗完澡一样清爽！
这还没完呢，还得给它烘干，可不能湿哒哒的就放回去呀，那不是白洗啦？把它放进烘干机里，就等着它变得干干爽爽的。
等烘干了，再仔细检查检查，看看还有没有没洗干净的地方，要是有，那可得重新再来一遍。
这就像我们出门前照镜子，得确保自己整整齐齐、干干净净的呀！
你说，这清洗石墨舟是不是也挺有意思的？就跟我们平时打扫卫生一样，得认真对待，才能让它更好地为我们服务呀！要是不认真清洗，那以后用起来可能就不顺畅啦，说不定还会出啥问题呢！所以呀，可别小瞧了这清洗石墨舟的过程哦！这可是保证它能好好工作的重要一步呢！
总之，石墨舟清洗流程虽然不复杂，但每一步都得认真对待，不能马虎。
只有这样，我们才能让石墨舟一直保持良好的状态，为我们的生产和工作助力呀！你们说是不是这个理儿呢？。
睿晶石墨舟清洗操作规程
1．目的规范和指导PECVD工序石墨舟清洗作业。
2．适用范围适用于本公司PECVD工序的石墨舟清洗操作指导。
3．职责3.1工艺工程师编制作业指导书，并培训和指导操作员工进行操作。
3.2生产部操作员工按照作业指导书的要求进行操作。
4．作业流程4.1 穿戴防护装备装备包括：防护服、防护面具、防酸手套、防护鞋；未佩戴防护用具人员不可以进行任何加液操作流程。
4.2清点化学品数量准备好HF酸用量16L（每个槽4L装4瓶），搬运至机台旁边：清洗工艺4.3放入石墨舟确认配液槽已经用纯水清洗干净；将石墨舟上所有螺母松动，两人分别搬起石墨舟的一端，将需要清洗的石墨舟放入已经清洗干净的槽中（图3）；轻放在槽底，左右移动至合适位置，每个槽可放置两个石墨舟。
4.5关闭侧面移门确认好，关闭机器的侧面移门，防止酸雾外溢（图8），自动清洗石墨舟。
图84.6确认清洗时间自动清洗：根据工艺要求输入清洗时间，酸洗8-12小时→喷淋10分钟→水洗鼓泡10分钟→溢流水洗10分钟，循环3次后溢流水洗10分钟。
手动清洗按照4.4中第3项中所述清洗时间。
5 操作流程5.1 先补水约20cm高，然后每槽添加16L（4瓶）氢氟酸。
酸槽水位以淹没石墨舟为准。
若酸槽中水位较低，则需补水;加酸或补水后让其鼓泡2分钟使溶液混合均匀；5.2 在石墨舟清洗记录表上记录即将要清洗的已经完全冷却的石墨舟舟号，并将其缓慢放在托架上，要轻拿轻放，避免撞裂石墨舟；5.3 总反应时间8小时左右后，查看舟清洗状况，若舟表面仍有明显的氮化硅附着，则继续洗，若舟表面干净，把氢氟酸溶液换到副槽后进行下一步水洗；5.4检查水槽水位，使水槽补满水，水洗总共15分钟，换水2次，第一次，鼓泡5分钟换水一次，共2次，水洗完后，两人用抬舟工具把舟从槽体安全抬出，再用风枪吹至石墨舟表面无水珠后开始烘干；4.7搬出石墨舟戴好防酸手套，两人分别搬起石墨舟的一端，将已经清洗完全的石墨舟从槽体中搬出；使用气枪将石墨舟表面水汽吹干。
天合光能石墨舟使用流程
天合光能石墨舟使用流程下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
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石墨消解测定仪安全操作及保养规程
石墨消解测定仪安全操作及保养规程一、安全操作规程1.1环境安全：石墨消解测定仪应放置于通风良好、无腐蚀性气体和湿气的地方，避免阳光直射。
1.2电气安全：仪器上的电源线需正确接地，电压稳定，电源线不能有裸露的电线或损坏的绝缘层。
1.3个人安全：操作人员在进行实验前需佩戴安全护目镜、防护手套等个人防护装备，严禁用手直接接触石墨舟及石墨管。
1.4样品安全：样品中可能含有有毒、易燃、易爆的物质，操作时需遵循安全措施，如佩戴手套、操作于防爆柜内等。
二、操作规程2.1仪器准备：将石墨消解测定仪的石墨舟和石墨管清洗干净，将样品放入石墨舟内，按照规定添加消解剂。
2.2开机预热：将石墨舟放入石墨消解测定仪内，关闭上盖，然后打开仪器电源，进行预热（预热温度和时间根据实验要求设定）。
2.3开始消解：预热结束后，按照设定好的温度、时间等参数进行消解，保证消解的效果。
2.4冷却和稀释：消解结束后，将石墨舟取出放在特定位置自然冷却，冷却后可进行稀释，然后使用测定仪器测定需要的结果。
三、保养规程3.1清洁保养：每次使用后，将石墨舟和石墨管从仪器中取出，用去离子水彻底清洗干净，然后放在通风处晾干。
3.2定期检查：定期检查仪器的电源线、传感器、电极等部件的工作状态，如有损坏或异常，要及时修复或更换。
3.3定期校准：根据使用频率，定期对石墨消解测定仪进行校准，保证测量结果的准确性。
3.4维护保养：在使用过程中，注意及时处理仪器中的垢、腐蚀物等，确保仪器的正常运行。
还要定期更换消耗品，如石墨盘、电极等。
四、应急处理4.1感电事故：若发生感电事故，应立即切断电源。
如伤者无法自行脱离电源，应立即切断电源或用非导电材料隔离受电设备与被困人员。
4.2化学品溅入眼、口、鼻等部位：立即用大量清水洗净，如情况严重，应尽快去医院就诊。
4.3火灾事故：若发生火灾事故，应立即切断电源，并使用灭火器灭火，如无法控制的要求立即报警并进行疏散。
综上所述，石墨消解测定仪的安全操作及保养规程是确保实验安全和仪器正常运行的重要保证。
石墨舟清洗、烘舟工艺说明书
exact深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司Shenzhen S.C Exact Equipment Co., Ltd石墨舟清洗、饱和工艺说明书一、清洗工艺：1、配液：HF浓度大约为15%~20%。
2、酸洗：酸浸泡6~8 小时，每1小时设定鼓泡5~6分钟。
3、水洗：用清水透，3~4小时，常时间不停地鼓泡，每1小时换水一次。
(用PH试纸测试，无酸中和后将清水排掉。
)4、吹扫：用N2或CAD将石墨舟表面水分吹扫。
5、烘干：烘箱设定温度100℃~150℃，烘干时间一般为8~10小时。
二、烘舟工艺：（附图为右手机烘舟工艺，为外控温）三、饱和后异常现象：1、陶瓷杆灼伤痕迹2、局部外层灼伤痕迹以上两种异常灼伤现象都是由饱和工艺温度过高引起，建议将其局部温度减少30~40度，由于饱和工艺时间周期较长，如果温度设定太高的话，石墨舟就会被灼伤。
串级控温的设备做饱和工艺时温度设定为：炉口440、430、420、420、420炉尾。
一般情况下，外控温的设备做饱和时温度设定为：炉口460、450、440、440、440炉尾。
（外控温要根据实际拉恒温区温度来设定，建议温度不宜过高。
）四、色差片分析1、石墨舟卡点损坏：石墨舟卡点使用寿命一般为3~5个月，当大量产生色差片，更改清洗、饱和工艺后，都无明显改善，请及时更换石墨舟卡点。
2、石墨舟与电极杆接触不好：应定期检查石墨舟与电极杆接触的位置，检查电极头是否灼伤、变形，石墨舟电极孔也应定期用干燥的无尘布擦抹。
3、石墨舟损坏：检查石墨舟陶瓷杆、石墨杆螺母是否松动，检查石墨舟舟片是否损坏。
4、管内碎片：管内有大量的碎片也会产生许多色差片，它会导致管内气体流通障碍，影响其均匀性，有时还会导致石墨舟瞬间短路，建议一个星期清理一次炉管碎片。
石墨舟清洗工年度总结
石墨舟清洗工年度总结引言本文是对石墨舟清洗工过去一年的工作进行总结和回顾。
通过对工作成果和经验教训的总结，旨在为未来的工作提供参考和借鉴，进一步提高工作质量和效率。
工作内容清洗设备在过去的一年中，我主要负责石墨舟的清洗工作。
根据工作安排，我定期对石墨舟进行清洗，保证设备的正常运行。
在清洗过程中，我准确判断了清洗剂的种类和使用方法，避免对设备造成损害。
设备维护除了定期清洗，我还负责设备的日常维护和保养工作。
每周我会对设备进行检查，确保各个部件的正常运作。
一旦发现问题，我会及时采取措施修复或替换，以避免损失和延误工期。
工作安全在清洗过程中，我时刻关注工作安全问题。
我严格遵守相关的安全操作规程，正确使用保护装备，并保持警惕，防止意外事件的发生。
同时，我也向同事宣传安全意识，共同为工作环境的安全做出贡献。
团队合作作为石墨舟清洗工，我始终与其他同事保持良好的合作关系。
在工作过程中，我积极参与团队活动，与同事们相互帮助，分享经验。
这种良好的合作氛围为我提供了更多机会学习和成长。
工作成果通过一年的努力和不懈的追求，我取得了一定的工作成果。
首先，在设备清洗方面，我积累了大量的经验，并将其应用到实际工作中。
我能够根据设备的类型和污染程度，选择适当的清洗剂和方法，提高清洗效果，使设备在清洗后焕然一新。
其次，我在设备维护方面也有所突破。
我学习了很多设备维护知识，能够快速发现设备故障，并采取适当的措施进行修复。
这样，不仅减少了设备故障给生产带来的损失，还大大提高了设备的可靠性和稳定性。
再次，我在工作安全方面也有所贡献。
我的注意力始终集中在工作安全上，通过积极宣传和示范，提高了团队的安全意识和环境素质，减少了事故的发生。
最后，我与团队成员紧密合作，共同努力，为石墨舟清洗工作的顺利进行做出了较大贡献。
我们相互支持、互相学习，在工作中迅速提高，并取得了显著的成绩。
工作总结尽管在过去的一年中，我取得了一定的成绩，但仍然存在一些不足和经验教训。
石墨舟清洗安全报告
石墨舟清洗安全报告1. 引言石墨舟是一种新型的清洗设备，通过高压水流和高速旋转刷子，可以有效地清洁各种表面，如墙壁、地板和家具等。
本报告旨在分析石墨舟的清洗过程，并评估其在使用过程中的安全性。
2. 清洗流程石墨舟的清洗流程如下：2.1 准备工作在开始清洗之前，需要进行一些准备工作，包括： - 确保清洗区域没有杂物和障碍物； - 检查石墨舟设备是否正常运行； - 穿戴必要的个人防护装备，如手套和护目镜。
2.2 调整设备在开始清洗之前，需要调整石墨舟设备的参数，如水流压力和旋转速度，以确保清洗效果最佳。
2.3 开始清洗将石墨舟设备靠近需要清洗的表面，并打开水源。
同时，启动旋转刷子，用高压水流和刷子清洗表面。
确保对整个表面进行均匀的清洗，避免重复清洗或遗漏。
2.4 清洗结束在完成清洗任务后，关闭水源和石墨舟设备。
清洗过程中产生的污水应妥善处理，以确保环境卫生。
3. 安全评估在评估石墨舟的安全性时，我们主要关注以下几个方面：3.1 人身安全在使用石墨舟清洗设备时，操作人员应穿戴个人防护装备，如手套和护目镜，以保护自己免受高压水流和旋转刷子的伤害。
此外，操作人员应接受相关培训，了解正确的操作方法和安全注意事项。
3.2 设备安全石墨舟设备应经过严格的质量检测和维护，确保其在运行过程中不会出现故障或损坏。
操作人员应定期检查设备的状态，并及时修理和更换损坏的部件。
3.3 环境安全石墨舟的清洗过程会产生污水和清洁剂残留物。
这些废水应经过适当的处理，以防止对环境造成污染。
清洗区域应设立合适的排水系统，并采取措施防止废水流入自然水源。
3.4 使用注意事项在使用石墨舟清洗设备时，操作人员应注意以下事项： - 避免将石墨舟设备靠近电源和易燃物品，以防止火灾和电击事故； - 避免将石墨舟设备使用在容易受损的表面上，以防止损坏物品或人身伤害； - 避免将石墨舟设备使用在有人员活动的区域，以防止意外伤害。
4. 总结石墨舟清洗设备通过高压水流和高速旋转刷子，可以有效地清洁各种表面。
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石墨舟清洗及使用维护
舟的清洗:
1: 新舟在第一次使用前建议使用去离子水+10%（体积比）的氢氟酸进行清洗约3~5小时；再用去离子水进行漂洗8~12小时；直到确认舟体没有酸性成分，可在漂洗后用PH试纸测试用过的水或洗过的舟，以确认清洗结果。
然后按照要求进行烘干。
2：使用后石墨舟的清洗：SHF的石墨舟一般在使用100-150次左右需要对其表面的氮化硅进行清洗。
建议使用浓度15-25%的氢氟酸溶液，分三轮次来清洗，每次4-5小时，并在浸泡清洗的过程中进行周期性氮气鼓泡，加半小时左右的清洗；注意：鼓泡不建议直接使用空气作为气源。
酸洗后用纯水漂洗10小时左右，并确认舟已经彻底清洗干净，请在清洗结束后检查舟的表面、石墨卡点和舟片结合处、以及其它部位是否还有氮化硅的残余。
然后按照要求进行烘干。
清洗注意事项：
A）由于HF酸属于强腐蚀性物质并有一定的挥发性，对操作人员有一定的危险性。
因此清洗岗位操作人员必须做好安全防护，并进行专人管理。
B）建议在清洗时将舟拆开后只对石墨部位进行清洗，这样能将各个接触部位清洗的更彻底。
目前国内很多厂家采用整体清洗，虽然方便，但由于HF酸对陶瓷部件有一定的腐蚀性，整体清洗会缩短相应部件的使用寿命。
舟的烘干：
1、建议使用有定时功能和循环排风的烘干箱，这样烘烤的水蒸气
可直接被抽掉，以避免水蒸气因无法排出而妨碍石墨舟彻底烘
干。
2、清洗后的石墨舟应先进行风淋或至少吹干一段时间，确保舟表
面没有水滴或水痕，再放进烘干箱。
请勿直接将刚清洗完的石
墨舟放进烘干箱。
3、将烘干箱温度设定在100-120摄氏度，运行和保持时间为10-12
小时，可结合生产周期确定一个固定的烘干时间段。
舟的预处理（饱和）：
进入PE炉管前应再次检查石墨舟是否完好。
建议预处理（饱和）正常时间在200-240分钟；随着石墨舟清洗次数的增多及时间的增加，其饱和时间需要相应延长。
建议不在空舟状态下进行预处理，最好装上假片或废片；虽然操作程序较长，但可缩短预处理时间，并可延长舟的使用寿命。
石墨舟的维护：
1、石墨舟的存放：石墨舟应存放在干燥清洁的环境中。
由于
石墨本身的孔隙结构而使其具有一定的吸附性，潮湿或污
染的环境会使的清洗烘干后的石墨舟容易再次污染或受潮。
2、石墨舟组件陶瓷、石墨部件均属易碎材质，在搬运或使用
过程中应尽量避免碰擦；若发现组件有断裂、裂纹、松脱
等现象应及时予以更换和重新锁紧。
3、石墨工艺卡点更换：根据使用频率及时间，以及电池片实
际阴影面积的要求，应对石墨舟工艺点进行周期性更换。
推荐使用SHF提供的专用更换卡点设备进行拆卸及安装。
该设备的操作有利于提高装配的速度和一致性以及减少舟
片破损的风险。
4、建议对石墨舟进行编号管理，指定和定期的清洗、烘干、
维护、检查。
并指定专人管理；保持石墨舟的管理及使用
的稳定性。
整体清洗的石墨舟应定期对陶瓷组件进行更换。
5、石墨舟维护时，组件、舟片及工艺卡点建议由石墨舟供应
商提供，以免因组件精度无法匹配原舟而导致在更换过程
产生损坏。