说明书-石墨舟

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石墨舟

操作
1号槽为HF溶液槽 2号槽为纯水槽 3号槽为清洗工艺槽
开关工艺槽需注意先开工艺槽盖再开外保护窗先关外保护窗再关工艺槽盖
操作
操作
操作
操作
操作注意事项
注意事项
穿戴防护用品
操作注意事项
注意事项
穿戴防护用品
安全
氢氟酸（HF）是氟化氢气体的水溶液, 具有弱酸性，为无色透明至淡黄色冒烟液体。有刺激性气味。有剧毒。腐蚀性强，对牙、骨损害较严重。注意：接触到HF立即用六氟磷清洗后涂葡萄酸钙操作完后及时到湿法实验台清洗
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设备介绍
HF泄漏传感器界面（触屏、按钮）报警器
工艺介绍
拆解
清洗烘干
组装
预处理工序
工艺介绍
工艺介绍
在室温条件下(<40°C)，将分解后的石墨舟零件放置于浓度5~20%的HF(最佳浓度为10%)清洗槽中清洗4~6小时，再用水清洗4~6小时。石墨舟零件放置烘干炉，80°C烘烤至少8 小时。注：一次最多能清洗两个舟
石墨舟清洗
主要内容主要内容
目的原理设备介绍工艺介绍操作注意事项安全注意事项
目的

清洁石墨舟表面的氮化硅石墨舟的表面会随着制程次数增加而逐渐被侵蚀。因此，当石墨舟使用次数越多，会使沉积在电池片表面的 SiN膜之差异性越大。故当使用次数达100至150 时，需将石墨舟全部分解并加以清洗。
原理
Si3N4+4HF+9H2O=3H2SiO3+4NH4F Si3N4 + 12 HF =3SiF4↑+4NH3 (SiF4水解成H2SiO3）
设备介绍

石墨舟清洗、烘舟工艺说明书

exact深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司Shenzhen S.C Exact Equipment Co., Ltd石墨舟清洗、饱和工艺说明书一、清洗工艺：1、配液：HF浓度大约为15%~20%。

2、酸洗：酸浸泡6~8 小时，每1小时设定鼓泡5~6分钟。

3、水洗：用清水透，3~4小时，常时间不停地鼓泡，每1小时换水一次。

(用PH试纸测试，无酸中和后将清水排掉。

)4、吹扫：用N2或CAD将石墨舟表面水分吹扫。

5、烘干：烘箱设定温度100℃~150℃，烘干时间一般为8~10小时。

二、烘舟工艺：（附图为右手机烘舟工艺，为外控温）三、饱和后异常现象：1、陶瓷杆灼伤痕迹2、局部外层灼伤痕迹以上两种异常灼伤现象都是由饱和工艺温度过高引起，建议将其局部温度减少30~40度，由于饱和工艺时间周期较长，如果温度设定太高的话，石墨舟就会被灼伤。

串级控温的设备做饱和工艺时温度设定为：炉口440、430、420、420、420炉尾。

一般情况下，外控温的设备做饱和时温度设定为：炉口460、450、440、440、440炉尾。

（外控温要根据实际拉恒温区温度来设定，建议温度不宜过高。

）四、色差片分析1、石墨舟卡点损坏：石墨舟卡点使用寿命一般为3~5个月，当大量产生色差片，更改清洗、饱和工艺后，都无明显改善，请及时更换石墨舟卡点。

2、石墨舟与电极杆接触不好：应定期检查石墨舟与电极杆接触的位置，检查电极头是否灼伤、变形，石墨舟电极孔也应定期用干燥的无尘布擦抹。

3、石墨舟损坏：检查石墨舟陶瓷杆、石墨杆螺母是否松动，检查石墨舟舟片是否损坏。

4、管内碎片：管内有大量的碎片也会产生许多色差片，它会导致管内气体流通障碍，影响其均匀性，有时还会导致石墨舟瞬间短路，建议一个星期清理一次炉管碎片。

石墨舟清洗机操作方法

石墨舟清洗机操作方法石墨舟清洗机是一种常用于实验室清洗的设备，它能够快速高效地清洗石墨舟，减轻实验人员的工作负担。

下面将为您详细介绍石墨舟清洗机的操作方法。

1. 设备准备首先，确保石墨舟清洗机已经接通电源，并与水源连接良好。

检查水管和电源线有无异常，确保设备正常工作。

同时，确保设备的底部没有杂物，保持清洁。

2. 加入清洗液在开始清洗之前，需要将清洗液倒入石墨舟清洗机的清洗槽中。

一般来说，我们可以选择使用酸性或碱性清洗液，具体使用哪一种清洗液，可以根据具体的需求来确定。

在加入清洗液之前，需要确保清洗槽没有污渍和杂质，以免影响清洗效果。

3. 调节清洗时间和温度根据具体的需要，我们可以调节石墨舟清洗机的清洗时间和温度。

一般来说，较短的清洗时间和较高的清洗温度能够取得更好的清洗效果。

但是，需要根据具体的清洗对象来确定，以防止石墨舟被损坏或者清洗不干净。

4. 放入石墨舟当准备工作完成后，我们可以将需要清洗的石墨舟放入石墨舟清洗机的清洗槽中。

放入石墨舟时，要注意确保石墨舟的正确认放，以免在清洗过程中发生倾倒或者碰撞，造成石墨舟损坏。

5. 开始清洗当石墨舟放入清洗槽中后，我们可以按下石墨舟清洗机的启动按钮，开始清洗。

在清洗的过程中，我们需要注意观察，确保清洗的效果。

如果发现清洗液不够或者需要更换清洗液，可以按下停止按钮，进行相应的操作。

6. 清洗完成当清洗时间到达设定的时间后，石墨舟清洗机会自动停止。

此时，我们可以取出已经清洗完成的石墨舟。

取出石墨舟时，要小心操作，避免石墨舟倾覆或者受伤。

7. 清洗槽清理在清洗完成后，需要对石墨舟清洗机的清洗槽进行清理，以保持设备的清洁。

可以倒掉清洗液，并用清水彻底冲洗清洗槽，清除残留的污渍和清洗液。

同时，还要检查设备的其他部位，如输液管路和过滤器等，确保其干净无污渍。

8. 关闭设备当一次清洗任务完成后，我们需要将石墨舟清洗机关闭，并断开电源和水源。

同时，还要将各个部件归位，并进行必要的维护工作，如清洗和擦拭清洗机的外壳，检查设备是否有损坏或者松动的部位，及时进行维修和更换。

石墨舟清洗机说明书

无锡市瑞能科技有限公司
注：操作者在使用机器前，必须仔细阅读并充分理解该使用说明书
尊敬的客户，感谢您购买我公司的产品。为正确使用和安全起见，请您在操作和使用该设备前，务必阅读并充分理解本使用说明书。一．概述
石墨舟清洗机是一种用于清洗石墨的专用设备。它主要是由进水系统，喷淋系统，鼓泡系统，排水系统组成。二．机器特点 ◇ 操作方便 ◇ 人机对话界面---触摸屏，液晶显示 ◇ PLC 控制，机器故障率低 ◇ 故障实时监控 ◇ 整机功耗低，节能环保 ◇ 使用 AC380V，50Hz 的三相电源
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问题 3 、按下喷淋关，没有喷淋解决方案：先检查电源是否正常，在检查气压是否正常，液位是否正常。如果都正常检查气动阀是否已坏。
六．操作注意点使用循环泵换液时，请确保有操作人员看守，待换液结束后及时关
闭相应的换液按钮，否则可能导致循环泵空转烧毁的严重后果。七．整机安装参数
总电源：AC380V .2 MPa 八．质量承诺本设备从出厂之日起，免费维护一年。九．附图
亮。如果没有亮请检查电源是否接错或是否有电源接入。 ◇ 操作进水：请在手动操作下，将操作盘上的进水开关拔到开的位置，
此时进水打开。 ◇ 操作排水：请在手动操作下将操作盘上的排水开关拔到开的位置，此
时排水打开。 ◇ 鼓泡操作：请在手动操作下在触摸屏内“生产作业”中开启或关闭鼓
沟 ◇ 喷淋操作：请在手动操作下在触摸屏内“生产作业”中开启或关闭喷
三．安装 ◇ 机器应平放在坚固平坦的地面上，用户应调整好调整地脚，确保机器六只
脚受力大致相等 ◇ 接好进线电源 AC380V 50Hz；接好接地线。 ◇ 将压缩空气气源、氮气气源、洁净水水源分别接到机器的过滤减压阀进气
口、氮气进气口、洁净水进水口四．操作（一）操作前准备 ◇ 确认电源无异常

PECVD石墨舟简介

产品介绍-石墨舟 Graphite Boat 所有石墨及碳碳复合材料特点是：杂质含量低，高纯高耐腐，物理化学性质稳定，高温下保持高强度，抗溅射性强，导电性适中，热导率高。

技术参数如下：一、石墨制品所用材料为德国西格里炭素进口石墨材料，技术参数如下：密度Mg/m3硬度肖氏电阻率μΩ.m抗折强度Mpa抗压强度Mpa抗拉强度Mpa弹性模量Gpa热膨胀系数106/℃热导率W/(m.k)1.8560104910329.411.8 5.091产品介绍-石墨舟 Graphite Boat江松科技同时也为客户提供各类石墨、C/C框设备的保养和维护，配件调整与更新。

我们的产品质量和服务品质为业界所认可。

江松科技石墨舟产品优势1.高精度的机械加工设备和良好的工艺流程，有力的保证了石墨舟的基本尺寸和良好的外观。

2.用进口高纯石墨材料制作，杂质含量低，长期在高温下使用不变形。

3.陶瓷组装件采用99.7陶瓷，进口材质，防腐蚀性能强，不易爆裂。

产品介绍-石墨舟 Graphite Boat 石墨舟根据设备和工艺的要求, 规格如下(125mm&156mm):类别规格备注125mm*125mm 156mm*156mm单晶/多晶13 片进口高纯石墨,可用于进口和国产PECVD设备15 片17片19 片13片(125mm&156mm)19片(125mm&156mm)产品介绍-石墨舟 Graphite Boat石墨舟Layout产品介绍-石墨舟 Graphite Boat石墨舟相关配件本公司在供应石墨舟的同时,提供石墨舟消耗用的零配件,以及提供修改工艺点的服务.类别名称规格备注照片125型（125mm*125mm）125石墨舟边片125石墨舟中间片156型（156mm*156mm）156石墨舟边片156石墨舟中间片石墨螺杆陶瓷螺杆M6*215采用高纯石墨,高纯陶瓷材料M6*190M6*275M8*215M8*190M8*160M8*245石墨螺帽石墨螺母M6 M8陶瓷管工艺点可修复工艺点。

石墨舟工作原理的详细介绍

石墨舟工作原理的详细介绍石墨烯是一种由碳原子构成的二维晶体材料，具有出色的导电性、导热性和机械性能。

石墨舟是一种基于石墨烯的新型能源储存设备，其工作原理是通过将石墨烯材料与其他材料相结合，实现能量的储存和释放。

石墨舟的工作原理主要涉及两个方面，即电化学储能和石墨烯的特性。

石墨舟采用了电化学储能的原理。

石墨舟内部包含着大量的石墨烯材料，石墨烯具有高度的导电性，可以在电极之间形成电子传导通道。

当外部电流通过石墨舟时，电子会在石墨烯层之间自由传导，从而实现电能的储存和释放。

同时，石墨舟中还含有电解质溶液，电解质溶液中的离子可以在电极之间进行迁移，实现离子传输。

这种电子和离子的传输过程使得石墨舟能够实现高效的能量储存和释放。

石墨舟利用了石墨烯的特性。

石墨烯具有高度的表面积和极好的电化学活性，这使得石墨舟具有高能量密度和优异的循环稳定性。

石墨舟内的石墨烯材料具有大量的微观纳米孔隙和缺陷，这些孔隙和缺陷能够提供更多的活性位点，增加电化学反应的活性。

同时，石墨烯的二维结构和高度的柔韧性使得石墨舟具有优异的机械性能，能够承受较大的机械应变。

石墨舟的工作过程可以简单描述为：当储能时，外部电流通过石墨舟，电子在石墨烯层之间传导，同时离子在电解质溶液中迁移，实现电能的储存。

当释能时，储存的电能被释放出来，电子和离子重新回到原位，完成能量的转化。

石墨舟作为一种新型的能源储存设备，具有广泛的应用前景。

它可以被应用于电动车、移动设备和可再生能源等领域，提供高效、可靠的能量储存解决方案。

与传统的储能设备相比，石墨舟具有更高的能量密度、更长的使用寿命和更快的充放电速率。

石墨舟是一种基于石墨烯的新型能源储存设备，其工作原理是通过电化学储能和石墨烯的特性实现能量的储存和释放。

石墨舟具有高度的导电性、导热性和机械性能，能够提供高效、可靠的能量储存解决方案。

随着石墨烯技术的进一步发展，石墨舟有望在能源领域发挥重要作用，推动能源储存技术的创新和发展。

石墨舟清洗机说明书

FRSOTE-4ZMF清洗机使用说明书一、设备整体结构设备分为4个清洗槽，2个内槽为酸洗槽，2个外槽为水洗冲洗槽。

机器内部装有2套机械手，用于将石墨舟在不同槽之间移动。

整机的前后装都开有可上下移动的有防护隔离门，隔离门采用透明PVC板制成，在清洗过程中，隔离门关闭，以尽量改善工作环境并减小对人体的伤害。

在机台里面设有水枪和气枪各一把。

二、操作前准备1、先检查外围的水压，气压是否正常？2、急停开关是不是按下，如按下请复位到正常的位置。

3、打开机箱内总电源开关。

三、进排水操作面对机台的操作，左面的一个机械手为1#机械手，右边的一个为2#机械手。

相对应的1#机械手槽位为里面的为1#HF槽，近操作面的槽为1#DI槽位。

相对应的2#机械手槽位为里面的为2#HF槽，近操作面的槽为2#DI槽位。

打开操作面板上的电源开关，待系统自检完毕后，点击“RUN”进入第一个操作介面。

点击“进入操作系统”进入主操作介面。

在主操作介面中点击“进排水操作”就可以进行的1#进排水的操作，选择相对应的槽位进行操作。

例如要对1#HF 槽操作进水动作，点击“1#HF槽进水关”使其变为“1#HF 槽进水开”此时1#HF槽的进水阀门打开了。

如果关闭进水点击“1#HF槽进水开”使其变为“1#HF槽进水关”此时1#HF 槽的进水阀门关闭了。

其它槽位上进排水的操作如上。

2#槽位的进排水操作如下，点击右上角上“下一页”进入2#槽位的进排水操作。

如要返回主页请点击“返回”即可。

四、机械手操作此设备共有二套机械手，面对机械操作左边的为1#机械手，右手的为2#机械手。

在主菜单中，点击“手动操作”触摸屏界面转到1#机械手操作介面。

此介面分两部分左部分为点动操作，当触摸键处于“点动”位置，可以使用点动操作触摸按钮来操作。

“上升”按键是来控控制机械手点动上升的，如果机械手已经在高位，“上升”会变成“高位”。

“后移”是来控制机械手向DI槽方向移动的，当机械手在高位的时候可以点动控制向DI槽方向移动。

石墨舟清洗、烘舟工艺说明书

exact深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司Shenzhen S.C Exact Equipment Co., Ltd石墨舟清洗、饱和工艺说明书一、清洗工艺：1、配液：HF浓度大约为15%~20%。

2、酸洗：酸浸泡6~8 小时，每1小时设定鼓泡5~6分钟。

3、水洗：用清水透，3~4小时，常时间不停地鼓泡，每1小时换水一次。

(用PH试纸测试，无酸中和后将清水排掉。

)4、吹扫：用N2或CAD将石墨舟表面水分吹扫。

5、烘干：烘箱设定温度100℃~150℃，烘干时间一般为8~10小时。

串级控温的设备做饱和工艺时温度设定为：炉口440、430、420、420、420炉尾。

一般情况下，外控温的设备做饱和时温度设定为：炉口460、450、440、440、440炉尾。

（外控温要根据实际拉恒温区温度来设定，建议温度不宜过高。

2、石墨舟与电极杆接触不好：应定期检查石墨舟与电极杆接触的位置，检查电极头是否灼伤、变形，石墨舟电极孔也应定期用干燥的无尘布擦抹。

3、石墨舟损坏：检查石墨舟陶瓷杆、石墨杆螺母是否松动，检查石墨舟舟片是否损坏。

天合光能石墨舟使用流程

天合光能石墨舟使用流程下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。

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石墨舟的使用和清洗流程

石墨舟的使用和清洗流程I. 简介石墨舟是一种常用于化学实验室中的实验仪器，用于加热试管、烧瓶等容器的工具。

它具有高温稳定性、加热均匀性好等特点，因此被广泛应用于化学实验中。

本文将介绍石墨舟的使用和清洗流程。

II. 石墨舟的使用流程使用石墨舟需要注意以下几个步骤：1.准备工作–检查石墨舟的表面是否有划痕或损坏，如有，不得使用。

–检查石墨舟的清洁度，如有污垢，应先清洗再使用。

2.将样品放入石墨舟–将待加热的试管或烧瓶等容器稳固地放在石墨舟中心位置。

–确保容器与石墨舟的接触面积大，以提高加热效果。

3.设置加热温度–根据实验需要，选择适当的加热温度。

–打开石墨舟的控温面板，根据指示设置加热温度。

4.加热样品–将石墨舟接通电源，启动加热过程。

–观察样品的加热情况，确保加热过程稳定和均匀。

5.注意安全–加热过程中，注意手部远离石墨舟表面，以免烫伤。

–使用工具时，注意石墨舟的高温，避免碰撞和损坏。

III. 石墨舟的清洗流程石墨舟在使用完毕后需要进行清洗，以下是清洗流程的具体步骤：1.关闭电源–在清洗前，先将石墨舟断电，确保清洗过程的安全。

2.倒去残留液体–将石墨舟倾斜，将残留液体倒入废液容器中。

–注意不要将液体倒到其他地方，以免造成污染。

3.温水清洗–将石墨舟放在水槽中，用温水冲洗石墨舟的内外表面。

–使用软毛刷轻刷石墨舟的表面，去除顽固的污垢。

4.水龙头清洗–打开水龙头，让水流冲洗石墨舟，确保石墨舟表面干净。

5.酸洗–准备稀盐酸溶液，浸泡石墨舟10-15分钟。

–将石墨舟放入酸洗溶液中，用搅拌棒轻轻搅拌。

–定期检查酸洗溶液的pH值，确保清洗效果。

6.水洗–将石墨舟取出，用大量的清水冲洗。

–多次清洗，直到酸洗液全部冲洗干净。

7.干燥–将石墨舟放在通风处晾干，或用纸巾擦干。

8.检查–检查石墨舟的清洗情况，确保没有残留污垢。

IV. 注意事项在使用和清洗石墨舟时需要注意以下事项：•在使用前，检查石墨舟的表面是否有损坏，并保持清洁。